CN107851682A - 烧结炉的冷却室中的光退火 - Google Patents

Abstract

一个实施例涉及一种包括烧结炉的装置，该烧结炉包括配置成烧结光伏器件的金属化层的加热室和配置成冷却已经由加热室加热的光伏器件的冷却室。冷却室包括灯，以当光伏器件在冷却室中被冷却时对光伏器件进行光退火以减小光致衰退。烧结炉的冷却室被配置成使用在烧结炉的加热室中进行的加热的余热作为用于光伏器件的光退火的热量。光退火不在烧结炉的加热室中进行。

Description

烧结炉的冷却室中的光退火

相关申请的交叉引用

本申请要求2015年5月20日提交的美国临时专利申请NO.62/164,235的权益，所述临时专利申请的内容在此以引用的方式并入。

背景技术

太阳能电池通常由掺杂有硼的p型晶体硅(c-Si)制造。这种太阳能电池受使太阳能电池的效率降低的光致衰退(LID)的影响。这通常归因于硅中的硼-氧(B-O)缺陷。

一种扭转这样的LID的方法涉及后处理步骤，在该后处理步骤中，完成的太阳能电池要经受低温热退火步骤，在该低温热退火步骤中，太阳能电池被加热至50℃至230℃之间的温度，同时在硅中产生过剩载流子。用这种方法扭转LID，在太阳能电池被加热的同时，通过向太阳能电池施加外部电压或者通过对太阳能电池进行照明而在硅中产生过剩载流子。该LID扭转方法在专利申请WO2007/107351中进行了描述。

然而，该用于扭转LID的方法是一种后处理步骤，其在太阳能电池原本制造完成之后执行。使用这样的后处理步骤给太阳能电池的制造添加了额外的装置和处理。而且，该LID扭转方法在低温下进行，以避免将因高温加热而损坏太阳能电池。

已经有意见认为，可以在通过加氢对硅中的缺陷进行钝化的步骤期间在太阳能电池制造中间使用类似的方法。在专利申请WO2013/173867中描述了在加氢钝化期间使用这种方法。用该方法，在加氢钝化期间，在晶片加热期间和随后的晶片冷却期间，硅晶片都被照明。在加热期间和随后的冷却期间的这种照明可在任何随后的热处理期间进行，这可能会使得加氢钝化的质量降低。

但是，用于保护加氢钝化的质量的该方法通常还涉及在硅被加热的同时对硅进行照明。这种方法可能不适合在高性能，高效率的太阳能电池制造线中使用，所述制造线在金属化烧结期间需要精确且稳定的热分布。而且，这种方法通常涉及在冷却期间在氢源存在的情况下对硅进行照明，这使得在冷却室中包含氢源成为必需。

发明内容

一个实施例涉及一种包括烧结炉的装置，所述烧结炉包括配置为烧结光伏器件的金属化层的加热室和配置成冷却已经由加热室加热的光伏器件的冷却室。冷却室包括灯，以当光伏器件在冷却室中被冷却时对光伏器件进行光退火以减小光致衰退。烧结炉的冷却室被配置成使用来自烧结炉的加热室中进行的加热的余热作为用于光伏器件的光退火的热量。光退火不在烧结炉的加热室中进行。

另一实施例涉及一种共烧结的方法。该方法包括在烧结炉的加热室中加热光伏器件以共烧结光伏器件的金属化层。该方法进一步包括在烧结炉的冷却室中冷却已经由加热室加热的光伏器件，同时使用来自加热室中加热光伏器件的余热来对光伏器件进行光退火以减小光致衰退的影响。光退火不在烧结炉的加热室中进行。

附图说明

图1是具有加热室和冷却室的烧结炉的一个示例性实施例的侧视平面图，其中光退火集成到冷却室中，而不是集成到加热室中。

图2是共烧结太阳能电池或其他光伏器件的金属化层的方法的一个示例性实施例的流程图。

图3是在其中干燥炉与具有加热室和冷却室的烧结炉结合的组合装置的一个示例性实施例的侧视平面图，其中光退火集成到冷却室中，而不是集成到加热室中。

具体实施方式

图1是具有加热室102和冷却室104的烧结炉100的一个示例性实施例的侧视平面图，其中光退火集成到冷却室104中，而不是集成到加热室102中。

图1中所示的炉100适用于光伏器件(例如太阳能电池)106的金属电极的烧结。光伏器件(在此也指“晶片”或“太阳能电池”)106的晶片通过输送机108运输到形成于烧结炉100中的入口110中。在处理之后，晶片106通过输送机108运输出形成于烧结炉100中的出口112。更具体地说，在图1所示的示例性实施例中，晶片106穿过入口110进入加热室102中，然后穿过加热室102和冷却室104，然后通过出口112被输送出烧结炉100。

尽管为了便于解释，以下描述提及单个输送机108，但要理解的是，一个，两个，或更多个平行的输送机108可以同时在同一炉100中使用。每个单独的输送机108也被称为“通道”。在一个实施方式中，炉100和输送机108被配置成使得每个输送机108(和其上的太阳能电池106)彼此热隔离，以减少通道与通道间的影响。

如上所述，炉100用于光伏器件106上的金属电极的烧结。光伏器件106的正面和背面的金属电极最初由，例如，通过丝网印刷、喷墨喷涂或气溶胶喷涂工艺，施加到硅晶片上的导电的金属化浆料或油墨形成。通常，正面电极以网格图案延伸，并且背面电极连续地延伸。

在金属化的浆料已被施加到硅晶片106之后，干燥晶片106。干燥晶片106以除去丝网印刷或其他浆料施加工艺中使用的任何剩余的挥发性有机化合物(VOC)(例如，溶剂)。

在图1所示的示例性实施例中，溶剂的去除是与粘合剂的烧尽相分离的，以改进粘合剂的保留。这通过在与执行粘合剂烧尽的加热室分开的加热室中干燥硅晶片106来完成。在一个示例中，这通过使用提供到图1中所示的烧结炉100的单独的干燥炉(例如连续红外干燥炉)(未在图1中示出)来完成。在下面结合图3描述的替代实施例中，干燥炉与烧结炉100相结合。

在图1所示的示例性实施例中，烧结炉100的加热室102包括两个加热部分114和116。然而，要理解的是，可以使用不同数量的加热部分。

在图1所示的示例性实施例中，第一加热部分114被配置用于粘合剂烧尽(在此也被称为“粘合剂烧尽加热部分”114)。在该示例性实施例中，第二加热部分116被配置用于烧结太阳能电池106的金属化层(在此也被称为“金属化加热部分”116)。在图1所示的特定实施例中，炉100被配置成使粘合剂烧尽加热部分114与金属化加热部分116热分离，使得部分114和116中每一个对于每个相应的过程目标能够被独立地控制和优化。

排气管道用于使每一个加热部分114和116彼此热分离，并且就粘合剂烧尽加热部分114来说，使其与外部环境热分离，就金属化加热部分116来说，使其与冷却室104热分离。排气管道还用于从炉100排出在晶片106穿过炉100时产生的任何废气。

在图1所示的示例性实施例中，每个部分114和116包括多对红外(IR)灯120，其中每对灯的一个“上部”IR灯120位于输送机108上方，并且每对灯的另一“下部”IR灯120位于输送机108下方直接与相应的上部IR灯120相对。

在一个实施方式中，可以分别控制上部和下部IR灯120，以便提供在加热部分114和116的顶部和底部区域中的情况的独立控制和优化(例如，因为在太阳能电池106的顶部和底部表面上使用不同的金属浆料)。

在图1所示的示例性实施例中，加热室102包括两个加热部分114和116，其中部分114和116中的每一个可以被独立地控制(就部分114来说，用于粘合剂烧尽，就部分116来说，用于烧结金属化层)。然而，要理解的是，加热室102可以被配置成具有不同数量的部分。而且，加热室102的一个或多个部分可以进一步细分为更小的区域或微区域，其中每个这样的区域或微区域可以被独立地控制以提供对加热室102中加热的附加控制。

在图1所示的示例性实施例中，烧结炉100的冷却室104包括两个冷却部分122和124。然而，要理解的是，可以使用不同数量的冷却部分。

在图1所示的示例性实施例中，第一冷却部分122使用辐射冷却来冷却穿过第一冷却部分122的晶片106，并且第二冷却部分124使用对流冷却来冷却穿过第二冷却部分124的晶片106。第一冷却部分122在这里也被称为“辐射”冷却部分122，而第二冷却部分124在这里也被称为“对流”冷却部分124。

在图1所示的示例性实施例中，辐射冷却部分122包括一对冷却壁126。冷却壁126中的一个放置在输送机108上方，冷却壁126中的另一个放置在输送机108下方。在图1所示的示例性实施例中，冷却壁126是水冷的。冷却水循环通过与冷却壁126热接触的管道(或其他通道)。然而，要理解的是，辐射冷却可以以其他方式实施。

离开加热室102并穿过辐射冷却部分122的硅晶片106通过从晶片106到冷却壁126和流过管道的水的辐射传热而被冷却。

在图1所示的示例性实施例中，对流冷却部分124包括两个子部分128。每个对流冷却子部分128包括相应的送风机，送风机将来自相应供给管道的空气抽吸到那个冷却子部分128的上部区域，并使得空气向下流向输送机108并经过晶片106。一些空气在向下流动时接触经过的晶片106的表面，从而加热流动的空气。空气然后在输送机108和经过的晶片106下方流动。每个对流冷却子部分128还包括回风机，回风机将流动的空气抽吸到相应的返回管道并且使空气循环回到供给管道中的一个(经由未在图1中示出的管道系统)以被重新循环回到相应的子部分128的上部区域。

在图1所示的实施例中，相应的热交换器放置在输送机108下方的每个子部分128中。流过并围绕经过的晶片106的空气被加热。来自流过热交换器的空气的热量被传递到热交换器。这在空气被抽吸到返回管道并再循环到相应的子部分128的上部区域之前冷却空气。

要理解的是，图1中所示的加热室102和冷却室104的具体实施例仅仅是示例性的。加热室102和冷却室104可以以其他方式实现。

冷却室104的一个或多个部分122和124包括用于对穿过冷却室104的太阳能电池晶片106进行光退火的灯130。

光退火的目的是为了减小在太阳能电池106中发生的光致衰退(LID)的影响。传统上，该光退火已涉及在单独、独立过程中在升高温度下将完成的太阳能电池暴露到强光下，其中强照明至少部分发生在炉的加热室中。

然而，通过结合图1在这里描述的共烧炉100，为了减小LID的影响而进行的光退火被集成到共烧炉100的冷却室104中。在共烧炉100的加热室102中不执行光退火，相反，来自加热室102的余热被用来达到在冷却室104的冷却部分122和124中的光退火所需的升高温度。而且，在该示例性实施例中，在冷却室104中不存在氢源；而是在环境空气中进行光退火。

在图1所示的示例性实施例中，灯130的阵列放置在冷却室104的辐射冷却部分122和对流冷却部分124两者中，但没有在加热室102中。

在图1所示的示例性实施例中，对于冷却部分122和124中的每一个，灯130包括安装在水冷板132上的发光二极管(LED)。冷却水循环通过与板132热接触的管道(或其他通道)，板132是水冷的，以便去除由LED130产生的热量以及任何由经过的太阳能电池106传递到LED130和板132的热量。

在图1所示的示例性实施例中，安装有LED130的一个板132放置在辐射冷却部分122内，并且安装有LED130的另一板132放置在对流冷却部分124内。然而，要理解的是，安装有LED130的多个板132可放置在辐射冷却部分122或对流冷却部分124内。而且，安装有LED130的单个板132可以用于辐射冷却部分122和对流冷却部分124两者中。也就是说，安装有LED130的单个板132可以跨越辐射冷却部分122和对流冷却部分124。

在辐射冷却部分122中，相应的水冷板132(安装有LED130)放置在上冷却壁126和输送机108之间，其中来自LED130的光输出大体指向向下朝向通过在输送机108上而经过的太阳能电池106的上表面。

在对流冷却部分124中，相应的水冷板132(安装有LED130)放置在输送机108上方的部分124的上部区域，其中来自LED130的光输出大体指向向下朝向通过在输送机108上而经过的太阳能电池106的上表面。放置在对流冷却部分124中的水冷板132的部分具有一定的形状(和/或形成于其中的开口)以使得空气能够流过对流冷却部分124以穿过和/或绕过水冷板132以及安装的LED130。

水冷板132可以以任何适当的方式安装在冷却部分122和124内(例如通过将板132和LED130附接、悬置或支撑到炉100的侧壁、顶壁或底壁中的一个或多个或冷却室104内的一个或多个结构，如冷却壁126)。

电源(未示出)电连接到每一个LED130，以便为LED130提供电力。在该示例性实施例中，电源放置在冷却室104的外部。

阵列中的LED130的数量、尺寸和布置被配置以提供用于执行减小LID的光退火的足够强的照明(例如，通过使辐射强度处于3000瓦/平方米到48,000瓦/平方米范围内)。例如，在一个实施方式中，10毫米乘以10毫米的LED被布置成阵列，其中在约0.3米宽乘以约3米长的区域中有至少两千个LED。然而，要理解的是，LED可以以其他方式布置。

在该示例性实施例中，LED130是市场上可买到的LED，其输出光的光谱在300纳米和900纳米之间(即，在可见光谱内)。

此外，使用LED130来提供用于光退火的强光的一个优点是LED130输出的光的强度可以通过调节提供到LED130的DC电压来调节。这使得光的强度能够根据需要进行调节，以优化光退火过程。

在图1所示的示例性实施例中，LED130的阵列包括多个区域134，其中每个区域134包括LED130的子集。在该示例性实施例中，每个区域134中的LED130输出的光的强度可以被独立地控制。区域134可以被调节，使得区域134中的至少一个中的LED130输出的光的强度不同于其他区域134中的至少一个中的LED130输出的光的强度。例如，随着太阳能电池106被输送通过冷却室104，太阳能电池106的温度将会降低。因此，调节各个区域134中的光的强度以使得太阳能电池被输送通过冷却室104时温度降低可能是有利的。

通常，用于减小LID的光退火的过程可基于各种因素来控制，所述因素包括但不限于太阳能电池106输送通过冷却室104的速度、冷却室104的长度、LED130的阵列的长度、当太阳能电池106离开加热室102并进入冷却室104时太阳能电池106的出口温度、每个灯区域134中的LED130(或作为整体的LED130的阵列，其中不使用区域134)输出的光的强度、以及LED130的数量、尺寸和布置。

在一个实施方式中，这些因素中的一个或多个被控制，使得在输送机108上移动通过冷却部分122和124的每个太阳能电池106将暴露到来自LED130的强光下5秒到45秒的时间。在一个示例中，这在每个太阳能电池106处于700℃和240℃之间的温度时完成。在另一示例中，这在每个太阳能电池106处于700℃和50℃之间的温度时完成。

图2是共烧结太阳能电池或其他光伏器件的金属化层的方法200的一个示例性实施例的流程图。在此描述的方法200的示例性实施例使用图1的共烧炉100来实施。(但要理解的是，可以以其他方式来实施，例如，使用下面结合图3描述的组合装置)。

方法200包括在炉100的加热室102中加热太阳能电池106(或其他光伏器件)以共烧结太阳能电池106的金属化层(方框202)。当太阳能电池106通过炉100的加热室102时，不对太阳能电池106进行光退火。在这里结合图2描述的示例性实施例中，太阳能电池106首先在粘合剂烧尽部分114中被加热，以烧尽金属化浆料中的粘合剂，然后在金属化部分116中被加热，以共烧结太阳能电池106的金属化层。在该示例性实施例中，加热室102被配置成在大批量生产环境中有效地提供灵活且精确的过程控制。

方法200还包括在炉100的冷却室104中冷却加热的太阳能电池106(或其他光伏器件)，同时对太阳能电池106(或其他光伏器件)进行光退火以减小光致衰退的影响(方框204)。在这里结合图2描述的示例性实施例中，加热的太阳能电池106首先在冷却室104的辐射冷却部分122中辐射冷却，然后在冷却室104的对流冷却部分124中对流冷却。在该示例性实施例中，当加热的太阳能电池106在冷却室104的辐射冷却部分122和对流冷却部分124两者中被冷却时，通过放置在冷却室104中的LED130来进行光退火。而且，在该示例性实施例中，冷却室104中不存在氢源，而是在环境空气中进行光退火。

在该示例性实施例中，其中LED130的阵列包括多个区域134，每个区域134中的LED130输出的光的强度可以被独立地控制和调节(例如，调节各个区域134中的光的强度以使得当太阳能电池106输送通过冷却室104时温度降低)。

通过将减小LID的影响的光退火结合到共烧炉100的冷却室104中，可以避免单独的、独立的光退火处理步骤，这避免了为太阳能电池的制造增加额外的装置和处理。而且，通过不在共烧炉100的加热室102中进行光退火，用于提供进行光退火的强光的灯不需要放置在共烧炉100的加热部分114和116中。将用于光退火的灯放置在加热部分114和116中会削弱提供灵活和精确的过程控制的能力，尤其是其中加热部分114和116中的一个或多个被进一步细分成被独立控制的高分辨率微区，因为在这样的区域和微区容纳用于提供期望的热特性的加热相关装置和用于光退火的灯两者是很难的。而且，组装和维护具有用于仅集成在冷却室104中的光退火的灯130的共烧炉100更容易。此外，这里描述的光退火技术特别适用于被配置用于在大批量生产环境中使用的共烧炉100。而且，这里描述的光退火技术不需要冷却室104中存在氢源；而是，可以在环境空气中进行光退火。

在上面结合图1和2描述的实施例中，太阳能电池106在图1中未示出的单独的干燥炉中被干燥。然而，要理解的是，上面描述的光退火技术可以用于组合的干燥/共烧炉中。

图3是在其中干燥炉352与具有加热室102和冷却室104的烧结炉100结合的组合装置350的一个示例性实施例的侧视平面图，其中光退火集成到冷却室104中，而不是集成到加热室102中。

一般而言，烧结炉100如上面结合图1和图2所描述的那样，对其的描述在此不再结合图3进行重复。

在图3所示的示例性实施例中，干燥炉352与烧结炉100相结合。

在金属化的浆料已经施加到硅晶片106之后，晶片106通过输送机108传送到形成于干燥炉352中的入口354中。在处理后，晶片通过输送机108传送出形成于干燥炉352中的出口356。干燥炉352包括加热室358，以干燥太阳能电池106，以除去丝网印刷或其他浆料施加工艺中使用的任何剩余的挥发性有机化合物(VOC)(例如，溶剂)。更具体地说，在图3所示的示例性实施例中，晶片106穿过入口354进入干燥炉352的加热室358中，然后穿过加热室358以干燥太阳能电池106，以去除任何VOC，然后通过出口356从干燥炉352传送出来。

在图3所示的示例性实施例中，干燥炉352的加热室358包括位于入口354附近区域中的一个或多个红外(IR)灯362.在该示例性实施例中，IR灯362位于输送机108上方和下方，以使红外光指向太阳能电池106的顶表面和底表面。

而且，在图3所示的示例性实施例中，供给管道364在靠近入口354和出口356的区域中放置在输送机108上方。每个供给管道364在管道364最靠近加热室358的中心的一端处包括相应的进口。加热的空气在相应的进口处被供应到供给管道364并朝向供给管道364的另一端流动。供给管道364中的每一个在其底壁上包括多个开口。沿着每个供给管道364流动的加热空气的一部分将从开口流出并流向输送机108以及任何在供给管道364下方经过的太阳能电池106。加热的空气通过送风机、一个或多个加热器以及合适的管道系统(所有这些在图3中未示出)供应到供给管道364。

来自IR灯362和/或从供给管道364的开口排出的加热空气的热量加热通过在输送机108上而经过的太阳能电池106，以便蒸发金属化浆料中使用的一种或多种化合物(例如溶剂)。

在图3所示的示例性实施例中，排气口大致放置在加热室358的中心。排风机366从加热室358的内部通过排气口抽吸空气并使空气进入排气道368中。在该示例性实施例中，热VOC氧化剂370放置在排气道368中，以便在空气离开干燥炉352之前从流入排气道368的空气流中热氧化VOC。

值得注意的是，在干燥炉352中不进行光退火。

在图3所示的示例性实施例中，溶剂的去除是与粘合剂的烧尽相分离的，以改进粘合剂的保留。这通过在干燥炉352的加热室358中干燥硅晶片106来完成，干燥炉352是单独的，并且与共烧炉100的加热室102的粘合剂烧尽部分114分离。在太阳能电池106在干燥炉中被干燥后，它们被输送到共烧炉100的入口110中以进行烧结，其中用于减小LID的影响的光退火在冷却室104中进行，而不是在加热室102中进行。

在离开干燥炉352之后，干燥的太阳能电池106被输送到烧结炉100的加热室102中，用于粘合剂的烧尽和太阳能电池106的金属化层的烧结。之后，太阳能电池106被输送到冷却室104中以被冷却。当太阳能电池106在被冷却时，通过将太阳能电池106暴露到来自LED130的强照明来对太阳能电池106进行光退火。这都如上面结合如图1和图2所描述的那样完成。

已经描述了许多实施例。然而，要理解的是，可在不脱离要求保护的发明的精神和范围的情况下对描述的实施例进行各种修改。

Claims (20)

1.一种装置，包括：

烧结炉，所述烧结炉包括：被配置成烧结光伏器件的金属化层的加热室，和被配置成冷却已经由所述加热室加热的所述光伏器件的冷却室；

其中所述冷却室包括灯，以当所述光伏器件在所述冷却室中被冷却时对所述光伏器件进行光退火以减小光致衰退；并且

其中所述烧结炉的所述冷却室被配置成使用来自在所述烧结炉的所述加热室中进行的加热的余热作为用于所述光伏器件的光退火的热量；并且

其中光退火不在所述烧结炉的所述加热室中进行。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述烧结炉的所述冷却室被配置成对所述光伏器件进行光退火5秒至45秒。

3.根据权利要求1所述的装置，其中所述烧结炉的所述冷却室被配置成在每个太阳能电池处于700℃与240℃之间的温度时对所述光伏器件进行光退火。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述灯包括多个区域，每个区域包括所述灯的子集，其中所述区域中的每一个的所述灯输出的光的强度不同于其他区域中的至少一个的所述灯输出的光的强度。

5.根据权利要求1所述的装置，其中对所述光伏器件进行光退火的所述灯包括发光二极管。

6.根据权利要求5所述的装置，其中由所述发光二极管输出的光的强度是可调节的。

7.根据权利要求1所述的装置，其中用于光退火的所述灯输出的光的强度在3000瓦/平方米到48000瓦/平方米之间的范围内。

8.根据权利要求1所述的装置，其中所述灯发出可见光谱内的光。

9.根据权利要求1所述的装置，其中所述灯发出具有波长在约300纳米到约900纳米之间的光。

10.根据权利要求1所述的装置，其中所述灯包括安装到水冷板的发光二极管(LED)。

11.根据权利要求10所述的装置，其中所述水冷板被配置成使得空气能够绕过或穿过所述水冷板。

12.根据权利要求1所述的装置，其中所述冷却室包括第一和第二冷却部分，其中所述第一部分被配置成辐射冷却所述光伏器件，并且所述第二部分被配置成对流冷却所述光伏器件。

13.根据权利要求1所述的装置，其中所述加热室包括第一和第二加热部分，其中所述第一加热部分被配置成烧尽在所述光伏器件的所述金属化层中使用的粘合剂，并且所述第二加热部分被配置成烧结所述光伏器件的所述金属化层。

14.根据权利要求1所述的装置，其中所述烧结炉包括大批量生产环境烧结炉。

15.根据权利要求1所述的装置，进一步包括干燥炉，所述干燥炉被配置成在所述光伏器件的所述金属化层被输送到所述烧结炉之前将其干燥。

16.根据权利要求1所述的装置，其中所述冷却室被配置成在环境空气中对所述光伏器件进行光退火。

17.一种共烧结的方法，所述方法包括：

在烧结炉的加热室中加热光伏器件以共烧结所述光伏器件的金属化层；以及

在所述烧结炉的冷却室中冷却已经由所述加热室加热的所述光伏器件，同时使用来自所述加热室中加热所述光伏器件的余热作为用于光退火的热量来对所述光伏器件进行光退火以减小光致衰退的影响；并且

其中光退火不在所述烧结炉的所述加热室中进行。

18.根据权利要求17所述的方法，其中所述烧结炉的所述冷却室被配置成对所述光伏器件进行光退火5秒至45秒。

19.根据权利要求17所述的方法，其中对所述光伏器件进行光退火以减小光致衰退的影响包括当所述光伏器件处于700℃和240℃之间的温度时对所述光伏器件进行光退火以减小光致衰退的影响，。

20.根据权利要求17所述的方法，其中对所述光伏器件进行光退火以减小光致衰退的影响包括使用放置在所述烧结炉的所述冷却室内的发光二极管对所述光伏器件进行光退火以减小光致衰退的影响。