CN107525769A - 一种通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法 - Google Patents

一种通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN107525769A
CN107525769A CN201611076545.6A CN201611076545A CN107525769A CN 107525769 A CN107525769 A CN 107525769A CN 201611076545 A CN201611076545 A CN 201611076545A CN 107525769 A CN107525769 A CN 107525769A
Authority
CN
China
Prior art keywords
polarizer
azimuths
magnetic domain
contrast
imaging effect
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201611076545.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107525769B (zh
Inventor
连洁
李蒙蒙
杨修伦
王晓
宋浩男
石玉君
刘宇翔
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shandong University
Original Assignee
Shandong University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shandong University filed Critical Shandong University
Priority to CN201611076545.6A priority Critical patent/CN107525769B/zh
Publication of CN107525769A publication Critical patent/CN107525769A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107525769B publication Critical patent/CN107525769B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/21Polarisation-affecting properties
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/21Polarisation-affecting properties
    • G01N2021/218Measuring properties of electrooptical or magnetooptical media

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)
  • Medicines Containing Antibodies Or Antigens For Use As Internal Diagnostic Agents (AREA)

Abstract

本发明公开了一种通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法,所述方法通过建立磁畴成像效果(包括信噪比和对比度)与偏振器方位角组合之间的数学模型,对磁畴成像效果与偏振器方位角组合之间的关系进行模拟分析,从而找到最佳的偏振期方位角,提高磁畴成像的质量。

Description

一种通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法
技术领域
本发明涉及一种通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法,涉及在磁畴成像系统中,通过建立磁畴成像效果(主要包括信噪比和对比度两方面)与偏振器方位角组合之间的数学模型,得到磁畴成像效果与偏振器方位角之间的关系,并通过计算分析对成像效果进行模拟,从而找到最佳的偏振器方位角,提高磁畴成像的质量。
背景技术
超薄磁性薄膜目前已被广泛运用在信息存储领域,特别是高密度磁光存储设备和自旋电子器件的设计和制造中,因此提高超磁性薄膜材料的性质对这些领域的发展具有重要意义。又由于超磁性材料的宏观性质是对磁畴结构和行为的反映,因此为了进一步了解并提高超磁性薄膜材料的性能需要对其内部磁畴的结构和行为进行深入的研究。目前对磁畴结构和行为的研究主要采用的磁畴观测技术有粉末法、磁力显微镜法、电子显微镜法、磁光克尔效应法等。其中磁光克尔效应法由于其较高的表面灵敏度和外部磁场兼容性在观测外场作用下磁性材料尤其是超薄磁性薄膜材料中的磁畴的结构和行为方面具有广泛的应用。
基于磁光克尔效应法的磁畴成像系统主要是通过检测一束线偏振光在材料表面反射后的偏振态变化引起的光强变化进行磁畴观测。因此磁畴成像的效果极易受到光学元件设置,尤其是偏振器方位角设置的影响。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法,通过建立磁畴成像效果(包括信噪比和对比度)与偏振器方位角组合之间的数学模型,对磁畴成像效果与偏振器方位角组合之间的关系进行模拟分析,从而找到最佳的偏振器方位角,提高磁畴成像的质量。
为了解决所述技术问题,本发明采用的技术方案是:一种通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法,包括以下步骤:S01、建立偏振器方位角与磁畴成像效果的评价指标之间的数学模型,磁畴成像效果的评价指标包括图像对比度C和信噪比r,偏振器方位角、与图像对比度C、信噪比r的的关系表达式为:
(1)
(2)
其中参数Bi为磁致反射系数的实部与虚部的组合,其数值可以通过磁光椭偏实验测量得到,
参数fi为偏振器方位角正余弦值的组合,
i为探测器接收到的光电流,iD为探测器的暗噪声,iS为散粒噪声, VJ为热噪声;再根据C、r与偏振器方位角的关系表达式,建立磁畴成像效果的评价参数y,y与偏振器方位角的关系为: (3),
其中Cmax,rmax分别为对比度和信噪比的最优值;
S02、根据公式 3对评价参数y与偏振器方位角的组合进行模拟分析,结合由公式1、2得到的对比度C、信噪比r与偏振器方位角的关系,得到具有较好成像效果的偏振器方位角的设置方式。
本发明所述通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法,步骤2具体为:S2.1、根据公式1对对比度C与偏振器方位角的关系进行模拟分析,得到对比度最大时的偏振器方位角;S2.2、根据公式2对信噪比r与偏振器方位角的关系进行模拟分析,得到信噪比最大时的偏振器方位角;S2.3、对前两步得到的偏振器方位角进行比较,若两者相差较大,则取使对比度C不小于0.03的偏振器方位角范围,在此范围内根据公式3对评价参数y与偏振器方位角的关系进行模拟分析,得到评价参数最小时偏振器方位角的范围,此偏振器方位角的范围就是具有较好成像效果的偏振器方位角。
本发明所述通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法,步骤S2.3得到两处具有较好成像效果的偏振器方位角,一处在对比度最大的位置,另一处在信噪比值较大且随着偏振器方位角的改变信噪比值差别不大的位置,选取处于信噪比较大且随着偏振器方位角的改变信噪比值差别不大的的偏振器方位角范围,然后根据公式1进行模拟分析,得到此范围内对比度最大时的偏振器方位角,此偏振器方位角为具有较好成像效果的偏振器方位角。
本发明所述通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法,本方法对200nm坡莫合金薄膜成像过程中的偏振器方位角的设置方式进行模拟分析。
本发明所述通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法,200nm坡莫合金薄膜具有较佳成像效果的偏振器方位角的范围为(0.4,89.7) 或者(0~11°,80~84°)。
本发明所述通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法,200nm坡莫合金薄膜具有较佳成像效果的偏振器方位角的范围为(0.4,89.7) 或者(7°,84°)。
本发明的有益效果:本发明通过建立磁畴成像效果(包括信噪比和对比度)与偏振器方位角组合之间的数学模型,对磁畴成像效果与偏振器方位角组合之间的关系进行模拟分析,从而找到最佳的偏振器方位角,提高磁畴成像的质量。
附图说明
图1为基于磁光克尔效应法的磁畴成像系统的示意图;
图2为对比度与偏振器方位角的模拟结果图;
图3为信噪比与偏振器方位角的模拟结果图;
图4为评价参数与偏振器方位角的模拟结果图;
图5为(0~11°,80~84°)范围内对比度与偏振器方位角的模拟结果图。
具体实施例
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的说明。
如图1所示,为本发明中所分析的基于磁光克尔效应法的磁畴成像系统的示意图,包括:照明光源,其发出的入射光为强度均匀的平行光束;起偏器,用于将入射光转换为线偏振光;光阑,用于调节入射到样片上的光斑大小;样品台,用于安置待测样品(从样品表面反射的光其偏振态由于磁场的作用会发生变化);电磁铁,用于对样品施加磁场从而观测磁场作用下磁畴的动态变化;检偏器,用于对反射光进行调制,从而将反射光中偏振态分布转化为光强分布,从而对样品中的磁畴状态进行成像;成像物镜,选用合适的放大倍率对磁畴成像;CCD,用于接收磁畴图像并传输到PC端;控制箱,主要用于实现PC对偏振器步进电机的控制,用于实现对偏振器方位角的优化调节。
本实施例所述通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法包括以下步骤:S01、建立偏振器方位角与磁畴成像效果的评价指标之间的数学模型,磁畴成像效果与偏振器方位角关系的数学模型是根据传输矩阵、边界矩阵以及菲涅尔定律计算得到的。磁畴成像效果的评价指标包括图像对比度C和信噪比r,偏振器方位角、与图像对比度C、信噪比r的的关系表达式为:
(1)
(2)
其中参数Bi为磁致反射系数的实部与虚部的组合,其数值可以通过磁光椭偏实验测量得到,
参数fi为偏振器方位角正余弦值的组合,
i为探测器接收到的光电流,iD为探测器的暗噪声,iS为散粒噪声, VJ为热噪声;再根据C、r与偏振器方位角的关系表达式,建立磁畴成像效果的评价参数y,y与偏振器方位角的关系为: (3),
其中Cmax,rmax分别为对比度和信噪比的最优值;
S02、根据公式 3对评价参数y与偏振器方位角的组合进行模拟分析,结合由公式1、2得到的对比度C、信噪比r与偏振器方位角的关系,得到具有较好成像效果的偏振器方位角的设置方式。
步骤2具体为:S2.1、根据公式1对对比度C与偏振器方位角的关系进行模拟分析,得到对比度最大时的偏振器方位角;S2.2、根据公式2对信噪比r与偏振器方位角的关系进行模拟分析,得到信噪比最大时的偏振器方位角;S2.3、对前两步得到的偏振器方位角进行比较,若两者相差较大,则取使对比度C不小于0.03的偏振器方位角范围,在此范围内根据公式3对评价参数y与偏振器方位角的关系进行模拟分析,得到评价参数最小时偏振器方位角的范围,此偏振器方位角的范围就是具有较好成像效果的偏振器方位角。
本发明所述通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法,步骤S2.3得到两处具有较好成像效果的偏振器方位角,一处在对比度最大的位置,另一处在信噪比值较大且随着偏振器方位角的改变信噪比值差别不大的位置,选取处于信噪比较大且随着偏振器方位角的改变信噪比值差别不大的的偏振器方位角范围,然后根据公式1进行模拟分析,得到对比度最大时的偏振器方位角,此偏振器方位角为具有较好成像效果的偏振器方位角。
本实施例中,以200nm坡莫合金薄膜为例对其成像过程中的偏振器方位角的设置方式进行了模拟分析。图(2)为由公式1模拟得到的对比度与偏振器方位角的关系,从图中可以看到对比度在以p光或者s光入射时的消光位置附近最大,最大值在(0.4,89.7)和(89.7,0.4)处取得。图3为由公式2模拟得到的信噪比与偏振器方位角的关系,从图中可以看到信噪比在(15°,65°)附近最大。
由于对比度最大的位置和信噪比最大的位置相差较大,而较好的成像效果需要两者同时取得较大的值,因此需进行进一步的模拟分析。研究表明要得到较好的成像效果C的值不能小于0.03,由图2可以得到为了使C的值不小0.03, θ1的值不能大于11°,θ2的值不能小于80°。在此范围内通过公式3进行模拟得到了评价参数y与偏振器方位角的关系如图4所示,从图中可以看到y有两处最小值,一处为(0.4,89.7),即对比度最大的位置。另一处为(80~84°,0~11°)范围内,从图(3)可以看到,这一范围内信噪比值较大且随着偏振器方位角的改变信噪比值差别不大,因此可以取这一范围内对比度最大的位置。之后根据公式(10)模拟得到了这一范围内的对比度的图像如图5所示,从图中可以得到C的最大值在(7°,84°)处。因此分析得到两处成像效果较好的位置分别为对比度最大的(0.4,89.7)以及信噪比较大的(7°,84°)。然后可以根据需要选择一种方式对偏振器方位角进行调节设置。
本发明提出了一种磁光克尔效应成像系统中基于偏振器方位角的提高成像效果的方法。并通过对200nm的坡莫合金薄膜的模拟分析对这一方法进行了详细的介绍。对于200nm的坡莫合金,为了得到较好的成像效果可以根据需要将偏振器方位角设置在对比度最大的(0.4°,89.7°)或对比度较小但信噪比较大的(7°,84°)处。
以上描述的仅是本发明的基本原理和优选实施例,本领域技术人员根据本发明作出的改进和替换,属于本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法,其特征在于:包括以下步骤:S01、建立偏振器方位角与磁畴成像效果的评价指标之间的数学模型,磁畴成像效果的评价指标包括图像对比度C和信噪比r,偏振器方位角、与图像对比度C、信噪比r的的关系表达式为:
(1)
(2)
其中参数Bi为磁致反射系数的实部与虚部的组合,其数值可以通过磁光椭偏实验测量得到,
参数fi为偏振器方位角正余弦值的组合,
i为探测器接收到的光电流,iD为探测器的暗噪声,iS为散粒噪声, VJ为热噪声;再根据C、r与偏振器方位角的关系表达式,建立磁畴成像效果的评价参数y,y与偏振器方位角的关系为: (3),
其中Cmax,rmax分别为对比度和信噪比的最优值;
S02、根据公式 3对评价参数y与偏振器方位角的组合进行模拟,结合由公式1、2得到的对比度C、信噪比r与偏振器方位角的关系,得到具有较好成像效果的偏振器方位角的设置方式。
2.根据权利要求1所述的通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法,其特征在于:步骤2具体为:S2.1、根据公式1对对比度C与偏振器方位角的关系进行模拟分析,得到对比度最大时的偏振器方位角;S2.2、根据公式2对信噪比r与偏振器方位角的关系进行模拟分析,得到信噪比最大时的偏振器方位角;S2.3、对前两步得到的偏振器方位角进行比较,若两者相差较大,则取使对比度C不小于0.03的偏振器方位角范围,在此范围内根据公式3对评价参数y与偏振器方位角的关系进行模拟分析,得到评价参数最小时偏振器方位角的范围,此偏振器方位角的范围就是具有较好成像效果的偏振器方位角。
3.根据权利要求2所述的通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法,其特征在于:步骤S2.3得到两处具有较好成像效果的偏振器方位角,一处在对比度最大的位置,另一处在信噪比值较大且随着偏振器方位角的改变信噪比值差别不大的位置,选取处于信噪比较大且随着偏振器方位角的改变信噪比值差别不大的的偏振器方位角范围,然后根据公式1进行模拟分析,得到此范围内对比度最大时的偏振器方位角,此偏振器方位角为具有较好成像效果的偏振器方位角。
4.根据权利要求1或3所述的通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法,其特征在于:本方法对200nm坡莫合金薄膜成像过程中的偏振器方位角的设置方式进行模拟分析。
5.根据权利要求4所述的通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法,200nm坡莫合金薄膜具有较佳成像效果的偏振器方位角的范围为(0.4,89.7) 或者(0~11°,80~84°)。
6.根据权利要求4所述的通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法,200nm坡莫合金薄膜具有较佳成像效果的偏振器方位角的范围为(0.4,89.7) 或者(7°,84°)。
CN201611076545.6A 2016-11-30 2016-11-30 一种通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法 Active CN107525769B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611076545.6A CN107525769B (zh) 2016-11-30 2016-11-30 一种通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611076545.6A CN107525769B (zh) 2016-11-30 2016-11-30 一种通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107525769A true CN107525769A (zh) 2017-12-29
CN107525769B CN107525769B (zh) 2021-04-06

Family

ID=60748129

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201611076545.6A Active CN107525769B (zh) 2016-11-30 2016-11-30 一种通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107525769B (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108594142A (zh) * 2018-04-24 2018-09-28 金华职业技术学院 一种磁化矢量测量方法
CN108710090A (zh) * 2018-05-22 2018-10-26 复旦大学 一种利用磁光克尔效应测量反铁磁磁畴分布的方法
CN108872640A (zh) * 2018-06-21 2018-11-23 清华大学 一种用于压电力显微镜的微型偏振光加载装置
CN108918424A (zh) * 2018-04-24 2018-11-30 金华职业技术学院 一种磁性线材的磁畴成像方法及磁畴壁形状判别方法
CN113884953A (zh) * 2021-05-19 2022-01-04 北京航空航天大学 一种磁性晶圆和自旋电子器件成像和演示系统
CN113884443A (zh) * 2021-05-19 2022-01-04 北京航空航天大学 基于磁光克尔效应的磁性晶圆大视野成像方法和成像装置
WO2024074087A1 (zh) * 2022-10-08 2024-04-11 赫智科技(苏州)有限公司 线阵扫描装置及控制方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4298284A (en) * 1977-12-14 1981-11-03 Hitachi, Ltd. Method and apparatus for measuring magnetooptic anisotropy
US7130479B2 (en) * 2002-05-03 2006-10-31 Siemens Aktiengesellschaft Method for improving the quality of an image
CN101666626A (zh) * 2008-09-03 2010-03-10 睿励科学仪器(上海)有限公司 一种椭偏测量的方法及其装置
CN104502635A (zh) * 2014-12-22 2015-04-08 长春理工大学 一种磁力显微镜差分磁力显微成像方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4298284A (en) * 1977-12-14 1981-11-03 Hitachi, Ltd. Method and apparatus for measuring magnetooptic anisotropy
US7130479B2 (en) * 2002-05-03 2006-10-31 Siemens Aktiengesellschaft Method for improving the quality of an image
CN101666626A (zh) * 2008-09-03 2010-03-10 睿励科学仪器(上海)有限公司 一种椭偏测量的方法及其装置
CN104502635A (zh) * 2014-12-22 2015-04-08 长春理工大学 一种磁力显微镜差分磁力显微成像方法

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
BOOTH A.D. ET AL.: "A Kerr magneto-optical microscope using Polaroid polarizers", 《JOURNAL OF THE ROYAL MICROSCOPICAL SOCIATY》 *
WANG X. ET AL.: "Optimization of polarizer azimuth in improving domain image contrast in magneto-optical Kerr microscope", 《JOURNAL OF MAGNETISM AND MAGNETIC MATERIALS》 *
WANG X. ET AL.: "Optimization of polarizer azimuth in improving signal-to-noise ratio in Kerr microscopy", 《APPLIED OPTICS》 *
林崧等: "《液压系统计算机辅助设计》", 30 June 1996, 西北工业大学出版社 *

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108594142A (zh) * 2018-04-24 2018-09-28 金华职业技术学院 一种磁化矢量测量方法
CN108918424A (zh) * 2018-04-24 2018-11-30 金华职业技术学院 一种磁性线材的磁畴成像方法及磁畴壁形状判别方法
CN108594142B (zh) * 2018-04-24 2020-04-28 金华职业技术学院 一种磁化矢量测量方法
CN108918424B (zh) * 2018-04-24 2020-10-02 金华职业技术学院 一种磁性线材的磁畴成像方法及磁畴壁形状判别方法
CN108710090A (zh) * 2018-05-22 2018-10-26 复旦大学 一种利用磁光克尔效应测量反铁磁磁畴分布的方法
CN108710090B (zh) * 2018-05-22 2020-07-24 复旦大学 一种利用磁光克尔效应测量反铁磁磁畴分布的方法
CN108872640A (zh) * 2018-06-21 2018-11-23 清华大学 一种用于压电力显微镜的微型偏振光加载装置
CN108872640B (zh) * 2018-06-21 2020-07-28 清华大学 一种用于压电力显微镜的微型偏振光加载装置
CN113884953A (zh) * 2021-05-19 2022-01-04 北京航空航天大学 一种磁性晶圆和自旋电子器件成像和演示系统
CN113884443A (zh) * 2021-05-19 2022-01-04 北京航空航天大学 基于磁光克尔效应的磁性晶圆大视野成像方法和成像装置
WO2024074087A1 (zh) * 2022-10-08 2024-04-11 赫智科技(苏州)有限公司 线阵扫描装置及控制方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN107525769B (zh) 2021-04-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107525769A (zh) 一种通过优化偏振器方位角提高磁畴成像质量的方法
Soldatov et al. Selective sensitivity in Kerr microscopy
CN107065159B (zh) 一种基于大照明数值孔径的大视场高分辨率显微成像装置及迭代重构方法
US7239388B2 (en) Retardance measurement system and method
CN101852591A (zh) 一种基于磁光效应的成像椭偏仪
Wang et al. Photonic spin-Hall differential microscopy
CN111220553B (zh) 基于光学自旋霍尔效应以及古斯-汉森效应的微分相衬方法及系统
CN108594142B (zh) 一种磁化矢量测量方法
CN108572143B (zh) 全偏振测量显微镜
CN105872403B (zh) Mueller矩阵成像的动态范围扩展方法
CN108957370B (zh) 一种复杂磁畴中的磁化测量方法
CN108710090B (zh) 一种利用磁光克尔效应测量反铁磁磁畴分布的方法
CN116047379A (zh) 一种动态磁畴成像与局域磁滞回线同步测量系统
CN107314891B (zh) 手术显微镜的光学检测系统及光学检测方法
Dana Three dimensional reconstruction of the tectorial membrane: an image processing method using Nomarski differential interference contrast microscopy
Salmon et al. High‐resolution video‐enhanced differential interference contrast light microscopy
CN111487201B (zh) 一种偏振图像信息的表征方法和表征参数的计算方法
CN108445429A (zh) 一种用于复杂磁畴研究的克尔显微镜
CN108444601A (zh) 一种小型快照成像光谱仪及其成像方法
CN208140907U (zh) 一种用于复杂磁畴研究的克尔显微镜
Sandoval et al. Fourier-space generalized magneto-optical ellipsometry
Daugherty Advances in polarization engineering
Yang et al. A novel method for quantitative magneto-optical measurement under non-uniform illumination
EP4357757A1 (en) Device and method for vector generalized magneto-optical ellipsometry
TW201944118A (zh) 使用薩爾瓦稜鏡為剪切元件的剪切干涉顯微鏡

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant