CN107425749A - 一种纳米马达及其制备方法 - Google Patents
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- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 123
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 91
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 91
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract description 22
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 22
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 29
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 29
- 229910020630 Co Ni Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 229910002440 Co–Ni Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 229910017061 Fe Co Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 claims description 6
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 claims description 3
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 claims description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 3
- CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N octamethyltrisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000004987 plasma desorption mass spectroscopy Methods 0.000 claims description 3
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 11
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000011160 research Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012377 drug delivery Methods 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000002045 lasting effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B5/00—Devices comprising elements which are movable in relation to each other, e.g. comprising slidable or rotatable elements
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
- B81C1/00023—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems without movable or flexible elements
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00349—Creating layers of material on a substrate
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K1/00—Details of the magnetic circuit
- H02K1/02—Details of the magnetic circuit characterised by the magnetic material
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K15/00—Methods or apparatus specially adapted for manufacturing, assembling, maintaining or repairing of dynamo-electric machines
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
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Abstract
本发明一种纳米马达及其制备方法，简化了制备工艺，可通过磁场进行驱动。纳米马达为两个粘结在一起的球体，球体的半个球面上蒸镀有粘附层金属和磁性金属，粘附层金属位于球体和磁性金属之间，所述纳米马达的直径为500nm～40μm。制备方法包括：将球体铺展在洁净的玻璃板上，形成单层膜球体；在单层膜球体上蒸镀粘附层金属；在粘附层金属上继续蒸镀磁性金属；蒸镀完成后，将玻璃板置于含有去离子水的培养皿中，并移置超声波环境中超声数分钟，得到半包覆的磁性球体；用容器吸取含有半包覆的磁性球体的悬浮液，并向悬浮液施加振荡磁场，单个磁性球体在磁场作用下会组装成由两个单个磁性球体粘结在一起的纳米马达。
Description
技术领域
本发明属于纳米马达及其制备领域，更具体的说是一种纳米马达及其制备方法。
背景技术
2016年诺贝尔化学奖颁给了研究世界最小机器的分子机器，这为研究微纳米尺度的微小机器推向了高潮。微纳米马达是一种能够将其他形式的能量转化为动能产生自主运动的微纳米器件。由于这种独特的性质，因此在药物输送、生物传感、微修复等方面有着许多引人瞩目的应用前景。
自从2004年Paxton等人发现微纳米Au-Pt双金属棒以来，研究学者对于微纳米马达已经了解甚多。人们发现微纳米马达个体运动模式多达数十种，到目前为止，人们发现马达能量来源主要来源于两类：一类是以胶体颗粒表面粒子浓度梯度为代表的化学场，另一类是通过施加额外的超声场、热场、磁场等。化学驱动的微纳米马达一般具有比较快的速度，但是由于需要化学试剂和反应，这种微纳米马达在真正的生物医疗等领域面临巨大问题；外源驱动的微纳米马达以磁场驱动微纳米马达为代表，不仅不使用H2O2等化学试剂，同时还能够精确地控制马达的运动方向，所以目前微纳米马达较多通过外源磁场刺激马达，实现其自主运动。
磁控微纳米马达到目前为止，根据其运动机理磁控马达可以分为三类：螺旋摆动型、螺旋推进型以及表面作用驱动型。通过比较可以发现，磁控螺旋摆动型和螺旋推进型微纳米马达一般通过电沉积或者微纳米加工等工艺加工完成，但一般工艺比较复杂。为了简化加工复杂性，Tierno等人根据类似的旋转的运动的思想，首次制备出的表面作用驱动型马达，相比较而言马达的制备工艺稍微简化，但其运动速度过慢。
本专利提出了一种新型的纳米马达并且简化了纳米马达的制备工艺。
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供一种新型纳米马达及其制备方法，简化马达的制备工艺，可以通过磁场进行驱动。
为解决上述技术问题，本发明一种纳米马达为两个粘结在一起的球体，所述球体的半个球面上蒸镀有粘附层金属和磁性金属，所述粘附层金属位于球体和磁性金属之间，所述球体均是蒸镀有粘附层金属和磁性金属的一面粘结在一起，所述纳米马达的直径为500nm～40μm。
所述的粘附层金属10nm厚，所述的磁性金属为15nm厚。
所述的粘附层金属为金属Cr或金属Ti，所述的磁性金属为磁性Ni、磁性Fe、磁性Co、Fe-Co合金、Fe-Ni合金、Co-Ni合金或者Fe-Co-Ni合金中的一种。
所述的球体为PS球、SiO2球或PMMA球中的一种。
纳米马达的制备方法包括：
步骤1：将球体铺展在洁净的玻璃板上，形成单层膜球体；
步骤2：在单层膜球体上蒸镀粘附层金属；
步骤3：在粘附层金属上继续蒸镀磁性金属；
步骤4：蒸镀完成后，将玻璃板置于含有去离子水的培养皿中，并移置超声波环境中超声数分钟，得到半包覆的磁性球体；
步骤5：用容器吸取含有半包覆的磁性球体的悬浮液，并向悬浮液施加振荡磁场，单个磁性球体在磁场作用下会组装成由两个单个磁性球体粘结在一起的纳米马达，该纳米马达是蒸镀有粘附层和磁性层的一面粘结在一起。
所述的粘附层金属为10nm厚，所述的磁性金属为15nm厚。
所述的球体为PS球、SiO2球或PMMA球中的一种。
所述的容器为毛细管、硅基衬底上的空腔、玻璃衬底上空腔或PDMS衬底上空腔中的一种。
所述的振荡磁场的磁场强度为1～10mT
所述的粘附层金属为金属Cr或金属Ti，所述的磁性金属为磁性Ni、磁性Fe、磁性Co、Fe-Co合金、Fe-Ni合金、Co-Ni合金或者Fe-Co-Ni合金中的一种。
本发明一种新型纳米马达及其制备方法的有益效果为：
1.提出了一种新的纳米马达，简化了纳米马达的制备工艺，克服了目前制备纳米马达的复杂的工艺技术或者昂贵的设备要求；
2.可以通过振荡磁场驱动纳米马达产生运动，简化了磁场驱动纳米马达的驱动方式，采用单个电磁线圈便可控制纳米马达的运动。
附图说明
下面结合附图和具体实施方法对本发明做进一步详细的说明。
图1为纳米马达制备过程示意图。
图2为PS球蒸镀前的SEM图。
图3为PS球蒸镀后的SEM图。
图4为纳米马达驱动和控制装置的结构示意图。
图5为纳米马达驱动装置的结构示意图。
图6为纳米马达结构示意图。
图7为控制纳米马达书写“HIT”的轨迹路线图。
图中：容器1；电磁线圈2；功率放大器3；函数发生器4；四相自复位开关5。
具体实施方式
应理解，这些实施例是用于说明本发明而不限于限制本发明的范围。实施例中采用的实施条件可以根据具体厂家的条件做进一步调整，未注明的实施条件通常为常规实验中的条件。
具体实施方式一：
下面结合图1-7说明本实施方式，本实施方式所述的一种纳米马达为两个粘结在一起的球体，所述球体的半个球面上蒸镀有粘附层金属和磁性金属，所述粘附层金属位于球体和磁性金属之间，所述球体均是蒸镀有粘附层金属和磁性金属的一面粘结在一起，所述纳米马达的直径为500nm～40μm。
该纳米马达制备工艺较为简单，通过简单的装置可以实现对其精确的控制。所述的粘附层金属提高了磁性金属与球体的粘结性。所述的磁性金属起到了连接两个球体的作用。每个球体由于蒸镀磁性金属后受到地磁场磁化的作用形成单个磁铁，相互之间由于异性相吸而相互连接。纳米马达的直径的直径较小时，受到布朗运动影响较为严重；纳米马达的直径的直径较大，则重力较大，磁场无法驱动。经实验研究，纳米马达的直径为500nm～40μm时驱动和控制效果较好。
具体实施方式二：
下面结合图1-7说明本实施方式，本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述的粘附层金属为10nm厚，所述的磁性金属为15nm厚。研究表明，粘附层金属厚度过薄，粘附作用减小；粘附层金属厚度过厚，影响球体的重量，从而影响马达的运动；磁性金属厚度过薄，磁场无法驱动纳米马达的运动；磁性金属过厚，纳米马达受到磁场作用较强而被拖动。粘附层金属厚度为10nm时，既不影响纳米马达的运动状态，同时起到粘附作用；磁性金属厚度可以为10nm～90nm，其中15nm效果较好。
具体实施方式三：
下面结合图1-7说明本实施方式，本实施方式对实施方式一或二作进一步说明，所述的粘附层金属为金属Cr或金属Ti，所述的磁性金属为磁性Ni、磁性Fe、磁性Co、Fe-Co合金、Fe-Ni合金、Co-Ni合金或者Fe-Co-Ni合金中的一种。金属Cr或金属Ti作为粘附层，其粘附效果较好。磁性Ni、磁性Fe、磁性Co、Fe-Co合金、Fe-Ni合金、Co-Ni合金或者Fe-Co-Ni合金为铁磁性材料，磁化之后球体的磁性不会消退。
具体实施方式四：
下面结合图1-7说明本实施方式，本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述的球体为PS球、SiO2球或PMMA球中的一种。
具体实施方式五：
下面结合图1-7说明本实施方式，本实施方式所述纳米马达的制备方法包括：
步骤1：将球体铺展在洁净的玻璃板上，形成单层膜球体；
步骤2：在单层膜球体上蒸镀粘附层金属；
步骤3：在粘附层金属上继续蒸镀磁性金属；
步骤4：蒸镀完成后，将玻璃板置于含有去离子水的培养皿中，并移置超声波环境中超声数分钟，得到半包覆的磁性球体；
步骤5：用容器吸取含有半包覆的磁性球体的悬浮液，并向悬浮液施加振荡磁场，单个磁性球体在磁场作用下会组装成由两个单个磁性球体粘结在一起的纳米马达，该纳米马达是蒸镀有粘附层和磁性层的一面粘结在一起
具体实施方式六：
下面结合图1-7说明本实施方式，本实施方式对实施方式五作进一步说明，所述的粘附层金属为10nm厚，所述的磁性金属为15nm厚。研究表明，粘附层金属厚度过薄，粘附作用减小；粘附层金属厚度过厚，影响球体的重量，从而影响马达的运动；磁性金属厚度过薄，磁场无法驱动纳米马达的运动；磁性金属过厚，纳米马达受到磁场作用较强而被拖动。粘附层金属厚度为10nm时，既不影响纳米马达的运动状态，同时起到粘附作用；磁性金属厚度可以为10nm～90nm，其中15nm效果较好。
具体实施方式七：
下面结合图1-7说明本实施方式，本实施方式对实施方式五作进一步说明，所述的球体为PS球、SiO2球或PMMA球中的一种。
具体实施方式八：
下面结合图1-7说明本实施方式，本实施方式对实施方式五作进一步说明，所述的容器为毛细管、硅基衬底上的空腔、玻璃衬底上空腔或PDMS衬底上空腔中的一种。
具体实施方式九：
下面结合图1-7说明本实施方式，本实施方式对实施方式五作进一步说明，所述的振荡磁场的磁场强度为1～10mT。磁场强度过小，无法驱动纳米马达运动；磁场强度过大，纳米马达受到磁场作用较强而被拖动，因此磁场强度为1～10mT。
具体实施方式十：
下面结合图1-7说明本实施方式，本实施方式对实施方式五作进一步说明，所述的粘附层金属为金属Cr或金属Ti，所述的磁性金属为磁性Ni、磁性Fe、磁性Co、Fe-Co合金、Fe-Ni合金、Co-Ni合金或者Fe-Co-Ni合金中的一种。金属Cr或金属Ti作为粘附层，其粘附效果较好。磁性Ni、磁性Fe、磁性Co、Fe-Co合金、Fe-Ni合金、Co-Ni合金或者Fe-Co-Ni合金为铁磁性材料，磁化之后球体的磁性不会消退。
纳米马达的制备过程案例：
步骤1：将PS球铺展在洁净的玻璃板上，形成单层膜PS球；
步骤2：蒸镀厚度为10nm的金属Cr作为粘附层，所述的蒸镀工艺可以为电子束蒸镀、磁控溅射等物理气相沉积技术；
步骤3：继续蒸镀一层厚度为15nm的金属Ni作为磁性层，所述的蒸镀工艺可以为电子束蒸镀、磁控溅射等物理气相沉积技术；
步骤4：将蒸镀完成后的玻璃板置于含有去离子水的培养皿中，后移置超声波环境中超声数分钟，即可得到半包覆的磁性球体；
步骤5：用毛细管吸取少量半包覆的球体悬浮液，置于光学显微镜下的明场进行观察，并向毛细管施加振荡磁场，单个磁性球体在磁场作用下会组装成由两个单个磁性球体粘结在一起的纳米马达，该纳米马达是蒸镀有粘附层和磁性层的一面粘结在一起。
纳米马达驱动装置包括含有去离子水的容器1、电磁线圈2、功率放大器3和函数发生器4，所述函数发生器4的输出端连接着功率放大器3的输入端，所述功率放大器3的输出端连接着电磁线圈2的输入端，所述电磁线圈2的输出端产生振荡磁场并驱动容器1内的纳米马达。驱动原理：在每半个周期信号中,一个球体受到拉力，同时另外一个球体受到推力，在接下来半个周期中，两个球体受力方向相反。经过了这样的一个周期，纳米马达会产生远离电磁线圈2方向的净位移。最终在持续的磁场作用下，纳米马达产生远离电磁线圈2方向的运动。驱动过程：根据需求，函数发生器4输出不同频率和强度的正弦波信号，后经过功率放大器3将其能量扩大数倍传输给电磁线圈2，经电磁线圈2将放大后的正弦电信号转化为振荡磁场，纳米马达受到磁场作用后，将产生远离电磁线圈2的运动。
纳米马达控制装置包括含有去离子水的容器1、电磁线圈2、功率放大器3、函数发生器4和四相自复位开关5，所述函数发生器4的输出端连接着功率放大器3的输入端，所述功率放大器3的输出端连接着四相自复位开关5的输入端，所述四相自复位开关5的输出端连接着电磁线圈2的输入端，所述电磁线圈2有四个，所述的四个电磁线圈2均匀分布在容器1的上、下、左、右四端，所述电磁线圈2的输出端产生振荡磁场并驱动容器1内的纳米马达。控制原理和过程：通过四相自复位开关5控制位于容器1上、下、左、右四端的电磁线圈2，函数发生器4输出的方波信号或正弦波信号经过功率放大器3放大器后，传输给电磁线圈2，电磁线圈2产生振荡磁场，从而驱动马达运动。比如：容器1上方的电磁线圈2通过四相自复位开关5接通功率放大器3，电磁线圈2会输出振荡磁场使纳米马达向下运动，远离容器1上方的电磁线圈2。
当然，上述说明并非对本发明的限制，本发明也不仅限于上述举例，本技术领域的普通技术人员在本发明的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也属于本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种纳米马达，其特征在于：该纳米马达为两个粘结在一起的球体，所述球体的半个球面上蒸镀有粘附层金属和磁性金属，所述粘附层金属位于球体和磁性金属之间，所述球体均是蒸镀有粘附层金属和磁性金属的一面粘结在一起，所述纳米马达的直径为500nm～40μm。
2.根据权利要求1所述的纳米马达，其特征在于：所述的粘附层金属为10nm厚，所述的磁性金属为15nm厚。
3.根据权利要求1所述的纳米马达，其特征在于：所述的粘附层金属为金属Cr或金属Ti，所述的磁性金属为磁性Ni、磁性Fe、磁性Co、Fe-Co合金、Fe-Ni合金、Co-Ni合金或者Fe-Co-Ni合金中的一种。
4.根据权利要求3所述的纳米马达，其特征在于：所述的球体为PS球、SiO2球或PMMA球中的一种。
5.一种如权利要求1-4之一所述的纳米马达的制备方法，其特征在于：所述纳米马达的制备方法包括：
步骤1：将球体铺展在洁净的玻璃板上，形成单层膜球体；
步骤2：在单层膜球体上蒸镀粘附层金属；
步骤3：在粘附层金属上继续蒸镀磁性金属；
步骤4：蒸镀完成后，将玻璃板置于含有去离子水的培养皿中，并移置超声波环境中超声数分钟，得到半包覆的磁性球体；
步骤5：用容器吸取含有半包覆的磁性球体的悬浮液，并向悬浮液施加振荡磁场，单个磁性球体在磁场作用下会组装成由两个单个磁性球体粘结在一起的纳米马达，该纳米马达是蒸镀有粘附层和磁性层的一面粘结在一起。
6.根据权利要求5所述的纳米马达的制备方法，其特征在于：所述的粘附层金属为10nm厚，所述的磁性金属为15nm厚。
7.根据权利要求5所述的纳米马达的制备方法，其特征在于：所述的球体为PS球、SiO2球或PMMA球中的一种。
8.根据权利要求5所述的纳米马达的制备方法，其特征在于：所述的容器为毛细管、硅基衬底上的空腔、玻璃衬底上空腔或PDMS衬底上空腔中的一种。
9.根据权利要求5所述的纳米马达的制备方法，其特征在于：所述的振荡磁场的磁场强度为1～10mT。
10.根据权利要求5所述的纳米马达的制备方法，其特征在于：所述的粘附层金属为金属Cr或金属Ti，所述的磁性金属为磁性Ni、磁性Fe、磁性Co、Fe-Co合金、Fe-Ni合金、Co-Ni合金或者Fe-Co-Ni合金中的一种。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710670631.8A CN107425749B (zh) | 2017-08-08 | 2017-08-08 | 一种纳米马达及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| CN201710670631.8A CN107425749B (zh) | 2017-08-08 | 2017-08-08 | 一种纳米马达及其制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107425749A true CN107425749A (zh) | 2017-12-01 |
| CN107425749B CN107425749B (zh) | 2019-03-12 |
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Family Applications (1)
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| CN201710670631.8A Expired - Fee Related CN107425749B (zh) | 2017-08-08 | 2017-08-08 | 一种纳米马达及其制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN107425749B (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2017
- 2017-08-08 CN CN201710670631.8A patent/CN107425749B/zh not_active Expired - Fee Related
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| CN110182756A (zh) * | 2019-06-04 | 2019-08-30 | 百色学院 | 一种多环节可见光的光驱微纳马达的制备方法 |
| CN110182756B (zh) * | 2019-06-04 | 2023-02-21 | 百色学院 | 一种多环节可见光的光驱微纳马达的制备方法 |
| CN112421988A (zh) * | 2020-11-12 | 2021-02-26 | 福州大学 | 一种螺旋形磁性微米马达及其制备方法 |
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|---|---|
| CN107425749B (zh) | 2019-03-12 |
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