CN107817432A - 一种mems陀螺仪电路板检测方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供一种MEMS陀螺仪电路板检测的方法及装置。该方法包括：向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送驱动检测信号，所述驱动检测信号用于接入所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路；获取所述驱动电路的驱动反馈信号；根据所述驱动反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态。检测电路板根据陀螺仪工作原理向待测陀螺电路板各部分输入检测信号，利用待测电路板输出的反馈信号实现对待测MEMS陀螺仪电路板进行测试，无需焊接；此外，通过将将检测信号并行输入各待测MEMS陀螺仪电路板，可以实现批量检测，极大地提高了检测效率。

Description

一种MEMS陀螺仪电路板检测方法及装置

技术领域

本发明实施例涉及检测技术领域，特别涉及一种MEMS陀螺仪电路板检测方法及装置。

背景技术

随着MEMS陀螺仪的需求逐渐增多，MEMS陀螺仪电路板的可靠性检测技术的要求也随之提高。

陀螺仪包括敏感元件和相应的陀螺仪电路板，包括驱动电路、检测解调电路。驱动电路将起振信号生成敏感元件的驱动信号，检测解调电路将敏感元件生成的敏感信号检测解调为角速度信号。敏感元件在驱动信号的激励下敏感角速度信号，检测解调电路将敏感元件检测到的信号检测解调为包含角速度信息且便于检测的电压或电流信号。

通常，陀螺仪电路板的质量通过控制电路板的工艺质量来保证，但其能否正常工作，只能在敏感元件可靠地电连接于在陀螺仪电路板上，组成陀螺仪，通过检测陀螺仪是否具备正常的功能，才能判断电路板是否能正常工作，如不能正常工作，则需断开陀螺仪电路板与敏感元件的电气连接，再次检验敏感元件合格后方可再使用，过程中，由于敏感元件为产品构成中的贵重精密元件，反复的操作容易损坏，造成物料浪费；另外该检测方法为事后检测，不利于生产效率的提高，浪费人力物力；并且，由于需要逐一电连接和检测，生产效率低，不适用于大批量生产。因此，如何提供一种代价小、高效、可靠和批量地检测陀螺仪电路板的方法成为迫切的需求。

发明内容

为解决现有MEMS陀螺仪电路板检测技术存在的检测效率低、成本高、不适用批量生产的问题，本发明提供一种MEMS陀螺仪电路板检测的方法及装置。

第一方面，本发明提供一种MEMS陀螺仪电路板检测的方法，该方法包括：

向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送驱动检测信号，所述驱动检测信号用于接入所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路；

获取所述驱动电路的驱动反馈信号；

根据所述驱动反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态。

第二方面，本发明实施例提供一种MEMS陀螺仪电路板检测的装置，所述装置包括：

发送单元，用于向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送驱动检测信号，所述驱动检测信号用于接入所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路；

获取单元，用于获取所述驱动电路的驱动反馈信号；

确定单元，根据所述驱动反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态。

第三方面，本发明实施例提供一种电子设备，该电子设备包括：

存储器和处理器，所述处理器和所述存储器通过总线完成相互间的通信；所述存储器存储有可被所述处理器执行的程序指令，所述处理器调用所述程序指令能够执行如下方法：向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送驱动检测信号，所述驱动检测信号用于接入所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路；获取所述驱动电路的驱动反馈信号；根据所述驱动反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态。

第四方面，本发明实施例提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如下方法：向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送驱动检测信号，所述驱动检测信号用于接入所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路；获取所述驱动电路的驱动反馈信号；根据所述驱动反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态。

本发明提供的MEMS陀螺仪电路板检测方法及装置，基于陀螺仪的工作原理，通过向驱动电路提供驱动检测信号和向检测解调电路提供敏感检测信号，并获取驱动电路和检测解调电路的反馈信号，对比反馈信号与理论输出信号，从而达到检验MEMS陀螺仪电路板功能的目的。无需敏感元件及其电连接操作，全过程无需焊接、全自动检测、且检测后不会损坏MEMS陀螺仪电路板，因此极大地提高了检测效率、降低了检测成本，非常适用于批量检测。

附图说明

图1为本发明实施例提供的检测电路板的检测原理示意图；

图2为本发明提供的MEMS陀螺仪电路板检测方法的流程示意图；

图3为本发明实施例提供的MEMS陀螺仪电路板检测的装置的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的电子设备的结构框图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例主要涉及到的硬件设备包括MEMS陀螺仪电路板、检测电路板以及工装夹具等。其中，为了方便描述，本发明实施例中的MEMS陀螺仪电路板也称陀螺仪电路板。在利用该方法对陀螺仪电路板进行检测之前，可将陀螺仪电路板与检测电路板进行电连接，例如可以通过探针一一对应连接，使陀螺仪电路板拼板与检测电路板充分接触。需要说明的是，电连接的方式不局限于通过探针连接这一种方式，例如还可通过导线等。

图1为本发明实施例提供的检测电路板的检测原理示意图，如图1所示，检测电路板包括驱动信号通道、敏感信号通道电路以及温度检测电路。其中，驱动信号通道包括驱动端和驱动电路；敏感信号通道包括敏感端、检测解调电路。

图2为本发明实施例提供的MEMS陀螺仪电路板检测的方法的流程示意图。在通过将检测电路板与待测MEMS陀螺仪电路板通过探针连接后，如图2所示，该方法包括以下步骤：

S201、向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送驱动检测信号，所述驱动检测信号用于接入所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路；

具体地，检测电路板向待测陀螺仪电路板输出驱动检测信号，该驱动端检测信号可通过探针引入待测陀螺仪电路板的驱动电路的输入端。

S202、获取所述驱动电路的驱动反馈信号；

具体地，将驱动检测信号通入驱动电路的输入端之后，从驱动电路的反馈端输出，此时该信号被称为驱动反馈信号，检测电路板会获取该驱动反馈信号以便发送至上位机，供上位机接收该驱动反馈信号。

S203、根据所述驱动反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态。

具体地，上位机本地会存储有一理想驱动反馈信号，该信号为：在陀螺仪电路板可以正常工作的情况下，驱动电路的输入端的输入为驱动检测信号时，该反馈端的输出。上位机接收到该驱动反馈信号后，可以将该驱动反馈信号与上述理想驱动反馈信号进行比较，若二者之间的差异落在误差范围内，则可认为该被测陀螺仪电路板的功能状态是正常的；反之，则认为该被测电路板的功能状态是不正常的。

可选地，可将检测电路板输出的驱动检测信号并行输入多个驱动电路的输入端，就可实现多个陀螺仪电路板的同时检测，避免了传统检测方法仅能单个检测MEMS陀螺仪电路板的重复操作。

例如，利用上述检测方法，以检测1个带有16个MEMS陀螺电路板的拼板为例，将该拼板与检测电路板固定安装好，检查无误后进行上电检测，只需要10s即可把每个MEMS陀螺电路板的功能检测出来，总体时间不会超过5min；而对于传统的检测方法，需要将MEMS敏感器件通过焊接、引线等工艺步骤与MEMS陀螺仪电路板相应位置连接起来，检测完毕后，再换下一个，总体所耗费的时间达到了1个小时以上，甚至会出现漏检测和无效检测的情况。

本发明实施例提供的MEMS陀螺仪电路板检测的方法，通过一个检测电路板进行检测陀螺仪电路板，可以快速有效的确定被检测部分的功能状态，避免了人为因素的干扰以及焊接等检测步骤；并且，可以实现陀螺仪电路板的批量检测，极大地提高了MEMS陀螺仪电路板的检测效率。

在上述实施例的基础上，该方法还包括以下步骤(图2中未示出)：

S204、向所述待测MEMS陀螺仪电路板的检测解调电路发送敏感检测信号，所述敏感检测信号用于接入所述待测MEMS陀螺仪电路板的检测解调电路

具体地，检测电路板输出敏感检测信号，该敏感检测信号通过检测电路上的探针引入待测陀螺仪电路板的检测解调电路的输入端和驱动电路的输入端。

S205、获取所述检测解调电路的敏感反馈信号；

具体地，将敏感检测信号通入检测解调电路的输入端以及驱动电路的输入端之后，从待测MEMS陀螺仪电路板的输出端输出，此时该信号被称为敏感反馈信号，检测电路板会获取该敏感反馈信号并发送至上位机，供上位机接收该敏感反馈信号。

相应地，根据所述驱动反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态，具体包括：

根据所述驱动反馈信号及所述敏感反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态。

具体地，上位机本地还会存储有一理想敏感反馈信号，该信号为：在陀螺仪电路板可以正常工作的情况下，检测解调电路的输入端及驱动电路的输入端的输入为敏感检测信号时，该待测MEMS陀螺仪电路板的输出端的输出。上位机接收到该敏感反馈信号后，可以将该敏感反馈信号与上述理想敏感反馈信号进行比较。本发明实施例中根据驱动反馈信号确定陀螺仪电路的功能状态的方法与上述实施例相同，此处不再赘述。上位机在通过比较之后，若测量得到的驱动反馈信号与理想驱动反馈信号之间的差异落在误差范围内，并且测量得到的敏感反馈信号与理想敏感反馈信号之间的差异落在误差范围内，则可认为该被测陀螺仪电路板的功能状态是正常的；反之，则认为该被测电路板的功能状态是不正常的。

本发明实施例提供的MEMS陀螺仪电路板检测的方法，通过一个检测电路板进行检测陀螺仪电路板，可以快速有效的确定被检测部分的工作状态，避免了人为因素的干扰以及焊接等检测步骤；此外，只需通过将检测电路板输出的检测信号并行输入多个驱动电路的输入端和/或检测解调电路的输入端，就可实现多个陀螺仪电路板的同时检测，避免了传统检测方法仅能单个检测MEMS陀螺仪电路板的重复操作，极大地提高了MEMS陀螺仪电路板的检测效率。

在上述各实施例的基础上，该方法还包括以下步骤S207(图2中未示出)：

S207、获取所述待测MEMS陀螺仪电路板的温度传感器的温度信号；

具体地，陀螺仪电路板上的温度传感器的输出为模拟温度信号，利用检测电路板将该模拟温度信号转换为数字温度信号，并将该数字温度信号发送至上位机。

相应地，所述根据所述驱动反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的工作状态，具体包括：

根据所述驱动反馈信号及所述温度信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态。

具体地，上位机本地还会存储有一理想数字温度信号，该信号为：在陀螺仪电路板可以正常工作的情况下，检测电路板采集该陀螺仪电路上的温度传感器的输出并通过模数转换后，该检测电路板对应该温度传感器的检测电路的输出。上位机接收到该数字温度信号后，可以将该数字温度信号与上述理想数字温度信号进行比较。在本发明实施例中，根据驱动反馈信号确定陀螺仪电路的功能状态的方法与上述实施例相同，此处不再赘述。上位机在通过比较之后，若测量得到的驱动反馈信号与理想驱动反馈信号之间的差异落在误差范围内，并且测量得到的数字温度信号与理想数字温度信号之间的差异落在误差范围内，则可认为该被测陀螺仪电路板的功能状态是正常的；反之，则认为该被测电路板的功能状态是不正常的。

本发明实施例提供的MEMS陀螺仪电路板检测的方法，通过一个检测电路板进行检测陀螺仪电路板，可以快速有效的确定被检测部分的工作状态，避免了人为因素的干扰以及焊接等检测步骤；此外，只需通过将检测电路板输出的检测信号并行输入多个驱动电路的输入端，就可实现多个陀螺仪电路板的同时检测，避免了传统检测方法仅能单个检测MEMS陀螺仪电路板的重复操作，极大地提高了MEMS陀螺仪电路板的检测效率；此外，通过检测数字温度信号，信号波形更加简单，使得比较过程也更简单，比较结果也更准确，进一步提高检测效率和检测结果的正确率。

在上述各实施例的基础上，该方法中的所述驱动检测信号包括第一子驱动检测信号和第二子驱动检测信号，其中所述第一子驱动检测信号的幅值大于所述第二子驱动检测信号的幅值；

所述驱动反馈信号包括第一子驱动反馈信号和第二子驱动反馈信号；

相应地，所述通过所述检测电路板向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送驱动端检测信号，具体包括：

分时向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送第一子驱动检测信号和第二子驱动检测信号；

相应地，所述获取所述驱动电路的反馈端的驱动反馈信号，具体包括：

向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送第一子驱动检测信号时，获取所述驱动电路的第一子驱动反馈信号；

向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送第二子驱动检测信号时，获取所述驱动电路的第二子驱动反馈信号

具体地，检测电路分时输出两次驱动检测信号：第一次输出第一子驱动检测信号，第二次输出第二子驱动检测信号。

当待测陀螺仪电路板的驱动电路的输入端的输入为第一子驱动检测信号时，检测电路板采集的信号为第一子驱动反馈信号。

当待测陀螺仪电路板的驱动电路的输入端的输入为第二子驱动检测信号时，检测电路板采集的信号为第二子驱动反馈信号。

接着，上位机根据第一子驱动反馈信号和第二子驱动反馈信号确定陀螺仪电路板的功能状态，与上述实施例不同的是，需要比较两次，并且需要两次比较结果均满足相应地误差条件，才认为该陀螺仪电路板正常，反之不正常。该步骤中的两次比较过程的每一次比较方法与上述实施例类似，此处不再赘述。

在上述各实施例的基础上，该方法中的所述敏感检测信号包括第一子敏感检测信号、第二子敏感检测信号及第三子敏感检测信号，其中所述第二子敏感检测信号与所述第三子敏感检测信号为具有相同预设幅值，相位差为180°的信号；

所述敏感反馈信号包括第一子敏感反馈信号、第二子敏感反馈信号和第三子敏感反馈信号；

相应地，所述向所述待测MEMS陀螺仪电路板的检测解调电路发送敏感检测信号，具体包括：

分时向所述检测解调电路发送第一子敏感检测信号、第二子敏感检测信号和第三子敏感检测信号；

相应地，所述获取所述检测解调电路的敏感反馈信号，具体包括：

向所述检测解调电路发送第一子敏感检测信号时，采集所述检测解调电路的第一子敏感反馈信号；

向所述检测解调电路发送第二子敏感检测信号时，采集所述检测解调电路的第二子敏感反馈信号；

向所述检测解调电路发送第三子敏感检测信号时，采集所述检测解调电路的第三子敏感反馈信号。

具体地，在检测所述检测解调电路时，根据第一子敏感反馈信号是否处于预设范围，且检测解调电路的电路放大倍数是否处于预设范围，从而判断检测解调电路是否正常。上位机通过设置检测电路板，使检测电路板输出第一子敏感检测信号，该检测信号通过探针引入检测解调电路的输入端，检测电路板采集所述检测解调电路输出端的第一子敏感反馈信号。然后，上位机通过设置检测电路板，分时输出两次检测信号：第一次输出第二子敏感检测信号，第二次输出第三子敏感检测信号。可选地，第二子敏感检测信号和第三子敏感检测信号的幅值一般不超过200mV。

当待测陀螺仪电路板的检测解调电路的输入端的输入为第二子敏感检测信号时，检测电路板采集的信号为第二子敏感反馈信号。

当待测陀螺仪电路板的驱动电路的输入端的输入为第三子敏感检测信号时，检测电路板采集的信号为第三子敏感反馈信号。

接着，上位机根据第一子敏感反馈信号、第二子敏感反馈信号以及第三子敏感反馈信号确定陀螺仪电路板的工作状态是否正常，与上述实施例不同的是，判断检测解调电路的工作状态时，需要比较两次，并且需要两次比较结果均满足相应地误差条件，才认为该检测解调电路的电路正常。当检测解调电路正常且驱动电路正常时，该陀螺仪电路板正常，反之不正常。该步骤中的两次比较过程的每一次比较方法与上述实施例类似，此处不再赘述。

可选地，上述各实施例中的敏感检测信号的幅值与待测MEMS陀螺仪电路板的量程成正比。

在上述各实施例的基础上，该方法还包括：

根据所述第二子敏感反馈信号及所述第三子敏感反馈信号，确定所述检测解调电路的电路放大倍数。

具体地，根据检测解调电路的输入以及两次输出，可以确定该检测解调电路的电路放大倍数，然后检测电路板判断该电路放大倍数是否在预设范围内，若在预设范围内，则表示所述检测解调电路工作正常，反之，若不在预设范围内，则表示所述检测解调电路工作不正常。

例如，检测电路板输出的第二子敏感检测信号，幅值为0.1V，初相位为0°，对应的第一子检测反馈值为3V；

检测电路板输出的第三子敏感端测信号，幅值为0.1V，初相位为180°，对应的第二子检测反馈值为1V；

此时通过(3-1)/(0.1)/2计算即可得电路放大倍数。

本发明实施例提供的MEMS陀螺仪电路板检测的方法，通过计算两次敏感反馈信号的差值，在该敏感反馈信号存在虚地(直流偏置)时，可以消除直流偏置对计算结果带来的误差，使得计算结果更加准确。

图3为本发明实施例提供的MEMS陀螺仪电路板检测的装置的结构示意图。如图3所示，该装置包括：发送单元301、获取单元302以及确定单元303。其中：

发送单元301用于向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送驱动检测信号，所述驱动检测信号用于接入所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路；获取单元302用于获取所述驱动电路的驱动反馈信号；确定单元303根据所述驱动反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态。

具体地，发送单元301通过检测电路板输出驱动检测信号，该检测信号进入驱动电路；然后，此时获取单元302获取驱动电路的反馈端处的驱动反馈信号；接着，确定单元303根据该驱动反馈信号对被测陀螺仪电路的功能状态进行判断。本发明实施例提供的装置，是为了实现上述方法的，其功能具体可参考上述方法实施例，此处不再赘述。

图4为本发明实施例提供的电子设备的结构框图。如图3所示，该电子设备包括：存储器402和处理器401，所述处理器401和所述存储器402通过总线403完成相互间的通信；所述存储器302存储有可被所述处理器执行的程序指令，所述处理器401调用所述程序指令能够执行如下方法，例如包括：向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送驱动检测信号，所述驱动检测信号用于接入所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路；获取所述驱动电路的驱动反馈信号；根据所述驱动反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态。

本发明实施例还提供一种计算机程序产品，所述计算机程序产品包括存储在非暂态计算机可读存储介质上的计算机程序，所述计算机程序包括程序指令，当所述程序指令被计算机执行时，计算机能够执行上述各方法实施例所提供的方法，例如包括：向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送驱动检测信号，所述驱动检测信号用于接入所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路；获取所述驱动电路的驱动反馈信号；根据所述驱动反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态。

本发明实施例还提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储计算机指令，所述计算机指令使所述计算机执行上述各方法实施例所提供的方法，例如包括：向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送驱动检测信号，所述驱动检测信号用于接入所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路；获取所述驱动电路的驱动反馈信号；根据所述驱动反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种MEMS陀螺仪电路板检测的方法，所述方法包括：

向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送驱动检测信号，所述驱动检测信号用于接入所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路；

获取所述驱动电路的驱动反馈信号；

根据所述驱动反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

向所述待测MEMS陀螺仪电路板的检测解调电路发送敏感检测信号，所述敏感检测信号用于接入所述待测MEMS陀螺仪电路板的检测解调电路；

获取所述检测解调电路的敏感反馈信号；

相应地，所述根据所述驱动反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态，具体包括：

根据所述驱动反馈信号及所述敏感反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

获取所述待测MEMS陀螺仪电路板的温度检测电路的温度信号；

相应地，所述根据所述驱动反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的工作状态，具体包括：

根据所述驱动反馈信号及所述温度信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述驱动检测信号包括第一子驱动检测信号和第二子驱动检测信号，其中所述第一子驱动检测信号的幅值大于所述第二子驱动检测信号的幅值；

所述驱动反馈信号包括第一子驱动反馈信号和第二子驱动反馈信号；

相应地，所述通过所述检测电路板向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送驱动端检测信号，具体包括：

分时向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送第一子驱动检测信号和第二子驱动检测信号；

相应地，所述获取所述驱动电路的反馈端的驱动反馈信号，具体包括：

向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送第一子驱动检测信号时，获取所述驱动电路的第一子驱动反馈信号；

向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送第二子驱动检测信号时，获取所述驱动电路的第二子驱动反馈信号。

5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述敏感检测信号包括第一子敏感检测信号、第二子敏感检测信号及第三子敏感检测信号，其中所述第二子敏感检测信号与所述第三子敏感检测信号为具有相同预设幅值，相位差为180°的信号；

所述敏感反馈信号包括第一子敏感反馈信号、第二子敏感反馈信号和第三子敏感反馈信号；

相应地，所述向所述待测MEMS陀螺仪电路板的检测解调电路发送敏感检测信号，具体包括：

分时向所述检测解调电路发送第一子敏感检测信号、第二子敏感检测信号和第三子敏感检测信号；

相应地，所述获取所述检测解调电路的敏感反馈信号，具体包括：

向所述检测解调电路发送第一子敏感检测信号时，采集所述检测解调电路的第一子敏感反馈信号；

向所述检测解调电路发送第二子敏感检测信号时，采集所述检测解调电路的第二子敏感反馈信号；

向所述检测解调电路发送第三子敏感检测信号时，采集所述检测解调电路的第三子敏感反馈信号。

6.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述敏感检测信号的幅值与待测MEMS陀螺仪电路板的量程成正比。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，还包括：

根据所述第二子敏感反馈信号及所述第三子敏感反馈信号，确定所述检测解调电路的电路放大倍数。

8.一种MEMS陀螺仪电路板检测的装置，其特征在于，包括：

发送单元，用于向所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路发送驱动检测信号，所述驱动检测信号用于接入所述待测MEMS陀螺仪电路板的驱动电路；

获取单元，用于获取所述驱动电路的驱动反馈信号；

确定单元，根据所述驱动反馈信号确定所述待测MEMS陀螺仪电路板的功能状态。

9.一种电子设备，其特征在于，包括：

存储器和处理器，所述处理器和所述存储器通过总线完成相互间的通信；所述存储器存储有可被所述处理器执行的程序指令，所述处理器调用所述程序指令能够执行如权利要求1至7任一所述的方法。

10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至7任一所述的方法。