CN107570892A - 一种可提高光分路器晶圆加工效率的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种高效加工光分路器晶圆的加工方法,较大程度地简化了光分路器晶圆的加工工艺,并且可提高晶圆在加工过程度中的良率,满足了光分路器晶圆加工成本控制要求,另外还能增加光分路器芯片在耦合时与输出端的粘合面积,提高光分路器器件的稳定性。本发明具有工艺简单、效率高,可靠性强,能够满足当下光分路器件的生产要求。
Description
技术领域
本发明涉及一种高效加工光分路器晶圆的加工方法与应用。
背景技术
随着“三网融合”、“光进铜退”、“宽带中国”等一系列规划的推进和实施,光纤通信网络建设正迎来新的高峰,相关产业得到快速发展。光分路器作为无源光网络中的核心器件,其作用是实现光功率的分配。目前主流的光分路器主要基于两种技术形式:熔融拉锥型和平面光波导型。平面光波导型光分路器由于其具有器件尺寸小,重复性好,适合于大规模生产等特点越来越占据主导地位。对于平面光波导型光分路器模块而言,其中光分路器芯片的材料成本较高,如何进一步降低光分路器的材料成本具有非常重要的意义。
传统的光分路器晶圆是由砂轮刀片进行切割加工,由于晶圆分片后需要对形成的芯片条进行研磨加工,而研磨后又要对芯片条进行再次颗粒切割加工,重复工序较多,加工效率低、加工成本高;另外砂轮刀体较厚,在对晶圆进行切割后,减少了光分路器芯片的耦合面积,降低了光分路器器件的稳定性。使用本发明的工艺可完全解决此类问题。
发明内容
本发明采用的技术方案是:
一种高效加工光分路器晶圆的加工方法,其特征在于使用水溶性UV胶水,在晶圆盖板面粘贴一张辅助PVC保护板,使用激光切割机对光分路器晶圆进行一次性切割,将晶圆直接加工成颗粒;有PVC保护板可以减少芯片条在研磨时产生的崩口,提高研磨良率;芯片条研磨过后,利用弯曲PVC板,不用进行二次切割,直接将芯片条分开为颗粒芯片,提高效率与良率。
本发明具有的有益效果是:
1. 本发明具有工艺简单、制造方便,可直接提高50%的切割效率。
2. 采用本发明制造出的芯片,加工良率高,减少生产报废。
3. 采用本发明制造出的芯片,耦合面积增大,有效提高光分路器器件的稳定性。
附图说明
图1、图2是本发明的切割示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案,而不能以此来限制本发明的保护范围。
本发明具体实施的技术方案是:
图1所示为光分路器晶圆切割方向。
如图2所示,给出了我们使用新的发明发法在晶圆的盖板面增加了一层PVC辅助板及切割深度的示意。
1)采用图2所示的结构,在晶圆盖板面粘贴一张1.0厚度的PVC辅助板。
2)使用激光切割机,按图1所示,将晶圆的X方向切割深度控制在切入PVC板0.2mm。将晶圆的Y方向的切割线与X方向的中间线完全切断,使晶圆分割成芯片条。
3)对芯片条进行研磨,将PVC辅助板的一面安装为研磨入角面,对芯片条进行保护,避免研磨崩口。
4)正常测试,对芯片颗粒进行测试数据标识。
5)利用PVC板的曲张力度将芯片颗粒完全分开,使用热水浸泡解胶,并进行颗粒清洗,完成晶圆加工。
以上实例适用于任何规格(NxN)的光分路器晶圆的加工。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (4)
1.一种高效加工光分路器晶圆的加工方法,其特征在于,较大程度地简化了光分路器晶圆的加工工艺,并且可提高晶圆在加工过程度中的良率,满足了光分路器晶圆加工成本控制要求,另外还能增加光分路器芯片在耦合时与输出端的粘合面积,提高光分路器器件的稳定性;本发明具有工艺简单、效率高,可靠性强,能够满足当下光分路器件的生产要求。
2.根据权利要求1所述的高效加工光分路器晶圆的加工方法,其特征在于,使用激光切割光分路器晶圆,提高切割效率,并且增加光分路器芯片的耦合面积,提高光分路器件的稳定性。
3.根据权利要求1所述的高效加工光分路器晶圆的加工方法,其特征在于,使用激光切割光分路器晶圆时,配合使用辅助PVC保护板,提高后道研磨加工的效率与良率。
4.根据权利要求1所述的高效加工光分路器晶圆的加工方法,其特征在于,配合使用辅助PVC保护板可提高后道分颗粒加工的效率与良率。
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