CN107389152B - 监控按雷达原理工作料位测量设备的方法和料位测量设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于监控根据雷达原理工作的料位测量设备的方法，其中料位测量设备具有：固持壳体，其具有布置在工艺侧的泄漏腔；信号导体，用于传导发送和/或接收信号；发送和接收单元，用于发送和接收发送或接收信号；和控制和分析单元，用于控制发送和接收单元和分析接收信号，其中信号导体从泄漏腔的内部空间通过第一开口引导到固持壳体的外部空间中，其中所述第一开口和第二开口分别由第一密封件或第二密封件密封，该方法包括下述方法步骤：沿着信号导体发出脉冲式的发送信号；接收反射的接收信号；将接收信号转发给控制和分析单元；确定接收信号的频谱，并且对料位测量设备的监控在频域中进行。此外，本发明涉及一种料位测量设备。

Description

监控按雷达原理工作料位测量设备的方法和料位测量设备

技术领域

本发明涉及一种用于监控根据雷达原理工作的料位测量设备的方法，其中料位测量设备具有：固持壳体，所述固持壳体具有布置在工艺侧的泄露腔；信号导体，用于传导发送和/或接收信号；发送和接收单元，被设计用于发送和接收发送或接收信号；和控制和分析单元，被设计用于控制发送和接收单元并且用于分析接收信号；其中信号导体从固持壳体的泄露腔的内部空间通过泄露腔的和/或固持壳体的工艺侧的第一开口引导到固持壳体的工艺侧的外部空间中，其中泄露腔的和/或固持壳体的工艺侧的第一开口和泄露腔的和/或固持壳体的朝向发送和接收单元的第二开口分别借助第一密封件或第二密封件密封，所述方法包括下述方法步骤：沿着信号导体发出脉冲式的发送信号；接收反射的接收信号并且将接收信号转发给控制和分析单元。

此外，本发明涉及一种根据雷达原理工作的料位测量设备，所述料位测量设备具有：固持壳体，所述固持壳体具有在工艺侧布置的泄露腔；信号导体，用于传导发送和/或接收信号；发送和接收单元，被设计用于发送和接收发送或接收信号；和控制和分析单元，被设计用于控制发送和接收单元并且用于分析接收信号；其中信号导体从固持壳体的泄露腔的内部空间通过泄露腔的和/或固持壳体的工艺侧的第一开口引导到固持壳体的工艺侧的外部空间中，其中泄露腔的和/或固持壳体的工艺侧的第一开口和泄露腔的和/或固持壳体的朝向发送和接收单元的第二开口分别借助第一密封件或第二密封件密封。

背景技术

在工业测量技术中，通常使用雷达料位测量设备，以便确定介质、诸如液体、散装货物或泥浆在容器、如箱或料仓之内的料位。通过测量设备实现的物理原理是渡越时间法。具体地，沿着信号导体发出脉冲式的电磁信号，所述电磁信号在填料表面上反射并且随后由接收单元记录。根据反射的接收信号的渡越时间，能够确定距填料表面的距离，并且在距容器的底部的距离已知的情况下确定容器的料位。发送和接收的信号大多为微波辐射。

通常，将介电谐振器用作为信号导体。所述介电谐振器具有与波导管相似的谐振特性，但是因为其不具有金属壁部而能够放射电磁能量并且因此用作为天线。

测量设备通常相对于要确定其料位的填料是密封的。附加地，能够设有泄露腔，所述泄露腔不仅在工艺侧、而且在背离填料的一侧上是密封的。尤其在腐蚀性的、环境有害的或有爆炸危险的填料的情况下，或在工艺中存在高的压力和温度时，这种泄露腔是有利的，以便监控工艺侧的密封的状态。

本发明尤其涉及一种用于监控在容器和固持壳体和/或泄露腔之间布置的密封件的密封性的方法。

出版物US 2014/0103950 A1公开一种用于监控根据雷达原理工作的料位测量设备的方法，其中料位测量设备具有固持壳体，所述固持壳体具有布置在工艺侧的泄露腔，并且其中泄露腔不仅在工艺侧、而且在与填料相对置的一侧上具有密封件。对在工艺侧布置的密封件的监控通过测量经由信号导体引导的回声信号来进行。如果密封件不正常，那么包含在容器中的介质能够进入到泄露腔中。由于由此得到的在泄露腔之内的阻抗变化，发送信号在进入到泄露腔中时已经反射。就此而言，对容器的密封中的泄露能够通过下述方式证实：接收信号具有附加的脉冲式的反射信号，所述反射信号基于其渡越时间局部与泄露腔相关联。

从出版物DE 10 2012 014 267 A1中已知一种用于对根据雷达原理工作的料位测量设备进行状态监控的方法，其中确定天线的传输特性，并且将分析的结果与比较值进行比较。在此，在测量设备和容器之间的密封的泄露通过天线的传输特性的变化来记录。

同样从DE 10 2006 019 191 A1已知一种用于基于时域反射仪来探测在测量设备和包含介质的容器之间的密封中的泄露的方法。

根据陈述的现有技术，泄露的证实仅在时域中进行。然而，不进行可能给出关于进入的介质的其他启示的其他分析，尤其对接收信号中的变化的量化。

发明内容

从所述现有技术出发，本发明的任务是，说明一种用于监控根据雷达原理工作的料位测量设备的方法以及一种相应的料位测量设备，借助所述方法以及所述物料测量设备，除了简单地证实存在泄露之外，同样能够量化接收信号中的变化。

在下面的实施方案中，为了阐述根据本发明的方法，参考料位测量设备的两个不同状态。在此，用“无故障的”表示下述状态，在所述状态中，在容器和固持壳体或泄露腔之间的过渡区域中的全部密封件是正常工作的并且没有介质能够从容器进入到泄露腔中。与此不同地，状态“有故障的”是泄露的情况。借此，表示下述状态，在所述状态中，容器和固持壳体或泄露腔之间的密封件是有故障的，使得介质的至少一部分能够从容器进入到泄露腔中。

在上文中提到的任务根据本发明的第一教导在开始陈述的方法中通过下述方式来解决：确定接收信号的频谱，并且监控在频域中进行。

根据本发明认识到，介质进入到泄露腔中不仅引起接收信号中的附加的反射，而且同样作用于包含在接收信号中的频谱。具体地，在无故障的状态中包含在接收信号中的频率的频移至少部分地发生。此外，在存在泄露的情况下、即在状态“有故障”下，接收信号包含其他频率并且由此同样不同于在无故障的状态中的谱。在此，通过接收信号的频谱中的变化来证实泄露具有下述优点：能够根据具体的参数、诸如信号的幅度和/或频率的大小在频域中描述接收信号中的变化，使得接收信号的变化不仅尤其简单地确定，而且同样也能够简单地量化。

在此，进入到泄露腔中的具有不同电容率的介质由于其不同强地衰减发送或接收信号能够根据信号的幅度在频谱中彼此不同。就此而言，通过根据本发明的方法，不仅仅单纯证实泄露，更确切地说，也能够得出关于进入的介质的特性和/或类型的结论。

根据第一有利的设计方案，确定接收信号的以下区域的频谱，所述区域由于其渡越时间与泄露腔相关联。根据所述设计方案，确切地分析接收信号的下述区域，在所述区域中，预期由于泄露所致的变化。一方面，由此能够推断出，所观察的频谱中的变化基于容器中的料位的变化。另一方面，频谱中的变化可尤其清楚和简单地证实，因为接收信号的要研究的区域不包含基于对本方法不重要的反射的频率分量。因此，背景信号能减小到最小值。对根据本发明的方法不重要的反射例如是发送信号在填料表面上的反射或在容器的底部上的反射。

根据另一个优选的设计方案，从接收信号的频谱中，提取用于监控料位测量设备的至少一个监控参数。尤其有利的是，尤其在测量进行期间，泄露的证实能够通过监控参数的变化来实现。根据该设计方案，泄露的证实能够尤其快速且可靠地进行。

监控参数优选是各个频率的数值和/或频域中的信号的幅度和/或其他参数，所述其他参数间接地从频谱中导出并且在介质进入到泄露腔中时改变。

这种参数例如是通过泄露腔形成的谐振器的谐振频率。如果不同于空气的介质进入到例如由干燥空气填充的泄露腔中，那么发送信号的传播速度改变，所述发送信号沿着信号导体前进。因此，通过泄露腔形成的谐振器的谐振频率变化。所述谐振频率能够在了解谐振器长度的情况下从所测量的频谱中确定。就此而言，谐振频率的变化是用于感兴趣的密封件的泄露的指示。

替代地或附加地，监控参数能够通过下述方式确定：综合多个测量值，所述测量值的大小与泄露腔中的介质相关，并且确定至少一个参数，所述参数根据所述测量值中的一个或多个而变化。

尤其优选地，将频域中信号的幅度和/或所测量的频率综合成一个矩阵，并且确定参数，所述参数与矩阵的各项相关地变化。所述设计方案具有下述优点，能够同时监控多个单独的频率和/或幅度，其中各个频率和/或幅度的变化记录成泄露的证实。

例如在正方形矩阵的情况下，这种参数能够是矩阵的行列式。所述行列式仅仅与矩阵的各个元素相关并且在下述情况下变化：矩阵的项变化。替代地或附加地，对于矩阵的任意维数，用于监控料位测量设备的状态的参数可以是矩阵的一个或多个奇异值。所述奇异值同样通过矩阵的项明确地确定。各个项的变化造成奇异值的至少部分的变化，使得所述参数同样适合于作为用于料位测量设备的状态的监控参数。通过根据本发明的方法的所述设计方案，尤其进入到泄露腔中的介质也可以以轻微不同的电容率区分。就此而言，所述方法是高度灵敏的并且因此尤其适合于证实泄露。

为了将计算耗费保持得低，调整由测量值形成的矩阵的大小或维数，使得能够确保合适的分辨率。

为了从矩阵中提取监控参数，例如能够应用矩阵束算法。

根据另一个有利的设计方案，频谱的确定通过接收信号的傅里叶变换实现。借助傅里叶变换，时间连续的、非周期性的信号在频域中可以通过分解成各个频率分量来示出。就此而言可能的是，反射的接收信号与频域中信号的明确数量的频率和/或幅度相关联。以所述方式，尤其简单地证实和量化接收信号的变化。

同样特别优选的是，分析单元具有多个为具有不同的电容率的不同介质保存的矩阵，并且将从测量的频率和/或幅度中产生的矩阵与保存的矩阵进行比较。这具有下述优点：从测量的接收信号中，能够推断出泄露腔中的介质的类型和/或特性。

在此，尤其有利的是，在确定或记录比较矩阵时和/或在测量进行时，改变发送信号的脉冲长度，使得能够调整相应矩阵的配位度。

为了使计算耗费最小化，优选地仅在泄露的情况下将用于确定进入到泄露腔中的介质的矩阵与保存在分析单元中的比较矩阵进行比较。

根据本发明的第二教导，在开始陈述的任务通过开始提到的根据雷达原理工作的料位测量设备通过下述方式来解决：所述料位测量设备具有分析单元，所述分析单元被设计成，确定接收信号的频谱，并且对料位测量设备的监控在频域中进行。

优选地，分析单元被设计用于执行在上文中描述的方法之一。

附图说明

具体地，现在存在多种可能性来设计根据本发明的用于监控根据雷达原理工作的料位测量设备的方法和根据本发明的料位测量设备。对此，参照在独立权利要求之后的从属权利要求和以下结合附图对优选实施例的描述。在附图中：

图1示出根据本发明的设备的第一实施例，

图2示出根据本发明的方法的第一实施例，

图3示出根据本发明的设备和根据本发明的方法的第二实施例，

图4示出不仅针对无故障的状态、而且针对泄露的状态的接收信号的第一测量，其中两种不同的介质进入到泄露腔中，

图5示出与第一介质的进入相比的在频域中的无故障的状态的视图，

图6示出与第二介质的进入相比的在频域中的无故障的状态的视图，以及

图7示出由测量的频率构成的矩阵的奇异值的第二测量。

具体实施方式

在图1中示出根据本发明的料位测量设备2的第一实施例，所述料位测量设备适合于执行根据本发明的方法1。料位测量设备2根据雷达原理工作。所述料位测量设备包括：固持壳体3，所述固持壳体具有布置在工艺侧的泄露腔4；信号导体5，用于传导发送和/或接收信号；发送和接收单元6a，被设计用于发送和接收发送或接收信号；和控制和分析单元6b，被设计用于控制发送和接收单元6a和用于分析接收信号。信号导体5在示出的料位测量设备2中从固持壳体3的泄露腔4的内部空间通过泄露腔4的和固持壳体3的工艺侧的第一开口7引导到固持壳体3的工艺侧的外部空间中。此外，泄露腔4的和固持壳体3的工艺侧的第一开口7和泄露腔4的朝向发送和接收单元6a的第二开口8分别借助第一密封件9或第二密封件10密封。由此防止，包含在没有示出的容器中的介质能够到达环境中。这尤其在下述情况下是重要的：包含在容器中的介质是环境有害的或在容器中存在高压。

通过存在泄露腔4，能够通过根据本发明的方法1检查工艺侧的第一密封件9的密封性。对此，在示出的实施例中，控制和分析单元6b被设计成，使得所述控制和分析单元适合于执行根据本发明的用于监控料位测量设备2的方法1。在示出的实施例中，泄露腔4以干燥空气填充。如果工艺侧的第一密封件9是不密封的，那么介质从未示出的容器进入到泄露腔4中。所述状态能够通过根据本发明的方法1快速地且可靠地证实。

在图2中示出根据本发明的用于监控料位测量设备2的方法1的第一实施例，其中料位测量设备2根据在图1中示出的实施例来设计。在第一步骤11中，将脉冲式的电磁信号、当前为雷达信号沿着信号导体5朝向要测量的介质的方向发出。所述脉冲式的信号在阻抗突变处、如在到工艺侧的、在图1中没有示出的容器中的过渡部处或在要测量的介质的表面处反射。在第二步骤12中，反射的接收信号由发送和接收单元6a接收并且为了进一步的分析转发13给控制和分析单元6b。在控制和分析单元6b中借助于傅里叶变换确定14接收信号的频谱。

所述与接收信号相关联的频谱是用于监控料位测量设备2、尤其用于证实工艺侧的第一密封件9的密封性的基础。在此，泄露的存在通过测量的频谱中的变化来探测。通过根据本发明的方法1，因此能够以有利的方式不仅快速地且可靠地探测泄露。此外，也可以的是，基于频谱中的变化的证实，所述变化根据具体的参数来量化并且因此得出关于进入到泄露腔4中的介质的其他结论。

为了改进频谱中的变化的探测，在根据本发明的方法1的示出的实施例中确定接收信号的下述区域的频谱，所述区域由于其渡越时间与泄露腔相关联。就此而言，不关注对证实泄露的分析不重要的变化，诸如容器的料位中的变化。

为了提供对泄露的尤其简单且快速的探测，在下个步骤15中，基于频谱确定监控参数，所述监控参数的变化与泄露相关联。

当前，对此在矩阵中综合频域中的信号的幅度和测量的频率，使得绘制接收信号。从所述矩阵中，借助于奇异值分解16，确定矩阵的能够与矩阵明确关联的奇异值。所述奇异值与矩阵的各个项相关地、并且就此而言与频谱的变化相关地变化。通过对测量的频谱的一个或多个奇异值的连续的确定，可以连续地监控工艺侧的第一密封件9的密封性。

此外，在示出的方法中，控制和分析单元6b具有基于频谱的比较矩阵，所述比较矩阵借助不同的介质记录或仿真。通过在步骤15中建立的矩阵与比较矩阵的比较，可以在单纯证实泄露之外，还确定进入到泄露腔4中的介质。

就此而言，根据本发明的方法一方面确保快速地且可靠地证实在待监控的密封件中的泄露，另一方面此外能够通过与已经保存的矩阵的比较来确定进入到泄露腔中的介质。

图3示出根据本发明的料位测量设备2和根据本发明的用于监控料位测量设备2的方法1的第二实施例。根据本发明的料位测量设备2的在图3中示出的实施例具有：固持壳体3，所述固持壳体具有布置在工艺侧的泄露腔4；信号导体5，用于传导发送和/或接收信号；发送和接收单元6a，被设计用于发送和接收发送或接收信号；和控制和分析单元6b，被设计用于控制发送和接收单元6a和用于分析接收信号。信号导体5在示出的料位测量设备2中从固持壳体3的泄露腔4的内部空间通过泄露腔4的和固持壳体3的工艺侧的第一开口7引导到固持壳体3的工艺侧的外部空间中。此外，泄露腔的和固持壳体3的工艺侧的第一开口7和泄露腔的朝向发送和接收单元6a的第二开口8分别借助第一密封件9或第二密封件10密封。

在示出的实施例中，泄露腔4的内部空间的、密封件9和10的和信号导体5的阻抗是同样大的。

控制和分析单元6b被设计成，使得所述控制和分析单元适合于执行根据本发明的方法1。

在料位测量设备2下方所示的图形示出根据本发明的方法1的第二实施例。在（A）中示出无故障的状态的实施例。上面的图形示出脉冲式的信号的发出11以及所述信号在工艺侧的第一密封件9之后的阻抗过渡部处的反射17。下面的图形示出从所述反射中确定的离散的频谱，所述频谱由频率f1、f2和f3构成。

在（B）中，与（A）相比地示出第一密封件9的泄露的情形。由于进入到泄露腔4中的介质，由于在第二密封件10之后的阻抗过渡部，已经发生发出的脉冲式的信号的反射18。此外，进行第二反射17，所述第二反射在第一密封件9之后的阻抗过渡部处由于发送信号在介质中的较低的传播速度而时间延迟地发生，所述介质进入到泄露腔4中。下部的图形示出可与接收信号相关联的频谱。与无故障的状态的在（A）中示出的频谱相比，发生频率f1至f3的频移，其中在频域中在频率的幅度中同样存在不同。此外，（B）中的频谱具有附加的频率f4和f5。

图4示出不仅针对无故障的状态和而且针对在容器与固持壳体或泄露腔之间的密封具有泄露的状态的接收信号的第一测量。在此，刚好绘制接收信号的下述区域，所述区域与泄露腔相关联。测量一方面示出无故障的状态的第一接收信号19。由于信号在进入泄露腔和离开泄露腔时的反射，所述第一接收信号19具有两个脉冲。与所述状态相比，示出以下状态的第二接收信号20，在该状态中具有为2.3的电容率的第一油部分地进入到泄露腔中。除了基于进入泄露腔和离开泄露腔的脉冲之外，第二接收信号20的曲线具有另一脉冲，所述另一脉冲基于发送信号在与第一油的过渡部处的反射。除此之外示出第三接收信号21，所述第三接收信号基于下述状态，即第一油几乎完全进入到泄露腔中。因此，附加的反射与第二接收信号20相比在时间上更早地进行。最后，第四接收信号22示出下述状态：具有为5.7的电容率的第二油部分地进入到泄露腔中。所述接收信号22的曲线除了在进入泄露腔和离开泄露腔时的反射之外还具有其他脉冲，所述其他脉冲基于发送信号在第二油处的反射。另外的第五接收信号23示出下述状态：第二油几乎完全进入到泄露腔中。与第四接收信号22的曲线相比，就此而言附加的脉冲在时间上更早地进行。

所示的测量示出，如也从现有技术中已知的那样，介质进入到泄露腔中可以通过接收信号的曲线来证实。

图5和6示出在图4中示出的接收信号的信号分解。具体地，图5示出基于无故障的状态中的第一接收信号19的第一频谱24。除此之外，图5示出第二频谱25，所述第二频谱基于以下接收信号，在该接收信号的情况下第一油部分地进入到泄露腔中，并且图5示出以下接收信号的第三频谱26，在该接收信号的情况下第一油几乎完全地进入到泄露腔中。比较示出：频谱的区别在于各个频率的位置以及其幅度。

图6示出基于无故障的状态中的第一接收信号19的第一频谱24。除此之外，图6示出第二频谱27，所述第二频谱基于以下接收信号，在该接收信号的情况下第二油部分地进入到泄露腔中，并且图6示出以下接收信号的第三频谱28，在该接收信号的情况下第二油几乎完全地进入到泄露腔中。比较同样示出，频谱的区别在于各个频率的位置以及其幅度。

图7示出由测量值构成的矩阵的奇异值用于证实泄露的能力。示出的测量首先示出用于无故障的状态的各个奇异值29至33的曲线。从为100的测量值开始，测量示出下述状态，在所述状态中，泄露腔以第二油填充。这在示出的示例中导致每个单独的奇异值的变化。就此而言，测量示出矩阵的奇异值作为监控参数并且尤其用于证实泄露的基本能力。

附图标记列表：

1. 用于监控根据雷达原理工作的料位测量设备的方法

2. 料位测量设备

3. 固持壳体

4. 泄漏腔

5. 信号导体

6a. 发送和接收单元

6b. 控制和分析单元

7. 第一开口

8. 第二开口

9. 第一密封件

10. 第二密封件

11. 发出脉冲式的发送信号

12. 接收反射的接收信号

13. 将接收信号转发给控制和分析单元

14. 确定接收信号的频谱

15. 确定监控参数

16. 奇异值分解

17. 反射

18. 反射

19. 无故障状态的接收信号

20. 当泄漏腔部分地以第一油填充时的接收信号

21. 当泄漏腔几乎完全以第一油填充时的接收信号

22. 当泄漏腔部分地以第二油填充时的接收信号

23. 当泄漏腔几乎完全以第二油填充时的接收信号

24. 无故障状态的频谱

25. 接收信号21的频谱

26. 接收信号22的频谱

27. 接收信号23的频谱

28. 接收信号24的频谱

29. 奇异值

30. 奇异值

31. 奇异值

32. 奇异值

33. 奇异值

Claims (11)

1.用于监控根据雷达原理工作的料位测量设备（2）的方法（1），其中所述料位测量设备（2）具有：固持壳体（3），所述固持壳体具有布置在工艺侧的泄漏腔（4）；信号导体（5），用于传导发送信号和/或接收信号；发送和接收单元（6a），被设计用于发送和接收发送信号或接收信号；和控制和分析单元（6b），被设计用于控制所述发送和接收单元和用于分析所述接收信号，其中所述信号导体（5）从所述固持壳体（3）的泄漏腔（4）的内部空间通过所述泄漏腔（4）的和/或所述固持壳体（3）的工艺侧的第一开口（7）引导到所述固持壳体（3）的工艺侧的外部空间中，其中所述泄漏腔（4）的和/或所述固持壳体（3）的工艺侧的第一开口（7）和所述泄漏腔（4）的和/或所述固持壳体（3）的朝向所述发送和接收单元（6a）的第二开口（8）分别由第一密封件（9）或第二密封件（10）密封，所述方法包括下述方法步骤：

- 沿着所述信号导体（5）发出（11）脉冲式的发送信号；

- 接收（12）反射的接收信号；

- 将所述接收信号转发（13）给所述控制和分析单元（6b），

其特征在于，

确定所述接收信号的频谱，并且对所述料位测量设备（2）的监控在频域中进行，其中从所述接收信号的频谱中提取（15）至少一个用于监控所述料位测量设备（2）的监控参数，并且其中将泄漏作为所述监控参数的变化来探测。

2.根据权利要求1所述的方法（1），

其特征在于，

确定所述接收信号的以下区域的频谱，所述区域由于其渡越时间与所述泄漏腔（4）相关联。

3.根据权利要求1所述的方法（1），

其特征在于，

所述监控参数是各个频率的数值和/或频域中的信号的幅度和/或其他间接地从所述频谱中导出的参数。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法（1），

其特征在于，

替代地或附加地，监控参数是所述信号导体（5）的谐振频率。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的方法（1），

其特征在于，

替代地或附加地，所述监控参数通过下述方式确定：综合频谱的各个频率和/或幅度，和确定至少一个参数，所述参数与所述频率和/或幅度中的一个或多个的变化相关地变化。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的方法（1），

其特征在于，

将频域中信号的幅度和/或所测量的频率综合成一个矩阵，并且监控参数是矩阵的一个或多个奇异值。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的方法（1），

其特征在于，

通过所述接收信号的傅里叶变换确定所述频谱。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的方法（1），

其特征在于，

所述控制和分析单元（6b）具有针对不同介质的多个保存的、测量的和/或模拟的比较矩阵，并且将从测量的频率和/或幅度产生的矩阵与保存的矩阵进行比较。

9.根据权利要求8所述的方法，

其特征在于，

仅在泄漏的情况下，为了确定进入到所述泄漏腔（4）中的介质，将所述矩阵与保存在所述分析单元（6b）中的比较矩阵进行比较。

10.一种根据雷达原理工作的料位测量设备（2），

所述料位测量设备（2）具有：固持壳体（3），所述固持壳体具有布置在工艺侧的泄漏腔（4）；信号导体（5），用于传导发送和/或接收信号；发送和接收单元（6a），被设计用于发送和接收发送或接收信号；和控制和分析单元（6b），被设计用于控制所述发送和接收单元和用于分析所述接收信号，其中所述信号导体（5）从所述固持壳体（3）的泄漏腔（4）的内部空间通过所述泄漏腔（4）的和/或所述固持壳体（3）的工艺侧的第一开口（7）引导到所述固持壳体（3）的工艺侧的外部空间中，其中所述泄漏腔（4）的和/或所述固 持壳体（3）的工艺侧的第一开口（7）和所述泄漏腔（4）的和/或所述固持壳体（3）的朝向所述发送和接收单元（6a）的第二开口（8）分别由第一密封件（9）或第二密封件（10）密封，

其特征在于，

所述分析单元（6b）被设计成，使得确定所述接收信号的频谱，并且对所述料位测量设备（2）的监控在频域中进行，其中从所述接收信号的频谱中提取至少一个用于监控所述料位测量设备（2）的监控参数，并且其中将泄漏作为所述监控参数的变化来探测。

11.根据权利要求10所述的料位测量设备（2），

其特征在于，

所述分析单元（6b）被构造用于执行根据权利要求1至9中任一项所述的方法。

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