CN107389587A - 能够降低检测下限的非色散红外气体传感器及其检测方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种能够降低检测下限的非色散红外气体传感器，包括红外发射器、第一透射窗、气室、第二透射窗、红外探测器及控制模块。所述第一透射窗及第二透射窗设置为相同或相异的平面透镜、凸透镜、凹透镜或菲涅尔透镜；所述红外探测器包括至少一条参比通道及至少一组测量通道，任一组所述测量通道包括至少两条用以检测同一种既定气体的测量通道；所述参比通道、测量通道与所述第二透射窗之间设有若干滤光片，且同一组所述测量通道中的各测量通道所采用的所述滤光片规格一致。采用本发明非色散红外气体传感器及检测方法，有效提高单位时间内的电流信号或电压信号的采集数量，降低气体浓度检测下限，提高分辨率。

Description

能够降低检测下限的非色散红外气体传感器及其检测方法
技术领域
本发明涉及红外气体传感器技术领域，尤其涉及一种能够降低检测下限的非色散红外气体传感器及其检测方法。
背景技术
非色散红外气体传感(NDIR，Non-Dispersive Infrared)技术是一种精度高、稳定性好、寿命长的气体传感技术，一般地，上述非色散红外气体传感器包括红外发射器、气室、滤光片、红外探测器及控制模块。实际检测过程中，利用待测气体对某波段红外光的吸收特性，选择特定波段红外光通过待测气体，不同波段红外光的衰减量与待测气体中相应组分的浓度之间的关系近似符合比尔-朗伯定律：I＝I0·exp(-μCL)，由此即可检测得到待测气体的成份。其中，I0为没有气体吸收时的红外光强，I为气室充入待测气体时红外探测器检测得到的红外光强，C为待测气体浓度，L为气室长度或红外光的光程，μ为气体的吸收系数。
现阶段，上述红外探测器无论采用的是热敏电阻、热释电或热电堆技术，都是利用红外光被吸收后转化为热能，进而改变相应探测元件的阻值以实现红外光的检测。因而，所述红外探测器的探测输出信号很容易受到环境温度及自身热噪的影响，即温漂。针对上述问题，现有技术改善测量精度的方法主要选择低噪声的红外探测器，提高红外发射器输出的稳定性；业内亦公开有红外探测器同时设置有测量通道及参比通道，相应采集测量通道信号SIG和参比通道信号REF，继而通过相应的程式运算，可降低温度的影响。
对于NDIR气体传感领域，某一气体的检测下限满足下列公式：
U2为测量通道的吸收系数，C2为待检测气体的浓度；U1为参比通道的吸收系数，C1为吸收峰为参比波长的气体浓度，一般U1C1的乘积可忽略。那么：
B＝exp(-Lu2C2)
ΔB＝B0-Bend；
其中，stdev为标准偏差；ΔB可视为定值。
为了获得比较好的检测分辨率，一般可通过增加光路的长度L，但是增加光路的长度不但会增加成本也会限制产品的应用场合，而且光路的长度也不能无限增大；另一种方法就是提高单通道的采样速率即增大n，但是会导致噪声很大，导致检测精度不高，当单通道采用较低的采样速率时，可以提高检测精度，但是分辨率很低。
鉴于此，有必要提供一种新的能够降低检测下限的非色散红外气体传感器及其检测方法。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能够降低检测下限的非色散红外气体传感器及其检测方法，降低气体浓度检测下限，提高分辨率，且易于实现。
为实现上述发明目的，本发明提供了一种能够降低检测下限的非色散红外气体传感器，包括红外发射器、气室、红外探测器及控制模块。所述红外发射器与红外探测器分别位于所述气室的两端，且所述红外发射器与红外探测器均与控制模块相连通；所述气室开设有进气口与出气口；所述红外探测器包括至少一条参比通道及至少一组测量通道，任一组所述测量通道包括至少两条用以检测同一种既定气体的测量通道；所述非色散红外气体传感器还包括设置于所述红外发射器与气室之间的第一透射窗、设置于所述红外探测器与气室之间的第二透射窗以及设置于所述参比通道、测量通道与所述第二透射窗之间的若干滤光片；所述第一透射窗及第二透射窗设置为相同或相异的平面透镜、凸透镜、凹透镜或菲涅尔透镜；同一组所述测量通道中的各测量通道所采用的所述滤光片规格一致。
作为本发明的进一步改进，所述红外发射器背离所述第一透射窗的一侧设有对接端子；所述控制模块连接至所述对接端子并用以控制所述红外发射器的点灯频率。
作为本发明的进一步改进，所述红外发射器包括MEMS光源，所述MEMS光源可发射1～16μm波长范围的红外光线。
作为本发明的进一步改进，所述气室设置为金属构件且其内部具有镀金层。
作为本发明的进一步改进，所述红外探测器背离所述第二透射窗的一侧还设有若干分别对应于所述参比通道及测量通道的输出端子，若干所述输出端子连接至控制模块并将其所对应的参比通道、测量通道的采样数据传输至所述控制模块。
作为本发明的进一步改进，所述参比通道与测量通道的整体数目设置为四条或六条。
本发明还提供一种所述非色散红外气体传感器的检测方法，包括：
将待测气体充入气室后，关闭所述进气口与出气口；
开启红外发射器并控制所述红外发射器按既定点灯频率工作；
对所述参比通道及测量通道的电流信号或电压信号进行采样，所述参比通道与测量通道的采样周期相一致；
将采集得到的电流信号或电压信号向外传输、抑或者将所述电流信号或电压信号直接储存于所述控制模块。
作为本发明的进一步改进，对所述参比通道及测量通道的电流信号或电压信号进行采样的步骤可同时或非同时进行，并且当对所述参比通道与测量通道进行非同时采样时，任一所述参比通道与任一所述测量通道的采样时间间隔小于采样周期。
本发明的有益效果是：本发明非色散红外气体传感器及其检测方法，通过设置至少两条用以检测同一种既定气体的测量通道及相应设置的滤光片，有效提高单位时间内的电流信号或电压信号的采集数量，减小分析过程中的标准偏差stdev，进而降低气体浓度检测下限，提高分辨率。除此，还通过固定设置于红外发射器与气室、气室与红外探测器之间的第一透射窗及第二透射窗将气室更好地进行封闭，且能对红外发射器发出的红外光线的传播路径及光斑位置与形状进行调节。
附图说明
图1是本发明非色散红外气体传感器的结构示意图；
图2是本发明非色散红外气体传感器的红外探测器的结构示意图；
图3是本发明非色散红外气体传感器的红外探测器中某一通道的采样示意图。
具体实施方式
以下将结合附图所示的实施方式对本发明进行详细描述。但该实施方式并不限制本发明，本领域的普通技术人员根据该实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本发明的保护范围内。
参看图1与图2所示为本发明非色散红外气体传感器100一较佳实施方式，所述非色散红外气体传感器100包括红外发射器1、气室2、红外探测器3及控制模块4。所述红外发射器1、气室2、红外探测器3沿第一方向线性排布，且所述红外发射器1与红外探测器3分别位于所述气室2的两端；所述气室2开设有进气口21与出气口22；所述红外探测器3具有至少三条相互独立的通道31，所述通道31包括至少一条参比通道及至少一组测量通道，任一组所述测量通道包括至少两条用以检测同一种既定气体的测量通道；所述控制模块4与所述红外发射器1、红外探测器3相连接并用以控制所述红外发射器1及红外探测器3的工作。
所述红外发射器1包括MEMS光源，所述MEMS光源可发射的红外光线的波长范围为1～16μm，所述红外发射器1亦可采用其它可发射相应波长红外光线的发光元件。所述气室2设置为筒状的金属构件且其内部具有镀金层，以提高气室内部的表面反射率，且能防氧化和防污染；所述进气口21与出气口22分别邻近所述红外发射器1及红外探测器3设置。
所述非色散红外气体传感器100还包括设置于所述红外发射器1与气室2之间的第一透射窗5、设置于所述红外探测器3与气室2之间的第二透射窗6以及分别对应于每一参比通道与测量通道设置的若干滤光片(未图示)。
其中，所述第一透射窗5及第二透射窗6设置为相同或相异的平面透镜、凸透镜、凹透镜或菲涅尔透镜，并通过卡扣、胶结或者机械紧固件将第一透射窗5及第二透射窗6分别固定于所述气室2的两端。藉此，所述第一透射窗5及第二透射窗6有助于更好地实现气室2与红外发射器1、红外探测器3的隔绝，避免待测气体中某些组分对所述红外发射器1及红外探测器3造成侵蚀；并且，所述第一透射窗5及第二透射窗6能够实现光路调节，以使得所述红外发射器1发出的红外光线1沿第一方向传播，还能调整光斑的状态与位置以适应不同参比通道或测量通道的采用需求。此处，同一组所述测量通道中的各测量通道所采用的所述滤光片规格一致。优选地，所述参比通道与测量通道的整体数目设置为四条或六条。
所述红外发射器1背离所述第一透射窗5的一侧设有对接端子11；所述控制模块4连接至所述对接端子11以为所述红外发射器供电并控制所述红外发射器1的点灯频率。所述红外探测器3背离所述第二透射窗6的一侧还设有若干分别对应于各条所述通道31的输出端子32，若干所述输出端子32连接至控制模块4并将其所对应的参比通道、测量通道的采样数据传输至所述控制模块4。
本发明还提供一种所述非色散红外气体传感器100的检测方法，包括：
将待测气体充入气室2后，关闭所述进气口21与出气口22；
开启红外发射器1并控制所述红外发射器1按既定点灯频率工作；
对所述参比通道及测量通道的电流信号或电压信号进行采样，所述参比通道与测量通道的采样周期相一致；
将采集得到的电流信号或电压信号向外传输、抑或者将所述电流信号或电压信号直接储存于所述控制模块4。
其中，对所述参比通道及测量通道的电流信号或电压信号进行采样的步骤可同时或非同时进行，并且当对所述参比通道与测量通道进行非同时采样时，任一所述参比通道与任一所述测量通道的采样时间间隔小于采样周期。
实施例1：
所述红外探测器3的通道31数目设置为四条：一条参比通道，配置3.9μm滤波片；三条用以检测CO2气体的测量通道，配置4.26μm滤波片。每条通道31的采样周期(扫描速率)相一致，能够降低待测气体中CO2的检测下限。
实施例2：
所述红外探测器3的通道31数目设置为六条：一条参比通道，配置3.9μm滤波片；五条用以检测CO2气体的测量通道，配置4.26μm滤波片。每条通道31的采样周期(扫描速率)相一致，能够进一步有效降低待测气体中CO2的检测下限。
实施例3：
所述红外探测器3的通道31数目设置为六条：一条参比通道，配置3.9μm滤波片；三条用以检测CO2气体的测量通道，配置4.26μm滤波片；两条用以检测CH4气体的测量通道，配置3.3μm滤波片。每条通道31的采样周期(扫描速率)相一致，能够降低待测气体中CO2、CH4的检测下限。
实施例4：
所述红外探测器3的通道31数目设置为六条：两条参比通道，分别配置3.9μm、5μm滤波片；两条用以检测CO2气体的测量通道，配置4.26μm滤波片；两条用以检测SO2气体的测量通道，配置7.3μm滤波片。每条通道31的采样周期(扫描速率)相一致，能够降低待测气体中CO2、SO2的检测下限。
根据前述公式：
其中，stdev为标准偏差；ΔB视为定值。
实际应用中，所述参比通道及测量通道输出的电流信号或电压信号多为交变信号。参看图3，此处以正弦信号为例，所述采样周期设置为T/2，其中，T为正弦信号的相变周期，即每一相变周期T内所述控制模块4采集两个数据点A、B，Xi取值设定为4，此时，现有单条测量通道具有：
当采用两条测量通道对某一既定气体进行采样时，可以有效增加单位时间内的采样个数，以双通道为例，可以同时采集4个数据点，相应地：
当采用多条测量通道对某一既定气体进行采样时：
通过上面的计算可以看出来，n增加时，stdev(n)会变小，进而使得Resolution减小，分辨率提高，实现检测下限的降低。
综上所述，采用本发明非色散红外气体传感器100及其检测方法，通过设置参比通道、至少两条用以检测同一种既定气体的测量通道及相应设置的滤光片，有效提高单位时间内的电流信号或电压信号的采集数量，减小分析过程中的标准偏差stdev，进而降低气体浓度检测下限，提高分辨率。除此，还通过固定设置于红外发射器1与气室2、气室2与红外探测器3之间的第一透射窗及第二透射窗将气室2更好地进行封闭，且能对红外发射器1发出的红外光线的传播路径及光斑位置与形状进行调节。
应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本发明的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本发明的保护范围，凡未脱离本发明技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种能够降低检测下限的非色散红外气体传感器，包括红外发射器、气室、红外探测器及控制模块，所述红外发射器与红外探测器分别位于所述气室的两端，且所述红外发射器与红外探测器均与控制模块相连通，所述气室开设有进气口与出气口，其特征在于：所述红外探测器包括至少一条参比通道及至少一组测量通道，任一组所述测量通道包括至少两条用以检测同一种既定气体的测量通道；所述非色散红外气体传感器还包括设置于所述红外发射器与气室之间的第一透射窗、设置于所述红外探测器与气室之间的第二透射窗以及设置于所述参比通道、测量通道与所述第二透射窗之间的若干滤光片；所述第一透射窗及第二透射窗设置为相同或相异的平面透镜、凸透镜、凹透镜或菲涅尔透镜；同一组所述测量通道中的各测量通道所采用的所述滤光片规格一致。
2.根据权利要求1所述的非色散红外气体传感器，其特征在于：所述红外发射器背离所述第一透射窗的一侧设有对接端子；所述控制模块连接至所述对接端子并用以控制所述红外发射器的点灯频率。
3.根据权利要求2所述的非色散红外气体传感器，其特征在于：所述红外发射器包括MEMS光源，所述MEMS光源可发射1～16μm波长范围的红外光线。
4.根据权利要求1所述的非色散红外气体传感器，其特征在于：所述气室设置为金属构件且其内部具有镀金层。
5.根据权利要求1所述的非色散红外气体传感器，其特征在于：所述红外探测器背离所述第二透射窗的一侧还设有若干分别对应于所述参比通道及测量通道的输出端子，若干所述输出端子连接至控制模块并将其所对应的参比通道、测量通道的采样数据传输至所述控制模块。
6.根据权利要求1所述的非色散红外气体传感器，其特征在于：所述参比通道与测量通道的整体数目设置为四条或六条。
7.一种如权利要求1-6任一项所述的非色散红外气体传感器的检测方法，其特征在于，所述检测方法包括：
将待测气体充入气室后，关闭所述进气口与出气口；
开启红外发射器并控制所述红外发射器按既定点灯频率工作；
对所述参比通道及测量通道的电流信号或电压信号进行采样，所述参比通道与测量通道的采样周期相一致；
将采集得到的电流信号或电压信号向外传输、抑或者将所述电流信号或电压信号直接储存于所述控制模块。
8.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于：对所述参比通道及测量通道的电流信号或电压信号进行采样的步骤可同时或非同时进行，并且当对所述参比通道与测量通道进行非同时采样时，任一所述参比通道与任一所述测量通道的采样时间间隔小于采样周期。
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108709868A (zh) * 2018-08-17 2018-10-26 青岛海纳光电环保有限公司 一种红外气体传感器及红外气体检测装置
CN110057773A (zh) * 2019-05-05 2019-07-26 南京信息工程大学 一种红外气体传感器系统及基于AACA-Elman算法的温度补偿方法
CN110687066A (zh) * 2019-09-17 2020-01-14 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种红外气体传感器
CN110687065A (zh) * 2019-09-17 2020-01-14 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种红外光源的制备方法及一种红外气体传感器
CN110687064A (zh) * 2019-09-17 2020-01-14 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种红外探测器及红外气体传感器
CN110687068A (zh) * 2019-09-17 2020-01-14 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种红外探测器及红外气体传感器
CN111781303A (zh) * 2020-07-01 2020-10-16 深圳市步锐生物科技有限公司 一种手持式呼出气采集多参数分类采集机构
CN112540054A (zh) * 2020-11-26 2021-03-23 威海精讯畅通电子科技有限公司 一种基于ndir技术的检测装置
CN116818697A (zh) * 2023-05-16 2023-09-29 汉威科技集团股份有限公司 基于多次反射腔的超低检测限的红外气体传感器
CN117571647A (zh) * 2023-12-14 2024-02-20 深圳市诺安智能股份有限公司 一种基于波分复用的多通道气体传感器及气体检测方法

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6277081B1 (en) * 1999-05-18 2001-08-21 Invivo Research, Inc. Anesthetic gas detection apparatus
US20050173635A1 (en) * 2004-02-09 2005-08-11 Smith Patrick G. Gas detector
CN102980870A (zh) * 2012-12-10 2013-03-20 武汉四方光电科技有限公司 一种高精度微流红外气体传感器及其测量方法
CN103439289A (zh) * 2013-09-02 2013-12-11 刘永宁 一种基于二次谐波检测技术的多通道多点位气体检测系统
CN104122224A (zh) * 2014-08-13 2014-10-29 成都君凌科创科技有限公司 一种高精度非分散红外线气体传感器
CN204085701U (zh) * 2014-01-17 2015-01-07 中国科学院上海技术物理研究所 集成化的星载超长线列红外探测器前端信息获取电路
CN204984392U (zh) * 2015-05-22 2016-01-20 季文海 测量油气成分的随钻光谱仪装置
CN105628637A (zh) * 2015-12-29 2016-06-01 山东罗纳德分析仪器有限公司 一种三参考通道的红外气体分析方法与装置
CN205426782U (zh) * 2016-03-15 2016-08-03 苏州诺联芯电子科技有限公司 红外气体传感器
CN105973831A (zh) * 2016-06-30 2016-09-28 电子科技大学 一种四通道测量气体成分的热释电红外探测器
CN205786308U (zh) * 2016-01-29 2016-12-07 深圳市赛宝伦科技有限公司 一种扩充式多组分多通道测量的激光分析仪
CN106248584A (zh) * 2016-06-29 2016-12-21 深圳市怀睿科技有限公司 一种提高气体浓度检测精度的方法和系统
CN106482581A (zh) * 2015-08-26 2017-03-08 上海机电工程研究所 一种紧缩场毫米波/红外复合目标装置

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6277081B1 (en) * 1999-05-18 2001-08-21 Invivo Research, Inc. Anesthetic gas detection apparatus
US20050173635A1 (en) * 2004-02-09 2005-08-11 Smith Patrick G. Gas detector
CN102980870A (zh) * 2012-12-10 2013-03-20 武汉四方光电科技有限公司 一种高精度微流红外气体传感器及其测量方法
CN103439289A (zh) * 2013-09-02 2013-12-11 刘永宁 一种基于二次谐波检测技术的多通道多点位气体检测系统
CN204085701U (zh) * 2014-01-17 2015-01-07 中国科学院上海技术物理研究所 集成化的星载超长线列红外探测器前端信息获取电路
CN104122224A (zh) * 2014-08-13 2014-10-29 成都君凌科创科技有限公司 一种高精度非分散红外线气体传感器
CN204984392U (zh) * 2015-05-22 2016-01-20 季文海 测量油气成分的随钻光谱仪装置
CN106482581A (zh) * 2015-08-26 2017-03-08 上海机电工程研究所 一种紧缩场毫米波/红外复合目标装置
CN105628637A (zh) * 2015-12-29 2016-06-01 山东罗纳德分析仪器有限公司 一种三参考通道的红外气体分析方法与装置
CN205786308U (zh) * 2016-01-29 2016-12-07 深圳市赛宝伦科技有限公司 一种扩充式多组分多通道测量的激光分析仪
CN205426782U (zh) * 2016-03-15 2016-08-03 苏州诺联芯电子科技有限公司 红外气体传感器
CN106248584A (zh) * 2016-06-29 2016-12-21 深圳市怀睿科技有限公司 一种提高气体浓度检测精度的方法和系统
CN105973831A (zh) * 2016-06-30 2016-09-28 电子科技大学 一种四通道测量气体成分的热释电红外探测器

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108709868A (zh) * 2018-08-17 2018-10-26 青岛海纳光电环保有限公司 一种红外气体传感器及红外气体检测装置
CN110057773A (zh) * 2019-05-05 2019-07-26 南京信息工程大学 一种红外气体传感器系统及基于AACA-Elman算法的温度补偿方法
CN110687066B (zh) * 2019-09-17 2021-12-28 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种红外气体传感器
CN110687065A (zh) * 2019-09-17 2020-01-14 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种红外光源的制备方法及一种红外气体传感器
CN110687064A (zh) * 2019-09-17 2020-01-14 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种红外探测器及红外气体传感器
CN110687068A (zh) * 2019-09-17 2020-01-14 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种红外探测器及红外气体传感器
CN110687065B (zh) * 2019-09-17 2021-08-27 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种红外光源的制备方法及一种红外气体传感器
CN110687066A (zh) * 2019-09-17 2020-01-14 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种红外气体传感器
CN110687068B (zh) * 2019-09-17 2022-03-22 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种红外探测器及红外气体传感器
CN111781303A (zh) * 2020-07-01 2020-10-16 深圳市步锐生物科技有限公司 一种手持式呼出气采集多参数分类采集机构
CN111781303B (zh) * 2020-07-01 2023-02-10 深圳市步锐生物科技有限公司 一种手持式呼出气采集多参数分类采集机构
CN112540054A (zh) * 2020-11-26 2021-03-23 威海精讯畅通电子科技有限公司 一种基于ndir技术的检测装置
CN116818697A (zh) * 2023-05-16 2023-09-29 汉威科技集团股份有限公司 基于多次反射腔的超低检测限的红外气体传感器
CN117571647A (zh) * 2023-12-14 2024-02-20 深圳市诺安智能股份有限公司 一种基于波分复用的多通道气体传感器及气体检测方法

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