CN107921457A - 具有增大的声波能量利用率的声波微流体设备 - Google Patents

具有增大的声波能量利用率的声波微流体设备 Download PDF

Info

Publication number
CN107921457A
CN107921457A CN201680033776.0A CN201680033776A CN107921457A CN 107921457 A CN107921457 A CN 107921457A CN 201680033776 A CN201680033776 A CN 201680033776A CN 107921457 A CN107921457 A CN 107921457A
Authority
CN
China
Prior art keywords
substrate
equipment
acoustic wave
saw
wave energy
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201680033776.0A
Other languages
English (en)
Inventor
詹姆斯·坦
阿姆贾德·雷兹克
海巴·艾哈迈德
莱斯利·约
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
RMIT University
Original Assignee
RMIT University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from AU2015901737A external-priority patent/AU2015901737A0/en
Application filed by RMIT University filed Critical RMIT University
Publication of CN107921457A publication Critical patent/CN107921457A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
    • B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
    • B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
    • B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
    • B05B17/0615—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced at the free surface of the liquid or other fluent material in a container and subjected to the vibrations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
    • B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
    • B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
    • B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
    • B05B17/0653—Details
    • B05B17/0676—Feeding means
    • B05B17/0684—Wicks or the like
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B7/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
    • B05B7/0012—Apparatus for achieving spraying before discharge from the apparatus
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0644—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
    • B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
    • B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
    • B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
    • B05B17/0653—Details
    • B05B17/0661—Transducer materials

Abstract

一种设备，包括：衬底上的电声换能器；用于向电声换能器供应电磁波能量的电源；以及能够移动至衬底的物质的源，其中，所述电声换能器和所述衬底被配置成生成被用来将所述物质从所述源移动至所述衬底并且操纵所述衬底上的所述物质的声波能量。

Description

具有增大的声波能量利用率的声波微流体设备
技术领域
本发明涉及具有增大的声波能量利用率的声波微流体设备。
背景技术
声波微流体设备例如表面声波(SAW)雾状或雾化设备已经被提出用于肺部药物递送和各种其它微流体应用。SAW微流体设备包括压电衬底上的叉指式(interdigital)换能器(IDT)。将射频(RF)功率施加至IDT以生成SAW，SAW通过衬底上的液体以生成气雾滴。慎重地选择衬底作为旋转Y切割的铌酸锂以抑制体波在衬底内的传播，使得仅纯SAW用于雾化。
当前的SAW微流体设备具有1μl/min与100μl/min之间的有限的雾状或雾化率。这样低的雾化率不足以用于在肺部药物递送中的有效患者加药。仅增大RF功率电平和/或液体供应率以实现足够用于有效患者加药的增大的雾化率是不实际的。
增大RF功率电平导致衬底和/或设备的部件上的增大的热负荷，并且导致需要大且笨重的电源。此外，增大RF功率电平还会增大由于复杂的分子或细胞的变性对所递送的药物造成附带损害的可能性。最后，增大液体供应率导致淹没设备并且完全地停止雾化。
在这个背景下，存在对于具有输入RF功率和输出声波能量的增大的利用率以提供增强的微流体操纵性能的声波微流体设备的需要。
发明内容
根据本发明，提供了一种设备，其包括：
衬底上的电声换能器；
用于向电声换能器供应电磁波能量的电源；以及
能够移动至衬底的物质的源；
其中，电声换能器和衬底被配置成生成被用来将物质从源移动至衬底并且操纵衬底上的物质的声波能量。
声波能量可以包括沿着衬底的第一表面、衬底的相对的第二表面或它们的组合传播的SAW。
衬底可以具有与声波能量的波长可比较的厚度。
声波能量可以包括SAW和表面反射体波(SRBW)的组合。如本文使用的，“SRBW”指的是通过在第一表面与第二表面之间通过衬底的内反射来沿着第一表面和第二表面传播的体声波(BAW)。SAW和SRBW的组合可以用来将物质从源移动至衬底并且操纵衬底上的物质。
声波能量可以包括SAW和电声换能器中的驻声波的组合，其中，SAW被用来将物质从源沿着衬底移动至电声换能器上作为薄液膜，并且其中，电声换能器中的驻声波被用来使薄液膜雾化或成雾状。
物质的源可以被布置在衬底的表面、衬底的侧边缘、衬底的端边缘或它们的组合之上、之中或与之紧邻。
电声换能器可以包括被布置在衬底的第一表面、衬底的第二表面或它们的组合上的一个或更多个叉指式换能器。
衬底可以包括单晶压电衬底，例如旋转Y切割的铌酸锂或钽酸锂。
电源、衬底和源可以集成在通用串行总线(USB)保持器中。
电源可以包括电池。
物质可以是包括液体、固体、气体或它们的组合或混合物的可移动的物质。物质可以包括选自于药物、可溶物质、聚合物、蛋白质、肽、DNA、RNA、细胞、干细胞、气味、芳香剂、尼古丁、化妆品、农药、杀虫剂和它们的组合的功能剂或治疗剂。
物质可以以等于或大于1ml/min的速率被雾化或成雾状。
本发明还提供了一种方法，包括：
使用混合声波能量将物质从其源移动至衬底；以及
使用混合声波能量操纵衬底的至少一个表面上的物质；
其中，混合声波能量包括沿着衬底的至少一个表面传播的表面声波、以及在衬底的至少一个表面与衬底的至少一个其它表面之间内反射的体声波。
本发明还提供了一种包括上述设备的用于肺部药物递送的吸入器或喷雾器。
本发明还提供了一种包括上述设备的用于眼部药物递送的眼睛佩戴物。
本发明还提供了一种包括上述设备的电子烟。
本发明还提供了一种包括上述设备的气味生成器。
本发明还提供了一种方法，包括使用上述设备来对物质执行微流体操作，其中，微流体操作包括雾化、成雾状、移动、输送、混合、喷射、流动、离心、捕获、分离、分选、包衣、封装、操纵、脱盐、净化、剥离、分层和它们的组合。
本发明还提供了一种方法，包括使用上述设备来使可溶物质雾化或成雾状以产生具有1nm至1mm的直径的颗粒、粉末或晶体。
本发明还提供了一种方法，包括使用上述设备来对具有1nm至1mm的直径的颗粒或粉末内的用于治疗目的的药物分子进行包衣或封装。
本发明还提供了一种方法，包括使用上述设备来通过从液体中分离盐、晶体或杂质来对液体进行净化或脱盐。
本发明还提供了一种方法，包括使用上述设备来将材料从三维(3D)体形式剥离为二维(2D)剥离形式。
所述材料可以包括石墨烯、氮化硼(BN)、过渡金属硫化物(TMD)、过渡金属氧化物(TMO)、黑磷、硅烯、锗烯和它们的组合。
所述材料的3D体形式可以包括处于液体的材料或嵌入材料。
所述材料的2D剥离形式可以包括片材、量子点(QD)、薄片、层、膜或它们的组合或多体或结构。
所述材料的2D剥离形式可以具有1nm与2000nm之间的横向尺寸。
附图说明
现在参照附图仅以示例的方式来描述本发明的实施方式，在附图中：
图1是根据本发明的一个实施方式的声波微流体设备的示意图；
图2是设备的可替选实施方式的示意图；
图3是设备的另一可替选实施方式的透视图；
图4至图6是图3的设备的照片；
图7(a)至图7(c)是激光多普勒振动测量(LDV)图像和被配置成生成纯SAW的设备的示意图；
图8(a)和图8(b)是LDV图像和被配置成分别生成纯SRBW和纯SAW的设备的示意图；
图9(a)至图9(c)是LDV图像、滴尺寸和体积的曲线图以及被配置成生成纯SRBW的设备的示意图；
图10(a)至图10(c)是LDV图像、滴尺寸和体积的曲线图以及当被配置成生成纯SAW时设备的示意图；
图11(a)至图11(c)是LDV图像、滴尺寸和体积的曲线图以及当被配置成生成SAW和SRBW的组合时设备的示意图；
图12和图13分别是SAW和SRBW的组合以及纯SAW的LDV分布；
图14是包括设备的用于眼部药物递送的眼睛佩戴物的示意图；
图15是图2的设备的照片；
图16是被配置成将3D体材料剥离为2D剥离材料的设备的示意图；
图17是由设备形成的2D QD的透射电子显微镜(TEM)图像；以及
图18是2D QD的薄膜的原子力显微镜(AFM)图像。
具体实施方式
图1和图2示出了根据本发明的实施方式的声波微流体设备10。设备10通常可以包括衬底14上的电声换能器12以及用于向电声换能器12供应电磁波能量例如RF功率的电源(未示出)。设备10还可以包括能够移动至衬底14的物质的源16。物质可以包括能够通过声波能量从源16移动至衬底14的形式的物料或材料。物质可以包括液体、固体、气体或它们的组合或混合物。例如，物质可以包括如液体、溶液、分散体等的物料或材料。
电声换能器12可以包括被布置在衬底14的第一表面18、衬底14的相对的第二表面20或它们的组合上的大量的IDT电极。还可以使用其它等效的或可替选的电声换能器。衬底14可以是单晶压电衬底，例如旋转Y切割的铌酸锂(LN)或钽酸锂。例如，衬底14可以包括128°旋转Y轴、X轴传播铌酸锂晶体切割(128YX LN)。还可以使用其它等效的或可替选的压电衬底。
虽然未示出，衬底14的一端可以在提供RF功率的两个或更多个接触探头之间机械地固定和支承。此外，衬底14的一个支承端可以经由第一表面18上的与IDT指状电极12相对的更多个弹簧和/或固定装置中的一个而安装，以创建与衬底14的最小接触面积以使通过电声换能器12施加至衬底14的振动能量的阻尼最小化。因此，衬底14可以以与音叉类似的方式从衬底14的一个弹性支承端处的机械固定装置突出，使得衬底14能够在衬底14的相对自由端处实现最大的声振动。
物质的源16可以经由衬底14的侧边缘22、衬底14的端边缘24或它们的组合布置在衬底14的第一表面18和/或第二表面20之上、之中或者以接触或非接触关系与之紧邻。参照图1，在一个实施方式中，源16可以包括液体物质的容器26和被布置成与衬底14的侧边缘22和/或端边缘24接触的芯28。参照图2，在另一实施方式中，源16可以包括被布置成直接接触衬底14的端边缘24的仅容器24。还可以使用其它等效的或可替选的物质源布置。
电声换能器12和衬底14可以被配置成生成声波能量，该声波能量不仅用于将液体物质从源16移动(例如吸出、抽出和/或稀薄)至衬底14上作为薄液膜，而且用于使薄液膜雾化或成雾状。例如，在设备10的一个实施方式中，声波能量可以表现为沿着衬底14的第一表面18、衬底14的第二表面20、或衬底14的第一表面18和第二表面20二者来传播的SAW。也就是说，SAW可以沿着第一表面18、绕着端边缘24并且沿着衬底14的第二表面20传播。虽然并非意在受任何特定理论的限制，但是可以认为SAW可以相对于在衬底14的第一表面18和第二表面20中的每个表面上的电声换能器12沿正反两个方向传播。可以认为，在第一表面18和/或第二表面20上沿相反方向行进的SAW可以至少部分地担负吸出、抽出和稀薄来自容器26和/或芯28的液体物质。
沿着第二表面20行进的声波能量的使用与仅使用第一表面18的常规的SAW微流体设备相反。可用的声波能量的该表现和利用率可以通过配置衬底14使得衬底14具有与SAW的波长可比较(例如，近似相等)的厚度来实现。换句话说，设备10可以被配置成满足关系λSAW/h～1，其中，h表示衬底14的厚度，并且λSAW表示与设备10的谐振频率对应的SAW波长。SAW波长可以至少部分地基于电声换能器12的配置例如IDT电极的间距来确定。可以选择大量的IDT指条(例如，等于或大于大约40至60个指条)的质量负荷和大约10MHz至20MHz之间的低频IDT设计以给出SAW和SRBW的最优组合。还可以使用电声换能器12和衬底14的其它等效的或可替选的配置。
此外，通过将衬底14的厚度配置成与声波能量的波长可比较，在设备10的另一实施方式中，声波能量可以表现为通过在第一表面18与第二表面20之间通过衬底14的内反射来沿着第一表面18和第二表面20传播的SRBW。再次，虽然并非意在受任何特定理论的限制，但是可以认为，SRBW也可以相对于衬底14的第一表面18和第二表面20中的每个表面上的电声换能器12沿正反两个方向传播。可以认为，在第一表面18和/或第二表面20上沿相反方向行进的SRBW可以至少部分地担负吸出、抽出和稀薄来自容器26和/或芯28的液体物质。然后，可以使用SAW和SRBW的组合不仅将液体物质从液体供给16吸出至衬底14上作为薄液膜，而且可以使薄液膜雾化。例如，在图1示出的实施方式中，可以使用沿着衬底14的第一表面18和第二表面20二者行进的SAW和SRBW的组合不仅将液体物质从源16吸出至衬底14的第一表面18上作为薄液膜，而且可以在衬底14的第一表面18上使薄液膜雾化或成雾状。
在设备10的又一实施方式中，电声换能器12和衬底14可以被配置成生成可以表现为电声换能器12中或上的驻声波的声波能量。可以使用SAW将液体物质从源16沿着衬底14吸出并且吸出至电声换能器12上作为薄液膜。然后，可以使用驻声波以使薄液膜在电声换能器12上直接雾化。例如，在图2示出的实施方式中，可以使用沿着衬底14的第一表面18行进的SAW将液体物质从源16沿着第一表面18吸出并且吸出至电声换能器12上作为薄液膜。然后，可以使用电声换能器12中或上的驻声波以使薄液膜直接雾化或成雾状。由于IDT 12上的声波能量是最强的，因此就微流体操纵来说此处的效率是最高的。换句话说，通过将液膜从容器26吸出、流出和稀薄至IDT 12在IDT 12上直接雾化可以导致非常高且有效的雾化率，例如等于或大于1ml/min。图15示出了在设备10的该实施方式的IDT 12上直接地生成的强气雾喷射或液体流。
参照图3和图4，在设备10的一个实施方式中，电源、衬底14和源16可以集成在USB保持器30上。例如，用于上面所述的衬底14的一个支承端的弹性支承件和耦接器可以集成在USB保持器30的体中。此外，用于电声换能器12的电源可以集成在USB保持器30中或经由USB保持器30来提供。例如，电源可以包括集成在USB保持器30中的电池。
此外，液体物质的源16可以集成在USB保持器30上。例如，源16还可以包括被布置在USB保持器30下方以将容器26流体地连接至芯28的源体32。容器18可以布置在USB保持器34的后部处，并且芯20可以在源体32上布置成与衬底14的自由端边缘24相邻。芯28可以在第一表面18与第二表面20之间流体地接触衬底14的下侧边缘22。
如上所述，电声换能器12和衬底14可以被共同地配置成使得设备10生成SAW和SRBW的组合，可以共同地使用SAW和SRBW的组合以将液体物质从源16移动或吸出至衬底14的第一表面18和第二表面20中的每个表面上作为薄液膜，并且使第一表面18和第二表面20中的每个表面上的薄液膜雾化或成雾状以生成液体的气雾滴的两个相反的向外定向的喷射、流或雾。图5和图6示出了通过设备10的该实施方式生成的一对气雾喷射。
可以使用上面所述的设备10的实施方式以大于100μl/min例如等于或大于1ml/min的雾化率使液体物质雾化或成雾状。液体物质可以包括选自于药物、可溶物质、聚合物、蛋白质、肽、DNA、RNA、细胞、干细胞、气味、芳香剂、尼古丁、化妆品、农药、杀虫剂和它们的组合的功能剂或治疗剂。其它等效的或可替选的功能剂或治疗剂例如生物物质、药用物质、芳香物质、美容物质、抗菌物质、抗真菌物质、防霉物质、消毒剂、除草剂、杀菌剂、杀虫剂、化肥等可以被混合、溶解、分散或悬浮在液体中。设备10还可以用来使可溶物质雾化或成雾状以产生直径为1nm至1mm的颗粒、粉末或晶体。此外，可以使用设备10将在具有1nm至1mm的直径的颗粒或粉末内的用于治疗目的的药物分子进行包衣或封装。设备10还可以用于其它等效的或可替选的生物微流体、微流体、微粒、纳米颗粒、纳米医药、微结晶、微型胶囊以及微粉化(micronisation)应用。例如，设备10可以被配置成对物质执行声波微流体操作，声波微流体操作包括：雾化、成雾状、移动、输送、混合、喷射、流动、离心、捕获、分离、分选、包衣、封装、操纵、脱盐、净化、剥离、分层和它们的组合。其它可替选的或等效的微流体操作也可以使用设备10来执行。
设备10可以用电池电力以紧凑的尺寸以低的成本以低的形状因数来实现使得该设备适合于并入多种其它设备、系统和装置中。例如，设备10可以并入用于肺部药物递送的吸入器或喷雾器中或者被配置成吸入器或喷雾器。设备10还可以并入电子烟中以使包含尼古丁和/或香味的液体雾化。设备10还可以被配置成气味生成器并且被并入游戏控制器中。可替选地，设备10可以并入用于眼部药物递送的眼睛佩戴物36例如护目镜或眼镜中，如图14所示。用于设备10的电源38可以设置在眼睛佩戴物36的臂中。眼睛佩戴物36可以用于包括药品的气雾、颗粒和粉末以及封装药品的聚合物颗粒的递送，用于治疗眼部情况。还可以使用设备10的其它等效的或可替选的应用。
上面描述的设备10还可以用来通过从液体中分离盐、晶体、颗粒、杂质或它们的组合来对液体进行净化或脱盐。例如，通过设备10对盐溶液的雾化可以导致包括相同溶液的气雾滴的生成，气雾滴的蒸发导致析出的盐晶体的形成。由于它们的质量，盐晶体沉淀物可以惯性地与水蒸汽分离，该水蒸气在凝结后导致净化水的回收。然后，将设备10扩展(或增加数目)为包括并行的许多设备10的平台可以导致用于大规模脱盐的节能方法。可替选地，可以使用单个或数个设备10的小型化平台作为电池操作的便携式水净化系统，该系统在第三世界设定中是潜在有用的。
在其它实施方式中，设备10可以用来将材料从3D体形式剥离为2D剥离形式。材料可以包括例如石墨烯、BN、TMD、TMO、黑磷、硅烯、锗烯和它们的组合。还可以使用其它等效的或可替选的材料。材料的3D体聚集形式可以包括处于液体的材料或嵌入(intercalating)材料。材料的2D剥离形式可以包括片材、QD、薄片、层、膜或它们的组合或多体(pluralities)或结构。材料的2D剥离形式可以具有例如1nm与2000nm之间的横向尺寸。
在这些实施方式中，可以使用HYDRA设备10来提供独特的高通量的快速剥离方法以在水中使用由HYDRA设备10产生的高频声波或在存在预剥离步骤时使用嵌入材料产生例如但是不限于TMO、TMD的大的片材和QD以及其它许多2D材料。如图16所示，使用HYDRA设备10对体溶液的雾化可以导致产生单层或数层的薄片的3D体材料内的夹层键的剪切。在示出的实施方式中，3D体材料溶液30可以经由导管26借助于纸芯28沿着HYDRA设备10的衬底14的中线来馈送。在雾化期间产生的高频声波可以导致3D体材料30在飞行中的剪切以形成2D剥离材料32。图17是示出具有数层MoS2QD的HYDRA雾化滴的TEM图像。图18是覆盖2μm x 2μm的MoS2QD的薄膜的AFM图像。在本应用中，HYDRA设备10可以提供通过以下方式产生大面积覆盖的能力：在产生适于但不限于场效应晶体管(FET)、存储设备、光电探测器、太阳能电池、用于析氢反应(HER)的电催化剂和锂离子电池的应用目的可调谐膜图案和厚度的衬底上将2D材料连续地雾化。
在过去的几年中，对2D材料的研究已经成为纳米科学的最蓬勃的领域之一。虽然该领域最初由对石墨烯的研究所主导，但是后来该领域被拓展为包含广泛的2D材料，2D材料包括：BN；TMD例如MoS2和WSe2；TMO例如MoO3和RuO2；以及包括黑磷、硅烯和锗烯的许多其它材料。这些材料是非常多样化的并且已经被用在从能源到电子学到催化领域的广泛的应用。
为了从它们的3D体材料制备大量的2D纳米片，先前提出的纳米片生产方法包括机械剥离或液相剥离(LPE)(或“透明胶带法”)。由于高品质的单分子层由机械剥离产生，因此该方法普遍地用于本质的片材生产和基础研究。然而，由于该方法在控制片材尺寸和层数上的低产量和缺点，因此该方法不适于大规模的实际应用。
在LPE方法中，通常在适当的溶剂或表面活性剂的溶液中通过声波降解法或剪切混合将通常呈粉末形式的层状晶体剥离。在离心除去任何未剥离的粉末之后，该方法给出包括大量高品质纳米片的分散体。化学剥离与机械剥离相比可以极大地增加产量，然而，在该过程期间的声波降解法将引起2D晶格结构的缺陷并且将薄片尺寸减小至几千纳米，从而限制了2D纳米片在大规模集成电路和电子设备的领域中的应用。
最近，具有大面积均匀性的2D TMD的可控制备已经存在大的挑战。化学气相沉积(CVD)方法由于其能够在晶片级合成2D TMD已经吸引了广泛的关注，该方法显示出对于像大规模集成电子设备的实际应用的巨大潜力。该方法不仅可以制备具有某种厚度的连续的单层膜，而且重点在于将极大地避免在逐层传递过程期间引入的界面污染的直接生长层状异质结构。然而，该方法具有低的生产量、耗时并且需要专业知识。在上面所述的背景下，本发明的设备10的实施方式向常规的CVD、LPE和机械剥离方法提供了有用的可替选方法。
现在将关于下述示例仅以例示的方式来更详细地描述本发明。该示例意在用于例示本发明，而不应解释为限制贯穿本说明书的描述的公开内容的一般性。
示例1：纯SAW
参照图7(a)至图7(c)，可以通过使用标准的光刻技术在128YX LN衬底14(RoditiLtd，英国伦敦)上图案化mm孔径40对指状10nm Cr/250nm Al IDT 12来制造声波微流体设备10。注意，设备10相对于图1被反转使得衬底14的下侧构成了IDT 12沿着其生成SAW的表面。设备10通常与上面描述的和前面的图像中描绘的设备10类似，除了IDT 12的取向被示为在下表面上。相关设计参数可以是通过IDT指条12的宽度和间隙确定的λSAW与衬底14的厚度h之间的比例。多种渐进的情况可以在通过自始至终保持h恒定并且改变设备10的谐振频率f从而改变λSAW的这些示例中展示。可以通过向具有信号生成器(SML01、Rhode&Schwarz、North Ryde，澳大利亚新南威尔士)和放大器(ZHL-5W-1微型电路、微型电路，布鲁克林，纽约11235-0003，美国)的IDT 12施加谐振频率为10MHz的正弦电输入来生成SAW。处于室温的去离子(DI)水可以被用作测试流体。
因此，常规的纯SAW设备是当λSAW<<1h时的情况，即，当频率较大时，如图7(c)的示意图和图8(b)的下行所示。在该配置中，被限制在与沿着其生成SAW的下侧表面相邻的穿透深度内的SAW能量通过衬底14的厚度随长度尺度exp(–βz)快速地衰减，其中，β是SAW在固体中沿垂直z方向衰减使得SAW在到达衬底14的顶侧之前完全衰减的衰减系数。换句话说，由于通过衬底14的SAW能量的泄漏，因此在该面(即，IDT 12被图案化的一侧)上没有振动存在。作为替代，虽然SAW能量沿着衬底表面沿着其传播方向x随着exp(–αx)衰减，但是下侧表面上的SAW传播至边缘并且如果不被一组IDT 12反射则继续绕着传播至顶侧，其中，α是SAW在无界流体中的纵向衰减系数，即，在空气中或在流体中如果其一存在于设备10上。这可以从确认衬底14的两侧都存在SAW的图7(a)和图7(b)的LDV扫描图像(LDV；UHF-120；PolytecPI，Waldbronn，德国)看出。可以从相反的方向在图8(a)的LDV扫描图的下行看出SAW的另一证据，考虑到由于Eckart流，具有远大于λSAW的高度的滴在SAW传播的方向上平移，当SAW被加于顶面和底面时，毫米尺寸静置滴38在SAW的下方输送。
示例2：纯SRBW
参照图8(b)的顶行的示意图，如果衬底14的厚度变得与中等频率下的SAW波长可比较(即，λSAW/h～1)，则可以看出与沿着衬底的下侧传播的SAW相关联的能量贯穿衬底的厚度传输并且因此在衬底14的顶侧处不再完全地衰减。当这样的体波贯穿衬底12的厚度存在时，由于相位与SAW不匹配以及衬底14内的多次内反射，因此这样的体波表现为沿着顶侧行进的体表面波，该体波可以被称为SRBW。这样的波的独特特性先前可能被忽视，或仅被称为一般的体声波或与通过衬底14的厚度的广泛的其它假体波模式共同地结合仅作为一般的体声波—或许是自1950年代以来长期存在的观点的结果：这样的波是非期望的并且应抑制。
纯SRBW的存在可以从LDV扫描以及图8(b)的上行所示的反向滴平移行为得到证实。当通过在衬底14的顶侧上放置吸收凝胶40(Geltec Ltd，日本横滨)来抑制SRBW时，纯SAW存在，可以看到纯SAW不仅沿着衬底14的下侧沿传播方向平移静置滴38，而且推动滴绕着边缘至顶侧。与此相反，当SAW被下侧边缘处的凝胶40吸收以防止其绕回至顶侧时，SRBW驱动滴沿着SRBW的传播方向平移，该方向与SAW将使滴平移以使其绕着边缘行进并且行进至衬底14的顶侧上的方向相反。
示例3：混合SAW/SRBW
图11(c)示出了被配置成在衬底14的两个面上利用SAW和SRBW的组合以获得有效的微流体操纵即通过要求λSAW～1的设备10。与图9(a)至图9(c)和10(a)至图10(c)分别示出的由纯SRBW或纯SAW驱动的微流体操纵或雾化相比，图11(a)和图11(b)示出了在微流体操纵或雾化性能方面存在显著地增强(例如，雾化率的数量级的增大)当两种现象被组合时，这在下文中可以被称为HYbriD谐振声学(HYDRA)。另一方面，如由激光衍射(Spraytec,Malvern Instruments，英国Malvern)所确定的，生成的气雾的尺寸分布指示平均气体动力学直径位于1μm至3μm的范围内用于向肺部肺泡区域的最佳剂量递送。超过该范围的气雾由于它们不能跟随吸入的气流轨迹在呼吸系统的高度分叉分支网络中行进因此主要地沉积在上呼吸道中，然而低于该范围的气雾趋于被呼出。
图12是在该示例中生成的混合的SAW/SRBW的示例LDV分布，而图13是在示例1中生成的纯SAW的示例LDV分布。
本发明的实施方式提供了小的、紧凑的、低成本和电池供电的具有增大的声波能量利用率的声波微流体设备，该设备用于包括那些需要等于或大于1ml/min的增大的微流体雾化率或雾状率的广泛的微流体应用和操作。除了流体和微滴的成雾状和雾化之外，由实施方式设备执行的微流体操作可以包括对铌酸锂(以及其它的压电衬底)的声波微流体操作的所有其它的可替选或等效的类型，声波微流体操作包括但不限于流体输送、混合、喷射、分选、离心、颗粒捕获、颗粒分选、包衣、封装、操纵和它们的组合。本发明的不同实施方式被不同地配置以使用声波能量SAW、SRBW和驻声波的不同模式的不同组合以优化可用于雾化液体的净声波能量。这导致与先前提出的设备相比能够提供流体、微滴、液体或反应的非常高且有效的微流体操纵率的声波微流体设备。
出于本说明书的目的，词语“包括”意指“包括但不限于”，并且词语“包括”具有相应的含义。
仅以示例的方式描述了上述实施方式并且在所附权利要求的范围内修改是可行的。

Claims (31)

1.一种设备，包括：
衬底上的电声换能器；
用于向所述电声换能器供应电磁波能量的电源；以及
能够移动至所述衬底的物质的源；
其中，所述电声换能器和所述衬底被配置成生成被用来将所述物质从所述源移动至所述衬底并且操纵所述衬底上的所述物质的声波能量。
2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述声波能量包括沿着所述衬底的第一表面、所述衬底的相对的第二表面或它们的组合传播的表面声波(SAW)。
3.根据权利要求1或2所述的设备，其中，所述衬底具有与所述SAW的波长可比较的厚度。
4.根据任一前述权利要求所述的设备，其中，所述声波能量包括SAW和表面反射体波(SRBW)的组合。
5.根据权利要求4所述的设备，其中，所述SRBW包括通过在所述第一表面与所述第二表面之间通过所述衬底的内反射来沿着所述第一表面和所述第二表面传播的体声波。
6.根据权利要求4或5所述的设备，其中，SAW和SRBW的组合被用来将所述物质从所述源移动至所述衬底并且操纵所述衬底上的所述物质。
7.根据权利要求2或3所述的设备，其中，所述声波能量包括SAW和所述电声换能器中的驻声波的组合，并且其中，SAW被用来将所述物质从所述源沿着所述衬底移动至所述电声换能器上作为薄液膜，并且其中，所述电声换能器中的所述驻声波被用来使所述薄液膜雾化或成雾状。
8.根据任一前述权利要求所述的设备，其中，所述物质的所述源被布置在所述衬底的表面、所述衬底的侧边缘、所述衬底的端边缘或它们的组合之上、之中或与之紧邻。
9.根据任一前述权利要求所述的设备，其中，所述电声换能器包括被布置在所述衬底的所述第一表面、所述衬底的所述第二表面或它们的组合上的一个或更多个叉指式换能器。
10.根据任一前述权利要求所述的设备，其中，所述衬底包括单晶压电衬底。
11.根据权利要求10所述的设备，其中，所述单晶压电衬底包括旋转Y切割的铌酸锂或钽酸锂。
12.根据任一前述权利要求所述的设备，其中，所述电源、所述衬底和所述源被集成在通用串行总线保持器中。
13.根据任一前述权利要求所述的设备，其中，所述电源包括电池。
14.根据任一前述权利要求所述的设备，其中，所述物质包括可移动物质，所述可移动物质包括液体、固体、气体或它们的组合或混合物。
15.根据任一前述权利要求所述的设备，其中，所述物质包括选自于药物、可溶物质、聚合物、蛋白质、肽、DNA、RNA、细胞、干细胞、气味、芳香剂、尼古丁、化妆品、农药、杀虫剂和它们的组合的功能剂或治疗剂。
16.根据任一前述权利要求所述的设备，其中，所述物质以等于或大于1ml/min的速率被雾化或成雾状。
17.一种方法，包括：
使用混合声波能量将物质从其源移动至衬底；以及
使用所述混合声波能量操纵所述衬底的至少一个表面上的所述物质；
其中，所述混合声波能量包括沿着所述衬底的所述至少一个表面传播的表面声波、以及在所述衬底的所述至少一个表面与所述衬底的至少一个其它表面之间内反射的体声波。
18.一种方法，包括：
使衬底上的物质经受混合声波能量，所述混合声波能量包括：
沿着所述衬底的至少一个表面传播的表面声波，结合以下中的一者或两者：
在所述衬底的所述至少一个表面与所述衬底的至少一个其它表面之间内反射的体声波；
在所述衬底的所述至少一个表面上的电声换能器中传播的驻声波。
19.一种用于肺部药物递送的吸入器或喷雾器，包括根据权利要求1至16中的任一项所述的设备。
20.一种用于眼部药物递送的眼睛佩戴物，包括根据权利要求1至16中的任一项所述的设备。
21.一种电子烟，包括根据权利要求1至16中的任一项所述的设备。
22.一种气味生成器，包括根据权利要求1至16中的任一项所述的设备。
23.一种方法，包括使用根据权利要求1至16中的任一项所述的设备来对物质执行微流体操作，其中，所述微流体操作包括雾化、成雾状、移动、输送、混合、喷射、流动、离心、捕获、分离、分选、包衣、封装、操纵、脱盐、净化、剥离、分层和它们的组合。
24.一种方法，包括使用根据权利要求1至16中的任一项所述的设备来使可溶物质雾化或成雾状以产生具有1nm至1mm的直径的颗粒、粉末或晶体。
25.一种方法，包括使用根据权利要求1至16中的任一项所述的设备来对具有1nm至1mm的直径的颗粒或粉末内的用于治疗目的的药物分子进行包衣或封装。
26.一种方法，包括使用根据权利要求1至16中的任一项所述的设备来通过从液体中分离盐、晶体或杂质来对所述液体进行净化或脱盐。
27.一种方法，包括使用根据权利要求1至16中的任一项所述的设备来将材料从三维(3D)体形式剥离为二维(2D)剥离形式。
28.根据权利要求27所述的方法，其中，所述材料包括石墨烯、氮化硼(BN)、过渡金属硫化物、过渡金属氧化物、黑磷、硅烯、锗烯和它们的组合。
29.根据权利要求27或28所述的方法，其中，所述材料的3D体形式包括处于液体的材料或嵌入材料。
30.根据权利要求27至29中的任一项所述的方法，其中，所述材料的2D剥离形式包括片材、量子点(QD)、薄片、层、膜或它们的组合或多体或结构。
31.根据权利要求27至30中的任一项所述的方法，其中，所述材料的2D剥离形式具有在1nm与2000nm之间的横向尺寸。
CN201680033776.0A 2015-05-13 2016-05-13 具有增大的声波能量利用率的声波微流体设备 Pending CN107921457A (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AU2015901737A AU2015901737A0 (en) 2015-05-13 Acoustic wave atomisation devices with increased acoustic wave energy utilisation
AU2015901737 2015-05-13
PCT/AU2016/050363 WO2016179664A1 (en) 2015-05-13 2016-05-13 Acoustic wave microfluidic devices with increased acoustic wave energy utilisation

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN107921457A true CN107921457A (zh) 2018-04-17

Family

ID=57247619

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201680033776.0A Pending CN107921457A (zh) 2015-05-13 2016-05-13 具有增大的声波能量利用率的声波微流体设备

Country Status (7)

Country Link
US (1) US11857992B2 (zh)
EP (1) EP3294465A4 (zh)
JP (1) JP7034714B2 (zh)
CN (1) CN107921457A (zh)
AU (1) AU2016262132B2 (zh)
CA (1) CA2985216C (zh)
WO (1) WO2016179664A1 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110961031A (zh) * 2019-11-29 2020-04-07 淮阴工学院 一种非接触式微/纳颗粒操控方法
CN112916286A (zh) * 2021-01-13 2021-06-08 哈尔滨工业大学（深圳） 一种微滴喷射装置和相关方法

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20160345631A1 (en) 2005-07-19 2016-12-01 James Monsees Portable devices for generating an inhalable vapor
US10279934B2 (en) 2013-03-15 2019-05-07 Juul Labs, Inc. Fillable vaporizer cartridge and method of filling
US10638792B2 (en) 2013-03-15 2020-05-05 Juul Labs, Inc. Securely attaching cartridges for vaporizer devices
USD842536S1 (en) 2016-07-28 2019-03-05 Juul Labs, Inc. Vaporizer cartridge
DE202014011221U1 (de) 2013-12-23 2018-09-13 Juul Labs Uk Holdco Limited Systeme für eine Verdampfungsvorrichtung
USD825102S1 (en) 2016-07-28 2018-08-07 Juul Labs, Inc. Vaporizer device with cartridge
US10159282B2 (en) 2013-12-23 2018-12-25 Juul Labs, Inc. Cartridge for use with a vaporizer device
US20160366947A1 (en) 2013-12-23 2016-12-22 James Monsees Vaporizer apparatus
US10076139B2 (en) 2013-12-23 2018-09-18 Juul Labs, Inc. Vaporizer apparatus
US10058129B2 (en) 2013-12-23 2018-08-28 Juul Labs, Inc. Vaporization device systems and methods
GB201420061D0 (en) 2014-11-11 2014-12-24 Univ Glasgow Nebulisation of liquids
AU2015357509B2 (en) 2014-12-05 2021-05-20 Juul Labs, Inc. Calibrated dose control
WO2017139595A1 (en) 2016-02-11 2017-08-17 Pax Labs, Inc. Fillable vaporizer cartridge and method of filling
US10405582B2 (en) 2016-03-10 2019-09-10 Pax Labs, Inc. Vaporization device with lip sensing
USD849996S1 (en) 2016-06-16 2019-05-28 Pax Labs, Inc. Vaporizer cartridge
USD836541S1 (en) 2016-06-23 2018-12-25 Pax Labs, Inc. Charging device
USD851830S1 (en) 2016-06-23 2019-06-18 Pax Labs, Inc. Combined vaporizer tamp and pick tool
US20200164398A1 (en) * 2017-07-21 2020-05-28 The Regents Of The University Of California Acoustic wave atomizer
WO2019040423A1 (en) * 2017-08-23 2019-02-28 Northwestern University MULTIPLE ROOM FLUID PLATFORM
USD887632S1 (en) 2017-09-14 2020-06-16 Pax Labs, Inc. Vaporizer cartridge
WO2019079857A1 (en) * 2017-10-26 2019-05-02 Royal Melbourne Institute Of Technology METHOD AND APPARATUS FOR INTRACELLULAR DISTRIBUTION WITH ACOUSTIC MEDIATION
US20200391246A1 (en) * 2017-12-11 2020-12-17 Royal Melbourne Institute Of Technology Apparatus for Addressing Wells Within a Microarray Plate
AU2019248020A1 (en) * 2018-04-05 2020-10-15 Royal Melbourne Institute Of Technology Multi surface acoustic nebuliser
WO2019198162A1 (ja) * 2018-04-10 2019-10-17 日本たばこ産業株式会社 霧化ユニット
EP3796212A1 (en) 2019-09-23 2021-03-24 Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Device for image-based cell classification, method therefor and use thereof
WO2021174310A1 (en) * 2020-03-06 2021-09-10 Royal Melbourne Institute Of Technology Metal organic frameworks
WO2022015210A1 (en) 2020-07-13 2022-01-20 Royal Melbourne Institute Of Technology Method for preparing a two-dimensional material with the formula mn+1xnts or(m1x,ny)2cts
KR102610469B1 (ko) * 2020-08-24 2023-12-07 크루셜텍(주) 에어로졸 발생 장치

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6273342B1 (en) * 1997-10-06 2001-08-14 Omron Corporation Atomizer
JP2008104974A (ja) * 2006-10-26 2008-05-08 Matsushita Electric Works Ltd 弾性表面波霧化装置
CN101557882A (zh) * 2006-11-14 2009-10-14 特莱迈奎公司 超声液体雾化器
CN102458684A (zh) * 2009-05-11 2012-05-16 莫纳什大学 用于液体雾化的微流体设备
CN102458627A (zh) * 2009-06-22 2012-05-16 松下电器产业株式会社 使用弹性表面波的雾或者微小气泡的产生方法以及雾或者微小气泡产生装置
CN102985190A (zh) * 2010-11-11 2013-03-20 株式会社赛勒芙特 雾化装置
CN202933816U (zh) * 2012-04-16 2013-05-15 微邦科技股份有限公司 具改良式喷孔片的雾化结构及其雾化装置
EP2603327A2 (en) * 2010-08-11 2013-06-19 The Technology Partnership PLC Electronic spray drive improvements

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4142163A (en) * 1977-11-23 1979-02-27 Rca Corporation Surface acoustic wave device with reduced spurious responses
JP3312216B2 (ja) * 1998-12-18 2002-08-05 オムロン株式会社 噴霧装置
JP2004190537A (ja) 2002-12-10 2004-07-08 Japan Science & Technology Agency 弾性表面波を用いた液体駆動方法および装置
EP1703939A2 (en) 2003-12-15 2006-09-27 Sonenco Ltd. Ultrasonic drug-delivery system
WO2011010282A1 (en) * 2009-07-22 2011-01-27 Koninklijke Philips Electronics N.V. A nebulizer
CN102981090A (zh) 2012-09-30 2013-03-20 西安星云网络有限公司 检测安防系统的视频接头连接状况的装置
AU2013201383B2 (en) * 2013-03-01 2015-07-02 Royal Melbourne Institute Of Technology Atomisation apparatus using surface acoustic wave generaton
CN103981090B (zh) 2014-05-09 2016-05-18 深圳先进技术研究院 基因导入芯片及基因导入方法
GB201420061D0 (en) * 2014-11-11 2014-12-24 Univ Glasgow Nebulisation of liquids
US20200324099A1 (en) 2016-04-06 2020-10-15 Mupharma Pty Ltd Acoustic wave mediated non-invasive drug delivery

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6273342B1 (en) * 1997-10-06 2001-08-14 Omron Corporation Atomizer
JP2008104974A (ja) * 2006-10-26 2008-05-08 Matsushita Electric Works Ltd 弾性表面波霧化装置
CN101557882A (zh) * 2006-11-14 2009-10-14 特莱迈奎公司 超声液体雾化器
CN102458684A (zh) * 2009-05-11 2012-05-16 莫纳什大学 用于液体雾化的微流体设备
CN102458627A (zh) * 2009-06-22 2012-05-16 松下电器产业株式会社 使用弹性表面波的雾或者微小气泡的产生方法以及雾或者微小气泡产生装置
EP2603327A2 (en) * 2010-08-11 2013-06-19 The Technology Partnership PLC Electronic spray drive improvements
CN102985190A (zh) * 2010-11-11 2013-03-20 株式会社赛勒芙特 雾化装置
CN202933816U (zh) * 2012-04-16 2013-05-15 微邦科技股份有限公司 具改良式喷孔片的雾化结构及其雾化装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110961031A (zh) * 2019-11-29 2020-04-07 淮阴工学院 一种非接触式微/纳颗粒操控方法
CN112916286A (zh) * 2021-01-13 2021-06-08 哈尔滨工业大学（深圳） 一种微滴喷射装置和相关方法

Also Published As

Publication number Publication date
AU2016262132B2 (en) 2021-09-09
CA2985216A1 (en) 2016-11-17
EP3294465A4 (en) 2019-01-02
WO2016179664A1 (en) 2016-11-17
US11857992B2 (en) 2024-01-02
US20180141073A1 (en) 2018-05-24
JP2018528057A (ja) 2018-09-27
AU2016262132A1 (en) 2017-12-07
JP7034714B2 (ja) 2022-03-14
CA2985216C (en) 2023-05-09
EP3294465A1 (en) 2018-03-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107921457A (zh) 具有增大的声波能量利用率的声波微流体设备
JP2018528057A5 (zh)
Alvarez et al. Rapid generation of protein aerosols and nanoparticles via surface acoustic wave atomization
Ashtiani et al. Delivery of femtolitre droplets using surface acoustic wave based atomisation for cryo-EM grid preparation
Yeo et al. Ultrafast microfluidics using surface acoustic waves
KR102450885B1 (ko) 3차원 구조물의 첨삭 가공을 위한 장치 및 방법
CN103492078B (zh) 用于流体样本的表面声波处理的射流装置、射流装置的用途以及制造射流装置的方法
US8991722B2 (en) Microfluidic apparatus for the atomisation of a liquid
WO2013155513A1 (en) Devices and methods for in vitro aerosol delivery
WO2020019030A1 (en) Nebulizer
US20040151059A1 (en) Deagglomerator apparatus and method
JP2011509785A5 (zh)
Yaakov et al. Single cell encapsulation via pickering emulsion for biopesticide applications
CA2516733A1 (en) Process for the production of particles
CN109195698A (zh) 空中制造单一液滴、复合液滴和形状受控(复合)颗粒或纤维的方法和装置
Lu et al. Gas-assisted annular microsprayer for sample preparation for time-resolved cryo-electron microscopy
EP3580556B1 (en) Device and method for intracellular delivery of biomolecular cargo via acoustic wave exposure
Park et al. Programmable stepwise collective magnetic self-assembly of micropillar arrays
Steinacher et al. Spray-assisted formation of micrometer-sized emulsions
Nazarzadeh et al. Confinement of surface waves at the air-water interface to control aerosol size and dispersity
EP1200198B1 (de) Aktorbauglied für einen mikrozerstäuber und verfahren zu seiner herstellung
AU2014336971B2 (en) Piezoelectric actuation platform
EP1383594A1 (en) Deagglomerator apparatus and method
Karra et al. Integrating an aerosolized drug delivery device with conventional static cultures and a dynamic airway barrier microphysiological system
CN102499892A (zh) 基于液滴表面张力驱动的药物封装方法及采用该方法制备的药物

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination