CN107607852A - 飞针测试机的运动轴的控制方法及定位精度的校正方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种飞针测试机的运动轴的控制方法及定位精度的校正方法。上述的飞针测试机的运动轴的定位精度的校正方法包括：根据飞针测试机的测试区域设计校正板，其中，校正板上开设有网格状的测试点矩阵，测试点矩阵的四个顶点分别为测试点A、测试点B、测试点C和测试点D，测试点A和测试点B的连线方向为X轴方向；设定测试点矩阵在X轴方向和在Y轴方向的定位误差的允许值；用自动光学检测仪测试测试点矩阵的每个测试点相对于测试点A与测试点B其中之一的坐标数据；将校正板放置于测试区域。校正后的飞针测试机的XY轴的精度为测试时的定位精度，保证了飞针测试机具有较高的测试精度，解决了飞针测试机的测试精度较低的问题。

Description

飞针测试机的运动轴的控制方法及定位精度的校正方法

技术领域

本发明涉及印刷线路板的测试的技术领域，特别是涉及一种飞针测试机的运动轴的控制方法及定位精度的校正方法。

背景技术

飞针测试机包括X轴运动轴和Y轴运动轴，在X轴运动轴和Y轴运动轴上均安装有由电机驱动的探针，探针经相应的电机的驱动在Z轴方向上移动以与印刷线路板上的焊点进行接触，从而对印刷线路板进行电气测量。由于飞针测试机的功能要求，Y轴运动轴的两端分别架设于两个X轴运动轴上，且Y轴运动轴的两端的距离较大，Y轴运动轴由两个安装于X轴运动轴的电机进行驱动或由单个安装于X轴运动轴的电机进行驱动。

为了提高飞针测试机的测试效率，飞针测试机有多个探针，相应的X轴运动轴和Y轴运动轴的数量也在增加。由于飞针测试机的运动轴的数量的增加，Y轴运动轴采用两个安装于X轴运动轴进行驱动的方案的成本较高。受飞针测试机的成本和安装空间的限制，Y轴运动轴考虑采用单个安装于X轴运动轴的电机进行驱动的方案。

由于传统的飞针测试机的Y轴运动轴采用单个安装于X轴运动轴的电机进行驱动的方案，飞针测试机的运动轴的运动的误差累积较大，从而使飞针测试机的测试精度较低。这样使传统的飞针测试机的运动精度逐渐不能满足测试精度的要求。

发明内容

基于此，有必要针对飞针测试机的测试精度较低，及飞针测试机的运动轴的运动的误差累积较大的问题，提供一种飞针测试机的运动轴的控制方法及定位精度的校正方法。

一种飞针测试机的运动轴的定位精度的校正方法，包括：

根据所述飞针测试机的测试区域设计校正板，其中，所述校正板上开设有网格状的测试点矩阵，所述测试点矩阵的四个顶点分别为测试点A、测试点B、测试点C和测试点D，所述测试点A和所述测试点B的连线方向为X轴方向，所述测试点A和所述测试点C的连线方向为Y轴方向；

设定所述测试点矩阵在X轴方向和在Y轴方向的定位误差的允许值；

用自动光学检测仪测试所述测试点矩阵的每个所述测试点相对于所述测试点A与所述测试点B其中之一的坐标数据；

将所述校正板放置于所述测试区域；

测试所述测试点A和所述测试点B的位置信息，以获得所述校正板的旋转角度；

根据每个所述测试点的坐标数据和所述旋转角度，计算出每个所述测试点相对于所述测试点A与所述测试点B其中之一的理论坐标；

通过所述飞针测试机上的Z轴上的CCD测出每个所述测试点的实际坐标；

将每个所述测试点的所述理论坐标与所述实际坐标进行比较，得出每个所述测试点的绝对误差校正值；以及

根据每个所述测试点的绝对误差校正值对相应的所述测试点进行校正，以得到每个测试点的定位精度校正值。

在其中一个实施例中，用自动光学检测仪测试所述测试点矩阵的每个所述测试点相对于所述测试点A与所述测试点B其中之一的坐标数据的步骤包括：

用自动光学检测仪测试所述测试点矩阵的每个所述测试点相对于所述测试点A的坐标数据；

用自动光学检测仪测试所述测试点矩阵的每个所述测试点相对于所述测试点B的坐标数据。

在其中一个实施例中，根据每个所述测试点的坐标数据和所述旋转角度，计算出每个所述测试点的理论坐标的步骤包括：

根据每个所述测试点相对于所述测试点A的坐标数据和所述旋转角度，计算出每个所述测试点相对于所述测试点A的理论坐标；根据测试点A在左侧XY轴的坐标将每个所述测试点转化为左侧XY轴的坐标轴的理论坐标；

或，根据每个所述测试点相对于所述测试点B的坐标数据和所述旋转角度，计算出每个所述测试点相对于所述测试点B的理论坐标；根据测试点B在右侧XY轴的坐标将每个所述测试点转化为右侧XY轴的坐标轴的理论坐标。

在其中一个实施例中，通过所述飞针测试机的Z轴上的CCD测出每个所述测试点的实际坐标的步骤为：所述CCD由所述飞针测试机的X轴的主动端运动至所述飞针测试机的X轴的从动端，并依次捕捉每个所述测试点的实际坐标，使自动光学测试仪测出每个测试点的实际坐标。

在其中一个实施例中，所述测试点矩阵在X轴方向上的相邻两个测试点的距离为K，所述测试点矩阵在Y轴方向上的相邻两个测试点的距离为J；当相邻两个测试点的相对误差值分别大于所述测试点矩阵在X轴方向和在Y轴方向的定位误差的允许值时，减小K值或J值，直至相邻两个测试点的相对误差值小于测试点矩阵在X轴方向和在Y轴方向的定位误差的允许值，以提高飞针测试机的运动轴的定位精度的补偿精度；其中，所述相邻两个测试点的相对误差值为相邻两个所述测试点的绝对误差校正值的差值。

在其中一个实施例中，在所述测试点矩阵上与所述飞针测试机的X轴的主动端对应的相邻两个测试点的距离K大于或等于从动端对应的相邻两个测试点的距离K；由于飞针测试机的X轴的主动端定位精度大于从动端定位精度，将测试点矩阵上与飞针测试机的X轴的主动端对应的相邻两个测试点的距离K大于从动端对应的相邻两个测试点的距离K，使主动端对应的测试点的布置密度小于从动端对应的测试点的布置密度，以提高从动端对应的测试点的校正精度，在保证飞针测试机的测试精度的前提下，提高飞针测试机的运动轴的定位精度的校正效率；校正时，可以根据主动端和从动端的定位精度的差值调节相应的测试点的布置密度。

在其中一个实施例中，所述K值与所述J值相等。

在其中一个实施例中，所述测试点A、所述测试点B、所述测试点C和所述测试点D围成的区域的面积大于或等于所述测试区域的面积，以保证运动轴的定位精度的校正精度即为测试时的运动精度。

在其中一个实施例中，根据每个所述测试点的绝对误差校正值对相应的所述测试点进行校正，以得到每个测试点的定位精度校正值的步骤具体为：

判定所述测试点的理论坐标位于所述测试点矩阵的位置；

若所述测试点的理论坐标位于相邻两个所述测试点的连线上，所述绝对误差校正值为相邻两个所述测试点的绝对误差校正值的平均值；

若所述测试点的理论坐标位于相邻四个所述测试点围成的区域内，所述绝对误差校正值为相邻四个所述测试点的绝对误差校正值的平均值。

一种飞针测试机的运动轴的控制方法，包括上述的校正方法，并且在所述根据每个所述测试点的绝对误差校正值对相应的所述测试点进行校正之后，还包括步骤：根据每个所述测试点的定位精度校正值控制所述飞针测试机的运动轴动作。

上述的飞针测试机的运动轴的控制方法及定位精度的校正方法，首先根据飞针测试机的测试区域设计校正板；然后设定测试点矩阵在X轴方向和在Y轴方向的定位误差的允许值；然后用自动光学检测仪测试测试点矩阵的每个测试点相对于测试点A与测试点B其中之一的坐标数据；然后将校正板放置于测试区域；然后测试测试点A和测试点B的位置信息，以获得校正板的旋转角度；然后根据每个测试点的坐标数据和旋转角度，计算出每个测试点相对于测试点A与测试点B其中之一的理论坐标；然后通过飞针测试机的Z轴上的CCD测出每个测试点的实际坐标；然后将每个所述测试点的理论坐标与实际坐标进行比较，得出每个测试点的绝对误差校正值；最后根据每个所述测试点的绝对误差校正值对相应的所述测试点进行校正，以得到每个测试点的定位精度校正值；由于上述的校正方法对飞针测试机的XY轴的定位精度进行数据校正，避免了飞针测试机的运动轴的定位误差的累积较大；由于上述的校正方法并非单纯对飞针测试机的XY轴进行单点校正，而是对飞针测试机的XY轴在测试区域的整个平面内进行校正，校正后的飞针测试机的XY轴的精度为测试时的定位精度，保证了飞针测试机具有较高的测试精度，解决了飞针测试机的测试精度较低的问题；此外，上述的飞针测试机的运动轴的定位精度的校正方法容易操作实施且成本较低。

附图说明

图1为一实施例的飞针测试机的运动轴的定位精度的校正方法的流程图；

图2为飞针测试机的示意图；

图3为校正板的示意图；

图4为校正板的旋转角度的示意图；

图5为另一实施例的飞针测试机的运动轴的定位精度的校正方法的流程图；

图6为又一实施例的飞针测试机的运动轴的定位精度的校正方法的流程图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对飞针测试机的运动轴的控制方法及定位精度的校正方法进行更全面的描述。附图中给出了飞针测试机的运动轴的控制方法及定位精度的校正方法的首选实施例。但是，飞针测试机的运动轴的控制方法及定位精度的校正方法可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对飞针测试机的运动轴的控制方法及定位精度的校正方法的公开内容更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在飞针测试机的运动轴的控制方法及定位精度的校正方法的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

例如，一种飞针测试机的运动轴的定位精度的校正方法包括：根据所述飞针测试机的测试区域设计校正板，其中，所述校正板上开设有网格状的测试点矩阵，所述测试点矩阵的四个顶点分别为测试点A、测试点B、测试点C和测试点D，所述测试点A和所述测试点B的连线方向为X轴方向，所述测试点A和所述测试点C的连线方向为Y轴方向；设定所述测试点矩阵在X轴方向和在Y轴方向的定位误差的允许值；用自动光学检测仪测试所述测试点矩阵的每个所述测试点相对于所述测试点A与所述测试点B其中之一的坐标数据；将所述校正板放置于所述测试区域；测试所述测试点A和所述测试点B的位置信息，以获得所述校正板的旋转角度；根据每个所述测试点的坐标数据和所述旋转角度，计算出每个所述测试点相对于所述测试点A与所述测试点B其中之一的理论坐标；通过所述飞针测试机的Z轴上的CCD测出每个所述测试点的实际坐标；将每个所述测试点的所述理论坐标与所述实际坐标进行比较，得出每个所述测试点的绝对误差校正值；以及根据每个所述测试点的绝对误差校正值对相应的所述测试点进行校正，以得到每个测试点的定位精度校正值。例如，一种飞针测试机的运动轴的定位精度的校正方法包括：根据所述飞针测试机的测试区域设计校正板，其中，所述校正板上开设有网格状的测试点矩阵，所述测试点矩阵的四个顶点分别为测试点A、测试点B、测试点C和测试点D，所述测试点A和所述测试点B的连线方向为X轴方向，所述测试点A和所述测试点C的连线方向为Y轴方向；设定所述测试点矩阵在X轴方向和在Y轴方向的定位误差的允许值；用自动光学检测仪测试所述测试点矩阵的每个所述测试点相对于所述测试点A与所述测试点B其中之一的坐标数据；将所述校正板放置于所述测试区域；测试所述测试点A和所述测试点B的位置信息，以获得所述校正板的旋转角度；根据每个所述测试点的坐标数据和所述旋转角度，计算出每个所述测试点相对于所述测试点A与所述测试点B其中之一的理论坐标；通过所述飞针测试机的Z轴上的CCD测出每个所述测试点的实际坐标；将每个所述测试点的所述理论坐标与所述实际坐标进行比较，得出每个所述测试点的绝对误差校正值；以及根据每个所述测试点的绝对误差校正值对相应的所述测试点进行校正，以得到每个测试点的定位精度校正值。

如图1、图2所示，一实施例的飞针测试机10的运动轴的定位精度的校正方法包括：

如图3所示，S101，根据所述飞针测试机10的测试区域10a设计校正板20，其中，所述校正板20上开设有网格状的测试点矩阵，所述测试点矩阵的四个顶点分别为测试点A、测试点B、测试点C和测试点D，所述测试点A和所述测试点B的连线方向为X轴方向，所述测试点A和所述测试点C的连线方向为Y轴方向。在本实施例中，飞针测试机10为平面式飞针测试机。测试点A、测试点B、测试点C和测试点D围成矩阵区域ABCD。矩阵区域ABCD为网格状的测试点矩阵。测试点矩阵包括多个测试点，多个测试点呈网格状排布。AB为测试点矩阵的行，AC为测试点矩阵的列。测试点A为校正板20与飞针测试机的X轴的主动端相应的最左点，测试点B为校正板20与飞针测试机的X轴的从动端相应的最右点。测试点A和测试点B均为校正板20的基准点。例如，测试点为圆孔。

在其中一个实施例中，所述测试点A、所述测试点B、所述测试点C和所述测试点D围成的区域的面积大于或等于所述测试区域10a的面积，以保证运动轴的定位精度的校正精度即为测试时的运动精度。在本实施例中，所述测试点A、所述测试点B、所述测试点C和所述测试点D围成的区域的面积大于所述测试区域10a，即矩阵区域ABCD的面积大于测试区域10a的面积。

在其中一个实施例中，校正板20为印刷电路板、覆铜板或玻璃板。在本实施例中，校正板20为玻璃板。又如，校正板20为光学刻蚀的玻璃板，使校正板20具有精度较高、稳定性较好和校正效果较好的特点。

再次参见图2，飞针测试机10的X轴100固定于机架400上。飞针测试机10的Y轴200的两端分别架设于两个飞针测试机10的X轴100上。两个飞针测试机10的X轴100分别为第一X轴102和第二X轴104。用于驱动飞针测试机10的Y轴200滑动的驱动电机500设于飞针测试机10的第一X轴102上，并将第一X轴102定义为飞针测试机10的X轴100的主动端，而第二X轴104定义为飞针测试机10的X轴100的从动端。

飞针测试机10的X轴100的从动端仅对飞针测试机10的Y轴200进行导向，使飞针测试机10的X轴100的从动端的定位精度与飞针测试机10的X轴100的主动端的定位精度差距较大，从而使飞针测试机10的XY轴的单纯单点补偿不能解决XY轴的运动精度，需进行整个平面的定位精度的补偿，以保证飞针测试机10的X轴100在整个平面的运动精度。每个飞针测试机10的X轴100上架设有两个飞针测试机10的Y轴200的端部。两个飞针测试机10的Y轴200分别为飞针测试机的第一Y轴202和第二Y轴204。飞针测试机10的Z轴300固定于飞针测试机10的Y轴200的滑块上。设定飞针测试机的左侧XY轴为第一X轴102和第一Y轴202，而飞针测试机的右侧XY轴为第二X轴104和第二Y轴204。

由于飞针测试机10的Y轴200的单点定位精度和整个平面定位精度差别较小，为了提高测试效率，飞针测试机10的Y轴200采用单点定位精度的补偿作为整个平面定位精度的补偿。其中，单点定位精度的补偿是指将飞针测试机10的X轴100或Y轴200固定于一位置处，仅让飞针测试机10的Y轴200或X轴100运动，以测试出飞针测试机10的Y轴200或X轴100位于X轴100或Y轴200的定位误差来进行该点的精度补偿。整个平面定位精度的补偿是指飞针测试机10的X轴100和Y轴200均不固定，对飞针测试机10的X轴100和Y轴200在测试区域10a的每个测试点均进行定位误差的测试，进而获取飞针测试机10的X轴100和Y轴200在测试区域10a的每个测试点的补偿数据，保证测试过程中测试区域10a的运动精度。

S103，设定所述测试点矩阵在X轴方向和在Y轴方向的定位误差的允许值。在本实施例中，设定测试点矩阵在X轴方向和在Y轴方向的定位误差的允许值，即在飞针测试机10的X轴100和Y轴200分别在各自方向上从一测试点移动至相邻的测试点时产生的定位误差能够忽略不计且不影响飞针测试机10的测试精度。例如，在使用时，校正板20受温度或湿度等因素影响而导致相邻两个测试点之间的精度变化应在可接收范围内，即测试点的位置应符合测试要求。

S105，用自动光学检测仪测试所述测试点矩阵的每个所述测试点相对于所述测试点A与所述测试点B其中之一的坐标数据。在本实施例中，通过自动光学检测仪分别测试各个测试点相对于测试点A和测试点B的坐标数据，即让AB两点的连线位于坐标轴的某一轴上，得到各个测试点在测试点A或测试点B为原点时的坐标数据。

在其中一个实施例中，用自动光学检测仪测试所述测试点矩阵的每个所述测试点相对于所述测试点A与所述测试点B其中之一的坐标数据的步骤S105包括：用自动光学检测仪测试所述测试点矩阵的每个所述测试点相对于所述测试点A的坐标数据，得到每个测试点以测试点A为原点的相对的坐标数据。用自动光学检测仪测试所述测试点矩阵的每个所述测试点相对于所述测试点B的坐标数据，得到每个测试点以测试点B为原点的相对的坐标数据。例如，自动光学检测仪为高精度的光学检测仪，使校正板20的每个测试点的坐标数据较可靠。

S107，将所述校正板20放置于所述测试区域10a。放置时，应尽可能让AB两点的连线与飞针测试机10的X轴100的主动端沿X轴方向运动的方向平行。当对飞针测试机10的左侧XY轴校正时，采用每个所述测试点相对于所述测试点A的坐标数据，即每个测试点以测试点A为原点的坐标数据。校正时，自动光学测试仪从测试点A到测试点B、且从飞针测试机10的X轴100的主动端到从动端依次测试。

当对飞针测试机10的右侧XY轴校正时，采用每个所述测试点相对于所述测试点B的坐标数据，即每个测试点以测试点B为原点的坐标数据。校正时，自动光学测试仪从测试点B到测试点A、且从飞针测试机10的X轴100的主动端到从动端依次测试。测试时，自动光学测试仪的CCD(Charge Coupled Device，电荷耦合器件图像传感器)进行测量，以获取各个测试点的圆心位置。例如，CCD固定于飞针测试机10的Z轴上。

S109，测试所述测试点A和所述测试点B的位置信息，以获得所述校正板20的旋转角度。

例如，测试所述测试点A和所述测试点B的位置信息，以获得所述校正板20的旋转角度的步骤S109具体为：首先让CCD运动到测试点A捕捉位置信息；然后让CCD运动到测试点B捕捉位置信息。

S111，根据每个所述测试点的坐标数据和所述旋转角度，计算出每个所述测试点的理论坐标。

如图4所示，例如，根据测试点A和测试点B在Y轴方向的差值y，及测试点A与测试点B的连线距离S计算出校正板20的旋转角度Θ，该旋转角度为校正板20放置时基准点AB连线与飞针测试机10的主动端的X轴方向的夹角。根据坐标轴的旋转原理计算出校正板20上各个测试点相对于测试点A的坐标。

在其中一个实施例中，根据每个所述测试点的坐标数据和所述旋转角度，计算出每个所述测试点的理论坐标的步骤S111包括：

首先，根据每个所述测试点相对于所述测试点A的坐标数据和所述旋转角度，计算出每个所述测试点相对于所述测试点A的理论坐标；然后，根据测试点A在飞针测试机的左侧XY轴的坐标将每个所述测试点转化为飞针测试机的左侧XY轴的理论坐标，即每个测试点相对于飞针测试机的左侧XY轴的理论坐标，以完成飞针测试机的左侧XY轴的校正。需要说明的是，所述的测试点A在飞针测试机的左侧XY轴的坐标，即当以左侧XY轴为坐标轴时，测试点A相对于左侧XY轴的坐标。

或，首先，根据每个所述测试点相对于所述测试点B的坐标数据和所述旋转角度，计算出每个所述测试点相对于所述测试点B的理论坐标；然后，根据测试点B在飞针测试机的右侧XY轴的坐标将每个所述测试点转化为飞针测试机的右侧XY轴的理论坐标，即每个测试点相对于飞针测试机的右侧XY轴的理论坐标，以完成飞针测试机的右侧XY轴的校正。需要说明的是，所述的测试点B在飞针测试机的右侧XY轴的坐标，即当以右侧XY轴为坐标轴时，测试点B相对于右侧XY轴的坐标。

S113，通过所述飞针测试机的Z轴上的CCD测出每个所述测试点的实际坐标。

在本实施例中，CCD在运动轴的驱动下由测试点A运动至测试点B，且从飞针测试机10的X轴100的主动端到从动端依次捕捉校正板20上的所有的测试点，即为飞针测试机的左侧XY轴上的各个测试点的实际坐标。

在其中一个实施例中，通过所述飞针测试机的Z轴上的CCD测出每个所述测试点的实际坐标的步骤S113为：所述CCD由所述飞针测试机10的X轴100的主动端运动至所述飞针测试机10的X轴100的从动端，并依次捕捉每个所述测试点的实际坐标，使CCD测出每个测试点的实际坐标。

S115，将每个所述测试点的所述理论坐标与所述实际坐标进行比较，得出每个所述测试点的绝对误差校正值。在本实施例中，将各个测试点的理论坐标与实际坐标相比较，以得出每个测试点对应的绝对误差校正值。当飞针测试机10的运动轴再次运动至该测试点的理论坐标时，将运动轴的实际位置应将该测试点的理论坐标加上相应的绝对误差校正值，从而使飞针测试机10的运动轴能够精确运动至相对应的测试点处进行测试，可以保证飞针测试机10测试时的运动精度。

下面以左侧XY轴的校正流程进行介绍：

通过自动光学检测仪分别测试各个测试点相对于测试点A的坐标数据，即让AB两点的连线位于坐标轴的某一轴上，得到各个测试点在测试点A为原点时的坐标数据；用自动光学检测仪测试所述测试点矩阵的每个所述测试点相对于所述测试点A的坐标数据，得到每个测试点以测试点A为原点的相对的坐标数据；采用每个所述测试点相对于所述测试点A的坐标数据，即每个测试点以测试点A为原点的坐标数据；让CCD运动到测试点A捕捉位置信息，且让CCD运动到测试点B捕捉位置信息。根据测试点A和测试点B在Y轴方向的差值y，及测试点A与测试点B的连线距离计算出校正板20的旋转角度Θ；根据每个所述测试点相对于所述测试点A的坐标数据和所述旋转角度，计算出每个所述测试点相对于所述测试点A的理论坐标；根据测试点A在左侧XY轴的坐标将每个所述测试点转化为左侧XY轴的理论坐标，即每个测试点相对于左侧XY轴的理论坐标，以完成左侧XY轴的校正。CCD在运动轴的驱动下由测试点A运动至测试点B，且从飞针测试机10的X轴100的主动端到从动端依次捕捉校正板20上的所有的测试点，即为左侧XY轴上的各个测试点的实际坐标；将每个所述测试点的所述理论坐标与所述实际坐标进行比较，得出每个所述测试点的绝对误差校正值。

实际校正时，先对左侧XY轴进行校正，然后对右侧XY轴进行校正。在本实施例中，左侧XY轴的校正过程与右侧XY轴的校正过程相同。

S117，根据每个所述测试点的绝对误差校正值对相应的所述测试点进行校正，以得到每个测试点的定位精度校正值。

在其中一个实施例中，根据每个所述测试点的绝对误差校正值对相应的所述测试点进行校正，以得到每个测试点的定位精度校正值的步骤S117具体为：

判定所述测试点的理论坐标位于所述测试点矩阵的位置。若所述测试点的理论坐标位于相邻两个所述测试点的连线上，所述绝对误差校正值为相邻两个所述测试点的绝对误差校正值的平均值；若所述测试点的理论坐标位于相邻四个所述测试点围成的区域内，所述绝对误差校正值为相邻四个所述测试点的绝对误差校正值的平均值。

例如，AEGF围成的区域为矩阵区域ABCD中的子区域。在本实施例中，AEGF围成的区域呈长方形状。又如，当所述测试点的理论坐标位于AEGF围成的区域时，需判定所述测试点的理论坐标位于AEGF围成的区域的具体位置。若所述测试点的理论坐标位于AE或AF或EG或FG上，则该测试点的绝对误差值为该测试点所在的连接线两点的绝对误差值的平均值。例如，所述测试点的理论坐标位于FG上时，该测试点的绝对误差值为测试点F的绝对误差值和测试点G的绝对误差值的平均值。若所述测试点的理论坐标位于AEGF围成的区域内，则该测试点的绝对误差值为测试点A、测试点E、测试点G和测试点F的绝对误差值的平均值。

例如，矩阵区域的面积和测试区域10a的面积相等，且均为330mm*270mm。K＝J＝5mm。测试点为圆孔，且测试点的直径为1mm。设定所述测试点矩阵在X轴方向和在Y轴方向的定位误差的允许值均为5μm，补偿后的K、J值均满足要求。经过误差校正，相对于左侧XY轴的测试点A的理论坐标(x，y)为(+5，+5)，单位为mm。测试点A的补偿的绝对误差值为(+1，+3)，单位为μm。测试点E的理论坐标(x，y)为(+10，+5)，单位为mm。测试点E的补偿的绝对误差值为(+6，+3)，单位为μm。测试点G的理论坐标(x，y)为(+10，+10)，单位为mm。测试点G的补偿的绝对误差值为(+11，+1)，单位为μm。测试点F的理论坐标(x，y)为(+5，+10)，单位为mm。测试点M的补偿的绝对误差值为(+6，+6)，单位为μm。

若相对于左侧XY轴的某一测试点的理论坐标为(+7，+7)，单位为mm，即该测试点位于AEGF围成的区域内，则该测试点的补偿的绝对误差值为((+1+6+11+6)/4，(+3+3+1+6)/4)，得到该测试点的补偿的绝对误差值为(+6，+3)，单位为μm。在实际运动中，该测试点的理论坐标加上相应的补偿的绝对误差值即为该测试点的实际位置。

在其中一个实施例中，所述测试点矩阵在X轴方向上的相邻两个测试点的距离为K，所述测试点矩阵在Y轴方向上的相邻两个测试点的距离为J。当相邻两个测试点的相对误差值分别大于所述测试点矩阵在X轴方向和在Y轴方向的定位误差的允许值时，减小K值或J值，直至相邻两个测试点的相对误差值小于测试点矩阵在X轴方向和在Y轴方向的定位误差的允许值，以提高飞针测试机10的运动轴的定位精度的补偿精度。其中，所述相邻两个测试点的相对误差值为相邻两个所述测试点的绝对误差校正值的差值。

在其中一个实施例中，在所述测试点矩阵上与所述飞针测试机10的X轴100的主动端对应的相邻两个测试点的距离K大于或等于从动端对应的相邻两个测试点的距离K。由于飞针测试机10的X轴100的主动端定位精度大于从动端定位精度，将测试点矩阵上与飞针测试机10的X轴100的主动端对应的相邻两个测试点的距离K大于从动端对应的相邻两个测试点的距离K，使主动端对应的测试点的布置密度小于从动端对应的测试点的布置密度，以提高从动端对应的测试点的校正精度，在保证飞针测试机10的测试精度的前提下，提高飞针测试机10的运动轴的定位精度的校正效率。校正时，可以根据主动端和从动端的定位精度的差值调节相应的测试点的布置密度。在其中一个实施例中，所述K值与所述J值相等。

如图5所示，例如，S117之后，还包括步骤S119：根据每个所述测试点的定位精度校正值，分别校正所述飞针测试机的运动轴的定位；例如，根据每个所述测试点的定位精度校正值，分别校正所述飞针测试机于X轴方向和Y轴方向的运动轴的平均定位位置。

如图6所示，本申请还提供一种飞针测试机10的运动轴的控制方法，包括上述的校正方法，并且在所述根据每个所述测试点的绝对误差校正值对相应的所述测试点进行校正之后，还包括步骤S121：根据每个所述测试点的定位精度校正值控制所述飞针测试机10的运动轴动作。

上述的飞针测试机10的运动轴的控制方法及定位精度的校正方法，首先根据飞针测试机10的测试区域10a设计校正板20；然后设定测试点矩阵在X轴方向和在Y轴方向的定位误差的允许值；然后用自动光学检测仪测试测试点矩阵的每个测试点相对于测试点A与测试点B其中之一的坐标数据；然后将校正板20放置于测试区域10a；然后测试测试点A和测试点B的位置信息，以获得校正板20的旋转角度；然后根据每个测试点的坐标数据和旋转角度，计算出每个测试点相对于测试点A与测试点B其中之一的理论坐标；然后通过自动光学测试仪测出每个测试点的实际坐标；然后将每个所述测试点的理论坐标与实际坐标进行比较，得出每个测试点的绝对误差校正值；最后根据每个所述测试点的绝对误差校正值对相应的所述测试点进行校正，以得到每个测试点的定位精度校正值。由于上述的校正方法对飞针测试机10的XY轴的定位精度进行数据校正，避免了飞针测试机10的运动轴的定位误差的累积较大。由于上述的校正方法并非单纯对飞针测试机10的XY轴进行单点校正，而是对飞针测试机10的XY轴在测试区域10a的整个平面内进行校正，校正后的飞针测试机10的XY轴的精度为测试时的定位精度，保证了飞针测试机10具有较高的测试精度，解决了飞针测试机10的测试精度较低的问题；此外，上述的飞针测试机10的运动轴的定位精度的校正方法容易操作实施且成本较低。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种飞针测试机的运动轴的定位精度的校正方法，其特征在于，包括：

根据所述飞针测试机的测试区域设计校正板，其中，所述校正板上开设有网格状的测试点矩阵，所述测试点矩阵的四个顶点分别为测试点A、测试点B、测试点C和测试点D，所述测试点A和所述测试点B的连线方向为X轴方向，所述测试点A和所述测试点C的连线方向为Y轴方向；

设定所述测试点矩阵在X轴方向和在Y轴方向的定位误差的允许值；

用自动光学检测仪测试所述测试点矩阵的每个所述测试点相对于所述测试点A与所述测试点B其中之一的坐标数据；

将所述校正板放置于所述测试区域；

测试所述测试点A和所述测试点B的位置信息，以获得所述校正板的旋转角度；

根据每个所述测试点的坐标数据和所述旋转角度，计算出每个所述测试点的理论坐标；

通过所述飞针测试机上的Z轴上的CCD测出每个所述测试点的实际坐标；

将每个所述测试点的所述理论坐标与所述实际坐标进行比较，得出每个所述测试点的绝对误差校正值；以及

根据每个所述测试点的绝对误差校正值对相应的所述测试点进行校正，以得到每个测试点的定位精度校正值。

2.根据权利要求1所述的飞针测试机的运动轴的定位精度的校正方法，其特征在于，用自动光学检测仪测试所述测试点矩阵的每个所述测试点相对于所述测试点A与所述测试点B其中之一的坐标数据的步骤包括：

用自动光学检测仪测试所述测试点矩阵的每个所述测试点相对于所述测试点A的坐标数据；

用自动光学检测仪测试所述测试点矩阵的每个所述测试点相对于所述测试点B的坐标数据。

3.根据权利要求1所述的飞针测试机的运动轴的定位精度的校正方法，其特征在于，根据每个所述测试点的坐标数据和所述旋转角度，计算出每个所述测试点的理论坐标的步骤包括：

根据每个所述测试点相对于所述测试点A的坐标数据和所述旋转角度，计算出每个所述测试点相对于所述测试点A的理论坐标；根据测试点A在左侧XY轴的坐标将每个所述测试点转化为左侧XY轴的坐标轴的理论坐标；

或，根据每个所述测试点相对于所述测试点B的坐标数据和所述旋转角度，计算出每个所述测试点相对于所述测试点B的理论坐标；根据测试点B在右侧XY轴的坐标将每个所述测试点转化为右侧XY轴的坐标轴的理论坐标。

4.根据权利要求1所述的飞针测试机的运动轴的定位精度的校正方法，其特征在于，通过所述飞针测试机的Z轴上的CCD测出每个所述测试点的实际坐标的步骤为：所述CCD由所述飞针测试机的X轴的主动端运动至所述飞针测试机的X轴的从动端，并依次捕捉每个所述测试点的实际坐标。

5.根据权利要求1所述的飞针测试机的运动轴的定位精度的校正方法，其特征在于，所述测试点矩阵在X轴方向上的相邻两个测试点的距离为K，所述测试点矩阵在Y轴方向上的相邻两个测试点的距离为J；当相邻两个测试点的相对误差值分别大于所述测试点矩阵在X轴方向和在Y轴方向的定位误差的允许值时，减小K值或J值；其中，所述相邻两个测试点的相对误差值为相邻两个所述测试点的绝对误差校正值的差值。

6.根据权利要求5所述的飞针测试机的运动轴的定位精度的校正方法，其特征在于，在所述测试点矩阵上与所述飞针测试机的X轴的主动端对应的相邻两个测试点的距离K大于或等于从动端对应的相邻两个测试点的距离K。

7.根据权利要求6所述的飞针测试机的运动轴的定位精度的校正方法，其特征在于，所述K值与所述J值相等。

8.根据权利要求1所述的飞针测试机的运动轴的定位精度的校正方法，其特征在于，所述测试点A、所述测试点B、所述测试点C和所述测试点D围成的区域的面积大于或等于所述测试区域的面积。

9.根据权利要求1所述的飞针测试机的运动轴的定位精度的校正方法，其特征在于，根据每个所述测试点的绝对误差校正值对相应的所述测试点进行校正，以得到每个测试点的定位精度校正值的步骤具体为：

判定所述测试点的理论坐标位于所述测试点矩阵的位置；

若所述测试点的理论坐标位于相邻两个所述测试点的连线上，所述绝对误差校正值为相邻两个所述测试点的绝对误差校正值的平均值；

若所述测试点的理论坐标位于相邻四个所述测试点围成的区域内，所述绝对误差校正值为相邻四个所述测试点的绝对误差校正值的平均值。

10.一种飞针测试机的运动轴的控制方法，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的校正方法，并且在所述根据每个所述测试点的绝对误差校正值对相应的所述测试点进行校正之后，还包括步骤：根据每个所述测试点的定位精度校正值控制所述飞针测试机的运动轴动作。