CN107806843A - 电子束熔丝增材制造形貌测量装置及其补偿控制方法 - Google Patents

Abstract

一种电子束熔丝增材制造形貌测量装置，包括电子枪、送丝枪、真空室、工作台、形貌检测组件和控制系统；电子枪和真空室连通，电子枪用于产生和发射电子束；送丝枪设于真空室内，送丝枪用于提供焊丝；工作台设于真空室内，工作台面对电子枪设置，工作台用于放置零件；形貌检测组件包括位移传感器和位移传感器控制器，位移传感器安装于真空室的外壁以电子枪为圆心的半径不超过50mm的圆形区域内，位移传感器向真空室内发射激光束，位移传感器用于检测零件的位移和形状；控制系统和位移传感器控制器电连接。上述电子束熔丝增材制造形貌测量装置可以实时快速的得到零件的形貌特征，准确性和实时性更优，可以适应复杂的工业环境。

Description

电子束熔丝增材制造形貌测量装置及其补偿控制方法

技术领域

本发明涉及金属零部件的增材制造技术领域，特别涉及一种电子束熔丝增材制造形貌测量装置及其补偿控制方法。

背景技术

增材制造技术又名3D打印或者快速成型。它是一种以三维数字模型文件为基础，运用粉末状金属或塑料等可粘合材料或者熔丝，通过材料逐层堆叠累积的方式来构造实体零件的技术。相对于传统的材料去除——切削加工技术，是一种“自下而上”的制造方法。二十年来，增材制造(Additive Manufacturing，AM)技术取得了快速的发展。AM技术不需要传统的刀具和夹具以及多道加工工序，在一台设备上可快速精密地制造出任意复杂形状的零件，从而实现了零件“自由制造”，解决了许多复杂结构零件的成形，并大大减少了加工工序，缩短了加工周期。而且产品结构越复杂，其制造速度的作用就越显著。目前随着该技术日益成熟，该技术已经越来越多用于零部件的直接制造。具有精度高、制造周期短、材料利用率高、多材料复合制造、产品多样化的优点。

然而，现有技术增材制造工件精度较低、表面质量较差、易出现驼峰、凹坑、塌陷等缺陷。如电子束熔丝增材制造技术，电子束增材制造过程，分层轨迹数据文件中已经将层高固定。然而实际成型过程，由于非平衡的熔凝过程影响因素较多，每一层的层高和形貌尺寸不可避免的会出现与理论设计尺寸发生偏差，每一层的成型尺寸偏离不断积累会造成最终成型零件的尺寸较大偏差，甚至造成零件成形过程失败。在这种情况下就需要一种增材制造过程中进行形貌测量和数据补偿闭环控制的装置，实时或事后的测量成型高度变化情况，并指导成型制造设备调整工艺参数弥补尺寸的、形貌的偏差。

目前国内外普遍采用的是多台视觉传感检测装置或工业相机通过数字模型和计算机算法对形貌进行检测、分析。然而，视觉传感检测装置功能单一，为了测量高度差或翘曲等，需要安装多台传感器或移动传感器，难于确保空间，相当费时，形成整体形貌特征困难。工业相机检测机不易安装照明。而且，即使通过面型相机或线型相机检测宽度及位置等，也无法检测高度及高度差。并且，电子束增材制造过程是在真空环境下完成，熔丝过程会产生大量的金属蒸汽，一般接触式传感器和结构光检测装置都不适用。

发明内容

鉴于此，有必要提供一种能够适应复杂的工业环境，测量精度高的电子束熔丝增材制造形貌测量装置及其补偿控制方法。

一种电子束熔丝增材制造形貌测量装置，包括电子枪、送丝枪、真空室、工作台、形貌检测组件和控制系统；

所述电子枪和所述真空室连通，所述电子枪用于产生和发射电子束；

所述送丝枪设于所述真空室内，所述送丝枪用于提供焊丝；

所述工作台设于所述真空室内，所述工作台面对所述电子枪设置，所述工作台用于放置零件；

所述形貌检测组件包括位移传感器和位移传感器控制器，所述位移传感器安装于所述真空室的外壁以所述电子枪为圆心的半径不超过50mm的圆形区域内，所述位移传感器向所述真空室内发射激光束，所述位移传感器用于检测所述零件的位移和形状，所述位移传感器控制器和所述位移传感器电连接；

所述控制系统和所述位移传感器控制器电连接。

在其中一个实施例中，还包括真空泵组，所述真空泵组分别与所述真空室和所述电子枪连接，所述真空泵组用于给所述真空室和所述电子枪抽真空。

在其中一个实施例中，所述位移传感器为2D激光位移传感器或轮廓测量仪。

在其中一个实施例中，所述位移传感器控制器具有数据处理能力和内存。

在其中一个实施例中，所述控制系统包括数据处理系统，所述数据处理系统能够根据所述形貌检测组件得到的所述零件的各层实际成型形貌的位置坐标数据云图，绘制出各层成型形貌，通过对CAD模型与实测零件尺寸之间的对比运算得到零件的尺寸偏差数据。

在其中一个实施例中，所述控制系统还包括补偿系统，所述补偿系统能够根据所述零件实测的成型形貌与CAD模型之间尺寸偏差，选择指定的工艺参数，对所述零件尺寸有偏差的区域进行修补。

一种电子束熔丝增材制造形貌测量装置的补偿控制方法，包括以下步骤：

步骤A1、控制系统将零件的分层建模图形的分层数据和路径规划数据转化成数控程序，并根据所述数控程序控制工作台携带零件按照数控程序路径规划运动；

步骤A2、采用位移传感器进行实时扫描，得到扫描图形，所述控制系统读取所述零件的形貌特征、熔池坐标位置和路径规划进给速度；

步骤A3、所述控制系统结合所述零件的熔池坐标位置的变化，删选所述位移传感器扫描出来的有效数据范围，通过所述控制系统的数据处理系统，比较所述扫描图形与所述分层建模图形的超差，得到一系列路径规划上的超差数据；

步骤A4、所述控制系统根据所述零件的熔池坐标位置的变化和路径规划上的超差数据，驱动数控轴Z轴，在原有路径规划的基础上，增加数控轴Z轴轴向运动控制的叠加补偿，保证丝材熔滴稳定过渡，对缺陷部分进行修复，所述叠加补偿不影响整体数控程序路径规划；

步骤A5、所述位移传感器扫描熔池成型情况，重复步骤A2-A4，修复完成后，停止数控轴Z轴轴向运动控制的叠加补偿；

步骤A6、继续下一层的熔丝成型制造，直至电子束熔丝分层制造过程结束。

在其中一个实施例中，步骤A1之前还包括如下步骤：开启真空系统及高压电源，待电子束熔丝增材制造形貌测量装置的真空度及电压值达到额定要求后，电子枪发射电子束。

在其中一个实施例中，步骤A2之前还包括如下步骤：

所述控制系统控制丝材以设定速度输出。

一种电子束熔丝增材制造形貌测量装置的补偿控制方法，包括以下步骤：

步骤B1、控制系统将零件的分层建模图形的分层数据和路径规划数据转化成数控程序，并根据所述数控程序控制工作台携带零件按照数控程序路径规划运动；

步骤B2、采用位移传感器进行实时扫描，得到扫描图形，所述控制系统读取所述零件的形貌特征、熔池坐标位置和路径规划进给速度；

步骤B3、所述控制系统结合所述零件的熔池坐标位置的变化，删选所述位移传感器扫描出来的有效数据范围，通过所述控制系统的数据处理系统，比较所述扫描图形与所述分层建模图形的超差，得到一系列路径规划上的超差数据；

步骤B4、所述控制系统根据所述零件的熔池坐标位置的变化和路径规划上的超差数据，驱动送丝枪按照一定速度变化纵向调整补偿，保证丝材熔滴稳定过渡，对缺陷部分进行修复，所述调整补偿不影响整体数控程序路径规划；

步骤B5、所述位移传感器扫描熔池成型情况，重复步骤B2-B4，修复完成后，将送丝枪调整到初始位置；

步骤B6、继续下一层的熔丝成型制造，直至电子束熔丝分层制造过程结束。

上述电子束熔丝增材制造形貌测量装置的位移传感器安装于真空室的外壁以电子枪为圆心的半径不超过50mm的圆形区域内，且位移传感器向真空室内发射激光束，可以实时快速的得到零件的形貌特征，准确性和实时性更优，可以适应复杂的工业环境。

附图说明

图1为一实施方式的电子束熔丝增材制造形貌测量装置的结构示意图；

图2为数据处理系统对标准轮廓线和实际测量的轮廓线进行比较的示意图；

图3为一实施方式的电子束熔丝增材制造形貌测量装置的补偿控制方法流程图；

图4为另一实施方式的电子束熔丝增材制造形貌测量装置的补偿控制方法流程图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清晰，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

请参阅图1，一实施方式的电子束熔丝增材制造形貌测量装置100，包括电子枪10、送丝枪20、真空室30、工作台40、形貌检测组件和控制系统60。

电子枪10和真空室30连通，电子枪10用于产生和发射电子束。电子枪10和高压电源连接，高压电源为电子枪10内电子束12的产生提供电势差。

送丝枪20设于真空室30内，送丝枪20用于提供焊丝。电子束熔丝增材制造形貌测量装置100还包括送丝盘22，焊丝盘绕在送丝盘22上。电子束熔丝增材制造形貌测量装置100还包括从动丝杠23、驱动齿轮24和升降齿轮驱动电机25，升降齿轮驱动电机25和驱动齿轮24连接，驱动齿轮24和从动丝杠23连接，从动丝杠23和送丝枪20连接，用于调整送丝枪20的位置。

工作台40设于真空室30内，工作台40面对电子枪10设置，工作台40用于放置零件。工作台40设于工作转台42上。工作转台40带着工作台40转动。

形貌检测组件包括位移传感器52和位移传感器控制器，位移传感器52安装于真空室30的外壁以电子枪10为圆心的半径不超过50mm的圆形区域内。位移传感器52用于检测零件的位移和形状，位移传感器控制器和位移传感器52电连接。其中，位移传感器52可以为2D激光位移传感器或轮廓测量仪。位移传感器52向真空室30内发射激光束。位移传感器52前设置有挡板，采用位移传感器进行实时扫描前先打开挡板。位移传感器控制器具有数据处理能力和内存。其数据处理能力强，内存容量大用以保存数据。

控制系统60和位移传感器控制器电连接。

具体的，控制系统60包括数控系统、电子束流品质和能级的控制系统、数据处理和补偿系统。控制系统60还与电子枪10、高压电源、真空泵组70、送丝系统和工作台40等电连接。

具体的，数据处理系统能够根据形貌检测组件得到的零件的各层实际成型形貌的位置坐标数据云图，绘制出各层成型形貌，通过对CAD模型与实测零件尺寸之间的对比运算得到零件的尺寸偏差数据。数据处理系统通过对实时测量的各层成型形貌进行图像处理，能使用表面补正进行高精度测量，还能测量体积和平均高度差，或根据形状数据进行基准比较，进行外观检查。请参考图2，图中虚线为标准轮廓线，实线为实际测量的轮廓线，数据处理系统能对标准轮廓线和实际测量的轮廓线进行比较。

具体的，补偿系统能够根据零件实测的成型形貌尺寸偏差，选择指定的工艺参数，对零件尺寸有偏差的区域进行修补。具体的，补偿系统通过控制送丝枪、电子枪以及工作台的运动系统对零件尺寸有偏差的区域进行修补。

电子束熔丝增材制造形貌测量装置100还包括真空泵组70，真空泵组70分别与真空室30和电子枪10连接，真空泵组70用于给真空室30和电子枪10抽真空。

上述基于激光2D扫描的电子束熔丝增材制造形貌测量装置100的位移传感器安装于真空室的外壁以电子枪为圆心的半径不超过50mm的圆形区域内，且位移传感器向真空室内发射激光束，可以实时快速的得到零件的形貌特征，准确性和实时性更优，可以适应复杂的工业环境。

上述电子束熔丝增材制造形貌测量装置100采用的位移传感器52是工业级测量仪、非接触式蓝色半导体激光检测，能够适应复杂的工业环境，测量精度高。位移传感器52的柱面物镜将激光光束扩大为条状，随后激光在目标物上产生漫射，反射光在位移传感器52的接收单元上成像，通过检测位置、形状的变化来测量位移和形状。无需单独照明装置，不会发生因颜色不均导致的误差。不占空间，丰富的测量模式。除了位移传感器52到被测表面的距离信息(Z轴)，控制系统还可以通过图像信息计算得出沿着激光线的位置信息(X轴)。以位移传感器52为原心的二维坐标系内，位移传感器52测量输出一组二维坐标值。移动被测零件，就可以得到一组三维测量值。

上述基于激光2D扫描的电子束熔丝增材制造形貌测量装置100，是结合电子束熔丝增材制造技术的特殊性，根据形貌检测组件和计算机图形处理系统软件，分析缺陷范围。通过轴向的运动叠加，调整工艺参数，完成对零件缺陷进行修复的闭环控制的系统。

上述电子束熔丝增材制造形貌测量装置100，通过位移传感器52可以实现零件的实时扫描，然后控制系统的数据处理系统和补偿系统能够计算出零件实测的成型形貌和建模图形之间的尺寸偏差，并根据该尺寸偏差，选择指定的工艺参数，然后通过控制送丝枪、电子枪以及工作台的运动系统对零件尺寸有偏差的区域进行修补，完成对零件缺陷的精确修补。

此外，请参考图3，还提供一实施方式的上述电子束熔丝增材制造形貌测量装置的补偿控制方法，包括以下步骤：

步骤A1、控制系统将零件的分层建模图形的分层数据和路径规划数据转化成数控程序，并根据数控程序控制工作台携带零件按照数控程序路径规划运动。

分层建模图形采用CAD软件得到，分层建模图形的分层数据和路径规划数据采用数据处理软件导入上述电子束熔丝增材制造形貌测量装置的控制系统。

步骤A1之前还包括如下步骤：开启真空系统及高压电源，待电子束熔丝增材制造形貌测量装置的真空度及电压值达到额定要求后，电子枪发射电子束。

步骤A2、采用位移传感器进行实时扫描，得到扫描图形，控制系统读取零件的形貌特征、熔池坐标位置和路径规划进给速度。

步骤A2之前还包括如下步骤：

控制系统控制丝材以设定速度输出。具体的，控制系统启动送丝机，并将设定的送丝速度参数输入可编程的送丝驱动单元，控制驱动电机的速度，保证丝材以设定速度输出。

位移传感器前设置有挡板，采用位移传感器进行实时扫描前先打开挡板，并打开位移传感器控制器。

步骤A2中，控制系统的数控系统在电子枪不出束流和送丝系统不出丝的情况下，不降层高，空走分层路径规划。

步骤A3、控制系统结合零件的熔池坐标位置的变化，删选位移传感器扫描出来的有效数据范围，通过控制系统的数据处理系统，比较扫描图形与分层建模图形的超差，得到一系列路径规划上的超差数据。

步骤A4、控制系统根据零件的熔池坐标位置的变化和路径规划上的超差数据，驱动数控轴Z轴，在原有路径规划的基础上，增加数控轴Z轴轴向运动控制的叠加补偿，保证丝材熔滴稳定过渡，对缺陷部分进行修复，叠加补偿不影响整体数控程序路径规划。

步骤A4中，对缺陷部分进行修复，可以是对凹坑部分增加送丝速度和束流，驼峰部分减小送丝速度。

A4中采用控制系统的补偿系统对缺陷进行修复。

步骤A5、位移传感器扫描熔池成型情况，重复步骤A2-A4，修复完成后，停止数控轴Z轴轴向运动控制的叠加补偿。

步骤A6、继续下一层的熔丝成型制造，直至电子束熔丝分层制造过程结束。

此外，请参考图4，还提供另一实施方式的上述电子束熔丝增材制造形貌测量装置的补偿控制方法，包括以下步骤：

步骤B1、控制系统将零件的分层建模图形的分层数据和路径规划数据转化成数控程序，并根据数控程序控制工作台携带零件按照数控程序路径规划运动。

分层建模图形采用CAD软件得到，分层建模图形的分层数据和路径规划数据采用数据处理软件导入上述电子束熔丝增材制造形貌测量装置的控制系统。

步骤B1之前还包括如下步骤：开启真空系统及高压电源，待电子束熔丝增材制造形貌测量装置的真空度及电压值达到额定要求后，电子枪发射电子束。

步骤B2、采用位移传感器进行实时扫描，得到扫描图形，控制系统读取零件的形貌特征、熔池坐标位置和路径规划进给速度。

步骤B2之前还包括如下步骤：

控制系统控制丝材以设定速度输出。具体的，控制系统启动送丝机，并将设定的送丝速度参数输入可编程的送丝驱动单元，控制驱动电机的速度，保证丝材以设定速度输出。

位移传感器前设置有挡板，采用位移传感器进行实时扫描前先打开挡板，并打开位移传感器控制器。

步骤B2中，控制系统的数控系统在电子枪不出束流和送丝系统不出丝的情况下，不降层高，空走分层路径规划。

步骤B3、控制系统结合零件的熔池坐标位置的变化，删选位移传感器扫描出来的有效数据范围，通过控制系统的数据处理系统，比较扫描图形与分层建模图形的超差，得到一系列路径规划上的超差数据。

步骤B4、控制系统根据零件的熔池坐标位置的变化和路径规划上的超差数据，驱动送丝枪按照一定速度变化纵向调整补偿，保证丝材熔滴稳定过渡，对缺陷部分进行修复，调整补偿不影响整体数控程序路径规划。

步骤B4中，对缺陷部分进行修复，可以是对凹坑部分增加送丝速度和束流，驼峰部分减小送丝速度。

B4中采用控制系统的补偿系统对缺陷进行修复。

步骤B5、位移传感器扫描熔池成型情况，重复步骤B2-B4，修复完成后，将送丝枪调整到初始位置。

步骤B6、继续下一层的熔丝成型制造，直至电子束熔丝分层制造过程结束。

上述基于激光2D扫描的电子束熔丝增材制造形貌测量装置，工作时可以每层或在指定层通过形貌测量装置高速扫描成型表面获得成型表面X方向和Z方向的位置坐标，通过外部触发信号或测量仪计数器可以得到y轴坐标系。并将形貌测量云图数据记录在控制系统中，通过数据处理系统生成三维图形。设定允差范围，计算实测形貌的尺寸与理论目标尺寸偏差。再通过补偿系统，根据计算实测形貌的尺寸与分层建模图形的尺寸偏差，然后根据尺寸发生偏差的区域和偏差的程度调整工艺参数对有偏差的区域进行修补。

图3和图4所示的电子束熔丝增材制造形貌测量装置的补偿控制方法，可以提供实时或者事后的形貌测量。根据形状误差，控制系统同步调整送丝速度，控制数控轴Z轴或送丝枪升降，保证熔覆层上表面与送丝枪的送丝嘴的距离L保持动态一致。这样就可以保证整个分层制造过程，不会因为熔覆层而“与送丝嘴距离小撞枪”或“粘丝”，不会因为熔覆层与送丝嘴距离大，丝材不能插入到熔池，出现熔滴“飞溅”或不熔丝。

图3和图4所示的电子束熔丝增材制造形貌测量装置的补偿控制方法，通过位移传感器实现2维或者3维的高速扫描电子束熔丝成型截面。可有效观察分层的成型截面效果，可以实时监控和事后调整层高变化情况。根据扫描的云图数据，控制系统软件甄别出有效数据，再与建模图形比较，超差部分的缺陷，通过数控轴Z轴轴向运动控制的叠加补偿或驱动送丝枪按照一定速度变化纵向调整补偿。形成零件形貌测量与控制系统同步调整工艺参数，对熔丝成型缺陷补偿的闭环控制方法。保证每层熔丝成型效果。

上述电子束熔丝增材制造形貌测量装置及其补偿控制方法，通过位移传感器实时扫描零件轮廓，与分层建模图形比较，通过数控轴Z轴轴向运动控制的叠加补偿或驱动送丝枪按照一定速度变化纵向调整补偿，可以对缺陷与超差部分可实现精确修复。

以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种电子束熔丝增材制造形貌测量装置，其特征在于，包括电子枪、送丝枪、真空室、工作台、形貌检测组件和控制系统；

所述电子枪和所述真空室连通，所述电子枪用于产生和发射电子束；

所述送丝枪设于所述真空室内，所述送丝枪用于提供焊丝；

所述工作台设于所述真空室内，所述工作台面对所述电子枪设置，所述工作台用于放置零件；

所述形貌检测组件包括位移传感器和位移传感器控制器，所述位移传感器安装于所述真空室的外壁以所述电子枪为圆心的半径不超过50mm的圆形区域内，所述位移传感器向所述真空室内发射激光束，所述位移传感器用于检测所述零件的位移和形状，所述位移传感器控制器和所述位移传感器电连接；

所述控制系统和所述位移传感器控制器电连接。

2.如权利要求1所述的电子束熔丝增材制造形貌测量装置，其特征在于，还包括真空泵组，所述真空泵组分别与所述真空室和所述电子枪连接，所述真空泵组用于给所述真空室和所述电子枪抽真空。

3.如权利要求1所述的电子束熔丝增材制造形貌测量装置，其特征在于，所述位移传感器为2D激光位移传感器或轮廓测量仪。

4.如权利要求1所述的电子束熔丝增材制造形貌测量装置，其特征在于，所述位移传感器控制器具有数据处理能力和内存。

5.如权利要求1所述的电子束熔丝增材制造形貌测量装置，其特征在于，所述控制系统包括数据处理系统，所述数据处理系统能够根据所述形貌检测组件得到的所述零件的各层实际成型形貌的位置坐标数据云图，绘制出各层成型形貌，通过对CAD模型与实测零件尺寸之间的对比运算得到零件的尺寸偏差数据。

6.如权利要求5所述的电子束熔丝增材制造形貌测量装置，其特征在于，所述控制系统还包括补偿系统，所述补偿系统能够根据所述零件实测的成型形貌与CAD模型之间尺寸偏差，选择指定的工艺参数，对所述零件尺寸有偏差的区域进行修补。

7.一种电子束熔丝增材制造形貌测量装置的补偿控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤A1、控制系统将零件的分层建模图形的分层数据和路径规划数据转化成数控程序，并根据所述数控程序控制工作台携带零件按照数控程序路径规划运动；

步骤A2、采用位移传感器进行实时扫描，得到扫描图形，所述控制系统读取所述零件的形貌特征、熔池坐标位置和路径规划进给速度；

步骤A3、所述控制系统结合所述零件的熔池坐标位置的变化，删选所述位移传感器扫描出来的有效数据范围，通过所述控制系统的数据处理系统，比较所述扫描图形与所述分层建模图形的超差，得到一系列路径规划上的超差数据；

步骤A4、所述控制系统根据所述零件的熔池坐标位置的变化和路径规划上的超差数据，驱动数控轴Z轴，在原有路径规划的基础上，增加数控轴Z轴轴向运动控制的叠加补偿，保证丝材熔滴稳定过渡，对缺陷部分进行修复，所述叠加补偿不影响整体数控程序路径规划；

步骤A5、所述位移传感器扫描熔池成型情况，重复步骤A2-A4，修复完成后，停止数控轴Z轴轴向运动控制的叠加补偿；

步骤A6、继续下一层的熔丝成型制造，直至电子束熔丝分层制造过程结束。

8.如权利要求7所述的电子束熔丝增材制造形貌测量装置的补偿控制方法，其特征在于，步骤A1之前还包括如下步骤：开启真空系统及高压电源，待电子束熔丝增材制造形貌测量装置的真空度及电压值达到额定要求后，电子枪发射电子束。

9.如权利要求7所述的电子束熔丝增材制造形貌测量装置的补偿控制方法，其特征在于，步骤A2之前还包括如下步骤：

所述控制系统控制丝材以设定速度输出。

10.一种电子束熔丝增材制造形貌测量装置的补偿控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤B1、控制系统将零件的分层建模图形的分层数据和路径规划数据转化成数控程序，并根据所述数控程序控制工作台携带零件按照数控程序路径规划运动；

步骤B2、采用位移传感器进行实时扫描，得到扫描图形，所述控制系统读取所述零件的形貌特征、熔池坐标位置和路径规划进给速度；

步骤B3、所述控制系统结合所述零件的熔池坐标位置的变化，删选所述位移传感器扫描出来的有效数据范围，通过所述控制系统的数据处理系统，比较所述扫描图形与所述分层建模图形的超差，得到一系列路径规划上的超差数据；

步骤B4、所述控制系统根据所述零件的熔池坐标位置的变化和路径规划上的超差数据，驱动送丝枪按照一定速度变化纵向调整补偿，保证丝材熔滴稳定过渡，对缺陷部分进行修复，所述调整补偿不影响整体数控程序路径规划；

步骤B5、所述位移传感器扫描熔池成型情况，重复步骤B2-B4，修复完成后，将送丝枪调整到初始位置；

步骤B6、继续下一层的熔丝成型制造，直至电子束熔丝分层制造过程结束。