CN107741690B - 紧凑型准共光路相移数字全息成像系统及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种紧凑型准共光路相移数字全息成像系统及方法,其中,系统包括:激光器;平面镜;显微物镜、针孔、准直透镜和线偏振片;非偏振分光棱镜和镀膜反射镜,镀膜反射镜连接压电陶瓷;像感器采集全息图,其中,全息图通过照射到物体上的物光波和被镀膜反射镜反射的参考光波干涉得到,调节载有非偏振分光棱镜的二维旋转调节架调节物光波角度,控制压电陶瓷实现参考光波的移相,通过相移算法以及衍射传播方法对全息图进行分析、重建,获取成像结果。该系统可以通过紧凑布置一个压电陶瓷驱动的镀膜反射镜和非偏振分光棱镜,调节二维旋转调节架,并控制压电陶瓷得到全息图,从而有效提高成像的稳定性、实用性和可靠性,简单易实现。
Description
技术领域
本发明涉及数字全息成像技术领域,特别涉及一种紧凑型准共光路相移数字全息成像系统及方法。
背景技术
数字全息具有动态快速、非侵入式无损成像、可以实现相位成像、三维成像的优点,其中相移数字全息成像方式,因为其结构简单,充分利用成像系统的空间带宽积,能够消除全息中的背景噪声和共轭像,在生物医学成像、粒子场测量等成像领域中得到了广泛的应用。然而传统的相移数字全息是基于非共路结构,同时需要拍摄多幅相移全息图,因此对环境稳定性提出了很高的要求,如何满足成像系统的高时间稳定性,使相移数字全息更加接近实用化,是亟待解决的科学技术问题。
目前,相移数字全息成像之所以对环境敏感,有两个方面的原因,一是因为传统的相移数字全息是基于非共光路的,典型的如马赫泽德干涉光路,物光波和参考光波在空间中行进的路径不同,所以容易受环境影响;二是相移数字全息本身就需要拍摄多幅全息图,意味着在不同的时间点完成,这就要求系统的时间稳定性要好,这两方面造成了相移数字全息对环境敏感。因此降低相移数字全息的环境敏感性的主要解决方法就是在这两方面做文章。
在相关技术中,利用并行相移技术避免在不同时刻拍摄全息图,即将像感器分为四个区域,每个区域对应不同的相移量,从而可以实现一次拍摄获得不同相移量的全息图,然而,这种操作牺牲了像感器的分辨率,同时像感器不同区域拍摄相移量不同的全息图也需要较为复杂的光学元件布置。
另一个思路就是解决非共路问题,取而代之的则是共路干涉结构利用一个傅里叶透镜作傅里叶变换,然后或者利用空间光调制器,或者利用压电驱动器,将傅里叶变换后的光场的一部分进行相移,另一部分不附加相移,然后再干涉便可以得到相移数字全息图。但是,这种结构光路较为复杂,且对准精度要求较高,实用性低,可靠性差,有待解决。
发明内容
本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。
为此,本发明的一个目的在于提出一种紧凑型准共光路相移数字全息成像系统,该系统可以有效提高成像的稳定性、实用性和可靠性,简单易实现。
本发明的另一个目的在于提出一种紧凑型准共光路相移数字全息成像方法。
为达到上述目的,本发明一方面实施例提出了一种紧凑型准共光路相移数字全息成像系统,包括:激光器,用于发出预设波长的激光;平面镜,用于对所述激光反射改变方向;显微物镜、针孔、准直透镜和线偏振片,分别用于对所述激光进行小孔滤波、扩束准直以及线偏振,以获取沿水平方向传播的线偏振平面波;非偏振分光棱镜和镀膜反射镜,所述膜反射镜连接压电陶瓷,由所述压电陶瓷驱动实现移相;像感器,在将待成像物体设置于所述非偏振分光棱镜前,一部分线偏振平面波照射到所述待成像物体上作为物光波,其另一部分线偏振平面波被所述镀膜反射镜反射作为参考光波,所述物光波与所述参考光波被所述非偏振分光棱镜合束而干涉,用所述像感器采集全息图,其中,所述全息图通过照射到物体上的所述物光波和被所述镀膜反射镜反射的所述参考光波干涉形成,调节载有所述非偏振分光棱镜的二维旋转调节架调节所述物光波的角度,并控制所述压电陶瓷实现所述参考光波的移相,通过相移算法以及衍射传播方法对所述全息图进行分析、重建,获取成像结果。
本发明实施例的紧凑型准共光路相移数字全息成像系统,可以通过在传播方向上紧凑布置一个压电陶瓷驱动的镀膜反射镜和非偏振分光棱镜,调节载有非偏振分光棱镜的二维旋转调节架,并控制压电陶瓷得到全息图,通过相移算法以及衍射传播方法对全息图进行分析、重建,获取成像结果,从而有效提高成像的稳定性、实用性和可靠性,简单易实现。
另外,根据本发明上述实施例的紧凑型准共光路相移数字全息成像系统还可以具有以下附加的技术特征:
进一步地,在本发明的一个实施例中,所述非偏振分光棱镜和所述镀膜反射镜沿光线行进方向紧凑布置,且所述镀膜反射镜的反射面垂直于水平面,与所述光线行进方向成45度角,以及所述非偏振分光棱镜的反射面和所述镀膜反射镜的反射面平行。
进一步地,在本发明的一个实施例中,所述物光波和所述参考光波被所述非偏振分光棱镜合束发生干涉,调节所述载有所述非偏振分光棱镜的二维旋转调节架,改变所述物光波的反射方向,形成同轴全息干涉,并控制所述压电陶瓷,改变所述参考光波的相位,用所述像感器采集多幅相移全息图。
进一步地,在本发明的一个实施例中,所述预设波长可以为532nm,但不限于某一固定波长。
进一步地,在本发明的一个实施例中,所述平面镜可以为镀银反射镜,但不限于镀银反射镜。
进一步地,在本发明的一个实施例中,所述显微物镜放大倍率可以为40倍,且数值孔径可以为0.65,但不限于此参数。
为达到上述目的,本发明另一方面实施例提出了一种紧凑型准共光路相移数字全息成像方法,包括以下步骤:通过激光器发出预设波长的激光,并在平面镜反射改变方向后,经过小孔滤波、扩束准直以及线偏振后,获取沿水平方向传播的线偏振平面波;将待成像物体设置于所述非偏振分光棱镜前,一部分线偏振平面波照射到待成像物体上作为物光波,其另一部分线偏振平面波被镀膜反射镜反射作为参考光波,所述物光波与所述参考光被所述非偏振分光棱镜合束而干涉;采集全息图,其中,所述全息图通过照射到物体上的所述物光波和被所述镀膜反射镜反射的所述参考光波干涉形成,调节载有所述非偏振分光棱镜的二维旋转调节架调节所述物光波的角度,并控制所述压电陶瓷实现所述参考光波的移相;通过相移算法以及衍射传播方法对所述全息图进行分析、重建,获取成像结果。
本发明实施例的紧凑型准共光路相移数字全息成像方法,可以通过在传播方向上紧凑布置一个压电陶瓷驱动的镀膜反射镜和非偏振分光棱镜,调节载有非偏振分光棱镜的二维旋转调节架,并控制压电陶瓷得到全息图,通过相移算法以及衍射传播方法对全息图进行分析、重建,获取成像结果,从而有效提高成像的稳定性、实用性和可靠性,简单易实现。
另外,根据本发明上述实施例的紧凑型准共光路相移数字全息成像方法还可以具有以下附加的技术特征:
进一步地,在本发明的一个实施例中,所述非偏振分光棱镜和所述镀膜反射镜沿光线行进方向紧凑布置,且所述镀膜反射镜的反射面垂直于水平面,与所述光线行进方向成45度角,以及所述非偏振分光棱镜的反射面和所述镀膜反射镜的反射面平行。
进一步地,在本发明的一个实施例中,所述物光波和所述参考光波被所述非偏振分光棱镜合束发生干涉,调节所述载有所述非偏振分光棱镜的二维旋转调节架,改变所述物光波的反射方向,形成同轴全息干涉,并控制所述压电陶瓷,改变所述参考光波的相位,用所述像感器采集多幅相移全息图。
本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本发明的实践了解到。
附图说明
本发明上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
图1为根据本发明一个实施例的紧凑型准共光路相移数字全息成像系统的结构示意图;
图2为根据本发明一个实施例的系统稳定性示意图;
图3为根据本发明一个实施例的紧凑型准共光路相移数字全息成像方法的流程图。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本发明,而不能理解为对本发明的限制。
下面参照附图描述根据本发明实施例提出的紧凑型准共光路相移数字全息成像系统及方法,首先将参照附图描述根据本发明实施例提出的紧凑型准共光路相移数字全息成像系统。
图1是本发明一个实施例的紧凑型准共光路相移数字全息成像系统的结构示意图。
如图1所示,该紧凑型准共光路相移数字全息成像系统100包括:激光器1、平面镜2、显微物镜3、针孔4、准直透镜5、线偏振片6、非偏振分光棱镜7、镀膜反射镜8和像感器9。
其中,激光器1用于发出预设波长的激光。平面镜2用于对激光反射改变方向。显微物镜3、针孔4、准直透镜5和线偏振片6,分别用于对激光进行小孔滤波、扩束准直以及线偏振,以获取沿水平方向传播的线偏振平面波。非偏振分光棱镜7和镀膜反射镜8,镀膜反射镜8连接压电陶瓷10,由压电陶瓷10驱动实现移相。像感器9,在将待成像物体11设置于非偏振分光棱镜前,一部分线偏振平面波照射到待成像物体11上作为物光波,其另一部分线偏振平面波被镀膜反射镜8反射作为参考光波,物光波与参考光被非偏振分光棱镜7合束而干涉,用像感器9采集全息图,其中,全息图通过照射到物体上的物光波和被镀膜反射镜反射8的参考光波干涉形成,调节载有非偏振分光棱镜的二维旋转调节架12调节物光波的角度,并控制压电陶瓷10实现参考光波的移相,通过相移算法以及衍射传播方法对全息图进行分析、重建,获取成像结果。该系统100可以通过紧凑布置一个压电陶瓷驱动的镀膜反射镜和非偏振分光棱镜,调节载有非偏振分光棱镜的二维旋转调节架,并控制压电陶瓷得到全息图,从而有效提高成像的稳定性、实用性和可靠性,简单易实现。
可选地,在本发明的一个实施例中,非偏振分光棱镜7和镀膜反射镜8沿光线行进方向紧凑布置,且镀膜反射镜8的反射面垂直于水平面,与光线行进方向成45度角,以及非偏振分光棱镜7的反射面和镀膜反射镜8的反射面平行。
也就是说,本发明实施例可以沿光线前进方向,紧凑布置一个镀膜反射镜8和非偏振分光棱镜7,镀膜反射镜8的反射面垂直于水平面,与光线行进方向成45度角,并且非偏振分光棱镜7的反射面与镀膜反射镜8的反射面平行。
进一步地,在本发明的一个实施例中,物光波和参考光波被非偏振分光棱镜7合束发生干涉,调节载有非偏振分光棱镜7的二维旋转调节架12,改变物光波的反射方向,形成同轴全息干涉,并控制压电陶瓷10,改变参考光波的相位,用像感器9采集多幅相移全息图。
可以理解的是,被镀膜反射镜8反射的参考光波透射经过非偏振分光棱镜7,物光波和参考光波被非偏振分光棱镜7合束发生干涉,调节非偏振分光棱镜的二维旋转调节架12,改变物光波的反射方向,形成同轴全息干涉,并控制压电陶瓷10,改变参考光波的相位,用像感器9拍摄相应多幅相移全息图。以四步相移为例,公式为:
其中,物光波为参考光波为r(x,y)exp[iφ(x,y)],||代表取绝对值操作。
具体而言,本发明实施例可以利用激光扩束准直技术,得到一束直径较大沿水平方向传播的线偏振平面波,在传播方向上紧凑布置一个压电陶瓷10驱动的镀膜反射镜8和非偏振分光棱镜7,镀膜反射镜8的反射面垂直于水平面,与光线行进方向成45度角;非偏振分光棱镜7的反射面与镀膜反射镜8的反射面平行,非偏振分光棱镜7前放置待成像物体11,平面波一部分照明物体后被非偏振分光棱镜7反射作为物光波,一部分直接被镀膜反射镜8反射作为参考光波,同时参考光波透过非偏振分光棱镜7与物光波合束,发生干涉,通过压电陶瓷10控制镀膜反射镜7的移动量,实现参考光波的移相,像感器9记录多幅相移全息图。发生干涉的两束光来自于同一个波前且基本共路,具有高度稳定性;同时又可以分别调节,具有调节灵活性的特点。
可选地,在本发明的一个实施例中,预设波长可以为532nm,但不限于某一固定波长。
可选地,在本发明的一个实施例中,平面镜2可以为镀银反射镜,但不限于镀银反射镜。
可选地,在本发明的一个实施例中,显微物镜3放大倍率可以为40倍,且数值孔径可以为0.65,但不限于此参数。
在本发明的一个具体实施例中,如图1所示,激光器1(波长为532nm)出射的线偏振光经过反射镜2反射,然后进入针孔滤波系统的显微物镜3(放大倍率为40倍,数值孔径为0.65)被聚焦,然后进入针孔4,实现针孔滤波,同时被扩束,成为一束发散的球面波,然后进入准直透镜5,变成一束准直的平行光,通过线偏振片6后,成为一束线偏振的平面波。来自同一个平面波前,一部分照射到待成像物体11上,作为物光波,然后被非偏振分光棱镜7反射,另一部分被镀膜反射镜8反射作为参考光波,同时被镀膜反射镜8反射的参考光波经过非偏振分光棱镜7合束,与物光波干涉。通过调节非偏振分光棱镜的二维旋转调节架12,实现同轴干涉。并在系统调整好之后,控制压电陶瓷9中的压电陶瓷驱动器移动镀膜反射镜8,实现参考光波移相,像感器9记录相应的多幅相移全息图。紧接着将得到的全息图进行相移算法和衍射算法的处理,便可以得到成像结果。其中,如图2所示,可以得到本发明实施例稳定的示意图,本发明实施例设计的准共路光路结构能够实现高的系统时间稳定性,即在一段时间内,测量值不会有太大波动。然而非共路结构,因为两束光经过的路径不同,不同路径下环境的变化不同(如空气折射率,机械振动等)所以在一段时间内,测量值会有较大的波动。
综上,本发明实施例的激光经过准直扩束之后,成为一束平行光,再经过线偏振片6调制,成为线偏振的平行光,一部分照射待成像物体11,然后经非偏振分光棱镜7反射后作为物光波,另一部分被压电陶瓷10驱动的镀膜反射镜反射8作为参考光波,压电陶瓷10驱动镀膜反射镜8实现参考光波的移相,同时被镀膜反射镜8反射的参考光波也透射经过非偏振分光棱镜7,物光波和参考光波被非偏振分光棱镜7合束,发生干涉,形成相应的几幅相移全息图,被像感器9记录下来,并通过移相算法的处理,可以得到像感器9平面的物体传播后的复振幅信息,再经过数值模拟逆向传播,便可以重建待成像物体6。本发明实施例可以采用准共光路设计,稳定性很好,不容易受环境波动影响,相移数字全息稳定性要求易于满足;两束干涉光来自同一个波前,所以干涉条纹的对比度很高;核心干涉装置布置紧凑,所以具有良好的便携性。
根据本发明实施例提出的紧凑型准共光路相移数字全息成像系统,可以通过在传播方向上紧凑布置一个压电陶瓷驱动的镀膜反射镜和非偏振分光棱镜,调节载有非偏振分光棱镜的二维旋转调节架,并控制压电陶瓷得到全息图,通过相移算法以及衍射传播方法对全息图进行分析、重建,获取成像结果,从而有效提高成像的稳定性、实用性和可靠性,简单易实现。
其次参照附图描述根据本发明实施例提出的紧凑型准共光路相移数字全息成像方法。
图3是本发明一个实施例的紧凑型准共光路相移数字全息成像方法的流程图。
如图3所示,该紧凑型准共光路相移数字全息成像方法包括一下步骤:
在步骤S301中,通过激光器发出预设波长的激光,并在平面镜反射改变方向后,经过小孔滤波、扩束准直以及线偏振后,获取沿水平方向传播的线偏振平面波。
在步骤S302中,将待成像物体设置于非偏振分光棱镜前,一部分线偏振平面波照射到待成像物体上作为物光波,其另一部分线偏振平面波被镀膜反射镜反射作为参考光波,物光波与参考光被非偏振分光棱镜合束而干涉。
在步骤S303中,采集全息图,其中,全息图通过照射到物体上的物光波和被镀膜反射镜反射的参考光波干涉形成,调节载有非偏振分光棱镜的二维旋转调节架调节物光波的角度,并控制压电陶瓷实现参考光波的移相。
在步骤S304中,通过相移算法以及衍射传播方法对全息图进行分析、重建,获取成像结果。
进一步地,在本发明的一个实施例中,非偏振分光棱镜和镀膜反射镜沿光线行进方向紧凑布置,且镀膜反射镜的反射面垂直于水平面,与光线行进方向成45度角,以及非偏振分光棱镜的反射面和镀膜反射镜的反射面平行。
进一步地,在本发明的一个实施例中,物光波和参考光波被非偏振分光棱镜合束发生干涉,调节载有非偏振分光棱镜的二维旋转调节架,改变物光波的反射方向,形成同轴全息干涉,并控制压电陶瓷,改变参考光波的相位,用像感器采集多幅相移全息图。
需要说明的是,前述对紧凑型准共光路相移数字全息成像系统实施例的解释说明也适用于该实施例的紧凑型准共光路相移数字全息成像方法,此处不再赘述。
根据本发明实施例提出的紧凑型准共光路相移数字全息成像方法,可以通过在传播方向上紧凑布置一个压电陶瓷驱动的镀膜反射镜和非偏振分光棱镜,调节载有非偏振分光棱镜的二维旋转调节架,并控制压电陶瓷得到全息图,通过相移算法以及衍射传播方法对全息图进行分析、重建,获取成像结果,从而有效提高成像的稳定性、实用性和可靠性,简单易实现。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例,可以理解的是,上述实施例是示例性的,不能理解为对本发明的限制,本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
Claims (9)
1.一种紧凑型准共光路相移数字全息成像系统,其特征在于,包括:
激光器,用于发出预设波长的激光;
平面镜,用于对所述激光反射改变方向;
显微物镜、针孔、准直透镜和线偏振片,分别用于对所述激光进行小孔滤波、扩束准直以及线偏振,以获取沿水平方向传播的线偏振平面波;
非偏振分光棱镜和镀膜反射镜,所述镀膜反射镜连接压电陶瓷,由所述压电陶瓷驱动实现移相;以及
像感器,在将待成像物体设置于所述非偏振分光棱镜前,一部分线偏振平面波照射到所述待成像物体上作为物光波,其另一部分线偏振平面波被所述镀膜反射镜反射作为参考光波,所述物光波与所述参考光波被所述非偏振分光棱镜合束而干涉,用所述像感器采集全息图,其中,所述全息图通过照射到物体上的所述物光波和被所述镀膜反射镜反射的所述参考光波干涉形成,调节载有所述非偏振分光棱镜的二维旋转调节架调节所述物光波的角度,并控制所述压电陶瓷实现所述参考光波的移相,通过相移算法以及衍射传播方法对所述全息图进行分析、重建,获取成像结果。
2.根据权利要求1所述的紧凑型准共光路相移数字全息成像系统,其特征在于,所述非偏振分光棱镜和所述镀膜反射镜沿光线行进方向紧凑布置,且所述镀膜反射镜的反射面垂直于水平面,与所述光线行进方向成45度角,以及所述非偏振分光棱镜的反射面和所述镀膜反射镜的反射面平行。
3.根据权利要求1或2所述的紧凑型准共光路相移数字全息成像系统,其特征在于,所述物光波和所述参考光波被所述非偏振分光棱镜合束发生干涉,调节所述载有所述非偏振分光棱镜的二维旋转调节架,改变所述物光波的反射方向,形成同轴全息干涉,并控制所述压电陶瓷,改变所述参考光波的相位,用所述像感器采集多幅相移全息图。
4.根据权利要求1所述的紧凑型准共光路相移数字全息成像系统,其特征在于,所述预设波长为532nm。
5.根据权利要求1所述的紧凑型准共光路相移数字全息成像系统,其特征在于,所述平面镜为镀银反射镜。
6.根据权利要求1所述的紧凑型准共光路相移数字全息成像系统,其特征在于,所述显微物镜放大倍率为40倍,且数值孔径为0.65。
7.一种紧凑型准共光路相移数字全息成像方法,其特征在于,包括以下步骤:
通过激光器发出预设波长的激光,并在平面镜反射改变方向后,经过小孔滤波、扩束准直以及线偏振后,获取沿水平方向传播的线偏振平面波;
将待成像物体设置于非偏振分光棱镜前,一部分线偏振平面波照射到待成像物体上作为物光波,其另一部分线偏振平面波被镀膜反射镜反射作为参考光波,所述物光波与所述参考光被所述非偏振分光棱镜合束而干涉;
采集全息图,其中,所述全息图通过照射到物体上的所述物光波和被所述镀膜反射镜反射的所述参考光波干涉形成,调节载有所述非偏振分光棱镜的二维旋转调节架调节所述物光波的角度,并控制所述压电陶瓷实现所述参考光波的移相;以及
通过相移算法以及衍射传播方法对所述全息图进行分析、重建,获取成像结果。
8.根据权利要求7所述的紧凑型准共光路相移数字全息成像方法,其特征在于,所述非偏振分光棱镜和所述镀膜反射镜沿光线行进方向紧凑布置,且所述镀膜反射镜的反射面垂直于水平面,与所述光线行进方向成45度角,以及所述非偏振分光棱镜的反射面和所述镀膜反射镜的反射面平行。
9.根据权利要求7或8所述的紧凑型准共光路相移数字全息成像方法,其特征在于,所述物光波和所述参考光波被所述非偏振分光棱镜合束发生干涉,调节所述载有所述非偏振分光棱镜的二维旋转调节架,改变所述物光波的反射方向,形成同轴全息干涉,并控制所述压电陶瓷,改变所述参考光波的相位,用所述像感器采集多幅相移全息图。
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