CN107543682A - 一种主动抑制测试光路抖动的装置及方法 - Google Patents
一种主动抑制测试光路抖动的装置及方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107543682A CN107543682A CN201710804559.3A CN201710804559A CN107543682A CN 107543682 A CN107543682 A CN 107543682A CN 201710804559 A CN201710804559 A CN 201710804559A CN 107543682 A CN107543682 A CN 107543682A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- optical system
- testing
- spectroscope
- mirror
- soon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 57
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 53
- 230000001629 suppression Effects 0.000 title claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 19
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 16
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 claims 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
本发明公开一种主动抑制测试光路抖动的装置及方法。主动抑制测试光路抖动装置由信标光,分光器,压电快反镜,控制计算机组成。整体方法为在测试光路检测端发射信标光,使用分光器耦合并入测试光,在测试光路中逆向传输到测试光路入光端。测试光路入光端安装有压电快反镜和分光器与检测相机。通过分光器将信标光分离出测试光,用检测相机采集光斑抖动,即为测试光路抖动。控制计算机使用质心算法计算信标光脱靶量控制压电快反镜对抖动补偿。本发明能有效抑制测试光路中由于平台等原因引起的抖动。
Description
技术领域
本发明涉及一种光路振动抑制方法,具体涉及复杂试验条件下测试光路抖动的主动抑制方法,可应用于跨平台光路搭建、测试、调校时使用。
背景技术:
在实际光学精密设备调校例如大型平行光管进行高精度测试时,测试设备通常和光路不能保证在同一平台上,地面的微小振动就会产生较大影响。对于大型被测设备来说,设备过重也会导致平台存在微小抖动。这类抖动对高精度测量来说是无法容忍的,需要采取一定的措施来抑制该抖动。
目前常用的抖动抑制措施多作用于光学设备安装平台,这种方法成本高,设计复杂,对于高频噪声抑制能力较弱。
发明内容:
为了解决背景技术中存在的技术问题,本发明采用了在测试光路中测量并抑制振动的方法,使用压电陶瓷式快反镜,信标光激光器,抖动检测相机,分光镜等器材,较为有效的实现了测试光路的稳定。
一种测试光路抖动的主动稳定装置,包括控制计算机1、信标光源2、第一分光镜3、压电陶瓷快反镜4、抖动检测相机5和第二分光镜6。其特征在于:
所述压电陶瓷快反镜4、抖动检测相机5和第二分光镜6安装于测试光路入射处,测时光路测试光依次经过第二分光镜6和压电陶瓷快反镜4进入测试光路,再经过第一分光镜3到的测试光路出光端。信标光和测试光路光源采用分光镜耦合和分离。信标光源2、第一分光镜3安装于测试光路出光处。
所用信标光源2的出射光经过第一分光镜3耦合进测试光路,从测试光路的出光端沿测试光路的逆向传播到测试光路入光端,依次经过压电陶瓷快反镜 4、第二分光镜6被抖动检测相机5捕获。
本发明有如下有益效果:
1.测量系统脱靶量计算与记录:使用控制计算机1,信标光源2配合抖动检测相机6和第一分光镜3、第二分光镜7实现在不影响光路的前提下实现对测试光路情况的测量和记录,方便后续实验处理。质心算法公式如下,其中i 和j分别表示图像行坐标和列坐标,f(i,j)表示图像第i行第j列像素值,T(i,j) 表示经过阈值处理后的图像在第i行第j列处像素值,Threhold表示计算阈值, M和N分别表示图像行数和列数,X,Y为质心行方向和列方向坐标,Xbia为行方向脱靶量,CenX为设置的行方向跟踪中心,Ybia为行方向脱靶量,CenY为设置的行方向跟踪中心。
Xbia=CenX-X
Ybia=CenY-Y
2.对振动噪声的精准抑制:根据抖动检测相机5中信标光源2入射光的脱靶量,使用压电陶瓷快反镜4实现对测试光路中的振动噪声尤其是频段较高频段的噪声实现微弧度级别的抑制;
附图说明:
图1测试系统示意图。图中细实线表示测试光路路线示意,粗虚线为光束稳定系统信标光光路,双点划线为控制电路连接示意图。图中1为控制计算机、2为信标光源、3为第一分光镜、4为压电陶瓷快反镜、5为抖动检测相机和6为第二分光镜构成。图中实线为测试光光路,虚线为信标光光路,点划线为控制电信号。
具体实施方式:
在测试光路光入光端分别放置压电陶瓷快反镜、第二分光镜、抖动检测相机;将信标光源、第一分光镜放于测试光路出光端。安装方式如图。开启信标光源,调整光路使得信标光经过压电陶瓷快反镜搭载抖动检测相机上,同时不影响测试光路。
调节信标光能量使得抖动检测相机接收到的能量合适。利用抖动检测相机测量此时从测试光路出光处打入的信标光抖动,该抖动形式即为测试光路中存在的抖动形式。
利用抖动检测相机采集测试信标光源的光斑,使用质心算法计算光斑脱靶量以此控制计算机并驱动压电陶瓷快反镜实现测试光路光束稳定。
Claims (2)
1.一种主动抑制测试光路抖动的装置,包括控制计算机(1)、信标光源(2)、第一分光镜(3)、压电陶瓷快反镜(4)、抖动检测相机(5)和第二分光镜(6),其特征在于:
所述压电陶瓷快反镜(4)、抖动检测相机(5)和第二分光镜(6)安装于测试光路入射处,测时光路测试光依次经过第二分光镜(6)和压电陶瓷快反镜(4)进入测试光路,再经过第一分光镜(3)到的测试光路出光端。信标光和测试光路光源采用分光镜耦合和分离。信标光源(2)、第一分光镜(3)安装于测试光路出光处;
所用信标光源(2)的出射光经过第一分光镜(3)耦合进测试光路,从测试光路的出光端沿测试光路的逆向传播到测试光路入光端,依次经过压电陶瓷快反镜(4)、第二分光镜(6)被抖动检测相机(5)捕获。
2.一种基于权利要求1所述主动抑制测试光路抖动的装置的光路抖动抑制方法,其特征在于以下步骤:
1)测量系统脱靶量计算与记录:使用控制计算机(1),信标光源(2)配合抖动检测相机(5)和第一分光镜(3)、第二分光镜(6)实现在不影响光路的前提下实现对测试光路情况的测量和记录,控制计算机(1)根据脱靶量对压电陶瓷快反镜(4)进行控制抑制抖动,方便后续实验处理。脱靶量公式如下,其中i和j分别表示图像行坐标和列坐标,f(i,j)表示图像第i行第j列像素值,T(i,j)表示经过阈值处理后的图像在第i行第j列处像素值,Threhold表示计算阈值,M和N分别表示图像行数和列数,X,Y为质心行方向和列方向坐标,Xbia为行方向脱靶量,CenX为设置的行方向跟踪中心,Ybia为行方向脱靶量,CenY为设置的行方向跟踪中心;
Xbia=CenX-X
Ybia=CenY-Y;
2)对振动噪声的精准抑制:根据抖动检测相机(5)中信标光源(2)入射光的脱靶量,使用压电陶瓷快反镜(4)实现对测试光路中的振动噪声尤其是频段较高频段的噪声实现微弧度级别的抑制。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710804559.3A CN107543682A (zh) | 2017-09-08 | 2017-09-08 | 一种主动抑制测试光路抖动的装置及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710804559.3A CN107543682A (zh) | 2017-09-08 | 2017-09-08 | 一种主动抑制测试光路抖动的装置及方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN107543682A true CN107543682A (zh) | 2018-01-05 |
Family
ID=60958560
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710804559.3A Pending CN107543682A (zh) | 2017-09-08 | 2017-09-08 | 一种主动抑制测试光路抖动的装置及方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN107543682A (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109151461A (zh) * | 2018-10-17 | 2019-01-04 | 孝感华中精密仪器有限公司 | 一种高精跟踪摄像机调焦光轴抖动量的测试方法 |
CN115493816A (zh) * | 2022-11-08 | 2022-12-20 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种用于提升大型激光装置打靶精度的方法 |
CN115902685A (zh) * | 2022-11-14 | 2023-04-04 | 集美大学 | 航标灯专用光学测试系统 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1825786A (zh) * | 2006-03-31 | 2006-08-30 | 哈尔滨工业大学 | 基于ccd的复合式反馈控制振动补偿系统 |
CN101063751A (zh) * | 2007-04-06 | 2007-10-31 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 激光光斑实时监测与光路自动准直的方法和装置 |
CN101482654A (zh) * | 2009-02-23 | 2009-07-15 | 中国科学院光电技术研究所 | 光路耦合对准方法 |
CN102255655A (zh) * | 2011-06-15 | 2011-11-23 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 激光通信中跟踪相机兼容实现链路效率的检测方法 |
CN102252690A (zh) * | 2011-04-14 | 2011-11-23 | 西安电子科技大学 | 激光模式与光阑的相对位置测量系统及其测量方法 |
CN102681550A (zh) * | 2012-05-18 | 2012-09-19 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种双快速反射镜精跟踪装置及方法 |
CN102707732A (zh) * | 2012-05-25 | 2012-10-03 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种光通信的精跟踪控制系统 |
CN105791691A (zh) * | 2016-03-11 | 2016-07-20 | 伍祥辰 | 一种自动聚焦装置及其实时自动聚焦方法 |
CN106209221A (zh) * | 2016-04-15 | 2016-12-07 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种光斑质心提取精度的测量装置及测量方法 |
CN106374998A (zh) * | 2016-10-13 | 2017-02-01 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种跟瞄系统对信标光斑位移灵敏度的测量装置及方法 |
CN207528422U (zh) * | 2017-09-08 | 2018-06-22 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种主动抑制测试光路抖动的装置 |
-
2017
- 2017-09-08 CN CN201710804559.3A patent/CN107543682A/zh active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1825786A (zh) * | 2006-03-31 | 2006-08-30 | 哈尔滨工业大学 | 基于ccd的复合式反馈控制振动补偿系统 |
CN101063751A (zh) * | 2007-04-06 | 2007-10-31 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 激光光斑实时监测与光路自动准直的方法和装置 |
CN101482654A (zh) * | 2009-02-23 | 2009-07-15 | 中国科学院光电技术研究所 | 光路耦合对准方法 |
CN102252690A (zh) * | 2011-04-14 | 2011-11-23 | 西安电子科技大学 | 激光模式与光阑的相对位置测量系统及其测量方法 |
CN102255655A (zh) * | 2011-06-15 | 2011-11-23 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 激光通信中跟踪相机兼容实现链路效率的检测方法 |
CN102681550A (zh) * | 2012-05-18 | 2012-09-19 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种双快速反射镜精跟踪装置及方法 |
CN102707732A (zh) * | 2012-05-25 | 2012-10-03 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种光通信的精跟踪控制系统 |
CN105791691A (zh) * | 2016-03-11 | 2016-07-20 | 伍祥辰 | 一种自动聚焦装置及其实时自动聚焦方法 |
CN106209221A (zh) * | 2016-04-15 | 2016-12-07 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种光斑质心提取精度的测量装置及测量方法 |
CN106374998A (zh) * | 2016-10-13 | 2017-02-01 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种跟瞄系统对信标光斑位移灵敏度的测量装置及方法 |
CN207528422U (zh) * | 2017-09-08 | 2018-06-22 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种主动抑制测试光路抖动的装置 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
刘献之: "光自闭环快反镜的控制器设计", 《仪表技术与传感器》, no. 03, pages 37 - 41 * |
赵馨: "基于FPGA的精跟踪系统", 《仪器仪表学报》, vol. 32, no. 07, pages 1642 - 1647 * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109151461A (zh) * | 2018-10-17 | 2019-01-04 | 孝感华中精密仪器有限公司 | 一种高精跟踪摄像机调焦光轴抖动量的测试方法 |
CN115493816A (zh) * | 2022-11-08 | 2022-12-20 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种用于提升大型激光装置打靶精度的方法 |
CN115902685A (zh) * | 2022-11-14 | 2023-04-04 | 集美大学 | 航标灯专用光学测试系统 |
CN115902685B (zh) * | 2022-11-14 | 2023-07-18 | 集美大学 | 航标灯专用光学测试系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107543682A (zh) | 一种主动抑制测试光路抖动的装置及方法 | |
CN110108348A (zh) | 基于运动放大光流跟踪的薄壁件微幅振动测量方法及系统 | |
CN207528422U (zh) | 一种主动抑制测试光路抖动的装置 | |
CN109685744A (zh) | 一种扫描振镜精度校正方法 | |
CN107515101B (zh) | 一种光电稳瞄系统稳定度测量装置的动态参数校准装置及方法 | |
CN108709629B (zh) | 基于激光位移传感器的方形薄膜振动检测控制装置及方法 | |
US11280885B2 (en) | LADAR receiver | |
CN108731555A (zh) | 一种弹丸测试系统用天幕触发装置及其触发方法 | |
CN106969760A (zh) | 物理量检测振动片、物理量检测装置、电子设备及移动体 | |
US10146338B2 (en) | Electronic pen implementing sensor drift compensation | |
CN111953912A (zh) | 一种高速运动光点空间位置的探测方法以及装置 | |
CN102944693A (zh) | 基于面阵快速场同步ccd图像传感器的测速系统及测速方法 | |
CN103673890B (zh) | 基于数字图像分析的长度及柱面面积测量方法 | |
CN113237633B (zh) | 一种基于图像处理的光电平台稳定精度检测的方法 | |
CN116718344B (zh) | 一种多参数的推力矢量喷流光学标定方法 | |
JP5659109B2 (ja) | 移動物体追跡装置及び参照点追跡方法 | |
JPH06123608A (ja) | 車輪測定装置 | |
CN207280592U (zh) | 一种三狭缝高光谱运动目标探测装置 | |
KR102191743B1 (ko) | 거리 측정 장치 | |
JPH10173978A (ja) | 追尾誤差検出装置 | |
CN208860470U (zh) | 一种非接触式飞机尾翼的振动检测装置 | |
CN108540727B (zh) | 一种psp技术用运动模糊消除装置及其方法 | |
JP5046004B2 (ja) | 非接触振動計測システム、非接触振動計測方法及びコンピュータプログラム | |
CN214202159U (zh) | 一种基于微动机构的稳像装置 | |
JP6683069B2 (ja) | 気孔率測定装置、気孔率測定プログラム、及びその方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |