CN107765202A - 集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准系统及方法 - Google Patents

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周厚平
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R35/00Testing or calibrating of apparatus covered by the other groups of this subclass
    • G01R35/005Calibrating; Standards or reference devices, e.g. voltage or resistance standards, "golden" references

Abstract

本发明公开一种集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准系统及方法,其基于现有的集成电路测试系统对负载芯片的交流参数测试程序,通过集成电路测试系统对稳定负载芯片运行交流参数测试程序,并采用外接交流参数测量仪表对测试过程中稳定负载芯片的管脚处的交流参数测量并与集成电路测试系统对该稳定负载芯片交流参数测量的结果进行比较,根据比较结果实现对集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准,从而无需针对每一个不同的待校准集成电路测试系统分别设计校准程序,且外部交流测量仪表是在测试过程中测量得到的参数值,因此校准数据更加接近实际应用,进而使得校准结果更加精确。

Description

集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准系统及方法
技术领域
[0001] 本发明涉及一种校准装置及校准方法,特别涉及集成电路测试系统中交流测量单 元在线校准装置及方法。
背景技术
[0002] 当前对集成电路测试系统的校准都是建立一套完整的校准装置,校准时测试系统 停止测试作业,并运行专用的校准程序使能够输出设定的信号已便于外部标准设备进行校 准,或者测量外部标准仪表输出的标准信号,并通过比较设定值和测量值得到校准结果。该 方法不能反映测试系统实际工况。并且需要根据不同的测试系统型号特别是工作的操作系 统及硬件资源,编写相应的校准程序。目前市场上集成电路测试系统繁多,虽然主流的测试 系统主要有UNIX/LINUX/WINDOWS三种,但是内核及其版本不同,校准程序的通用性也并不 强。同时每个测试系统的硬件配置情况,各用户购买的板卡类型不一样,也导致校准程序无 法通用。计量工作人员难以为每台集成电路测试系统编写不同的校准程序。因此难以开展 针对每台特定集成电路测试系统的校准工作。
发明内容
[0003] 本发明针对现有技术存在的问题,提出一种利用集成电路测试系统对芯片的交流 参数的测试过程实现对集成电路测试系统的交流测量单元的校准,从而实现集成电路测试 系统中交流测量单元在线校准装置及方法。
[0004] 为达到上述技术目的,本发明的技术方案提供一种集成电路测试系统中交流测量 单元的在线校准装置,其包括待校准集成电路测试系统、稳定被测对象以及交流参数测量 仪表,所述集成电路测试系统通过管脚连接与稳定被测对象之间形成测试回路,所述交流 参数测量仪表的输入端经阻抗匹配后连接被测对象的管脚测试端。
[0005] 一种集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准方法,所述集成电路测试系统 中交流测量单元的在线校准方法包括以下步骤:
[0006] S1、采用集成电路测试系统对稳定被测对象进行正常测试并得到相应交流参数的 测量值;
[0007] S2、采用交流参数测量仪表对测试中的被测对象的交流参数进行同步测量;
[0008] S3、将集成电路测试系统测量得到的交流参数与交流参数测量仪表测量得到的交 流参数进行比较,根据比较结果实现对集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准。
[0009] 本发明所述集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准系统及方法,其基于现 有的集成电路测试系统对负载芯片的交流参数测试程序,通过集成电路测试系统对稳定负 载芯片运行交流参数测试程序,并采用交流参数测量仪表对测试过程中稳定负载芯片测量 得到的交流参数值与集成电路测试系统对该稳定负载芯片测量得到的交流参数值进行比 较,根据比较结果实现对集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准,即利用集成电路 测试系统对芯片的交流参数的测试过程实现对集成电路测试系统的交流测量单元的并行 在线校准,从而无需针对每一个不同的待校准集成电路测试系统分别设计校准程序,且示 波器或其他交流参数测量仪表是在真实模拟测试过程中测量的交流参数值,因此校准数据 更加贴合实际操作应用,进而使得校准结果更加精确。
附图说明
[0010]图1为本发明所述集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准装置的模型图; [0011]图2为本发明所述集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准方法的流程框 图。
具体实施方式
[0012] 为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对 本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并 不用于限定本发明。
[0013] 本发明提供一种集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准装置,其包括待校 准集成电路测试系统10、稳定被测对象20以及交流参数测量仪表30,所述集成电路测试系 统10通过管脚连接与稳定被测对象20之间形成测试回路,所述交流参数测量仪表30的输入 端与稳定被测对象20的测试端对应连接。
[0014] 如图1所示,将所述集成电路测试系统10通过管脚连接与稳定被测对象20之间形 成测试回路,并将稳定被测对象20各引脚通过阻抗匹配后引出并连接到相应的交流参数测 量仪表30,将各交流参数测量仪表30通过网关50连接到控制工作站40,由控制工作站40对 交流参数测量仪表30的测量进行控制,其中切换适配器6〇用于将不同交流参数测量仪表3〇 根据测量需要连接到对应的管脚。所述交流参数测量仪表30为外接示波器或者其他时间等 测量仪表。
[0015] 如图2所示,图2为采用上述集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准装置进 行在线校准方法的流程框图,所述集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准方法包括 以下步骤:
[0016] S1、将稳定被测对象20置于集成电路测试系统1〇的测试座上,稳定被测对象20的 管脚处同时连接经过阻抗匹配的交流参数测量仪表30,采用集成电路测试系统10对稳定被 测对象20进行正常测试,并得到相应交流参数的测量值;具体的,所述稳定被测对象20优选 为541s245芯片或74ACT245芯片;
[0017] S2、采用交流参数测量仪表3〇对测试中的稳定被测对象20的交流参数进行同步测 #;
[0018] S3、将集成电路测试系统1〇测量得到的交流参数与交流参数测量仪表30测量得到 的交流参数进行比较,根据比较结果实现对集成电路测试系统10中交流测量单元的在线校 准。
[0019]具体的,所述集成电路测试系统1〇对芯片交流参数的测试主要分为tPLH (脉冲上升 时间)/tpHL (脉冲下降时间)/tPHZ (脉冲高电平-高阻时间)/tPZH (脉冲高阻-高电平时间)/tPZL (脉冲高阻-低电平时间)/恤2(脉冲低电平-高阻时间)。其中,tPLH的测1试过程如下,所述集 成电路测试系统10运行测试向量对芯片进行测试,使芯片输出中具有低电平到高电平的跳 转,同时外部交流测量仪表3〇同步在芯片管脚处测量芯片输出结果的低电平到高电平转化 时间,将外部交流测量仪表30测量的电平转化时间与集成电路测试系统10测量该输出管脚 电平转化的时间进行比较,根据比较结果对集成电路测试系统10的交流测量单元进行校 准。其他的交流参数的测量校准过程与tPLH的测试过程一致。
[0020] 如图1所示,采用74ACT245芯片作为稳定被测对象20,将74ACT245芯片管脚与集成 电路测试系统10的通道对应连接,并将74ACT245芯片的输入输出管脚通过阻抗匹配后连接 外部示波器,当集成电路测试系统10运行交流测试程序时,集成电路测试系统10驱动数字 向量给芯片的输入端以及74ACT245芯片的高阻配置端,使芯片具有‘低电平-高电平’、‘高 电平-低电平’、‘高阻态-低电平’、‘低电平-高阻态’、‘高电平-高阻态’、‘高阻态-高电平’ 等不同的输出状态。集成电路测试系统1〇运行测试程序并测量对应的交流参数值。外部交 流测量仪表30同步测量对应交流参数值。测量完成后,工作站40通过网关50分别读取集成 电路测试系统10和外部交流测量伩表30的值,并对比分析得到相应的校准结果。
[0021] 本发明所述集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准系统及方法,其基于现 有的集成电路测试系统对负载芯片的交流参数测试程序,通过集成电路测试系统对稳定负 载芯片运行交流参数测试程序,并采用交流参数测量仪表对测试过程中稳定负载芯片的交 流参数值与集成电路测试系统对该稳定负载芯片测量得到的交流参数值进行比较,根据比 较结果实现对集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准,即利用集成电路测试系统对 芯片的交流参数的测试过程实现对集成电路测试系统的交流测量单元的并行在线校准,从 而无需针对每一个不同的待校准集成电路测试系统分别设计校准程序,且交流参数测量仪 表是在真实模拟测试过程中测量的交流参数值,因此校准数据更加贴合实际操作应用,进 而使得校准结果更加精确。
[0022]以上所述本发明的具体实施方式,并不构成对本发明保护范围的限定。任何根据 本发明的技术构思所做出的各种其他相应的改变与变形,均应包含在本发明权利要求的保 护范围内。

Claims (6)

1. 一种集成电路测试系统中交流测量单兀的在线校准装置,其特征在于,包括待校准 集成电路测试系统、稳定被测对象以及交流参数测量仪表,所述集成电路测试系统通过管 脚连接与稳定被测对象之间形成测试回路,所述交流参数测量仪表的输入端经阻抗匹配后 连接被测对象的管脚测试端。
2. 根据权利要求2所述集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准装置,其特征在 于,所述稳定被测对象为541s245芯片或74ACT245芯片。
3. 根据权利要求1所述集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准装置,所述交流 参数测量仪表为外接示波器或者其他时间等测量仪表。
4. 一种集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准方法,其特征在于,所述集成电 路测试系统中交流测量单元的在线校准方法包括以下步骤: 51、 采用集成电路测试系统对稳定被测对象进行正常测试,并得到相应交流参数的测 量值; 52、 采用交流参数测量仪表对测试中的被测对象的交流参数进行同步测量; 53、 将集成电路测试系统测量得到的交流参数与交流参数测量仪表测量得到的交流参 数进行比较,根据比较结果实现对集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准。
5.根据权利要求4所述集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准装置,其特征在 于,所述稳定被测对象的交流参数具有短期稳定性。 ’、
6.根据权利要求5所述集成电路测试系统中交流测量单元的在线校准装置,所述交流 参数测量仪表为外接示波器或者其他时间等测量仪表。
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