CN107572139A

CN107572139A - 一种电子加速管预处理及存放装置

Info

Publication number: CN107572139A
Application number: CN201711018783.6A
Authority: CN
Inventors: 刘华周; 杜玉光; 张岩松; 李传南
Original assignee: SHANDONG VANFORM HIGH ENERGY PHYSICS TECHNOLOGY Co Ltd
Current assignee: SHANDONG VANFORM HIGH ENERGY PHYSICS TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date: 2017-10-27
Filing date: 2017-10-27
Publication date: 2018-01-12

Abstract

本发明公开了一种电子加速管预处理及存放装置，特别涉及电子加速管预处理技术；其特征在于：包括加速管存放架、平台底架、离子泵、存放主管道四个部分，加速管存放架用于加速管悬吊固定，离子泵用于抽除气体分子，存放主管道与离子泵通连，其侧壁均匀设置多个伸出口，分别与一只CF接口波纹管的一端连接，CF接口波纹管的另一端各连接一只超高真空挡板阀，该阀通过变径1连接加速管的下端出口，从而整体构成相互连通而又可以分别隔离的真空系统；本发明具有以下优点：能够一次存放多支加速管，且能够进行单支加速管的操作，还具有缩短后期使用加速管时的排气时间、防止应力变形效果。

Description

一种电子加速管预处理及存放装置

技术领域

本发明涉及电子加速器制造技术，特别涉及电子加速管预处理技术。

背景技术

电子加速管为电子加速器的关键部件，用于给电子束加速，使用时内部真空度很高；加速管在日常存放时，如果没有持续维持真空，加速管内部会吸附和渗透大量的气体分子，导致其正式运行前进行烘烤排气的时间特别长，才能达到符合要求的真空度；目前存放加速管的方式主要为内部抽真空后，密封处理；检索有关加速管的文献与专利，主要涉及设计与制造技术，未见预处理和存放的新技术、新装置。

目前电子加速管预处理与存放技术的缺点是，抽真空后密封，不适用于较长时间的存放，长时间存放会导致内部真空度变差，气体分子渗透增多，后期使用加速管时的排气时间延长；现有摆放方式为横放，下垫木托，长时间的存放会引起机械形变，影响甚至破坏电子束运行轨迹，从而导致加速器的性能变差。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一种加速管长期存放和预排气的装置，能够一次存放多支加速管，且能够进行单支加速管的操作，还具有缩短后期使用加速管时的排气时间、避免因长时间存放产生应力变形的特点。

为达到上述目的，本发明的技术方案是，一种电子加速管预处理及存放装置，包括加速管存放架（1）、平台底架（7）、离子泵（8）、存放主管道（11）四个部分，其特征在于：加速管存放架（1）使用不锈钢圆管焊接而成，主要起到对于加速管（16）悬吊固定作用；平台底架（7）用于承托固定加速管存放架（1）、离子泵（8）、存放主管道（11）；离子泵（8）用于抽除气体分子，存放主管道（11）与离子泵（8）通连，其侧壁均匀设置多个伸出口，分别与一只CF接口波纹管（6）的一端连接；CF接口波纹管（6）的另一端各连接一只超高真空挡板阀(5)，该阀通过变径1（4）连接加速管的下端出口，从而整体构成相互连通而又可以分别隔离的真空系统。

所述加速管存放架（1），可以对称设置2至16个加速管悬吊固定位置，以便同时处理更多的加速管。

所述加速管存放架（1）近顶部的每个加速管悬吊固定位置，设置有加速管固定及减震装置（15），用于加速管的悬吊固定、减震；还设置有盲板法兰(2)和波导盲板法兰(3)，用于加速管上口的密封，通过螺栓与加速管进行固定。

所述超高真空挡板阀(5)，位于存放主管道（11）与加速管（16）下口之间，用于隔离或联通加速管与主管道真空空间，可实现拆装单只加速管而不破坏其它真空。

所述离子泵（8）与存放主管道（11）之间设有超高真空插板阀（10），通过真空直筒变径（9）连接离子泵，用于隔离或联通离子泵与存放主管道，使得存放主管道开放时离子泵可持续运行，缩短预抽时间。

所述存放主管道（11）侧壁可以对称设置2至16个伸出口，以便同时连接更多的加速管。

所述存放主管道（11）壁上开口安装真空电离规（12），配合真空计使用，以检测真空空间的真空度。

所述全金属超高真空阀(14)通过变径2（13）与存放主管道（11）的尾端开口相连，用于预抽真空时连接分子泵机组。

本发明的有益效果是：本装置可不限时间的存放加速管，且长时间存放更能有效的去除内部渗透的气体分子，达到超高真空，可有效地缩短加速管在使用时的微波烘烤时间；本装置可一次存放多只加速管，在单独拆卸和安装1只加速管时，确保其它加速管的真空不受破坏，可有效地缩短再次建立真空的时间；避免因长时间存放产生应力变形。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明的技术方案作进一步详细说明；

图1 为电子加速管预处理及存放装置主视图；

图2 为电子加速管预处理及存放装置侧视图；

图3 为电子加速管预处理及存放装置俯视图；

图中：

1、加速管存放架； 2、盲板法兰； 3、波导盲板法兰；

4、变径1； 5、超高真空挡板阀； 6、CF接口波纹管；

7、平台底架； 8、离子泵； 9、真空直筒变径；

10、超高真空插板阀； 11、存放主管道； 12、真空电离规；

13、变径2； 14、全金属超高真空阀； 15、加速管固定及减震装置；

16、加速管。

具体实施方式

将平台底架（7）放置好，并通过垫片等措施调平；将加速管存放架（1）和离子泵（8）通过螺栓固定到平台底架（7）上；依次将6支加速管（16）依靠加速管固定及减震装置（15）悬挂固定，其上口使用盲板法兰(2)和波导盲板法兰(3)密封；依次将真空直筒变径（9）、超高真空插板阀（10）、存放主管道（11）、真空电离规（12）、变径2（13）、全金属超高真空阀（14）连接，螺栓固定；分别将6支加速管的下口用超高真空挡板阀(5)通过变径1（4）连接密封，最后用CF接口波纹管（6）连接超高真空挡板阀(5)和存放主管道的伸出口；至此，设备安装连接完成，开始进入运行状态。

分子泵机组与全金属超高真空阀（14）连接，连续抽真空24小时后，开启离子泵（8），关闭全金属超高真空阀（14）并拆除分子泵机组；通过真空电离规（12）测量系统中真空度达到-5Pa，所有加速管处于良好的保存状态；需要拆下一只加速管送达设备安装现场时，关闭其超高真空挡板阀(5)和超高真空插板阀（10），即可拆下并在真空状态下运输。

以上具体实施方式仅用于说明本发明的技术方案，而非对其进行限制；尽管参照前述实施方式对本发明进行了详细的说明，对于本领域的普通技术人员来说，依然可以对前述实施方式所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明所要求保护的技术方案的精神和范围。

Claims

1.一种电子加速管预处理及存放装置，包括加速管存放架（1）、平台底架（7）、离子泵（8）、存放主管道（11）四个部分，其特征在于：加速管存放架（1）使用不锈钢圆管焊接而成，主要起到对于加速管（16）悬吊固定作用；平台底架（7）用于承托固定加速管存放架（1）、离子泵（8）、存放主管道（11）；存放主管道（11）与离子泵（8）通连，其侧壁均匀设置多个伸出口，分别与一只CF接口波纹管（6）的一端连接；CF接口波纹管（6）的另一端各连接一只超高真空挡板阀(5)，该阀通过变径1（4）连接加速管的下端出口。

2.如权利要求1所述的一种电子加速管预处理及存放装置，其特征在于：所述加速管存放架（1），可以对称设置2至16个加速管悬吊固定位置。

3.如权利要求1所述的一种电子加速管预处理及存放装置，其特征在于：在所述加速管存放架（1）近顶部的每个加速管悬吊固定位置，设置有加速管固定及减震装置（15）；还设置有盲板法兰(2)和波导盲板法兰(3)，用于加速管上口的密封，通过螺栓与加速管进行固定。

4.如权利要求1所述的一种电子加速管预处理及存放装置，其特征在于：所述超高真空挡板阀(5)，位于存放主管道（11）与加速管（16）下口之间。

5.如权利要求1所述的一种电子加速管预处理及存放装置，其特征在于：所述离子泵（8）与存放主管道（11）之间设有超高真空插板阀（10），通过真空直筒变径（9）连接离子泵。

6.如权利要求1所述的一种电子加速管预处理及存放装置，其特征在于：所述存放主管道（11）侧壁可以对称设置2至16个伸出口。

7.如权利要求1所述的一种电子加速管预处理及存放装置，其特征在于：所述存放主管道（11）壁上开口安装真空电离规（12），配合真空计使用。

8.如权利要求1所述的一种电子加速管预处理及存放，其特征在于：所述全金属超高真空阀(14)通过变径2（13）与存放主管道（11）的尾端开口相连。