CN107604305B - 一种蒸镀机有机腔体的下遮光器的作动机构 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种蒸镀机有机腔体的下遮光器的作动机构，其包括控制单元、驱动单元、传动结构以及移动连接结构。其中所述控制单元连接所述驱动单元并向其发送指令，所述驱动单元根据所述指令驱动所述传动结构进行转动进而带动所述移动连接结构移动。所述移动连接结构包括连接单元，其设置在所述传动结构上并与所述下遮光器连接。本发明涉及的一种蒸镀机有机腔体的下遮光器的作动机构，其结构简单，工作稳定，实用性强；可适用于基板上多种不同形状镀膜面的蒸镀制程使用。

Description

一种蒸镀机有机腔体的下遮光器的作动机构

技术领域

本发明涉及OLED工艺制程中使用的蒸镀机设备，尤其是，其中的有机腔体的下遮光器的作动机构。

背景技术

已知，在OLED工艺制程技术中的蒸镀工艺制程期间，是需要在基板的不同区域进行不同的蒸镀以制备不同的镀膜面。

这其中在蒸镀机有机腔体内，是需要使用下遮光器(Sub shutter)来对基板上的镀膜面进行不同程度遮挡，并进行制程不同的蒸镀测试，以保证获得的镀膜面符合工艺要求。由于需要对基板上的不同区域进行有选择的遮挡，这就需要所述下遮光器能够进行移动。对于这种需求，业界做出了一些应对方案。

其中的一种方案，如中国专利CN02803295.0号揭示了一种蒸镀用掩膜装置，其采用具有多个用于限制蒸镀范围窗口基板兼作第一金属掩模，并在其上设置第二金属掩模。其中所述第二金属掩模具有通过以微小间隔平行排列多个微细狭缝而构成的帘部。所述第二金属掩模的一端通过掩模夹紧部件固定到所述基板上，另一端固定到滑块上，压缩螺旋弹簧将弹力施加给所述滑块。借此，将张力施加给所述第二金属掩模的帘部，使所述狭缝处于笔直状态且维持给定间距。在所述第二金属掩模上配置基片并进行蒸镀，借此，在所述基片上能以多面成形形成高精细的图案。

对于这种解决方案，虽然其可以解决对基板上不同区域的遮挡问题，但很明显其对于基板的要求较高，而且在工艺制程中，其涉及使用的组件较多，整个工艺制程较为复杂。

因此，确有必要来开发一种新型的蒸镀机有机腔体下遮光器的作动机构，来克服现有技术中的缺陷。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸镀机有机腔体的下遮光器的作动机构，其结构简单，工作稳定，实用性强；可适用于基板上多种不同形状镀膜面的蒸镀制程使用。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案如下：

一种蒸镀机有机腔体的下遮光器的作动机构，其包括控制单元、驱动单元、传动结构以及移动连接结构。其中所述控制单元连接所述驱动单元并向其发送指令，所述驱动单元驱动连接所述传动结构；所述移动连接结构包括连接单元，其设置在所述传动结构上并与所述下遮光器连接。其中当所述驱动单元接到所述控制单元的指令驱动所述传动结构转动时，所述移动连接机构的连接单元能够随着所述传动结构的转动，在其上沿一个方向移动，进而同步带动与其连接的所述下遮光器的移动，从而实现所述下遮光器相对基板的位置移动。

进一步的，在不同实施方式中，其中所述传动结构包括移动连杆，其上设置有螺纹，所述连接单元套设在所述移动连杆上。

进一步的，在不同实施方式中，其中所述驱动单元通过齿轮与所述传动结构驱动连接。

进一步的，在不同实施方式中，其中所述驱动单元包括马达。

进一步的，在不同实施方式中，其中所述移动连接结构还包括滑动单元和滑轨，所述连接单元连接所述滑动单元，所述滑动单元滑动配接在所述滑轨上。

进一步的，在不同实施方式中，其中所述滑动单元包括滑块。

进一步的，在不同实施方式中，其中所述滑轨包括线性导轨。

进一步的，在不同实施方式中，其中所述滑轨上设置有限位件，用以防止所述滑动单元移动破位。

进一步的，在不同实施方式中，其中所述限位件包括挡片。

进一步的，在不同实施方式中，其中所述滑轨上设置有位置侦测传感器，用于反馈所述滑动单元位置。

相对于现有技术，本发明的有益效果是：本发明涉及的一种蒸镀机有机腔体的下遮光器的作动机构，其结构简单，工作稳定，实用性强；可适用于基板上多种不同形状镀膜面的蒸镀制程使用，具有广泛的推广使用前景。

进一步的，其在其线性导轨上设置挡片和位置侦测传感器，一旦本发明涉及的所述机构在长时间的使用后出现了磨损，导致位置不一致时，所述位置侦测传感器就能及时的感知这种位置错位，从而报警，外部工程师当即即可介入进行机构确认，从而有效的避免因机构发生异常而对其造成不可逆的损害。

另外，即使所述马达内部的记忆位置丢失，其还在驱动所述滑块进行移动时，所述位置侦测传感器也会侦测到这种位置异常，并会立即生成设备宕机InterLock连锁，使其停止继续运动，从而起到保护所述机构的作用。

附图说明

图1是本发明涉及的一个实施方式提供的一种蒸镀机有机腔体的下遮光器的作动机构的结构示意图。

图1中的附图标记说明如下：

马达 10 齿轮 12

移动连杆 20 连接单元 30

滑块 32 线性导轨 34

挡片 36 位置侦测传感器 38

下遮光器 40

具体实施方式

以下将结合附图和实施例，对本发明涉及的一种蒸镀机有机腔体的下遮光器的作动机构的技术方案作进一步的详细描述。

本发明的一个实施方式提供了一种蒸镀机有机腔体的下遮光器的作动机构，其包括控制单元、驱动单元、传动结构以及移动连接结构。

其中所述控制单元连接所述驱动单元并向其发送指令，所述驱动单元根据所述指令驱动所述传动结构进行转动。所述移动连接结构包括连接单元，其一端与下遮光器(Subshutter)连接。所述连接单元连接在所述传动结构上并可在所述传动结构上做往复移动。

其中当所述驱动单元接到所述控制单元的指令驱动所述传动结构转动时，所述移动连接机构的连接单元能够随着所述传动结构的转动，在其上沿一个方向移动，进而带动与其一端连接的所述下遮光器的移动，从而实现所述下遮光器相对基板的位置移动。

具体的，请参阅图1所示，其中所述驱动单元包括马达(Motor)10，其通过齿轮12与所述传动结构驱动连接。所述传动结构包括移动连杆20，其上设置有螺纹，所述连接单元30套设在所述移动连杆20上。

进一步的，所述移动连接结构还包括滑动单元和滑轨，其中所述连接单元的另一端连接所述滑动单元，所述滑动单元滑动配接在所述滑轨上。具体的，其中所述滑动单元包括滑块32，所述滑轨包括线性导轨34。

工作时，所述马达10接收所述控制单元指令驱动所述齿轮12转动，以使得所述移动连杆20转动，进而带动其上的连接单元30沿着所述移动连杆20上的螺纹移动。所述连接单元30的移动，会同步带动与其连接的所述滑块34以及所述下遮光器40的移动，所述下遮光器40的移动，则可实现遮挡基板预定区域的功能。

进一步的，由于在蒸镀制程的过程中，需要对所述下遮光器40进行多次的往复移动，所述马达10带动所述齿轮12的转动过程中，所述滑块32会因为长时间的在所述线性滑轨34上的往复滑动运动而产生磨损，久而久之可能会使得所述下遮光器40的移动出现位置偏差，这种位置偏差会导致对所述基板上进行的蒸镀制程存在些许差异，从而可能影响到其上形成的蒸镀膜的形成质量，使其可能存有缺陷。

为解决这一问题，所述线性导轨34上可以设置相对的两个极限位置，例如，通过在所述线性导轨34上设置挡片36，来实现所述滑块32在所述线性导轨34上的极限位置限定，以防止所述滑块32预定的移动距离与其实体移动位置不一致，可能对机构造成不可逆的损坏。其中所述挡片36的具体设置位置，可以是设置在保护所述机构错位产生干涉的位置点上。其中所述挡片36，也可以通过其他结构进行代替，例如，凸块结构。

同时，所述线性导轨32上还可设置位置侦测传感器38，以进一步的保证所述滑块32出现错位时，能够被及时发现。

工作时，当本发明涉及的所述作动机构出现磨损时，位置就会不一致，所述位置侦测传感器38就会感知到，从而进行报警，外部人员接到报警即可介入进行机构确认，从而有效避免所述机构发生异常，而对其造成不可逆的损坏。

另外，即使所述马达10内部的记忆位置丢失，其还在驱动所述滑块32进行移动时，所述位置侦测传感器38也会侦测到这种位置异常，并会立即生成设备宕机InterLock连锁，使其停止继续运动，从而起到保护所述机构的作用。

本发明的技术范围不仅仅局限于上述说明中的内容，本领域技术人员可以在不脱离本发明技术思想的前提下，对上述实施例进行多种变形和修改，而这些变形和修改均应当属于本发明的范围内。

Claims (9)

1.一种蒸镀机有机腔体的下遮光器的作动机构；其特征在于，其包括控制单元、驱动单元、传动结构以及移动连接结构；

其中所述控制单元连接所述驱动单元并向其发送指令，所述驱动单元驱动连接所述传动结构；所述移动连接结构包括连接单元，其设置在所述传动结构上并与所述下遮光器连接；其中所述传动结构包括移动连杆，其上设置有螺纹，所述连接单元套设在所述移动连杆上；

其中当所述驱动单元接到所述控制单元的指令驱动所述传动结构转动时，所述移动连接机构的连接单元能够随着所述传动结构的所述移动连杆的转动，通过所述连接单元与所述螺纹的配接，使得所述连接单元能够在所述移动连杆上沿一个方向移动，进而同步带动与其连接的所述下遮光器的移动，从而实现所述下遮光器相对基板的位置移动。

2.根据权利要求1所述的一种蒸镀机有机腔体的下遮光器的作动机构；其特征在于，其中所述驱动单元通过齿轮与所述传动结构驱动连接。

3.根据权利要求1所述的一种蒸镀机有机腔体的下遮光器的作动机构；其特征在于，其中所述驱动单元包括马达。

4.根据权利要求1所述的一种蒸镀机有机腔体的下遮光器的作动机构；其特征在于，其中所述移动连接结构还包括滑动单元和滑轨，所述连接单元连接所述滑动单元，所述滑动单元滑动配接在所述滑轨上。

5.根据权利要求4所述的一种蒸镀机有机腔体的下遮光器的作动机构；其特征在于，其中所述滑动单元包括滑块。

6.根据权利要求4所述的一种蒸镀机有机腔体的下遮光器的作动机构；其特征在于，其中所述滑轨包括线性导轨。

7.根据权利要求4所述的一种蒸镀机有机腔体的下遮光器的作动机构；其特征在于，其中所述滑轨上设置有限位件，用以防止所述滑动单元移动破位。

8.根据权利要求7所述的一种蒸镀机有机腔体的下遮光器的作动机构；其特征在于，其中所述限位件包括挡片。

9.根据权利要求4所述的一种蒸镀机有机腔体的下遮光器的作动机构；其特征在于，其中所述滑轨上设置有位置侦测传感器，用于反馈所述滑动单元位置。

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