CN107450645B - 射频电源 - Google Patents

Abstract

本发明创造公开了一种射频电源，包括：供电模块、处理模块以及四个输出模块；供电模块包括：供电接头、第一供电模块以及第二供电模块；输出模块包括：控制模块、十进制计数器、升压变压器以及一对输出子模块，控制模块、十进制计数器依次连接，十进制计数器分别与一对输出子模块的一端连接，升压变压器分别与一对输出子模块的另一端连接；供电接头分别与第一供电模块、第二供电模块连接，第一供电模块与处理模块连接，第二供电模块分别与四个控制模块连接；处理模块分别与四个控制模块连接。本发明创造结构简单，使用方便，利用四个输出模块各自一对输出子模块组成稳定的射频电源。

Description

射频电源

技术领域

本发明创造涉及射频技术领域，尤其涉及一种射频电源。

背景技术

在半导体制造行业中，在生产芯片、处理器等半导体器件、薄膜太阳能电池、液晶等平板显示器过程中，均会用到射频电源，需要射频电源作为射频功率源。

传统的射频电源多用控制模块控制功放模块产生高频电压、电流从而达到射频功率源的效果，在控制时序以及稳定性上存在一定的缺陷。

发明内容

本发明创造的目的在于提供一种射频电源，结构简单，使用方便，利用四个输出模块各自一对输出子模块组成稳定的射频电源。

本发明创造的上述目的是通过以下技术方案予以实现的。

一种射频电源，包括：供电模块、处理模块以及四个输出模块；

所述供电模块包括：供电接头、第一供电模块以及第二供电模块；

所述输出模块包括：控制模块、十进制计数器、升压变压器以及一对输出子模块，所述控制模块、所述十进制计数器依次连接，所述十进制计数器分别与一对所述输出子模块的一端连接，所述升压变压器分别与一对所述输出子模块的另一端连接；

所述供电接头分别与所述第一供电模块、所述第二供电模块连接，所述第一供电模块与所述处理模块连接，所述第二供电模块分别与四个所述控制模块连接；

所述处理模块分别与四个所述控制模块连接；

本发明创造的供电接头用于与外部设备进行连接，对本发明创造进行供电，所述第一供电模块、所述第二供电模块分别对所述处理模块、所述输出模块进行供电；所述处理模块用于控制本发明创造的工作，具体是通过控制所述控制模块从而控制所述输出模块，进而通过四个所述输出模块产生时序不同的射频，并选择合适数量的所述射频进行叠加，最终进行输出；所述控制模块、所述十进制计数器作为内部的控制单元，所述升压变压器用于将最终形成的射频进行升压，以便后期操作，而所述输出模块的一对所述输出子模块则为产生射频的核心部件；本发明创造结构简单，使用方便，利用四个所述输出模块各自一对所述输出子模块组成稳定的射频电源。

射频简称RF射频就是射频电流，它是一种高频交流变化电磁波的简称，每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流，大于10000次的称为高频电流，而射频就是这样一种高频电流。在电子学理论中，电流流过导体，导体周围会形成磁场；交变电流通过导体，导体周围会形成交变的电磁场，称为电磁波。在电磁波频率低于100khz时，电磁波会被地表吸收，不能形成有效的传输，但电磁波频率高于100khz时，电磁波可以在空气中传播，并经大气层外缘的电离层反射，形成远距离传输能力，具有远距离传输能力的高频电磁波称为射频，射频技术在无线通信领域中被广泛使用。

具体的，所述第一供电模块的供电电压低于所述第二供电模块的供电电压；

由于所述处理模块的工作电压低于所述输出模块的工作电压，因此所述供电接头与外部供电设备连接后，需通过所述第一供电模块、所述第二供电模块分别对所述处理模块、所述输出模块进行供电，而所述第一供电模块的供电电压低于所述第二供电模块的供电电压。

具体的，所述处理模块为具有数据处理功能的单片机；一方面所述处理模块能够接收外部设备传来的数据指令，另一方面所述处理模块能够进行数据处理、数据分析，对四个所述控制模块发送指令。

具体的，所述输出子模块包括依次连接的场效应管驱动器、场效应管；

所述场效应管驱动器与所述十进制计数器连接，所述场效应管与所述升压变压器连接；

所述场效应管驱动器用于配合所述十进制计数器以及所述控制模块对所述场效应管的工作进行控制；

所述场效应管的作用较广泛，所述场效应管可应用于放大，由于所述场效应管的输入阻抗很高，因此耦合电容可以容量较小，不必使用电解电容器；所述场效应管具有很高的输入阻抗，非常适合作阻抗变换，常用于多级放大器的输入级作阻抗变换。所述场效应管可用作可变电阻。所述场效应管可用作恒流源；所述场效应管可用作电子开关；通过所述控制模块、所述十进制计数器以及所述场效应管驱动器能够控制四个所述输出子模块各自的所述场效应管产生不同时序的射频，从而所述升压变压器产生不同的输出结果。

进一步地，所述输出模块还包括电解电容，所述电解电容与所述输出模块的两个所述场效应管以及所述升压变压器连接；

所述电解电容具有单位体积电容量极大，能够起电源滤波、退耦、信号耦合及时间常数设定、隔直流等作用，能够较好的与所述场效应管、所述升压变压器相配合。

进一步地，所述输出模块还包括CBB电容，所述CBB电容与所述升压变压器连接；所述CBB电容具有可靠性好、耐温性强、体积小、容量大的特点。

与现有技术相比，本发明创造有益效果在于：

1、本发明创造结构简单，使用方便，利用四个所述输出模块各自一对所述输出子模块组成稳定的射频电源。

2、本发明创造的场效应管驱动器用于配合十进制计数器以及控制模块对场效应管的工作进行控制。

附图说明

图1为实施例1的射频电源的结构框图。

图2为实施例1的输出子模块的结构框图。

图3为实施例2的输出模块的结构框图。

图中：1、供电模块；101、供电接头；102、第一供电模块；103、第二供电模块；2、处理模块；3、输出模块；301、控制模块；302、十进制计数器；303、升压变压器；304、输出子模块；3041、场效应管驱动器；3042、场效应管；305、电解电容；306、CBB电容。

具体实施方式

以下将结合附图对本发明创造各实施例的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明创造的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明创造的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施例，都属于本发明创造所保护的范围。

在本发明创造的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明创造的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明创造的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明创造中的具体含义。

下面通过具体的实施例子并结合附图对本发明创造做进一步的详细描述。

实施例1

如图1、2所示，一种射频电源，包括：供电模块1、处理模块2以及四个输出模块3；供电模块1包括：供电接头101、第一供电模块102以及第二供电模块103；输出模块3包括：控制模块301、十进制计数器302、升压变压器303以及一对输出子模块304，控制模块301、十进制计数器302依次连接，十进制计数器302分别与一对输出子模块304的一端连接，升压变压器303分别与一对输出子模块304的另一端连接；供电接头101分别与第一供电模块102、第二供电模块103连接，第一供电模块102与处理模块2连接，第二供电模块103分别与四个控制模块301连接；处理模块2分别与四个控制模块301连接；

本发明创造的供电接头101用于与外部设备进行连接，对本发明创造进行供电，第一供电模块102、第二供电模块103分别对处理模块2、输出模块3进行供电；处理模块2用于控制本发明创造的工作，具体是通过控制控制模块301从而控制输出模块3，进而通过四个输出模块3产生时序不同的射频，并选择合适数量的射频进行叠加，最终进行输出；控制模块301、十进制计数器302作为内部的控制单元，升压变压器303用于将最终形成的射频进行升压，以便后期操作，而输出模块3的一对输出子模块304则为产生射频的核心部件；本发明创造结构简单，使用方便，利用四个输出模块3各自一对输出子模块304组成稳定的射频电源。

本实施例中，第一供电模块102的供电电压低于第二供电模块103的供电电压；

由于处理模块2的工作电压低于输出模块3的工作电压，因此供电接头101与外部供电设备连接后，需通过第一供电模块102、第二供电模块103分别对处理模块2、输出模块3进行供电，而第一供电模块102的供电电压低于第二供电模块103的供电电压。

本实施例中，处理模块2为具有数据处理功能的单片机。一方面处理模块2能够接收外部设备传来的数据指令，另一方面处理模块2能够进行数据处理、数据分析，对四个控制模块301发送指令。

本实施例中，输出子模块304包括依次连接的场效应管驱动器3041、场效应管3042；场效应管驱动器3041与十进制计数器302连接，场效应管3042与升压变压器303连接；

场效应管驱动器3041用于配合十进制计数器302以及控制模块301对场效应管3042的工作进行控制；

场效应管3042的作用较广泛，场效应管3042可应用于放大，由于场效应管3042的输入阻抗很高，因此耦合电容可以容量较小，不必使用电解电容器；场效应管3042具有很高的输入阻抗，非常适合作阻抗变换，常用于多级放大器的输入级作阻抗变换。场效应管3042可用作可变电阻。场效应管3042可用作恒流源；场效应管3042可用作电子开关；通过控制模块301、十进制计数器302以及场效应管驱动器3041能够控制四个输出子模块304各自的场效应管3042产生不同时序的射频，从而升压变压器303产生不同的输出结果。

实施例2

如图3所示，本实施例提供一种射频电源，与实施例1的区别在于，输出模块3还包括电解电容305，电解电容305与输出模块3的两个场效应管3042以及升压变压器303连接；

电解电容305具体单位体积电容量极大，能够起电源滤波、退耦、信号耦合及时间常数设定、隔直流等作用，能够较好的与场效应管3042、升压变压器303相配合。

本实施例中，输出模块3还包括CBB电容306，CBB电容306与升压变压器303连接；CBB电容306具有可靠性好、耐温性强、体积小、容量大的特点。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明创造的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明创造进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明创造实施例技术方案。

Claims (6)

1.一种射频电源，其特征在于，包括：供电模块、处理模块以及四个输出模块；

所述供电模块包括：供电接头、第一供电模块以及第二供电模块；

所述输出模块包括：控制模块、十进制计数器、升压变压器以及一对输出子模块，所述控制模块、所述十进制计数器依次连接，所述十进制计数器分别与一对所述输出子模块的一端连接，所述升压变压器分别与一对所述输出子模块的另一端连接；

所述供电接头分别与所述第一供电模块、所述第二供电模块连接，所述第一供电模块与所述处理模块连接，所述第二供电模块分别与四个所述控制模块连接；

所述处理模块分别与四个所述控制模块连接。

2.根据权利要求1所述的射频电源，其特征在于，所述第一供电模块的供电电压低于所述第二供电模块的供电电压。

3.根据权利要求1所述的射频电源，其特征在于，所述处理模块为具有数据处理功能的单片机。

4.根据权利要求1所述的射频电源，其特征在于，所述输出子模块包括依次连接的场效应管驱动器、场效应管；

所述场效应管驱动器与所述十进制计数器连接，所述场效应管与所述升压变压器连接。

5.根据权利要求4所述的射频电源，其特征在于，所述输出模块还包括电解电容，所述电解电容与所述输出模块的两个所述场效应管以及所述升压变压器连接。

6.根据权利要求1所述的射频电源，其特征在于，所述输出模块还包括CBB电容，所述CBB电容与所述升压变压器连接。