CN107527077B - 半导体辅助生产方法及系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种半导体辅助生产方法及系统，所述方法包括：生成关联芯片产品信息的产品信息二维码并配置于承载芯片的晶舟盒上；生成关联产品生产规则、芯片产品信息和晶舟盒信息的机台二维码并将该机台二维码配置于机台设备上；在机台设备对芯片进行生产加工时，通过匹配产品信息二维码所关联的信息和机台二维码所关联的信息确定对芯片的生产加工；分别生成对应关联生产加工过程中各制程的操作指令的制程二维码并通过一显示终端显示各制程二维码；在机台设备对芯片进行生产加工选取制程时，通过扫描显示终端显示的与该制程对应的制程二维码获取并执行对应的制程的操作指令。本发明简化了人工操作，提高了制造型企业生产效率。

Description

半导体辅助生产方法及系统
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及半导体生产控制技术领域，具体为一种半导体辅助生产方法及系统。
背景技术
在半自动、手动操作型制造行业内(如FAB类晶圆制造领域)，普遍存在通过文字、图形等信息标识并传递在制品信息的身份识别，其缺点在于：1)生产信息量描述复杂，可被更改；2)信息传递人为判断容易错误或者遗漏；3)信息操作量大，影响人为效率。最终是对企业生产一线过程造成很多误操作，影响产品的交期和品质。
发明内容
为了解决上述的以及其他潜在的技术问题，本发明的实施例提供了一种半导体辅助生产方法，所述半导体辅助生产方法包括：生成关联芯片产品信息的产品信息二维码并将该产品信息二维码配置于承载芯片的晶舟盒上；生成关联产品生产规则、所述芯片产品信息和晶舟盒信息的机台二维码并将该机台二维码配置于用于对芯片进行生产加工的机台设备上；在所述机台设备对所述芯片进行生产加工时，通过匹配所述产品信息二维码所关联的信息和所述机台二维码所关联的信息确定对所述芯片的生产加工；分别生成对应关联生产加工过程中各制程的操作指令的制程二维码并通过一显示终端显示各所述制程二维码；在所述机台设备对所述芯片进行生产加工选取制程时，通过扫描所述显示终端显示的与该制程对应的制程二维码获取并执行对应的制程的操作指令。
于本发明的一实施例中，所述半导体辅助生产方法还包括：生成关联操作者信息的操作者二维码，在对所述芯片进行生产加工时，通过扫描所述操作者二维码获取操作者信息。
于本发明的一实施例中，当所述晶舟盒信息或所述晶舟盒中的芯片产品信息有变化时，对应更新所述产品信息二维码关联的信息。
于本发明的一实施例中，当所述晶舟盒信息或所述晶舟盒中的芯片产品信息有变化时，对应更新所述产品信息二维码关联的信息具体包括：当所述芯片产品合批或分批时，对应更新所述产品信息二维码关联的的生产批次信息；当所述芯片产品报废时，对应删除所述产品信息二维码关联的信息。
于本发明的一实施例中，所述半导体辅助生产方法还包括：生成用于关联包装芯片产品的包装盒信息的包装盒二维码并将所述包装盒二维码配置于对应的包装盒上；当所述芯片产品更换所述包装盒时，更新所述包装盒二维码关联的包装盒信息。
本发明的实施例还提供一种半导体辅助生产系统，所述半导体辅助生产系统包括：一二维码生成器，用于生成关联芯片产品信息的产品信息二维码、关联产品生产规则、所述芯片产品信息和晶舟盒信息的机台二维码以及对应关联生产加工过程中各制程的操作指令的制程二维码；一打印机，用于打印所述二维码生成器生成的所述产品信息二维码和所述机台二维码；其中，将打印出的所述产品信息二维码配置于承载芯片的晶舟盒上，所述机台二维码配置于用于对芯片进行生产加工的机台设备上；一显示终端，用于显示各所述制程二维码；一扫码器，用于扫描各二维码并获取各二维码关联的信息；一半导体生产辅助设备，与所述扫码器相连，获取各二维码关联的信息，用于在所述机台设备对所述芯片进行生产加工时，通过匹配所述产品信息二维码所关联的信息和所述机台二维码所关联的信息确定对所述芯片的生产加工，并在所述机台设备对所述芯片进行生产加工选取制程时，通过所述扫码器扫描所述显示终端显示的与该制程对应的制程二维码获取并执行对应的制程的操作指令。
于本发明的一实施例中，所述二维码生成器还用于生成关联操作者信息的操作者二维码；在所述机台设备对所述芯片进行生产加工时，所述半导体生产辅助设备通过所述扫码器扫描所述操作者二维码获取操作者信息。
于本发明的一实施例中，当所述晶舟盒信息或所述晶舟盒中的芯片产品信息有变化时，所述二维码生成器中对应更新所述产品信息二维码关联的信息。
于本发明的一实施例中，所述二维码生成器还用于生成用于关联包装芯片产品的包装盒信息的包装盒二维码，所述包装盒二维码配置于对应的包装盒上；当所述芯片产品更换所述包装盒时，所述二维码生成器更新所述包装盒二维码关联的包装盒信息。
本发明的实施例还提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现如上所述的方法中的步骤。
如上所述，本发明的半导体辅助生产方法及系统具有以下有益效果：
本发明的半导体辅助生产方法及系统将生产过程中的关键生产信息通过二维码进行编码图形化、唯一化，使得信息在传递过程中完整性加强、可操作性更加简单，将复杂多样的生产数据、生产模式进行二维码系统化后，简化了人工操作，操作人员可以轻松高效地完成复杂且高风险、高附加值的生产动作，提高了制造型企业生产质量和效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1显示为本发明的半导体辅助生产方法的流程示意图。
图2显示为本发明的半导体辅助生产方法的生产实施流程图。
图3显示为本发明的半导体辅助生产系统的原理框图。
元件标号说明
100 半导体辅助生产系统
110 二维码生成器
120 打印机
130 显示终端
140 扫码器
150 半导体生产辅助设备
S100～S130 步骤
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
请参阅图1至图3。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。
本实施例的目的在于提供一种半导体辅助生产方法及系统，用于解决现有技术中半导体生产一线过程人为判断容易错误或者遗漏，造成很多误操作，影响产品的交期和品质的问题。以下将详细阐述本发明的半导体辅助生产方法及系统的原理及实施方式，使本领域技术人员不需要创造性劳动即可理解本发明的半导体辅助生产方法及系统。
本实施例通过二维码辅助设备将复杂多样的生产数据、生产模式进行二维码化后，操作人员可以轻松高效地完成复杂且高风险、高附加值的生产动作，提高了制造型企业生产质量和效率。
具体地，如图1所示，本实施例提供了一种半导体辅助生产方法，所述半导体辅助生产方法包括以下步骤：
步骤S100，生成关联芯片产品信息的产品信息二维码并将该产品信息二维码配置于承载芯片的晶舟盒上。
于本实施例中，当所述晶舟盒信息或所述晶舟盒中的芯片产品信息有变化时，对应更新所述产品信息二维码关联的信息。
于本实施例中，当所述晶舟盒信息或所述晶舟盒中的芯片产品信息有变化时，对应更新所述产品信息二维码关联的信息具体包括：当所述芯片产品合批或分批时，对应更新所述产品信息二维码关联的的生产批次信息；当所述芯片产品报废时，对应删除所述产品信息二维码关联的信息。
步骤S110，生成关联产品生产规则、所述芯片产品信息和晶舟盒信息的机台二维码并将该机台二维码配置于用于对芯片进行生产加工的机台设备上。
步骤S120，在所述机台设备对所述芯片进行生产加工时，通过匹配所述产品信息二维码所关联的信息和所述机台二维码所关联的信息确定对所述芯片的生产加工。
步骤S130，分别生成对应关联生产加工过程中各制程的操作指令的制程二维码并通过一显示终端130显示各所述制程二维码；在所述机台设备对所述芯片进行生产加工选取制程时，通过扫描所述显示终端130显示的与该制程对应的制程二维码获取并执行对应的制程的操作指令。
在所述机台设备对所述芯片进行生产加工选取制程时，操作工只需要选取制程后，扫描所述显示终端130显示的与该制程对应的制程二维码即可，机台设备即可获取并执行对应的制程的操作指令。简化了人工操作，操作人员可以轻松高效地完成复杂且高风险、高附加值的生产动作，提高了制造型企业生产质量和效率。
于本实施例中，所述半导体辅助生产方法还包括：生成关联操作者信息的操作者二维码，在对所述芯片进行生产加工时，通过扫描所述操作者二维码获取操作者信息。
于本实施例中，所述半导体辅助生产方法还包括：生成用于关联包装芯片产品的包装盒信息的包装盒二维码并将所述包装盒二维码配置于对应的包装盒上；当所述芯片产品更换所述包装盒时，更新所述包装盒二维码关联的包装盒信息。
如图2所示，本发明方法的具体生产实施流程如下：
首先，准备芯片专用的晶舟盒，将芯片按照每25pcs刻号后装入所述晶舟盒。在芯片生产过程中，将机台设备的出入口端贴设机台二维码，其中，按照不同的生产规则，例如先进先出(FIFO)，先进后出(FILO)，左进右出(LIRO)等编制机台二维码。根据生产加工过程中各制程编制对应的制程二维码，并置于显示终端130，在选取制程时显示对应的制程二维码。正常分批时，通过扫描晶舟盒上的产品信息二维码，更新所述产品信息二维码关联的的生产批次信息；正常合批时，通过扫描晶舟盒上的产品信息二维码，更新所述产品信息二维码关联的的生产批次信息。当所述芯片产品报废时，通过扫描晶舟盒上的产品信息二维码，执行预设对应的报废程序，对应删除所述产品信息二维码关联的信息。当一段制程结束，需要下一段制程使用新的包装盒时，更新所述包装盒二维码关联的包装盒信息。当芯片产品完成相应制程变成成品时，将所述包装盒二维码配置于对应的包装盒上。
如图3所示，本实施例提供一种半导体辅助生产系统100，所述半导体辅助生产系统100包括：二维码生成器110，打印机120，显示终端130，扫码器140以及半导体生产辅助设备150。
以下对本实施例的半导体辅助生产系统100进行详细说明。
于本实施例中，所述二维码生成器110用于生成关联芯片产品信息的产品信息二维码、关联产品生产规则、所述芯片产品信息和晶舟盒信息的机台二维码以及对应关联生产加工过程中各制程的操作指令的制程二维码。
于本实施例中，所述打印机120用于打印所述二维码生成器110生成的所述产品信息二维码和所述机台二维码；其中，将打印出的所述产品信息二维码配置于承载芯片的晶舟盒上，所述机台二维码配置于用于对芯片进行生产加工的机台设备上。
于本实施例中，所述二维码生成器110还用于生成关联操作者信息的操作者二维码；在所述机台设备对所述芯片进行生产加工时，所述半导体生产辅助设备150通过所述扫码器140扫描所述操作者二维码获取操作者信息。
于本实施例中，当所述晶舟盒信息或所述晶舟盒中的芯片产品信息有变化时，所述二维码生成器110中对应更新所述产品信息二维码关联的信息。具体地，当所述芯片产品合批或分批时，对应更新所述产品信息二维码关联的的生产批次信息；当所述芯片产品报废时，对应删除所述产品信息二维码关联的信息。
于实施例中，所述二维码生成器110还用于生成用于关联包装芯片产品的包装盒信息的包装盒二维码，所述包装盒二维码配置于对应的包装盒上；当所述芯片产品更换所述包装盒时，所述二维码生成器110更新所述包装盒二维码关联的包装盒信息。
于本实施例中，所述显示终端130用于显示各所述制程二维码。
于本实施例中，所述扫码器140用于扫描各二维码并获取各二维码关联的信息。
于本实施例中，所述半导体生产辅助设备150与所述扫码器140相连，获取各二维码关联的信息，用于在所述机台设备对所述芯片进行生产加工时，通过匹配所述产品信息二维码所关联的信息和所述机台二维码所关联的信息确定对所述芯片的生产加工，并在所述机台设备对所述芯片进行生产加工选取制程时，通过所述扫码器140扫描所述显示终端130显示的与该制程对应的制程二维码获取并执行对应的制程的操作指令。
在所述机台设备对所述芯片进行生产加工选取制程时，操作工只需要选取制程后，扫描所述显示终端130显示的与该制程对应的制程二维码即可，机台设备即可获取并执行对应的制程的操作指令。简化了人工操作，操作人员可以轻松高效地完成复杂且高风险、高附加值的生产动作，提高了制造型企业生产质量和效率。
本发明的实施例还提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现如上所述的方法中的步骤。在此不再赘述。
综上所述，本发明的半导体辅助生产方法及系统将生产过程中的关键生产信息通过二维码进行编码图形化、唯一化，使得信息在传递过程中完整性加强、可操作性更加简单，将复杂多样的生产数据、生产模式进行二维码系统化后，简化了人工操作，操作人员可以轻松高效地完成复杂且高风险、高附加值的生产动作，提高了制造型企业生产质量和效率。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中包括通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (8)

1.一种半导体辅助生产方法，其特征在于，所述半导体辅助生产方法包括：
生成关联芯片产品信息的产品信息二维码并将该产品信息二维码配置于承载芯片的晶舟盒上；
生成关联产品生产规则、所述芯片产品信息和晶舟盒信息的机台二维码并将该机台二维码配置于用于对芯片进行生产加工的机台设备上；
在所述机台设备对所述芯片进行生产加工时，通过匹配所述产品信息二维码所关联的信息和所述机台二维码所关联的信息确定对所述芯片的生产加工；
分别生成对应关联生产加工过程中各制程的操作指令的制程二维码并通过一显示终端显示各所述制程二维码；在所述机台设备对所述芯片进行生产加工选取制程时，通过扫描所述显示终端显示的与该制程对应的制程二维码，机台设备即可获取并执行对应的制程的操作指令；
所述半导体辅助生产方法还包括：
生成用于关联包装芯片产品的包装盒信息的包装盒二维码并将所述包装盒二维码配置于对应的包装盒上；
当所述芯片产品更换所述包装盒时，更新所述包装盒二维码关联的包装盒信息。
2.根据权利要求1所述的半导体辅助生产方法，其特征在于，所述半导体辅助生产方法还包括：生成关联操作者信息的操作者二维码，在对所述芯片进行生产加工时，通过扫描所述操作者二维码获取操作者信息。
3.根据权利要求1所述的半导体辅助生产方法，其特征在于，当所述晶舟盒信息或所述晶舟盒中的芯片产品信息有变化时，对应更新所述产品信息二维码关联的信息。
4.根据权利要求3所述的半导体辅助生产方法，其特征在于，当所述晶舟盒信息或所述晶舟盒中的芯片产品信息有变化时，对应更新所述产品信息二维码关联的信息具体包括：
当所述芯片产品合批或分批时，对应更新所述产品信息二维码关联的生产批次信息；
当所述芯片产品报废时，对应删除所述产品信息二维码关联的信息。
5.一种半导体辅助生产系统，其特征在于，所述半导体辅助生产系统包括：
一二维码生成器，用于生成关联芯片产品信息的产品信息二维码、关联产品生产规则、所述芯片产品信息和晶舟盒信息的机台二维码以及对应关联生产加工过程中各制程的操作指令的制程二维码；所述二维码生成器还用于生成用于关联包装芯片产品的包装盒信息的包装盒二维码，所述包装盒二维码配置于对应的包装盒上；当所述芯片产品更换所述包装盒时，所述二维码生成器更新所述包装盒二维码关联的包装盒信息；
一打印机，用于打印所述二维码生成器生成的所述产品信息二维码和所述机台二维码；其中，将打印出的所述产品信息二维码配置于承载芯片的晶舟盒上，所述机台二维码配置于用于对芯片进行生产加工的机台设备上；
一显示终端，用于显示各所述制程二维码；
一扫码器，用于扫描各二维码并获取各二维码关联的信息；
一半导体生产辅助设备，与所述扫码器相连，获取各二维码关联的信息，用于在所述机台设备对所述芯片进行生产加工时，通过匹配所述产品信息二维码所关联的信息和所述机台二维码所关联的信息确定对所述芯片的生产加工，并在所述机台设备对所述芯片进行生产加工选取制程时，通过所述扫码器扫描所述显示终端显示的与该制程对应的制程二维码，机台设备即可获取并执行对应的制程的操作指令。
6.根据权利要求5所述的半导体辅助生产系统，其特征在于，所述二维码生成器还用于生成关联操作者信息的操作者二维码；在所述机台设备对所述芯片进行生产加工时，所述半导体生产辅助设备通过所述扫码器扫描所述操作者二维码获取操作者信息。
7.根据权利要求5所述的半导体辅助生产系统，其特征在于，当所述晶舟盒信息或所述晶舟盒中的芯片产品信息有变化时，所述二维码生成器中对应更新所述产品信息二维码关联的信息。
8.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行时实现如权利要求1至4任一权利要求所述的方法中的步骤。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108681759A (zh) * 2018-05-14 2018-10-19 广州微兆信息科技有限公司 板件加工、二维码图像生成方法、装置、设备和存储介质
CN110473947B (zh) * 2019-06-28 2020-10-02 广东晶科电子股份有限公司 一种基于二维码的led封装管控方法及系统
CN112309887B (zh) * 2019-07-29 2023-03-21 华润微电子（重庆）有限公司 晶圆制造的预派工方法、电子装置、计算机设备和系统
CN110676191B (zh) * 2019-10-08 2022-05-24 东莞长城开发科技有限公司 一种基于mes系统的led晶圆测试拆机分组合收方法
CN112764401B (zh) * 2020-12-30 2022-07-12 盛泰光电科技股份有限公司 一种基于mes的生产管理系统

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103441088A (zh) * 2013-08-05 2013-12-11 中航（重庆）微电子有限公司 自动化系统
US20150116089A1 (en) * 2012-03-28 2015-04-30 Biglobe Inc. Portable terminal, information display system, information display method, and multi-tag
CN105679697A (zh) * 2016-04-11 2016-06-15 安徽晶新微电子有限公司 一种一体式晶圆出货影像留存设备
CN105976095A (zh) * 2016-04-29 2016-09-28 华能澜沧江水电股份有限公司 基于二维码技术的混凝土配料单存储与识别系统及方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102722787A (zh) * 2012-05-29 2012-10-10 安徽金缆信息技术有限公司 一种质检管理方法、系统及服务器
CN103616856B (zh) * 2013-12-11 2016-03-09 哈尔滨工业大学 一种基于数据库的汽车仪表装配流水线操作控制方法
CN106486399B (zh) * 2016-08-29 2019-03-22 长电科技（滁州）有限公司 一种机台控制方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20150116089A1 (en) * 2012-03-28 2015-04-30 Biglobe Inc. Portable terminal, information display system, information display method, and multi-tag
CN103441088A (zh) * 2013-08-05 2013-12-11 中航（重庆）微电子有限公司 自动化系统
CN105679697A (zh) * 2016-04-11 2016-06-15 安徽晶新微电子有限公司 一种一体式晶圆出货影像留存设备
CN105976095A (zh) * 2016-04-29 2016-09-28 华能澜沧江水电股份有限公司 基于二维码技术的混凝土配料单存储与识别系统及方法

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