CN107624038B - 一种监控方法、微电子加工方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种监控方法、微电子加工方法及装置。该监控方法用于监控加热部件的加热能力，包括：步骤S1，采集当前输出功率百分比下的加热部件的输出电流值；步骤S2，判断所述输出电流值是否发生变化；步骤S3，判断所述当前输出功率百分比下的输出电流值的变化次数是否超出预设变化次数；步骤S4，获得所述当前输出功率百分比下的标准电流值；步骤S5，计算当前输出功率百分比下的所述输出电流值与所述标准电流值的差值；步骤S6，判断所述差值是否超出预设的电流容差范围；步骤S7，抛出报警。该微电子加工方法可避免加载功率时的冲击电流造成误报警。

Description

一种监控方法、微电子加工方法及装置

技术领域

本发明属于微电子技术领域，涉及一种微电子加工方法及装置。

背景技术

在加工集成电路、LED、光伏、平板显示屏的过程中，有许多工序需要将工件加热到一定温度。例如，为了去除工件表面的水和有机物等杂质，需要将工件放入去气(Degas)腔室加热到一定温度，目前主要采用的加热部件有灯管、灯泡和基座三种。在使用过程中，加热部件的加热能力会随着使用时间的延长而降低。因此，需要监控加热部件的加热能力。

由于施加在加热部件两端的电压恒定，因此比较普遍的监控方式是监控加热部件的输出电流值，通过输出电流值获得输出功率，以此判断加热部件的加热能力。但在监控过程时，由于电源本身的物理特性，即每次加载功率时均有较大的冲击电流，造成误报警。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种阻抗匹配方法，该方法可避免误报警。

解决上述技术问题的所采用的技术方案是提供一种监控方法，用于监控加热部件的加热能力，包括以下步骤：步骤S1，采集当前输出功率百分比下的加热部件的输出电流值；步骤S2，判断所述输出电流值是否发生变化，若是，则执行步骤S3，若否，则返回步骤S1；步骤S3，判断所述当前输出功率百分比下的输出电流值的变化次数是否超出预设变化次数，若是，则执行步骤S4,若否，则返回步骤S1；步骤S4，获得所述当前输出功率百分比下的标准电流值；步骤S5，计算当前输出功率百分比下的所述输出电流值与所述标准电流值的差值；步骤S6，判断所述差值是否超出预设的电流容差范围，若是，则执行步骤S7；若否，则返回步骤S1；步骤S7，抛出报警。

优选地，在步骤S4中，通过数据订阅方式或计时器轮询方式获得所述标准电流值。

优选地，在步骤S4中，所述标准电流值通过以下步骤获得：步骤S41，判断空闲输出功能是否处于开启状态，若否，则执行步骤S43；若是，则执行步骤S42；步骤S42，关闭所述空闲输出功能；步骤S43，关闭加热部件；步骤S44，清空原有标准电流值；步骤S45，按照n％的所述输出功率百分比间隔采集输出电流值并生成新的标准电流值，其中，n为正整数。

优选地，所述步骤S45包括：步骤S451，开启所述加热部件并将输出功率百分比的间隔设定为n％；步骤S452，等待所述加热部件稳定；步骤S453，设定初始值i；步骤S454，计算N＝i×n，获得输出功率百分比N％；步骤S455，判断所述输出功率百分比N％是否小于100％，若是，则设定输出功率百分比为N％，再执行步骤S456；若否，则生成完整输出功率百分比下新的标准电流值，再执行步骤S4511；步骤S456，等待所述加热部件稳定；步骤S457，判断所述输出功率百分比下采集的所述输出电流值的数量是否达到M个，若否，则执行步骤S458；若是，则执行步骤S4510；其中，M为正整数；步骤S458，采集所述输出功率百分比下的输出电流值；步骤S459，等待采样间隔T后返回步骤S457；步骤S4510，计算所述输出功率百分比下获得的M个所述输出电流值的平均值以获得新的标准电流值，并使所述初始值i+1后返回步骤S454；步骤S4511，关闭所述加热部件。

优选地，在步骤S41之前包括：设置所述空闲输出功能的开启条件。

优选地，在步骤S45之后包括：步骤S46，判断是否需要开启所述空闲输出功能，若是，则开启所述空闲输出功能；若否，则结束。

优选地，在步骤S7后包括：步骤S8，维护所述加热部件；步骤S9，分析所述加热部件的加热能力。

优选地，所述步骤S9包括：步骤S91，判断所述空闲输出功能是否处于开启状态，若是，则执行步骤S92；若否，则执行步骤S93；步骤S92，关闭所述空闲输出功能；步骤S93，关闭所述加热部件；步骤S94，将所述输出功率百分比设置为0％；步骤S95，按照n％的所述输出功率百分比间隔采集输出电流值，获得完整输出功率范围内的分析电流值；步骤S96，比较各输出功率百分比下所述分析电流值和所述标准电流值，以获得分析电流值相对于所述标准电流值增减的百分比。

优选地，在步骤S96之后包括：步骤S97，判断是否开启所述空闲输出功能，若是，则开启所述空闲输出功能；若否，则结束。

本发明还提供一种微电子加工方法，包括用于监控加热部件的加热能力的监控步骤，所述监控步骤采用本发明上述提供的监控方法进行。

本发明还提供一种微电子加工装置，包括：采集单元，用于采集当前输出功率百分比下的加热部件的输出电流值；第一判断单元，用于判断所述输出电流值是否发生变化，若是，则将判断结果传输至第二判断单元；第二判断单元，用于判断所述当前输出功率百分比下的输出电流值的变化次数是否超出预设变化次数，若是，则将判断结果传输至计算单元；存储单元，用于存储连续输出功率百分比下的标准电流值；提取单元，用于从所述存储单元获取所述当前输出功率百分比下的所述标准电流值；计算单元，用于计算当前输出功率百分比下的所述输出电流值与所述标准电流值的差值；第三判断单元，用于判断所述差值是否超出预设的电流容差范围，并且，当所述差值超出预设的电流容差范围时抛出报警；报警单元，用于报警。

优选地，所述第一判断单元通过数据订阅方式判断所述输出电流值是否发生变化。

优选地，包括标准电流值获取单元，其包括：第一判断模块，用于判断所述空闲输出功能是否处于开启状态；第一开关模块，用于开启或关闭所述空闲输出功能；第二开关模块，用于开启或关闭所述加热部件；初始化模块，用于清空所述存储单元内原有的标准电流值；设置模块，用于设置输出功率百分比的间隔，以使所述采集单元按照所述输出功率百分比间隔采集对应的输出电流值；第一生成模块，用于根据所述采集单元采集到的输出电流值生成新的标准电流值。

优选地，包括加热能力分析单元，其包括：第一判断模块，用于判断所述空闲输出功能是否处于开启状态；第一开关模块，用于开启或关闭所述空闲输出功能；第二开关模块，用于开启或关闭所述加热部件；设置模块，用于设置所述输出功率百分比的初始值以及所述输出功率百分比的间隔；第二生成模块，用于将所述采集单元采集到的输出电流值生成分析电流值，其中，n为正整数；分析模块，用于根据连续输出功率百分比下所述分析电流值和所述标准电流值获得分析电流值增减的百分比。

优选地，包括第二判断模块，用于判断是否需要开启所述空闲输出功能。

优选地，包括记录模块，用于记录所述空闲输出功能开启条件。

本发明具有以下有益效果：

本发明提供的监控方法，首先判断输出电流值是否发生变化，再判断输出电流值的变化次数是否超出预设变化次数，只有当输出电流值的变化次数达到预设变化次数时，才去判断输出电流值的变化是否超出预设的电流容差范围，以确定是否需要抛出报警，从而避免了加载功率时冲击电流造成的误报警。

另外，本发明还提供一种微电子加工方法，通过判断输出电流值的变化次数和输出电流值来确定是否报警，避免了加载功率时冲击电流造成的误报警。

此外，本发明提供的微电子加工装置，只有输出电流值的变化次数超出预设变化次数时，第三判断单元才去判断输出电流值与标准电流值的差值是否超出电流容差范围，以确定是否需要抛出报警。该微电子加工装置可避免加载功率时的冲击电流造成误报警。

附图说明

图1为本发明实施例提供的微电子加工方法的流程图；

图2为本发明实施例提供的监控加热部件的加热能力的流程图；

图3为本发明实施例提供的采集标准电流值的流程图；

图4为本发明实施例提供的采集某一输出功率百分比下的标准电流值的流程图；

图5为本发明实施例提供的分析加热部件的加热能力的流程图；

图6为本发明实施例提供微电子加工装置的结构框图；

图7为本发明实施例提供的标准电流值获取单元的结构框图；

图8为本发明实施例提供的加热能力分析单元的结构框图。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的监控方法、微电子加工方法及设备进行详细描述。

在微电子加工设备中，利用诸如加热灯、加热管和/或基座等加热部件加热被加工工件，以满足实施工艺的条件。然而，加热部件的加热能力会随着使用时间的增加而降低，为了避免加热能力降低而影响加工工艺，在微电子加工过程中需实时监控加热部件的加热能力，以便及时维护、校准加热部件的加热能力。

下文以监控去气腔室内的加热部件的加热能力为例，介绍本发明微电子加工方法中加热部件的监控流程。本实施例是通过监控加热部件的输出功率来判断其加热能力。又由于加热部件两端的电压恒定，因此，只需监控加热部件的输出电流值即可监控加热部件的输出功率。

在微电子加工方法中，用于监控加热部件的加热能力的基本流程如图1所示，该微电子加工方法主要包括以下步骤：

步骤S11，采集标准电流值并设定电流容差。

标准电流值是指更换新的加热部件或维护加热部件后获得的不同输出功率百分比下的输出电流值，也就是说，标准电流值是一个相对值。电流容差是指加热部件的输出电流值允许的波动范围，当监测到的输出电流值在该范围时，则认为加热单元的加热能力正常；当监测到的输出电流值不在该范围时，则认为加热单元的加热能力异常。

步骤S12，判断是否执行工艺，若是，则继续执行步骤S12；若否，则执行步骤S13。

步骤S13，执行工艺。

步骤S14，在执行工艺过程中实时监控加热单元的输出电流。

步骤S15，判断是否需要抛出报警，若是，则执行步骤S16；若否，则执行步骤S12。

步骤S16，维护加热部件并分析加热能力。

步骤S17，判断是否需要重新采集标准电流值，若是，则执行步骤S11；若否，则执行步骤S12。

然而，在执行工艺时，初次加载功率所产生的冲击电流容易造成误报警，影响工艺的正常进行，以及降低加工效率。为了有效地监控加热部件的加热能力，并避免发生误报警。本实施例特别提供一种监控加热部件的加热能力的监控方法。如图2所示，该监控方法包括以下步骤：

步骤S1，采集当前输出功率百分比下的加热部件的输出电流值。

在步骤S1中，输出电流值通过电流传感器获得。

步骤S2，判断所述输出电流值是否发生变化，若是，则执行步骤S3，若否，则执行步骤S1。

在步骤S2中，可通过计时器轮询方式和数据订阅方式判断输出电流值是否发生变化。本实施例优选采用数据订阅方式，这样既保证了不丢失数据，又减少了与硬件的通讯，提高了效率。

步骤S3，判断所述当前输出功率百分比下的输出电流值的变化次数是否超出预设变化次数，若是，则执行步骤S4,若否，则返回步骤S1。

在步骤S3中，预设变化次数是由使用者预先设定。

步骤S4，获得所述当前输出功率百分比下的标准电流值。

在步骤S4中，标准电流值预先存储在存储单元中，只需从存储单元调用所需输出功率百分比下的标准电流值即可。标准电流值的获得方式在下文介绍。

步骤S5，计算当前输出功率百分比下的所述输出电流值与所述标准电流值的差值。

在步骤S5中，将步骤S1中获得的当前输出功率百分比下的输出电流值和步骤S4中获得的当前输出功率百分比下的标准电流值进行比较，获得输出电流值与标准电流值的差值。

步骤S6，判断所述差值是否超出预设的电流容差范围，若是，则执行步骤S7；若否，则返回步骤S1。

在步骤S6中，电流容差范围是根据工艺对加热精度的要求确定，是由使用者预先确定。

步骤S7，抛出报警。

当使用者收到报警信息后，根据具体情况判断是否继续工艺还是需要马上对加热部件进行维护。如果需要马上维护，则执行步骤S8和步骤S9。

步骤S8，维护加热部件。

在步骤S8中，可对加热能力差的加热部件进行维修或更换。

步骤S9，分析加热部件的加热能力。

重新分析加热部件的加热能力，必要时更新标准电流值。

下面详细介绍步骤S4的详细步骤。如图3所示，标准电流值通过以下步骤获得：

步骤S40，设置空闲输出功能的开启条件。

在微电子加工过程中，当工艺腔室未实施工艺或等待实施工艺时，需要维持恒定的温度，此时加热部件仍需按一定输出功率工作。空闲输出功能是指加热部件在工艺腔室处于空闲状态时用于维持工艺腔室温度的一种功能。在获取标准电流值时，需要关闭空闲输出功能。

步骤S41，判断空闲输出功能是否处于开启状态，若否，则执行步骤S43；若是，则执行步骤S42。

步骤S42，关闭空闲输出功能。

步骤S43，关闭加热部件。

在获取标准电流值时，需要初始化加热部件，将加热部件的输出功率置零。最简单的做法是直接将加热部件关闭。

步骤S44，清空原有标准电流值。

在获取标准电流值之前，首先要清空原有标准电流值。

步骤S45，按照n％的输出功率百分比间隔采集输出电流值并生成新的完整输出功率百分比下的标准电流值，其中，n为正整数。

在步骤S45中，分别采集输出功率百分比为n％、2n％、3n％…时的输出电流值，即按照n％的输出功率百分比间隔(公差)采集输出电流值，其中，n为正整数。然后生成新的标准电流值，而且，生成的标准电流值是完整输出功率百分比下的输出电流值，即输出功率百分比按照1％的间隔递增。具体地采集过程在下文详细描述。

需要说明的是，当采集的输出功率百分比间隔为1％时，采集的数据较多，获得标准电流值的时间较长，容易导致工艺腔室温度较高，损坏设备。经研究发现，输出功率百分比与加热部件输出的标准电流值呈线性增长，因此，优选采集的输出功率百分比间隔大于1％，如采集的输出功率百分比间隔为3％、4％、5％或更大。即按照n％输出功率百分比间隔获得间隔为n的标准电流值，然后扩展为1％、2％、3％…100％完整输出功率范围下的标准电流值。这样可以缩短采集时间，避免损坏设备。

在实际生产过程中，当获得标准电流值后，需要回复生产，因此，需要开启空闲输出功能。因此，在步骤S45之后，还包括：

步骤S46，判断是否需要开启所述空闲输出功能，若是，则执行步骤S47；若否，则结束。

步骤S47，开启空闲输出功能。

开启空闲输出功能，使工艺腔室保持生产状态。

下面详细介绍步骤S45的过程。如图4所示，步骤S45包括：

步骤S451，开启加热部件并将输出功率百分比的间隔设定为n％。

由于在步骤S43中已经将加热部件关闭，在开始采集电流值前先将其开启。

步骤S452，等待加热部件稳定。

由于加热部件在开始阶段都会有冲击电流，为避免冲击电流影响采集数据的准确性，需要在开启加热部件后经过一段等待时间。等待时间WAIT()根据具体设备状况确定。

步骤S453，设定初始值i。

本实施例将i的初始值设置为1，即i＝1。

步骤S454，计算N＝i×n，获得输出功率百分比N％。

n为输出功率百分比间隔n％中的n，N为采集输出功率百分比N％下标准电流值中的N。

步骤S455，判断所述输出功率百分比N％是否小于100％，若是，则设定输出功率百分比为N％，再执行步骤S456；若否，则生成完整输出功率百分比下新的标准电流值，再执行步骤S4511。

这里所指的完整输出功率百分比是指按照1％的所述输出功率百分比间隔获得标准电流值，即按照1％、2％、3％…100％输出功率百分比递增序列获得对应的标准电流值。

步骤S456，等待加热部件稳定。

当调整加热部件的输出功率时，同样会出现冲击电流，为避免冲击电流的影响，需要设置一定时长的等待时间WAIT()。等待时间WAIT()根据实际需要设定。

步骤S457，判断所述输出功率百分比下采集的所述输出电流值的数量是否达到M个，若否，则执行步骤S458；若是，则执行步骤S4510；其中，M为正整数。

为了提高标准电流值的准确率，本实施例在每个输出功率百分比下采集M个输出电流值，然后取其平均值作为标准电流值。M值可以为5或10或其它数值。

步骤S458，采集所述输出功率百分比下的输出电流值。

输出电流值通过电流传感器获得。

步骤S459，等待采样间隔T后返回步骤S457。

在获取一个输出电流值后，需要等待一定的采样间隔T，再获取下一个输出电流值。采样间隔T根据实际情况任意设定。

步骤S4510，计算所述输出功率百分比下获得的M个所述输出电流值的平均值以获得该输出功率百分比下新的标准电流值，并使所述初始值i+1后返回步骤S454。

步骤S4511，关闭加热部件。

由步骤S451至步骤S4511可知，本实施例是通过间隔采集输出功率百分比下的输出电流值获得完整输出功率百分比下的标准电流值，获得一个电流标准样本，缩短了采集时间，避免了工艺腔室温度过热而导致设备损坏。

下面介绍维护加热部件后对加热部件的加热能力进行分析的步骤。如图5所示，分析加热能力的步骤包括：

步骤S90，设置空闲输出功能的开启条件。

步骤S91，判断所述空闲输出功能是否处于开启状态，若是，则执行步骤S92；若否，则执行步骤S93。

步骤S92，关闭所述空闲输出功能。

步骤S93，关闭所述加热部件。

分析加热能力与采集标准电流值类似，在分析加热能力之前，首先需要关闭空闲输出功能。因此步骤S90至步骤S93与采集标准电流值流程中步骤S40至步骤S43基本相同。

步骤S94，将输出功率百分比设置为0％。

在步骤S94中，需要从完整(全)输出功率范围内分析加热部件的加热能力，因此，首先将输出功率百分比设置为0％。

步骤S95，按照n％的输出功率百分比间隔采集输出电流值，并获得完整输出功率范围内的分析电流值。

在分析加热部件的加热能力时，按照n％输出功率百分比间隔采集加热部件的输出功率，获得间隔的分析电流值，其中，n为正整数。为了缩短分析时间，n取大于1的整数，如3、5、8或其它数值。根据间隔的分析电流值生成连续输出功率百分比下的分析电流值，即生成1％、2％、3％…100％输出功率百分比下的分析电流值。

步骤S96，比较各输出功率百分比下分析电流值和标准电流值，以获得分析电流值相对于所述标准电流值增减的百分比。

将步骤S95获得的成连续输出功率百分比下的分析电流值与已经存储在存储单元内的原有标准电流值进行比较，获得分析电流值相对于标准电流值增减的百分比，以为是否调节工艺中设定的输出功率百分比提供依据。例如：假设加热部件维护之前的最大输出功率是10kW，工艺过程中需要的输出功率是5kW，因此，在执行工艺时设定输出功率百分比为50％，此时对应的标准电流值是50A；维护之后，由于加热部件的加热能力降低，50％的输出功率百分比得到的输出电流为45A。执行步骤S96后，得出“50％的输出功率百分比下，加热部件的加热能力降低了10％”。操作员据此需要调高设定的输出功率百分比，如将输出功率百分比重新设定为55％。另外，如果有必要，还需重新生成标准电流值。

到步骤S96为止，已将加热部件的加热能力分析完毕。但在实际微电子加工时，当加热部件的加热能力分析完毕后，需执行后续的工艺，或者为后续工艺做准备。因此，微电子加工方法还包括：

步骤S97，判断是否开启空闲输出功能，若是，则执行步骤S98；若否，则结束。

步骤S98，开启空闲输出功能。

在步骤S98中，开启空闲输出功能是为了使微电子加工设备维持执行工艺的状态。

上文完整介绍了微电子加工方法中用于监控加热部件的加热能力的监控方法，该监控方法首先判断输出电流值是否发生变化，再判断输出电流值的变化次数是否超出预设变化次数，只有当输出电流值的变化次数达到预设变化次数时，才去判断输出电流值的变化是否超出预设的电流容差范围，以确定是否需要抛出报警，从而避免了加载功率时的冲击电流造成误报警。

类似地，本实施例提供的微电子加工方法通过判断输出电流值的变化次数和输出电流值来确定是否报警，避免了加载功率时冲击电流造成的误报警，从而避免了工艺中断并提高了设备的加工效率。

如图6所示，本发明还提供一种微电子加工设备，包括采集单元61、第一判断单元62、第二判断单元63、存储单元64、提取单元65、计算单元66、第三判断单元67和报警单元68，其中，

采集单元61用于采集当前输出功率百分比下的加热部件的输出电流值，并将获得的输出电流值传输至第一判断单元62。采集单元61为电流传感器等测量电流的装置。

第一判断单元62的输入端与采集单元61的输出端电连接，第一判断单元62用于判断采集单元61获得的输出电流值是否发生变化，若是，则将判断结果和采集单元61获得的输出电流值传输至第二判断单元63。第一判断单元62可以通过计时器轮询方式或数据订阅方式捕获所述输出电流值是否发生变化。本实施例优选采用数据订阅方式捕获所述输出电流值是否发生变化，该方式既可保证数据不丢失，又能减少与硬件的通讯。

第二判断单元63的输入端与第一判断单元62的输出端电连接，当第二判断单元63收到第一判断单元62的判断结果(发生变化的信号)时，第二判断单元63启动并判断当前输出功率百分比下的输出电流值的变化次数是否超出预设变化次数，若是，则将判断结果采集单元61获得的输出电流值传输至计算单元66。

存储单元64用于存储连续输出功率百分比下的标准电流值，即存储1％、2％、3％…100％输出功率百分比下的标准电流值。存储单元64可以采用任何存储设备。

提取单元65与存储单元64电连接，其用于从存储单元64获取当前输出功率百分比下的标准电流值。

计算单元66的输入端与第二判断单元63的输出端以及提取单元65的输出端电连接，其用于计算当前输出功率百分比下的所述输出电流值与所述标准电流值的差值。

第三判断单元67的输入端与计算单元66的输出端电连接，其用于判断所述差值是否超出预设的电流容差范围，并且，当所述差值超出预设的电流容差范围时抛出报警。

报警单元68与第三判断单元67的输出端电连接。当报警单元68收到第三判断单元67的报警信号时发出报警。

在本实施例提供的微电子加工装置中，存储单元64中存储的标准电流值是通过标准电流值获取单元获得。如图7所示，标准电流值获取单元包括第一判断模块71、第一开关模块72、第二开关模块73、初始化模块74、设置模块75和第一生成模块76，其中，

第一判断模块71用于判断空闲输出功能是否处于开启状态，第一判断模块71的输出端与第一开关模块72和第二开关模块73的输入端电连接。当空闲输出功能处于未开启状态时，第一判断模块71向第一开关模块72发出关闭空闲输出功能的信号。当空闲输出功能处于开启状态时，第一判断模块71向第一开关模块72发出关闭加热部件的信号。

第一开关模块72用于开启或关闭空闲输出功能。当第一开关模块72收到第一判断模块71发出的关闭空闲输出功能的信号时，将空闲输出功能关闭，并向第二开关模块73发出关闭加热部件的信号。

第二开关模块73用于开启或关闭所述加热部件。当第二开关模块73受到第一判断模块71和第一开关模块72发出的关闭加热部件的信号时，将加热部件关闭，并向初始化模块74输出加热部件已关闭信息。

初始化模块74用于清空存储在存储单元64内原有标准电流值。当初始化模块74收到加热部件已关闭信息后，将存储单元64内存储的原有标准电流值清空，并向第一生成模块75发出清空信号。

设置模块75用于设置输出功率百分比的间隔，以使所述采集单元61按照所述输出功率百分比间隔采集对应的输出电流值。如将输出功率百分比的间隔设置为n％，其中，n为正整数。采集单元61按照n％的输出功率百分比间隔采集对应的输出电流值，即采集单元61分别采集输出功率百分比n％、2n％、3n％…时的输出电流值。当然，输出功率百分比应小于或等于100％。

第一生成模块76根据采集单元71获得的输出电流值生成新的标准电流值。当第一生成模块76收到初始化模块74发出的清空信号后，获取输出电流值并生成新的标准电流值。不难理解，第一生成模块76是根据间隔输出功率百分比下的输出电流值生成连续输出功率百分比下的标准电流值，即生成1％、2％、3％…100％输出功率百分比下的标准电流值。

在实际微电子加工时，当获取标准电流值后，还需执行后续的工艺，或者为后续工艺做准备。因此，本实施例提供的标准电流值获取单元还包括第二判断模块77，第二判断模块77的控制端与第一生成模块76的输出端电连接。当第一生成模块76生成标准电流值时，发出生成完毕信号。第二判断模块77收到完毕信号后，判断是否需要开启空闲输出功能。空闲输出功能的开启条件存储在记录模块(图中未示出)中。另外，记录模块与存储单元64可以为同一部件。

在本实施例提供的微电子加工装置中，在对加热部件进行维护后，需要重新分析加热单元的加热能力，以调节工艺中设定的输出功率百分比以及决定是否需要重新设定标准电流值。微电子加工装置是通过加热能力分析单元来分析加热单元的加热能力。

如图8所示，加热能力分析单元包括第一判断模块81、第一开关模块82、第二开关模块83、设置模块84、第二生成模块85和分析模块86，其中，

第一判断模块81，用于判断空闲输出功能是否处于开启状态。第一开关模块82，用于开启或关闭所述空闲输出功能。第二开关模块83，用于开启或关闭所述加热部件。

第一判断模块81、第一开关模块82、第二开关模块83与标准电流值获取单元中的第一判断模块71、第一开关模块72、第二开关模块73的作用、工作方式完全相同，在此不再赘述。不难理解，第一判断模块81和第一判断模块71可以采用同一个判断模块；第一开关模块82和第一开关模块72可以采用同一个开关模块；第二开关模块83和第二开关模块73可以采用同一开关模块。

设置模块84用于设置输出功率百分比的初始值以及输出功率百分比的间隔。通常将初始值设置为0％，以及将输出功率百分比的间隔设置为n％，其中，n为正整数。采集单元61分别采集输出功率百分比n％、2n％、3n％…时的输出电流值。当然，输出功率百分比应小于或等于100％。

第二生成模块85用于将所述采集单元61采集到的输出电流值生成分析电流值。不难理解，第二生成模块85是根据间隔输出功率百分比下的输出电流值生成连续输出功率百分比下的分析电流值，即生成1％、2％、3％…100％输出功率百分比下的分析电流值，从而缩短了分析加热能力的时间。

分析模块86用于根据连续输出功率百分比下分析电流值和标准电流值获得分析电流值增减的百分比。分析模块86的输入端与第二生成模块85的输出端电连接，分析模块86从第二生成模块85获得分析电流并从存储单元64获得标准电流值进行计算，获得电流值增减的百分比。

在实际微电子加工时，当分析完毕后，还需执行后续的工艺，或者为后续工艺做准备。因此，本实施例提供的加热能力分析单元还包括第二判断模块87，第二判断模块87的控制端与分析模块86的输出端电连接。当第一生成模块86分析完毕时，发出分析完毕信号。第二判断模块87收到完毕信号后，判断是否需要开启空闲输出功能。空闲输出功能的开启条件存储在记录模块(图中未示出)中。另外，记录模块与存储单元64可以为同一部件。

本实施例提供的微电子加工装置，只有输出电流值的变化次数超出预设变化次数时，第三判断单元才去判断输出电流值与标准电流值的差值是否超出电流容差范围，以确定是否需要抛出报警。该微电子加工装置可避免加载功率时的冲击电流造成误报警。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (15)

1.一种监控方法，用于监控加热部件的加热能力，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1，采集当前输出功率百分比下的加热部件的输出电流值；

步骤S2，判断所述输出电流值是否发生变化，若是，则执行步骤S3，若否，则返回步骤S1；

步骤S3，判断所述当前输出功率百分比下的输出电流值的变化次数是否超出预设变化次数，若是，则执行步骤S4,若否，则返回步骤S1；

步骤S4，通过数据订阅方式或计时器轮询方式获得所述当前输出功率百分比下的标准电流值；

步骤S5，计算当前输出功率百分比下的所述输出电流值与所述标准电流值的差值；

步骤S6，判断所述差值是否超出预设的电流容差范围，若是，则执行步骤S7；若否，则返回步骤S1；

步骤S7，抛出报警。

2.根据权利要求1所述的监控方法，其特征在于，在步骤S4中，所述标准电流值通过以下步骤获得：

步骤S41，判断空闲输出功能是否处于开启状态，若否，则执行步骤S43；若是，则执行步骤S42；

步骤S42，关闭所述空闲输出功能；

步骤S43，关闭加热部件；

步骤S44，清空原有标准电流值；

步骤S45，按照n％的所述输出功率百分比间隔采集输出电流值并生成新的标准电流值，其中，n为正整数。

3.根据权利要求2所述的监控方法，其特征在于，所述步骤S45包括：

步骤S451，开启所述加热部件并将输出功率百分比的间隔设定为n％；

步骤S452，等待所述加热部件稳定；

步骤S453，设定初始值i；

步骤S454，计算N＝i×n，获得输出功率百分比N％；

步骤S455，判断所述输出功率百分比N％是否小于100％，若是，则设定输出功率百分比为N％，再执行步骤S456；若否，则生成完整输出功率百分比下新的标准电流值，再执行步骤S4511；

步骤S456，等待所述加热部件稳定；

步骤S457，判断所述输出功率百分比下采集的所述输出电流值的数量是否达到M个，若否，则执行步骤S458；若是，则执行步骤S4510；其中，M为正整数；

步骤S458，采集所述输出功率百分比下的输出电流值；

步骤S459，等待采样间隔T后返回步骤S457；

步骤S4510，计算所述输出功率百分比下获得的M个所述输出电流值的平均值以获得新的标准电流值，并使所述初始值i+1后返回步骤S454；

步骤S4511，关闭所述加热部件。

4.根据权利要求2所述的监控方法，其特征在于，在步骤S41之前包括：设置所述空闲输出功能的开启条件。

5.根据权利要求2所述的监控方法，其特征在于，在步骤S45之后包括：

步骤S46，判断是否需要开启所述空闲输出功能，若是，则开启所述空闲输出功能；若否，则结束。

6.根据权利要求1所述的监控方法，其特征在于，在步骤S7后包括：

步骤S8，维护所述加热部件；

步骤S9，分析所述加热部件的加热能力。

7.根据权利要求6所述的监控方法，其特征在于，所述步骤S9包括：

步骤S91，判断所述空闲输出功能是否处于开启状态，若是，则执行步骤S92；若否，则执行步骤S93；

步骤S92，关闭所述空闲输出功能；

步骤S93，关闭所述加热部件；

步骤S94，将所述输出功率百分比设置为0％；

步骤S95，按照n％的所述输出功率百分比间隔采集输出电流值，获得完整输出功率范围内的分析电流值；

步骤S96，比较各输出功率百分比下所述分析电流值和所述标准电流值，以获得分析电流值相对于所述标准电流值增减的百分比。

8.根据权利要求1所述的监控方法，其特征在于，在步骤S96之后包括：

步骤S97，判断是否开启所述空闲输出功能，若是，则开启所述空闲输出功能；若否，则结束。

9.一种微电子加工方法，包括用于监控加热部件的加热能力的监控步骤，其特征在于，所述监控步骤采用权利要求1-8任意一项监控方法进行。

10.一种微电子加工装置，其特征在于，包括：

采集单元，用于采集当前输出功率百分比下的加热部件的输出电流值；

第一判断单元，用于判断所述输出电流值是否发生变化，若是，则将判断结果传输至第二判断单元；

第二判断单元，用于判断所述当前输出功率百分比下的输出电流值的变化次数是否超出预设变化次数，若是，则将判断结果传输至计算单元；

存储单元，用于存储连续输出功率百分比下的标准电流值；

提取单元，用于从所述存储单元通过数据订阅方式或计时器轮询方式获取所述当前输出功率百分比下的所述标准电流值；

计算单元，用于计算当前输出功率百分比下的所述输出电流值与所述标准电流值的差值；

第三判断单元，用于判断所述差值是否超出预设的电流容差范围，并且，当所述差值超出预设的电流容差范围时抛出报警；

报警单元，用于报警。

11.根据权利要求10所述的微电子加工装置，其特征在于，所述第一判断单元通过数据订阅方式判断所述输出电流值是否发生变化。

12.根据权利要求10所述的微电子加工装置，其特征在于，包括标准电流值获取单元，其包括：

第一判断模块，用于判断所述空闲输出功能是否处于开启状态；

第一开关模块，用于开启或关闭所述空闲输出功能；

第二开关模块，用于开启或关闭所述加热部件；

初始化模块，用于清空所述存储单元内原有的标准电流值；

设置模块，用于设置输出功率百分比的间隔，以使所述采集单元按照所述输出功率百分比间隔采集对应的输出电流值；

第一生成模块，用于根据所述采集单元采集到的输出电流值生成新的标准电流值。

13.根据权利要求10所述的微电子加工装置，其特征在于，包括加热能力分析单元，其包括：

第一判断模块，用于判断所述空闲输出功能是否处于开启状态；

第一开关模块，用于开启或关闭所述空闲输出功能；

第二开关模块，用于开启或关闭所述加热部件；

设置模块，用于设置所述输出功率百分比的初始值以及所述输出功率百分比的间隔；

第二生成模块，用于将所述采集单元采集到的输出电流值生成分析电流值，其中，n为正整数；

分析模块，用于根据连续输出功率百分比下所述分析电流值和所述标准电流值获得分析电流值增减的百分比。

14.根据权利要求12或13所述的微电子加工装置，其特征在于，包括第二判断模块，用于判断是否需要开启所述空闲输出功能。

15.根据权利要求12或13所述的微电子加工装置，其特征在于，包括记录模块，用于记录所述空闲输出功能开启条件。

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