CN107611039A - 一种高强度键合铜丝的制备方法及应用 - Google Patents
一种高强度键合铜丝的制备方法及应用 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107611039A CN107611039A CN201710840069.9A CN201710840069A CN107611039A CN 107611039 A CN107611039 A CN 107611039A CN 201710840069 A CN201710840069 A CN 201710840069A CN 107611039 A CN107611039 A CN 107611039A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- copper
- liquid
- single crystal
- high intensity
- copper liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
- Conductive Materials (AREA)
Abstract
本发明公开了一种高强度键合铜丝的制备方法及应用，该高强度键合铜丝的制备方法先将电解铜提纯、金属单晶水平连铸制得单晶铜，接着将单晶铜熔化后加入一定量的铌、铬、二硼化钛粉和邻甲酚醛环氧树脂，得到混合铜液，随后将混合铜液在保温炉中经凝结、牵引形成无氧铜杆，最后拉丝、退火并喷涂防护膜涂覆液后得到成品。利用该方法制备而成的高强度键合铜丝具有优异的机械强度，并且成本较低，能够满足行业的要求，具有良好的应用前景。同时，本发明还公开了该方法所制得的高强度键合铜丝在集成电路中的应用。
Description
技术领域
本发明涉及金属材料加工技术领域，特别涉及一种高强度键合铜丝的制备方法及应用。
背景技术
键合丝作为一个产品族是半导体封装的关键材料之一，它的功能是实现半导体芯片与引脚的电连接，起着芯片与外界的电流导入及导出作用。键合铜线以其优良的力学性能、电学性能和低成本因素，在微电子封装上被逐步采用，现有的键合铜丝以高纯单晶铜为原材料，单晶铜键合丝在拉制过程中，由于拉丝受力不均匀造成拉丝过程中铜晶粒破碎，形成不规则的半连续柱状晶，受热后其晶界容易迁移，致使再结晶温度较低，热影响区长度较长，不适合高密度、低弧度及多层封装，从而严重影响了产品的质量。因此，键合铜丝至今也没有得到大批量应用，尤其是在集成电路方面没有得到大面积推广。
铌是灰白色金属，熔点2468℃，沸点4742℃，密度8.57克/立方厘米。铌是一种带光泽的灰色金属，具有顺磁性，属于元素周期表上的5族。高纯度铌金属的延展性较高，但会随杂质含量的增加而变硬。世界上很大一部份铌以纯金属态或以高纯度铌铁和铌镍合金的形态，用于生产镍、铬和铁基高温合金。这些合金可用于喷射引擎、燃气涡轮发动机、火箭组件、涡轮增压器和耐热燃烧器材。铌在高温合金的晶粒结构中会形成γ”相态。这类合金一般含有最高6.5％的铌。在钢的各种微合金化元素中，废铌是最有效的微合金化元素，铌的作用如此之大，以至于铁原子中含有丰富的铌原子，就能达到改善钢性能的目的。实际上钢中加入0.001％～0.1％的铌，就足以改变钢的力学性能。铌还可以通过诱导析出和控制冷却速度，实现析出物弥散分布。在较宽的范围内调整钢的韧性水平。因此，加入铌不仅可以提高钢的强度，还可以提高钢的韧性、抗高温氧化性和耐蚀性、降低钢脆性转变温度，获得好的焊接性能和成型性能。
铬是银白色有光泽的金属，纯铬有延展性，含杂质的铬硬而脆。密度7.20g/cm3，可溶于强碱溶液。铬具有很高的耐腐蚀性，在空气中，即便是在赤热的状态下，氧化也很慢。不溶于水。镀在金属上可起保护作用。铬用于制不锈钢，汽车零件，工具，磁带和录像带等。铬镀在金属上可以防锈，坚固美观。由于铬合金性脆，作为金属材料使用还在研究中，铬主要以铁合金(如铬铁)形式用于生产不锈钢及各种合金钢。金属铬用作铝合金、钴合金、钛合金及高温合金、电阻发热合金等的添加剂。氧化铬用作耐光、耐热的涂料，也可用作磨料，玻璃、陶瓷的着色剂，化学合成的催化剂。碱式硫酸铬(三价铬盐)用作皮革的鞣剂。铬矾、重铬酸盐用作织物染色的媒染剂、浸渍剂及各种颜料。镀铬和渗铬可使钢铁和铜、铝等金属形成抗腐蚀的表层，并且光亮美观，大量用于家具、汽车、建筑等工业。此外，铬矿石还大量用于制作耐火材料。
二硼化钛粉末是灰色或灰黑色的，具有六方(AlB2)的晶体结构。它的熔点是2980℃，有很高的硬度。二硼化钛在空气中抗氧化温度可达1000℃，在HCl和HF酸中稳定。二硼化钛主要用于制备复合陶瓷制品。由于其可抗熔融金属的腐蚀，可用于熔融金属坩锅和电解池电极的制造。
邻甲酚醛环氧树脂(EOCN)是由邻甲酚醛树脂(O-CN)和环氧氯丙烷(ECH)反应而得的一种线型酚醛耐热性多官能团的环氧树脂，广泛用作半导体器材、集成电路等电子元件的塑封材料，以保护电子元件免受环境腐蚀，保持产品性能与使用寿命。因此要求树脂性能好、纯度高,即残留的氯、钠离子与可水解氯含量要低。随着电子工业的飞速发展，对(ECH)树脂的需求量日益增加，对产品纯度要求更高，可水解氯含量越低越好。
基于目前通过微合金化提高键合铜丝性能这一研究方向，开发出一种新型键合铜丝以增强其强度，从而促进键合铜丝在集成电路中的大规模应用就显得尤为重要。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供一种高强度键合铜丝的制备方法，该高强度键合铜丝的制备方法先将电解铜提纯、金属单晶水平连铸制得单晶铜，接着将单晶铜熔化后加入一定量的铌、铬、二硼化钛粉和邻甲酚醛环氧树脂，得到混合铜液，随后将混合铜液在保温炉中经凝结、牵引形成无氧铜杆，最后拉丝、退火并喷涂防护膜涂覆液后得到成品。利用该方法制备而成的高强度键合铜丝具有优异的机械强度，并且成本较低，能够满足行业的要求，具有良好的应用前景。
本发明的目的可以通过以下技术方案实现：
一种高强度键合铜丝的制备方法，包括以下步骤：
(1)将电解提纯所得纯度为99.999wt％的提纯铜经金属单晶水平连铸得到纯度为99.9999wt％的单晶铜；
(2)将熔炼炉抽真空，待真空度达到10-1Pa，充入氮气使炉内压力达到0.5～0.8MPa，加热熔化单晶铜，再加入占铜液质量5wt％的铌、4.7wt％的铬、1.8wt％的二硼化钛粉、0.5wt％的邻甲酚醛环氧树脂，继续加热至3200℃，搅拌均匀得到混合铜液；
(3)将步骤(2)得到的混合铜液经降温、过滤后转移到保温炉中，保温炉中的混合铜液表面覆盖有一层由木炭和石墨鳞片组成的覆盖层，保温炉的温度为1380～1430℃，将连铸机的结晶器伸入铜液内，结晶器内部采用循环冷却水隔套冷却，铜液在结晶器内凝结成固体，并经过连铸机中的牵引辊机构向上牵引形成无氧铜杆；
(4)将无氧铜杆经挤压后在拉丝机上逐步拉细，得到铜丝，随后进行退火，退火温度为280℃，退火速度为0.5～1.5m/s；
(5)退火后在铜丝表面喷涂防护膜涂覆液，得到成品。
优选地，所述步骤(3)中结晶器伸入混合铜液的深度为25～30mm；循环冷却水的出水的温度为35～40℃，且冷却进出水的温差≤8℃；牵引辊机构的牵引速度为1300mm/min。
优选地，所述步骤(4)中拉丝过程中的模具延伸率为10～15％，拉丝速度为10～12m/s。
优选地，所述步骤(5)的防护膜涂覆液的组成为：膦酸丁烷三羧酸5份、聚偏氟乙烯3份、环己酮2份，溶剂为100份的N，N-二甲基甲酰胺。
本发明的另一个目的是提供这一制备方法所制得的铜丝在集成电路中的应用。
本发明与现有技术相比，其有益效果为：
(1)本发明将铌、铬、二硼化钛粉和邻甲酚醛环氧树脂添加到铜液中从而制备得到键合铜丝，通过铌、铬、二硼化钛粉、邻甲酚醛环氧树脂与铜之间所产生的协同作用，可以大大提高铜丝自身的机械强度。
(2)本发明以膦酸丁烷三羧酸、聚偏氟乙烯、环己酮和N，N-二甲基甲酰胺为原料进行配比制备成涂覆液，经应用在键合铜丝表面后，能够持久性地起到防腐蚀效果，大大提高了铜丝产品的使用寿命。
(3)本发明的高强度键合铜丝的制备方法所用工艺简单，适于大规模工业化运用，实用性强。
具体实施方式
下面结合具体实施例对发明的技术方案进行详细说明。
实施例1
(1)将电解提纯所得纯度为99.999wt％的提纯铜经金属单晶水平连铸得到纯度为99.9999wt％的单晶铜；
(2)将熔炼炉抽真空，待真空度达到10-1Pa，充入氮气使炉内压力达到0.7MPa，加热熔化单晶铜，再加入占铜液质量5wt％的铌、4.7wt％的铬、1.8wt％的二硼化钛粉、0.5wt％的邻甲酚醛环氧树脂，继续加热至3200℃，搅拌均匀得到混合铜液；
(3)将步骤(2)得到的混合铜液经降温、过滤后转移到保温炉中，保温炉中的混合铜液表面覆盖有一层由木炭和石墨鳞片组成的覆盖层，保温炉的温度为1400℃，将连铸机的结晶器伸入铜液内，结晶器内部采用循环冷却水隔套冷却，铜液在结晶器内凝结成固体，并经过连铸机中的牵引辊机构向上牵引形成无氧铜杆，其中结晶器伸入混合铜液的深度为28mm；循环冷却水的出水的温度为37℃，且冷却进出水的温差≤8℃；牵引辊机构的牵引速度为1300mm/min；
(4)将无氧铜杆经挤压后在拉丝机上逐步拉细，得到铜丝，模具延伸率为13％，拉丝速度为11m/s，随后进行退火，退火温度为280℃，退火速度为1m/s；
(5)退火后在铜丝表面喷涂防护膜涂覆液，防护膜涂覆液的组成为：膦酸丁烷三羧酸5份、聚偏氟乙烯3份、环己酮2份，溶剂为100份的N，N-二甲基甲酰胺，最后得到成品。
对比例1
(1)将电解提纯所得纯度为99.999wt％的提纯铜经金属单晶水平连铸得到纯度为99.9999wt％的单晶铜；
(2)将熔炼炉抽真空，待真空度达到10-1Pa，充入氮气使炉内压力达到0.7MPa，加热熔化单晶铜，再加入占铜液质量4.7wt％的铬、1.8wt％的二硼化钛粉、0.5wt％的邻甲酚醛环氧树脂，继续加热至3200℃，搅拌均匀得到混合铜液；
(3)将步骤(2)得到的混合铜液经降温、过滤后转移到保温炉中，保温炉中的混合铜液表面覆盖有一层由木炭和石墨鳞片组成的覆盖层，保温炉的温度为1400℃，将连铸机的结晶器伸入铜液内，结晶器内部采用循环冷却水隔套冷却，铜液在结晶器内凝结成固体，并经过连铸机中的牵引辊机构向上牵引形成无氧铜杆，其中结晶器伸入混合铜液的深度为28mm；循环冷却水的出水的温度为37℃，且冷却进出水的温差≤8℃；牵引辊机构的牵引速度为1300mm/min；
(4)将无氧铜杆经挤压后在拉丝机上逐步拉细，得到铜丝，模具延伸率为13％，拉丝速度为11m/s，随后进行退火，退火温度为280℃，退火速度为1m/s；
(5)退火后在铜丝表面喷涂防护膜涂覆液，防护膜涂覆液的组成为：膦酸丁烷三羧酸5份、聚偏氟乙烯3份、环己酮2份，溶剂为100份的N，N-二甲基甲酰胺，最后得到成品。
对比例2
(1)将电解提纯所得纯度为99.999wt％的提纯铜经金属单晶水平连铸得到纯度为99.9999wt％的单晶铜；
(2)将熔炼炉抽真空，待真空度达到10-1Pa，充入氮气使炉内压力达到0.7MPa，加热熔化单晶铜，再加入占铜液质量5wt％的铌、1.8wt％的二硼化钛粉、0.5wt％的邻甲酚醛环氧树脂，继续加热至3200℃，搅拌均匀得到混合铜液；
(3)将步骤(2)得到的混合铜液经降温、过滤后转移到保温炉中，保温炉中的混合铜液表面覆盖有一层由木炭和石墨鳞片组成的覆盖层，保温炉的温度为1400℃，将连铸机的结晶器伸入铜液内，结晶器内部采用循环冷却水隔套冷却，铜液在结晶器内凝结成固体，并经过连铸机中的牵引辊机构向上牵引形成无氧铜杆，其中结晶器伸入混合铜液的深度为28mm；循环冷却水的出水的温度为37℃，且冷却进出水的温差≤8℃；牵引辊机构的牵引速度为1300mm/min；
(4)将无氧铜杆经挤压后在拉丝机上逐步拉细，得到铜丝，模具延伸率为13％，拉丝速度为11m/s，随后进行退火，退火温度为280℃，退火速度为1m/s；
(5)退火后在铜丝表面喷涂防护膜涂覆液，防护膜涂覆液的组成为：膦酸丁烷三羧酸5份、聚偏氟乙烯3份、环己酮2份，溶剂为100份的N，N-二甲基甲酰胺，最后得到成品。
对比例3
(1)将电解提纯所得纯度为99.999wt％的提纯铜经金属单晶水平连铸得到纯度为99.9999wt％的单晶铜；
(2)将熔炼炉抽真空，待真空度达到10-1Pa，充入氮气使炉内压力达到0.7MPa，加热熔化单晶铜，再加入占铜液质量5wt％的铌、4.7wt％的铬、0.5wt％的邻甲酚醛环氧树脂，继续加热至3200℃，搅拌均匀得到混合铜液；
(3)将步骤(2)得到的混合铜液经降温、过滤后转移到保温炉中，保温炉中的混合铜液表面覆盖有一层由木炭和石墨鳞片组成的覆盖层，保温炉的温度为1400℃，将连铸机的结晶器伸入铜液内，结晶器内部采用循环冷却水隔套冷却，铜液在结晶器内凝结成固体，并经过连铸机中的牵引辊机构向上牵引形成无氧铜杆，其中结晶器伸入混合铜液的深度为28mm；循环冷却水的出水的温度为37℃，且冷却进出水的温差≤8℃；牵引辊机构的牵引速度为1300mm/min；
(4)将无氧铜杆经挤压后在拉丝机上逐步拉细，得到铜丝，模具延伸率为13％，拉丝速度为11m/s，随后进行退火，退火温度为280℃，退火速度为1m/s；
(5)退火后在铜丝表面喷涂防护膜涂覆液，防护膜涂覆液的组成为：膦酸丁烷三羧酸5份、聚偏氟乙烯3份、环己酮2份，溶剂为100份的N，N-二甲基甲酰胺，最后得到成品。
对比例4
(1)将电解提纯所得纯度为99.999wt％的提纯铜经金属单晶水平连铸得到纯度为99.9999wt％的单晶铜；
(2)将熔炼炉抽真空，待真空度达到10-1Pa，充入氮气使炉内压力达到0.7MPa，加热熔化单晶铜，再加入占铜液质量5wt％的铌、4.7wt％的铬、1.8wt％的二硼化钛粉，继续加热至3200℃，搅拌均匀得到混合铜液；
(3)将步骤(2)得到的混合铜液经降温、过滤后转移到保温炉中，保温炉中的混合铜液表面覆盖有一层由木炭和石墨鳞片组成的覆盖层，保温炉的温度为1400℃，将连铸机的结晶器伸入铜液内，结晶器内部采用循环冷却水隔套冷却，铜液在结晶器内凝结成固体，并经过连铸机中的牵引辊机构向上牵引形成无氧铜杆，其中结晶器伸入混合铜液的深度为28mm；循环冷却水的出水的温度为37℃，且冷却进出水的温差≤8℃；牵引辊机构的牵引速度为1300mm/min；
(4)将无氧铜杆经挤压后在拉丝机上逐步拉细，得到铜丝，模具延伸率为13％，拉丝速度为11m/s，随后进行退火，退火温度为280℃，退火速度为1m/s；
(5)退火后在铜丝表面喷涂防护膜涂覆液，防护膜涂覆液的组成为：膦酸丁烷三羧酸5份、聚偏氟乙烯3份、环己酮2份，溶剂为100份的N，N-二甲基甲酰胺，最后得到成品。
对比例5
(1)将电解提纯所得纯度为99.999wt％的提纯铜经金属单晶水平连铸得到纯度为99.9999wt％的单晶铜；
(2)将熔炼炉抽真空，待真空度达到10-1Pa，充入氮气使炉内压力达到0.7MPa，加热熔化单晶铜，再加入占铜液质量5wt％的铌、4.7wt％的铬、1.8wt％的二硼化钛粉、0.5wt％的邻甲酚醛环氧树脂，继续加热至3200℃，搅拌均匀得到混合铜液；
(3)将步骤(2)得到的混合铜液经降温、过滤后转移到保温炉中，保温炉中的混合铜液表面覆盖有一层由木炭和石墨鳞片组成的覆盖层，保温炉的温度为1400℃，将连铸机的结晶器伸入铜液内，结晶器内部采用循环冷却水隔套冷却，铜液在结晶器内凝结成固体，并经过连铸机中的牵引辊机构向上牵引形成无氧铜杆，其中结晶器伸入混合铜液的深度为28mm；循环冷却水的出水的温度为37℃，且冷却进出水的温差≤8℃；牵引辊机构的牵引速度为1300mm/min；
(4)将无氧铜杆经挤压后在拉丝机上逐步拉细，得到铜丝，模具延伸率为13％，拉丝速度为11m/s，随后进行退火，退火温度为280℃，退火速度为1m/s；
(5)退火后在铜丝表面喷涂防护膜涂覆液，防护膜涂覆液的组成为：聚偏氟乙烯3份、环己酮2份，溶剂为100份的N，N-二甲基甲酰胺，最后得到成品。
对比例6
(1)将电解提纯所得纯度为99.999wt％的提纯铜经金属单晶水平连铸得到纯度为99.9999wt％的单晶铜；
(2)将熔炼炉抽真空，待真空度达到10-1Pa，充入氮气使炉内压力达到0.7MPa，加热熔化单晶铜，再加入占铜液质量5wt％的铌、4.7wt％的铬、1.8wt％的二硼化钛粉、0.5wt％的邻甲酚醛环氧树脂，继续加热至3200℃，搅拌均匀得到混合铜液；
(3)将步骤(2)得到的混合铜液经降温、过滤后转移到保温炉中，保温炉中的混合铜液表面覆盖有一层由木炭和石墨鳞片组成的覆盖层，保温炉的温度为1400℃，将连铸机的结晶器伸入铜液内，结晶器内部采用循环冷却水隔套冷却，铜液在结晶器内凝结成固体，并经过连铸机中的牵引辊机构向上牵引形成无氧铜杆，其中结晶器伸入混合铜液的深度为28mm；循环冷却水的出水的温度为37℃，且冷却进出水的温差≤8℃；牵引辊机构的牵引速度为1300mm/min；
(4)将无氧铜杆经挤压后在拉丝机上逐步拉细，得到铜丝，模具延伸率为13％，拉丝速度为11m/s，随后进行退火，退火温度为280℃，退火速度为1m/s；
(5)退火后在铜丝表面喷涂防护膜涂覆液，防护膜涂覆液的组成为：膦酸丁烷三羧酸5份、环己酮2份，溶剂为100份的N，N-二甲基甲酰胺，最后得到成品。
对比例7
(1)将电解提纯所得纯度为99.999wt％的提纯铜经金属单晶水平连铸得到纯度为99.9999wt％的单晶铜；
(2)将熔炼炉抽真空，待真空度达到10-1Pa，充入氮气使炉内压力达到0.7MPa，加热熔化单晶铜，再加入占铜液质量5wt％的铌、4.7wt％的铬、1.8wt％的二硼化钛粉、0.5wt％的邻甲酚醛环氧树脂，继续加热至3200℃，搅拌均匀得到混合铜液；
(3)将步骤(2)得到的混合铜液经降温、过滤后转移到保温炉中，保温炉中的混合铜液表面覆盖有一层由木炭和石墨鳞片组成的覆盖层，保温炉的温度为1400℃，将连铸机的结晶器伸入铜液内，结晶器内部采用循环冷却水隔套冷却，铜液在结晶器内凝结成固体，并经过连铸机中的牵引辊机构向上牵引形成无氧铜杆，其中结晶器伸入混合铜液的深度为28mm；循环冷却水的出水的温度为37℃，且冷却进出水的温差≤8℃；牵引辊机构的牵引速度为1300mm/min；
(4)将无氧铜杆经挤压后在拉丝机上逐步拉细，得到铜丝，模具延伸率为13％，拉丝速度为11m/s，随后进行退火，退火温度为280℃，退火速度为1m/s；
(5)退火后在铜丝表面喷涂防护膜涂覆液，防护膜涂覆液的组成为：膦酸丁烷三羧酸5份、聚偏氟乙烯3份，溶剂为100份的N，N-二甲基甲酰胺，最后得到成品。
对比例8
(1)将电解提纯所得纯度为99.999wt％的提纯铜经金属单晶水平连铸得到纯度为99.9999wt％的单晶铜；
(2)将熔炼炉抽真空，待真空度达到10-1Pa，充入氮气使炉内压力达到0.7MPa，加热熔化单晶铜，再加入占铜液质量5wt％的铌、4.7wt％的铬、1.8wt％的二硼化钛粉、0.5wt％的邻甲酚醛环氧树脂，继续加热至3200℃，搅拌均匀得到混合铜液；
(3)将步骤(2)得到的混合铜液经降温、过滤后转移到保温炉中，保温炉中的混合铜液表面覆盖有一层由木炭和石墨鳞片组成的覆盖层，保温炉的温度为1400℃，将连铸机的结晶器伸入铜液内，结晶器内部采用循环冷却水隔套冷却，铜液在结晶器内凝结成固体，并经过连铸机中的牵引辊机构向上牵引形成无氧铜杆，其中结晶器伸入混合铜液的深度为28mm；循环冷却水的出水的温度为37℃，且冷却进出水的温差≤8℃；牵引辊机构的牵引速度为1300mm/min；
(4)将无氧铜杆经挤压后在拉丝机上逐步拉细，得到铜丝，模具延伸率为13％，拉丝速度为11m/s，随后进行退火，退火温度为280℃，退火速度为1m/s；
(5)退火后在铜丝表面喷涂防护膜涂覆液，防护膜涂覆液的组成为：膦酸丁烷三羧酸5份、聚偏氟乙烯3份、环己酮2份，溶剂为100份的四氢呋喃，最后得到成品。
将通过实施例1和对比例1-8的制备方法制得的高强度键合铜丝依据国家标准或行业标准的方法分别进行抗拉强度、屈服强度、线材硬度、耐腐蚀性这几项性能测试，所得的测试结果见表1。
表1
本发明所涉及的高强度键合铜丝的制备方法先将电解铜提纯、金属单晶水平连铸制得单晶铜，接着将单晶铜熔化后加入一定量的铌、铬、二硼化钛粉和邻甲酚醛环氧树脂，得到混合铜液，随后将混合铜液在保温炉中经凝结、牵引形成无氧铜杆，最后拉丝、退火并喷涂防护膜涂覆液后得到成品。利用该方法制备而成的高强度键合铜丝具有优异的机械强度，并且成本较低，能够满足行业的要求，具有良好的应用前景。
Claims (5)
1.一种高强度键合铜丝的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)将电解提纯所得纯度为99.999wt％的提纯铜经金属单晶水平连铸得到纯度为99.9999wt％的单晶铜；
(2)将熔炼炉抽真空，待真空度达到10-1Pa，充入氮气使炉内压力达到0.5～0.8MPa，加热熔化单晶铜，再加入占铜液质量5wt％的铌、4.7wt％的铬、1.8wt％的二硼化钛粉、0.5wt％的邻甲酚醛环氧树脂，继续加热至3200℃，搅拌均匀得到混合铜液；
(3)将步骤(2)得到的混合铜液经降温、过滤后转移到保温炉中，保温炉中的混合铜液表面覆盖有一层由木炭和石墨鳞片组成的覆盖层，保温炉的温度为1380～1430℃，将连铸机的结晶器伸入铜液内，结晶器内部采用循环冷却水隔套冷却，铜液在结晶器内凝结成固体，并经过连铸机中的牵引辊机构向上牵引形成无氧铜杆；
(4)将无氧铜杆经挤压后在拉丝机上逐步拉细，得到铜丝，随后进行退火，退火温度为280℃，退火速度为0.5～1.5m/s；
(5)退火后在铜丝表面喷涂防护膜涂覆液，得到成品。
2.根据权利要求1所述的高强度键合铜丝的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)中结晶器伸入混合铜液的深度为25～30mm；循环冷却水的出水的温度为35～40℃，且冷却进出水的温差≤8℃；牵引辊机构的牵引速度为1300mm/min。
3.根据权利要求1所述的高强度键合铜丝的制备方法，其特征在于：所述步骤(4)中拉丝过程中的模具延伸率为10～15％，拉丝速度为10～12m/s。
4.根据权利要求1所述的高强度键合铜丝的制备方法，其特征在于：所述步骤(5)的防护膜涂覆液的组成为：膦酸丁烷三羧酸5份、聚偏氟乙烯3份、环己酮2份，溶剂为100份的N，N-二甲基甲酰胺。
5.权利要求1～4任一项所述的制备方法所制得的铜丝在集成电路中的应用。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710840069.9A CN107611039A (zh) | 2017-09-18 | 2017-09-18 | 一种高强度键合铜丝的制备方法及应用 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710840069.9A CN107611039A (zh) | 2017-09-18 | 2017-09-18 | 一种高强度键合铜丝的制备方法及应用 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107611039A true CN107611039A (zh) | 2018-01-19 |
Family
ID=61060915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201710840069.9A Pending CN107611039A (zh) | 2017-09-18 | 2017-09-18 | 一种高强度键合铜丝的制备方法及应用 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN107611039A (zh) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1949492A (zh) * | 2006-11-03 | 2007-04-18 | 宁波康强电子股份有限公司 | 一种键合铜丝及其制备方法 |
| CN102827348A (zh) * | 2011-06-16 | 2012-12-19 | 中国石油化工集团公司 | 一种高纯邻甲酚醛环氧树脂的生产方法 |
| CN202640993U (zh) * | 2012-05-23 | 2013-01-02 | 广东广乐包装材料股份有限公司 | 一种烫金版 |
| CN104962367A (zh) * | 2015-07-20 | 2015-10-07 | 广西大学 | 一种铌粗丝拉拔润滑剂组合物 |
| CN105523761A (zh) * | 2016-01-22 | 2016-04-27 | 江苏联合金陶特种材料科技有限公司 | 一种污水污泥处理用耐蚀导电陶瓷电极材料及其制备方法 |
| CN106269970A (zh) * | 2016-08-10 | 2017-01-04 | 安徽晋源铜业有限公司 | 一种高强高导微细铜丝的制备工艺 |
-
2017
- 2017-09-18 CN CN201710840069.9A patent/CN107611039A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1949492A (zh) * | 2006-11-03 | 2007-04-18 | 宁波康强电子股份有限公司 | 一种键合铜丝及其制备方法 |
| CN102827348A (zh) * | 2011-06-16 | 2012-12-19 | 中国石油化工集团公司 | 一种高纯邻甲酚醛环氧树脂的生产方法 |
| CN202640993U (zh) * | 2012-05-23 | 2013-01-02 | 广东广乐包装材料股份有限公司 | 一种烫金版 |
| CN104962367A (zh) * | 2015-07-20 | 2015-10-07 | 广西大学 | 一种铌粗丝拉拔润滑剂组合物 |
| CN105523761A (zh) * | 2016-01-22 | 2016-04-27 | 江苏联合金陶特种材料科技有限公司 | 一种污水污泥处理用耐蚀导电陶瓷电极材料及其制备方法 |
| CN106269970A (zh) * | 2016-08-10 | 2017-01-04 | 安徽晋源铜业有限公司 | 一种高强高导微细铜丝的制备工艺 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108425050B (zh) | 一种高强高韧铝锂合金及其制备方法 | |
| CN104975211B (zh) | 一种高导电率热处理型中强铝合金导电单丝 | |
| CN104946936B (zh) | 一种架空导线用高导电率稀土硬铝单丝材料 | |
| CN102676892B (zh) | 一种6401铝合金及其制备方法和用途 | |
| CN108526422A (zh) | 一种高强高导耐热铜合金的生产方法 | |
| CN108396204B (zh) | 一种亚共晶铝硅合金铸件及提高其性能的工艺方法 | |
| CN102766789B (zh) | 一种铝合金的制备方法 | |
| CN108118197B (zh) | 一种高导热压铸铝合金材料的制备方法 | |
| CN103469061A (zh) | 一种导电用超低碳钢盘条及其生产方法 | |
| CN108866396B (zh) | 一种高导热铝合金材料及其热处理方法 | |
| CN105543540A (zh) | 一种铜铬锆合金及其制备方法 | |
| CN108866397B (zh) | 高导热铝合金材料的制备方法及高导热铝合金 | |
| CN108517446A (zh) | 一种用于真空压铸的高韧性铝合金及其产品的制备方法 | |
| CN103468988B (zh) | 镁合金的制备方法 | |
| CN107475586A (zh) | 一种高强高韧多元Al‑Cu合金及其制备方法和应用 | |
| CN110684914A (zh) | 一种高强度高硬度铝合金及其制备方法 | |
| CN109402472B (zh) | 一种用于增材制造的Al-Cu-Li-Sc-Zr铝合金粉末及其制备方法 | |
| CN115747563B (zh) | 一种海洋工程用Cu-15Ni-8Sn基合金及其制备方法 | |
| US20160298217A1 (en) | Aluminum Alloy Refiner Material and Preparation Method Thereof | |
| CN106048335B (zh) | 航天大型厚铸件用铝合金材料及其制备方法 | |
| CN106251926B (zh) | 一种高强高韧铜导线的制备工艺 | |
| CN106191725B (zh) | 高强度高导电铜合金纳米相析出工艺方法 | |
| CN106048332B (zh) | 航天薄壁铸件用铝合金材料及其制备方法 | |
| CN105913900A (zh) | 一种硬态铜母线及其制备方法 | |
| CN102839304B (zh) | 旅游帐篷支架用铝合金管材及其制备方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20180119 |