CN107859613A - 一种光控微泵装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种光控微泵装置，特点是包括泵壳、设置在泵壳的一端的第一PLZT陶瓷封盖和设置在泵壳的另一端的第二PLZT陶瓷封盖，第一PLZT陶瓷封盖的外侧设置有第一紫外光源，第二PLZT陶瓷封盖的外侧设置有第二紫外光源，泵壳上设置有入水口和出水口，泵壳内部设置有环绕泵壳的中心轴线均匀分布的第一泵体、第二泵体、第三泵体和第四泵体；优点是不仅避免了PLZT陶瓷光生电压与泵膜形变之间的滞后性，而且使整体结构简单紧凑；第一泵体、第二泵体、第三泵体和第四泵体四个泵体保持相互并联的连接结构，第一紫外光源和第二紫外光源交替周期性照射，从而保证液体流量的持续稳定，液体流量脉动小，便于精确控制液体输出。
Description
技术领域
本发明涉及一种微泵装置，尤其是一种光控微泵装置。
背景技术
微泵是微流控系统中重要的执行部件，是微流控系统的核心，被广泛应用于药物微量输送和配给、生物化学分析、芯片系统冷却以及微小卫星的推进等领域。目前应用较为广泛的是容积式微泵，通过泵膜的往复变化引起泵体容积変化，配合进出口阀实现液体的精确泵送。泵膜的驱动技术是微泵技术的核心，微泵的性能和应用场合取决于不同的泵膜驱动技术，目前泵膜的驱动方式主要有压电、静电、电磁、形状记忆合金等。压电驱动存在驱动位移较小，所需驱动电压高，易受电磁干扰等缺点；静电驱动力较小，泵膜位移也较小且所需电压高，加工工艺要求高；电磁驱动受电磁线圈尺寸限制，不易于结构微型化；形状记忆合金需要通过加热和降温进行驱动，热量扩散慢，因此频率较低，受温度影响较大且可控性差。
综上所述，以上各种驱动方式均有各自的特点和应用场合，但是均需要外部电磁激发装置，易受电磁干扰。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种整体结构简单紧凑且能够保证液体流量的持续稳定的光控微泵装置。
本发明解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种光控微泵装置，包括泵壳、设置在所述的泵壳的一端的第一PLZT陶瓷封盖和设置在所述的泵壳的另一端的第二PLZT陶瓷封盖，所述的第一PLZT陶瓷封盖的外侧设置有第一紫外光源，所述的第二PLZT陶瓷封盖的外侧设置有第二紫外光源，所述的泵壳上设置有入水口和出水口，所述的泵壳内部设置有环绕所述的泵壳的中心轴线均匀分布的第一泵体、第二泵体、第三泵体和第四泵体，所述的第一泵体与所述的第二泵体关于所述的泵壳的中心轴线对称分布，所述的第三泵体和所述的第四泵体关于所述的泵壳的中心轴线对称分布，所述的第一泵体靠近所述的第一PLZT陶瓷封盖的一端设置有第一泵膜，所述的第一泵膜的外侧固定设置有第一介电弹性体薄膜，所述的第一泵体内设置有第一泵腔，所述的第一泵腔通过第一入水通道与所述的入水口连通，所述的第一泵腔与所述的第一入水通道之间设置有第一单向入水阀，所述的第一泵腔通过第一出水通道与所述的出水口连通，所述的第一泵腔与所述的第一出水通道之间设置有第一单向出水阀，所述的第二泵体靠近所述的第二PLZT陶瓷封盖的一端设置有第二泵膜，所述的第二泵膜的外侧固定设置有第二介电弹性体薄膜，所述的第二泵体内设置有第二泵腔，所述的第二泵腔通过第二入水通道与所述的入水口连通，所述的第二泵腔与所述的第二入水通道之间设置有第二单向入水阀，所述的第二泵腔通过第二出水通道与所述的出水口连通，所述的第二泵腔与所述的第二出水通道之间设置有第二单向出水阀，所述的第三泵体靠近所述的第一PLZT陶瓷封盖的一端设置有第三泵膜，所述的第三泵膜的外侧固定设置有第三介电弹性体薄膜，所述的第三泵体内设置有第三泵腔，所述的第三泵腔通过第三入水通道与所述的入水口连通，所述的第三泵腔与所述的第三入水通道之间设置有第三单向入水阀，所述的第三泵腔通过第三出水通道与所述的出水口连通，所述的第三泵腔与所述的第三出水通道之间设置有第三单向出水阀，所述的第四泵体靠近所述的第一PLZT陶瓷封盖的一端设置有第四泵膜，所述的第四泵膜的外侧固定设置有第四介电弹性体薄膜，所述的第四泵体内设置有第四泵腔，所述的第四泵腔通过第四入水通道与所述的入水口连通，所述的第四泵腔与所述的第四入水通道之间设置有第四单向入水阀，所述的第四泵腔通过第四出水通道与所述的出水口连通，所述的第四泵腔与所述的第四出水通道之间设置有第四单向出水阀，所述的第一PLZT陶瓷封盖的正极、所述的第二PLZT陶瓷封盖的正极、所述的第一介电弹性体薄膜的正极、所述的第二介电弹性体薄膜的正极、所述的第三介电弹性体薄膜的负极及所述的第四介电弹性体薄膜的负极电连接，所述的第一PLZT陶瓷封盖的负极、所述的第二PLZT陶瓷封盖的负极、所述的第一介电弹性体薄膜的负极、所述的第二介电弹性体薄膜的负极、所述的第三介电弹性体薄膜的正极及所述的第四介电弹性体薄膜的正极电连接。
所述的第一泵膜通过环氧树脂粘结剂与所述的第一介电弹性体薄膜粘结固定，所述的第一介电弹性体薄膜的面积小于所述的第一泵膜的面积，所述的第一介电弹性体薄膜的弹性模量大于所述的第一泵膜的弹性模量，所述的第二泵膜通过环氧树脂粘结剂与所述的第二介电弹性体薄膜粘结固定，所述的第二介电弹性体薄膜的面积小于所述的第二泵膜的面积，所述的第二介电弹性体薄膜的弹性模量大于所述的第二泵膜的弹性模量，所述的第三泵膜通过环氧树脂粘结剂与所述的第三介电弹性体薄膜粘结固定，所述的第三介电弹性体薄膜的面积小于所述的第三泵膜的面积，所述的第三介电弹性体薄膜的弹性模量大于所述的第三泵膜的弹性模量，所述的第四泵膜通过环氧树脂粘结剂与所述的第四介电弹性体薄膜粘结固定，所述的第四介电弹性体薄膜的面积小于所述的第四泵膜的面积，所述的第四介电弹性体薄膜的弹性模量大于所述的第四泵膜的弹性模量。
所述的第一介电弹性体薄膜、所述的第二介电弹性体薄膜、所述的第三介电弹性体薄膜和所述的第四介电弹性体薄膜均采用介电型电致动聚合物，所述的第一泵膜、所述的第二泵膜、所述的第三泵膜和所述的第四泵膜均采用柔性高分子材料。
与现有技术相比，本发明的优点在于利用PLZT陶瓷的反常光生伏特效应和介电弹性体薄膜的电致形变效应，可以实现光能到电能再到机械能的转化，即当利用两股高能紫外光束周期性的分别照射第一PLZT陶瓷封盖和第二PLZT陶瓷封盖时，在第一PLZT陶瓷封盖和第二PLZT陶瓷封盖的两端电极产生电压，相应的介电弹性体薄膜在电压作用下产生变形，使对应的泵膜产生凸起或凹陷，从而使泵腔的容积发生周期性变化，实现液体的泵送，不仅避免了PLZT陶瓷光生电压与泵膜形变之间的滞后性，而且使整体结构简单紧凑；同时，该装置的驱动光源为紫外光，可实现光控非接触式操作，避免了电磁噪声干扰；利用PLZT陶瓷高光生电压以及介电弹性体薄膜毫秒级响应速度和形变量大的特点，第一泵体、第二泵体、第三泵体和第四泵体四个泵体保持相互并联的连接结构，第一紫外光源和第二紫外光源交替周期性照射，从而保证液体流量的持续稳定，液体流量脉动小，便于精确控制液体输出。
附图说明
图1为本发明的部分结构示意图一；
图2为本发明的部分结构示意图二；
图3为本发明的电路连接结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本发明作进一步详细描述。
一种光控微泵装置，包括泵壳1、设置在泵壳1的一端的第一PLZT陶瓷封盖11和设置在泵壳1的另一端的第二PLZT陶瓷封盖12，第一PLZT陶瓷封盖11的外侧设置有第一紫外光源13，第二PLZT陶瓷封盖12的外侧设置有第二紫外光源14，泵壳1上设置有入水口15和出水口16，泵壳1内部设置有环绕泵壳1的中心轴线均匀分布的第一泵体2、第二泵体3、第三泵体4和第四泵体5，第一泵体2与第二泵体3关于泵壳1的中心轴线对称分布，第三泵体4和第四泵体5关于泵壳1的中心轴线对称分布，第一泵体2靠近第一PLZT陶瓷封盖11的一端设置有第一泵膜21，第一泵膜21的外侧固定设置有第一介电弹性体薄膜22，第一泵体2内设置有第一泵腔23，第一泵腔23通过第一入水通道24与入水口15连通，第一泵腔23与第一入水通道24之间设置有第一单向入水阀25，第一泵腔23通过第一出水通道26与出水口16连通，第一泵腔23与第一出水通道26之间设置有第一单向出水阀27，第二泵体3靠近第二PLZT陶瓷封盖12的一端设置有第二泵膜31，第二泵膜31的外侧固定设置有第二介电弹性体薄膜32，第二泵体3内设置有第二泵腔33，第二泵腔33通过第二入水通道34与入水口15连通，第二泵腔33与第二入水通道34之间设置有第二单向入水阀35，第二泵腔33通过第二出水通道36与出水口16连通，第二泵腔33与第二出水通道36之间设置有第二单向出水阀37，第三泵体4靠近第一PLZT陶瓷封盖11的一端设置有第三泵膜41，第三泵膜41的外侧固定设置有第三介电弹性体薄膜42，第三泵体4内设置有第三泵腔43，第三泵腔43通过第三入水通道44与入水口15连通，第三泵腔43与第三入水通道44之间设置有第三单向入水阀45，第三泵腔43通过第三出水通道46与出水口16连通，第三泵腔43与第三出水通道46之间设置有第三单向出水阀47，第四泵体5靠近第一PLZT陶瓷封盖11的一端设置有第四泵膜51，第四泵膜51的外侧固定设置有第四介电弹性体薄膜52，第四泵体5内设置有第四泵腔53，第四泵腔53通过第四入水通道54与入水口15连通，第四泵腔53与第四入水通道54之间设置有第四单向入水阀55，第四泵腔53通过第四出水通道56与出水口16连通，第四泵腔53与第四出水通道56之间设置有第四单向出水阀57，第一PLZT陶瓷封盖11的正极、第二PLZT陶瓷封盖12的正极、第一介电弹性体薄膜22的正极、第二介电弹性体薄膜32的正极、第三介电弹性体薄膜42的负极及第四介电弹性体薄膜52的负极电连接，第一PLZT陶瓷封盖11的负极、第二PLZT陶瓷封盖12的负极、第一介电弹性体薄膜22的负极、第二介电弹性体薄膜32的负极、第三介电弹性体薄膜42的正极及第四介电弹性体薄膜52的正极电连接。
第一泵膜21通过环氧树脂粘结剂与第一介电弹性体薄膜22粘结固定，第一介电弹性体薄膜22的面积小于第一泵膜21的面积，第一介电弹性体薄膜22的弹性模量大于第一泵膜21的弹性模量，第二泵膜31通过环氧树脂粘结剂与第二介电弹性体薄膜32粘结固定，第二介电弹性体薄膜32的面积小于第二泵膜31的面积，第二介电弹性体薄膜32的弹性模量大于第二泵膜31的弹性模量，第三泵膜41通过环氧树脂粘结剂与第三介电弹性体薄膜42粘结固定，第三介电弹性体薄膜42的面积小于第三泵膜41的面积，第三介电弹性体薄膜42的弹性模量大于第三泵膜41的弹性模量，第四泵膜51通过环氧树脂粘结剂与第四介电弹性体薄膜52粘结固定，第四介电弹性体薄膜52的面积小于第四泵膜51的面积，第四介电弹性体薄膜52的弹性模量大于第四泵膜51的弹性模量。其中，第一介电弹性体薄膜22、第二介电弹性体薄膜32、第三介电弹性体薄膜42和第四介电弹性体薄膜52均采用介电型电致动聚合物，第一泵膜21、第二泵膜31、第三泵膜41和第四泵膜51均采用柔性高分子材料。
以上实施例的工作原理如下：
第一紫外光源13与第二紫外光源14周期性交替导通，当第一PLZT陶瓷封盖11受到第一紫外光源13照射时，第一介电弹性体薄膜22和第二介电弹性体薄膜32在光生电压的驱动下发生变形，引起第一泵膜21和第二泵膜31向上凸起，从而使第一泵腔23和第二泵腔33的容积变大，形成真空，腔内压力减小，当大气压力与腔内压力差大于第一单向入水阀25和第二单向入水阀35的弹性力时，第一单向入水阀25和第二单向入水阀35被打开，液体从入水口15进入第一泵腔23和第二泵腔33。同时，第三介电弹性体薄膜42和第四介电弹性体薄膜52在光生电压的驱动下发生反向变形，引起第三泵膜41和第四泵膜51向下凹陷，从而使第三泵腔43和第四泵腔53的容积变小，腔内压力增大，当与大气压力差值大于第三单向出水阀47和第四单向出水阀57的弹性力时，第三单向出水阀47和第四单向出水阀57被打开，液体从出水口16流出。
反之，当第一紫外光源13停止照射，第二PLZT陶瓷封盖12受到第二紫外光源14照射时，第一单向出水阀27和第二单向出水阀37被打开，液体从第一泵腔23和第二泵腔33排出，同时，第三单向入水阀45和第四单向入水阀55被打开，液体进入第三单向入水阀45和第四泵腔53中，当微泵工作时，第一紫外光源13和第二紫外光源14分别周期性地交替照射第一PLZT陶瓷封盖和第二PLZT陶瓷封盖，从而实现液体持续稳定的泵送。
Claims (3)
1.一种光控微泵装置，其特征在于包括泵壳、设置在所述的泵壳的一端的第一PLZT陶瓷封盖和设置在所述的泵壳的另一端的第二PLZT陶瓷封盖，所述的第一PLZT陶瓷封盖的外侧设置有第一紫外光源，所述的第二PLZT陶瓷封盖的外侧设置有第二紫外光源，所述的泵壳上设置有入水口和出水口，所述的泵壳内部设置有环绕所述的泵壳的中心轴线均匀分布的第一泵体、第二泵体、第三泵体和第四泵体，所述的第一泵体与所述的第二泵体关于所述的泵壳的中心轴线对称分布，所述的第三泵体和所述的第四泵体关于所述的泵壳的中心轴线对称分布，所述的第一泵体靠近所述的第一PLZT陶瓷封盖的一端设置有第一泵膜，所述的第一泵膜的外侧固定设置有第一介电弹性体薄膜，所述的第一泵体内设置有第一泵腔，所述的第一泵腔通过第一入水通道与所述的入水口连通，所述的第一泵腔与所述的第一入水通道之间设置有第一单向入水阀，所述的第一泵腔通过第一出水通道与所述的出水口连通，所述的第一泵腔与所述的第一出水通道之间设置有第一单向出水阀，所述的第二泵体靠近所述的第二PLZT陶瓷封盖的一端设置有第二泵膜，所述的第二泵膜的外侧固定设置有第二介电弹性体薄膜，所述的第二泵体内设置有第二泵腔，所述的第二泵腔通过第二入水通道与所述的入水口连通，所述的第二泵腔与所述的第二入水通道之间设置有第二单向入水阀，所述的第二泵腔通过第二出水通道与所述的出水口连通，所述的第二泵腔与所述的第二出水通道之间设置有第二单向出水阀，所述的第三泵体靠近所述的第一PLZT陶瓷封盖的一端设置有第三泵膜，所述的第三泵膜的外侧固定设置有第三介电弹性体薄膜，所述的第三泵体内设置有第三泵腔，所述的第三泵腔通过第三入水通道与所述的入水口连通，所述的第三泵腔与所述的第三入水通道之间设置有第三单向入水阀，所述的第三泵腔通过第三出水通道与所述的出水口连通，所述的第三泵腔与所述的第三出水通道之间设置有第三单向出水阀，所述的第四泵体靠近所述的第一PLZT陶瓷封盖的一端设置有第四泵膜，所述的第四泵膜的外侧固定设置有第四介电弹性体薄膜，所述的第四泵体内设置有第四泵腔，所述的第四泵腔通过第四入水通道与所述的入水口连通，所述的第四泵腔与所述的第四入水通道之间设置有第四单向入水阀，所述的第四泵腔通过第四出水通道与所述的出水口连通，所述的第四泵腔与所述的第四出水通道之间设置有第四单向出水阀，所述的第一PLZT陶瓷封盖的正极、所述的第二PLZT陶瓷封盖的正极、所述的第一介电弹性体薄膜的正极、所述的第二介电弹性体薄膜的正极、所述的第三介电弹性体薄膜的负极及所述的第四介电弹性体薄膜的负极电连接，所述的第一PLZT陶瓷封盖的负极、所述的第二PLZT陶瓷封盖的负极、所述的第一介电弹性体薄膜的负极、所述的第二介电弹性体薄膜的负极、所述的第三介电弹性体薄膜的正极及所述的第四介电弹性体薄膜的正极电连接。
2.根据权利要求1所述的一种光控微泵装置，其特征在于所述的第一泵膜通过环氧树脂粘结剂与所述的第一介电弹性体薄膜粘结固定，所述的第一介电弹性体薄膜的面积小于所述的第一泵膜的面积，所述的第一介电弹性体薄膜的弹性模量大于所述的第一泵膜的弹性模量，所述的第二泵膜通过环氧树脂粘结剂与所述的第二介电弹性体薄膜粘结固定，所述的第二介电弹性体薄膜的面积小于所述的第二泵膜的面积，所述的第二介电弹性体薄膜的弹性模量大于所述的第二泵膜的弹性模量，所述的第三泵膜通过环氧树脂粘结剂与所述的第三介电弹性体薄膜粘结固定，所述的第三介电弹性体薄膜的面积小于所述的第三泵膜的面积，所述的第三介电弹性体薄膜的弹性模量大于所述的第三泵膜的弹性模量，所述的第四泵膜通过环氧树脂粘结剂与所述的第四介电弹性体薄膜粘结固定，所述的第四介电弹性体薄膜的面积小于所述的第四泵膜的面积，所述的第四介电弹性体薄膜的弹性模量大于所述的第四泵膜的弹性模量。
3.根据权利要求2所述的一种光控微泵装置，其特征在于所述的第一介电弹性体薄膜、所述的第二介电弹性体薄膜、所述的第三介电弹性体薄膜和所述的第四介电弹性体薄膜均采用介电型电致动聚合物，所述的第一泵膜、所述的第二泵膜、所述的第三泵膜和所述的第四泵膜均采用柔性高分子材料。
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| CN201710862848.9A Active CN107859613B (zh) | 2017-09-22 | 2017-09-22 | 一种光控微泵装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN107859613B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110242533A (zh) * | 2019-05-17 | 2019-09-17 | 杭州电子科技大学 | 一种电磁微泵装置及其泵液方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009240059A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Fujifilm Corp | 圧電デバイス、圧電デバイスを備えた液体吐出装置およびマイクロポンプ |
| CN101709695A (zh) * | 2009-11-19 | 2010-05-19 | 复旦大学 | 光致弯曲膜驱动型微泵 |
| CN104110355A (zh) * | 2014-07-02 | 2014-10-22 | 南京理工大学 | 一种光致伸缩材料驱动的微泵装置 |
| CN104481850A (zh) * | 2014-11-13 | 2015-04-01 | 常州大学 | 一种光驱动微流体泵 |
-
2017
- 2017-09-22 CN CN201710862848.9A patent/CN107859613B/zh active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009240059A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Fujifilm Corp | 圧電デバイス、圧電デバイスを備えた液体吐出装置およびマイクロポンプ |
| CN101709695A (zh) * | 2009-11-19 | 2010-05-19 | 复旦大学 | 光致弯曲膜驱动型微泵 |
| CN104110355A (zh) * | 2014-07-02 | 2014-10-22 | 南京理工大学 | 一种光致伸缩材料驱动的微泵装置 |
| CN104481850A (zh) * | 2014-11-13 | 2015-04-01 | 常州大学 | 一种光驱动微流体泵 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110242533A (zh) * | 2019-05-17 | 2019-09-17 | 杭州电子科技大学 | 一种电磁微泵装置及其泵液方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN107859613B (zh) | 2019-05-28 |
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