CN107905991A - 一种自动检知泵内漏水的侦测系统 - Google Patents

一种自动检知泵内漏水的侦测系统 Download PDF

Info

Publication number
CN107905991A
CN107905991A CN201711115956.6A CN201711115956A CN107905991A CN 107905991 A CN107905991 A CN 107905991A CN 201711115956 A CN201711115956 A CN 201711115956A CN 107905991 A CN107905991 A CN 107905991A
Authority
CN
China
Prior art keywords
vacuum pump
leak
detecting system
port
detection line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201711115956.6A
Other languages
English (en)
Inventor
顾颖豪
袁海岭
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Huali Microelectronics Corp
Original Assignee
Shanghai Huali Microelectronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Huali Microelectronics Corp filed Critical Shanghai Huali Microelectronics Corp
Priority to CN201711115956.6A priority Critical patent/CN107905991A/zh
Publication of CN107905991A publication Critical patent/CN107905991A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B51/00—Testing machines, pumps, or pumping installations
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
    • F04B49/02—Stopping, starting, unloading or idling control
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
    • F04B49/10—Other safety measures

Abstract

本发明公开了一种自动检知泵内漏水的侦测系统，其中包括，漏水检知线，铺设于真空泵内的蓄水槽内，用于检测真空泵内的橡胶冷却管是否会有水滴流出；真空泵控制器，连接漏水检知线，用于将接受收到的信号进行处理并且输出预警信号，反馈至真空泵机台。本发明的技术方案有益效果在于：公开一种自动检知泵内漏水的侦测系统，可自动地检测真空泵体内部的漏水情况，并第一时间内发出反馈信息，并且铺设装置结构简单，改造难度低，成本低，提高漏水安全事故的对应速度，改善了漏水安全防护效率。

Description

一种自动检知泵内漏水的侦测系统
技术领域
本发明涉及半导体检测技术领域，尤其涉及一种自动检知泵内漏水的侦测系统。
背景技术
随着半导体工艺的不断进步，工艺精度的不断提高，对真空泵的要求不单单只是在性能上进行改进，对其整体的安全防护措施也逐步列为半导体厂的硬性需求范围。
在现有技术中，由于真空泵使用的橡胶水管在运行一定时间后存在老化或者腐蚀的现象，水滴就会流出，半导体厂内的漏水检知设施只能侦测设备外围地面的漏水情况，而无法得知设备内部是否有水，一般情况下，是设备的内部漏水到一定程度后溢出，才会触碰厂务漏水侦测系统，有一定的滞后性。当设备大面积漏水时，影响其他设备的正常工作，并且修复工作复杂，从而影响安全防护效率。
发明内容
针对现有技术中存在的上述问题，现提供旨在一种装置铺设结构简单，改造难度低的自动检知泵内漏水的侦测系统。
具体技术方案如下：
一种自动检知泵内漏水的侦测系统，其中包括，
漏水检知线，铺设于所述真空泵内的蓄水槽内，用于检测真空泵内的橡胶冷却管是否会有水滴流出；
真空泵控制器，连接所述漏水检知线，用于将接受收到的信号进行处理并且输出预警信号，反馈至所述真空泵机台。
优选的，所述漏水检知线铺设于所述真空泵内的蓄水槽的四周。
优选的，所述真空泵内的蓄水槽的四周贴着边缘进行布线。
优选的，所述漏水检知线贴着所述真空泵内的蓄水槽的边缘进行布线。
优选的，所述真空泵控制器设置第一端口。
优选的，所述第一端口为数字信号端口，所述漏水检知线电连接所述第一端口。
优选的，所述第一端口的功能设置为启动状态。
优选的，所述启动状态将所述第一端口从断开状态变为闭合状态，并输出预警信号。
优选的，一种真空泵装置，包括上述任一所述的侦测系统。
本发明的技术方案有益效果在于：公开一种自动检知泵内漏水的侦测系统，可自动地检测真空泵体内部的漏水情况，并第一时间内发出反馈信息，并且铺设装置结构简单，改造难度低，成本低，提高漏水安全事故的对应速度，改善了漏水安全防护效率。
附图说明
参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。
图1为本发明一种自动检知泵内漏水的侦测系统的实施例的装置结构图；
图2为本发明的实施例中，关于自动检知泵内漏水的侦测系统的原理框图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。
本发明包括一种自动检知泵内漏水的侦测系统，其中包括，
漏水检知线1，铺设于真空泵内2的蓄水槽20内，用于检测真空泵内的橡胶冷却管是否会有水滴出；
真空泵控制器21，连接漏水检知线1，用于将接受收到的信号进行处理并且输出预警信号，反馈至真空泵机台。
通过上述自动检知泵内漏水的侦测系统的技术方案，漏水检知线1铺设于真空泵内2的蓄水槽20内，用于检测真空泵内的橡胶冷却管是否会有水滴出，真空泵控制器21连接漏水检知线1，用于将接受收到的信号进行处理并且输出预警信号，反馈至真空泵机台。
本发明的一种较优的实施例中，漏水检知线1铺设于所述真空泵2内的蓄水槽20的四周。
本发明的一种较优的实施例中，真空泵2内的蓄水槽20的四周贴着边缘进行布线。
本发明的一种较优的实施例中，漏水检知线1贴着真空泵2内的蓄水槽20的边缘进行布线。
本发明的一种较优的实施例中，真空泵控制器21设置第一端口210。
本发明的一种较优的实施例中，第一端口210为数字信号端口，漏水检知线1电连接第一端口210。
本发明的一种较优的实施例中，第一端口210的功能设置为启动状态。
本发明的一种较优的实施例中，启动状态将所述第一端口从断开状态变为闭合状态，并输出预警信号。
本发明的一种较优的实施例中，一种真空泵装置，包括上述任一所述的侦测系统。
具体地，在本实施例中，利用漏水检知线1的功能，将漏水检知线1铺设于真空泵2内的蓄水槽20的四周，并贴着真空泵20内的蓄水槽21的边缘进行布线，漏水检知线1电连接真空泵控制器21的第一端口210，真空泵控制器21将接收到漏水检知线1的模拟信号转换为数字信号，第一端口210为数字信号端口，并将数字信号功能设置为启动状态，启动状态使得第一端口20从断开状态变为闭合状态，并引发真空泵2的预警信号，预警信号会在第一时间反馈给真空泵2机台，可以在大面积漏水之前，得以修复，提高了漏水安全事故的对应速度，防止事故扩大化，改善了漏水安全防护效率。
以上所述仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本发明的保护范围内。

Claims (8)

1.一种自动检知泵内漏水的侦测系统，适用于真空泵装置，其特征在于，包括：
漏水检知线，铺设于所述真空泵内的蓄水槽内，用于检测真空泵内的橡胶冷却管是否会有水滴流出；
真空泵控制器，连接所述漏水检知线，用于将接受收到的信号进行处理并且输出预警信号，反馈至所述真空泵机台。
2.根据权利要求1所述的侦测系统，其特征在于，所述漏水检知线铺设于所述真空泵内的蓄水槽的四周。
3.根据权利要求2所述的侦测系统，其特征在于，所述真空泵内的蓄水槽的四周贴着边缘进行布线。
4.根据权利要求1所述的侦测系统，其特征在于，所述真空泵控制器设置第一端口。
5.根据权利要求4所述的侦测系统，其特征在于，所述第一端口为数字信号端口，所述漏水检知线电连接所述第一端口。
6.根据权利要求4所述的侦测系统，其特征在于，所述第一端口的功能设置为启动状态。
7.根据权利要求6所述的侦测系统，其特征在于，所述启动状态将所述第一端口从断开状态变为闭合状态，并输出预警信号。
8.一种真空泵装置，其特征在于，包括如权利要求1-7中任一所述的侦测系统。
CN201711115956.6A 2017-11-13 2017-11-13 一种自动检知泵内漏水的侦测系统 Pending CN107905991A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201711115956.6A CN107905991A (zh) 2017-11-13 2017-11-13 一种自动检知泵内漏水的侦测系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201711115956.6A CN107905991A (zh) 2017-11-13 2017-11-13 一种自动检知泵内漏水的侦测系统

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN107905991A true CN107905991A (zh) 2018-04-13

Family

ID=61843872

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201711115956.6A Pending CN107905991A (zh) 2017-11-13 2017-11-13 一种自动检知泵内漏水的侦测系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107905991A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110529375A (zh) * 2019-07-26 2019-12-03 宁波钱湖石油设备有限公司 易于检漏的往复泵

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2293037A2 (en) * 1997-05-26 2011-03-09 Martin Lehmann Method and apparatus for leak testing
US20130171919A1 (en) * 2010-08-05 2013-07-04 Ebara Corporation Exhaust system
CN203404056U (zh) * 2013-06-28 2014-01-22 青岛道安工贸有限公司 真空泵水位控制系统
CN204071767U (zh) * 2014-07-25 2015-01-07 罗红光 一种用于饮水机带漏水检测功能的融冰蠕动泵

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2293037A2 (en) * 1997-05-26 2011-03-09 Martin Lehmann Method and apparatus for leak testing
US20130171919A1 (en) * 2010-08-05 2013-07-04 Ebara Corporation Exhaust system
CN203404056U (zh) * 2013-06-28 2014-01-22 青岛道安工贸有限公司 真空泵水位控制系统
CN204071767U (zh) * 2014-07-25 2015-01-07 罗红光 一种用于饮水机带漏水检测功能的融冰蠕动泵

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110529375A (zh) * 2019-07-26 2019-12-03 宁波钱湖石油设备有限公司 易于检漏的往复泵

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103112422B (zh) 车辆涉水时车辆及人员安全保护系统
CN103759907A (zh) 一种egr管路故障检测方法
CN202547892U (zh) 检测管路漏水的装置
CN201039934Y (zh) 饮料机加热水箱的水位控制装置
CN107905991A (zh) 一种自动检知泵内漏水的侦测系统
CN101339421A (zh) 一种无线控制的漏水检测保护装置
CN105181349A (zh) 汽车天窗淋雨检测设备
CN104757881A (zh) 饮水机的漏水智能保护装置
CN203939080U (zh) 一种自保引水自吸水泵
CN104330207B (zh) 水上水下两用的扭矩传感器校准装置
CN102525273A (zh) 管线式饮水设备
CN203186109U (zh) 车辆涉水时车辆及人员安全保护装置
CN104266536B (zh) 一种空冷塔液位控制方法及装置
CN103148915A (zh) 车辆涉水传感装置
CN208833281U (zh) 消火栓出水检测装置和消火栓
CN105090756A (zh) 油气管道泄漏处理系统
CN207570744U (zh) 一种汽轮机凝汽器灌水查漏装置
CN204543362U (zh) 一种消防车供水控制装置
CN205898576U (zh) 钢瓶水压试验系统
CN202420841U (zh) 一种大坝泄洪闸门橡胶密封圈检测系统
CN205401666U (zh) 船载海上风电换油设备的输油管的连接保护装置
CN205118294U (zh) 一种安装可伸缩的闸阀
CN201876342U (zh) 一种产品密封测试简易测试箱
CN204248788U (zh) 防错遮盖工装
CN204750521U (zh) 一种船台自动排水系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20180413

RJ01 Rejection of invention patent application after publication