CN107290814A - 一种可见光、激光与中红外波段全介质薄膜分色元件及设计方法 - Google Patents
一种可见光、激光与中红外波段全介质薄膜分色元件及设计方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107290814A CN107290814A CN201710694595.9A CN201710694595A CN107290814A CN 107290814 A CN107290814 A CN 107290814A CN 201710694595 A CN201710694595 A CN 201710694595A CN 107290814 A CN107290814 A CN 107290814A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sub
- air
- design method
- laser
- dichroic elements
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000006798 recombination Effects 0.000 title claims abstract description 26
- 238000005215 recombination Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 58
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 24
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 12
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 30
- 238000005457 optimization Methods 0.000 claims description 11
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 claims description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 3
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 4
- 239000012788 optical film Substances 0.000 abstract description 2
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 abstract description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 5
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 5
- 241000931526 Acer campestre Species 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- PFNQVRZLDWYSCW-UHFFFAOYSA-N (fluoren-9-ylideneamino) n-naphthalen-1-ylcarbamate Chemical compound C12=CC=CC=C2C2=CC=CC=C2C1=NOC(=O)NC1=CC=CC2=CC=CC=C12 PFNQVRZLDWYSCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003331 infrared imaging Methods 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 241000906946 Sphingomonas carri Species 0.000 description 1
- 229910004366 ThF4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910009520 YbF3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000009738 saturating Methods 0.000 description 1
- SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N selenium;zinc Chemical compound [Se]=[Zn] SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000008685 targeting Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/201—Filters in the form of arrays
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
- G02B1/113—Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0012—Optical design, e.g. procedures, algorithms, optimisation routines
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/207—Filters comprising semiconducting materials
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/208—Filters for use with infrared or ultraviolet radiation, e.g. for separating visible light from infrared and/or ultraviolet radiation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
本发明属于光学薄膜技术领域,具体涉及一种可见光波段(0.6~0.9μm)和激光波段(1.06μm)反射、中红外波段(3.0~5.0μm)透射的全介质薄膜分色元件及设计方法。本发明提出的分色元件及设计方法,按照可见光与激光反射、红外透射的方法进行分光,与传统的介质‑金属‑介质膜系结构不同,在硅材料基底上采用全介质薄膜材料设计,可见光波段与激光的平均分光效率达到98%以上,中红外波段的平均分光效率达到97%以上。
Description
技术领域
本发明属于光学薄膜技术领域,特别是对三个波段的分光技术,具体涉及一种可见光波段(0.6~0.9μm)和激光波段(1.06μm)反射、中红外波段(3.0~5.0μm)透射的全介质薄膜分色元件及设计方法。
背景技术
现代光电跟踪瞄准吊舱具有捕获、跟踪、瞄准一体化的功能,是现代空军的关键大型光电设备之一,一般采取红外成像、电视跟踪及激光测距/指示等方法,是空中作战飞机的重要系统组成部分。集红外成像、电视跟踪及激光测距功能于一体的光学吊舱,其光学系统基本采用共口径合光和分光系统。目前,国外先进吊舱均采用可见光、激光和红外等“三光”共用前端光学系统的方案,然后分别对每个光路进行信息处理。因此,对上述三个波段的分光元件是光电吊舱光学系统中的核心元件之一。
自20世纪70年代以来,美国等发达国家开展重视机载光电瞄准系统的研究,典型的“三光”系统的工作波段基本上是可见光波段0.6~0.9μm、激光波长1.06μm(或1.57μm)和中红外波段3.0~5.0μm。因此需要对三个波段进行分光是光电吊舱光学系统的关键技术。目前,国内外对可见光与红外分光的方法主要是采用金属诱导透射的方法来实现,使用介质~金属~介质的多层膜进行优化设计,实现可见光波段透射和红外波段反射。基于介质~金属~介质膜系结构的分色滤光片,膜层结构简单易于制备,但是极薄的金属层对光谱性较为敏感,在实际制备条件下,需要解决银膜光学常数的测定、膜系优化设计和工艺一体化问题是分光膜成功的关键。但是,由于金属诱导透射的带宽有限,因此透射带无法覆盖较宽的波段。
除了上述典型的分光膜,采用全介质薄膜也是另一种方案。2009年,美国RugateTechnologies公司的Thomas Rahmolow等人设计并制备了用于多波段反射红外热像仪的滤光片,其中涉及超宽波段分色滤光片的设计和制备,使用了两种薄膜材料进行设计。2010年,浙江大学章岳光等人在硒化锌基底上设计了反射可见光和1540nm激光,透射长波红外的分色片。以硒化锌为基板,采用Ge、ZnSe和YbF3作为薄膜材料进行了优化设计,采用电子束蒸发技术制备了分色膜,其反射率和透过率都达到了93%以上。Ronald A等人研制了可见光反射长波红外透射的元件,使用ZnS、ThF4和MgF2薄膜材料进行多层膜设计和制备,实现了0.6~0.9μm波段范围的反射率达到80%以上,8~12μm波段范围的透过率达到90%。综上所述,分光薄膜的重点是在保证分光特性的基础上,力争减小薄膜的总厚度和降低薄膜的制备难度,同时降低应力带来的面形变化。
基于上述的研究基础,本发明提出了可见光波段、激光波段和中红外波段的一种分色元件及设计方法,分光方式与传统的介质~金属~介质分光膜不同,避免了极薄金属薄膜制备工艺差等问题,并且膜层厚度适于制备。分色元件可实现可见光和激光反射率达到98.5%以上,中波红外的透过率达到97%以上。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明提出一种可见光、激光与中红外波段全介质薄膜分色元件及设计方法,以解决如何在可见光、激光和中红外共光路传输的情况下,将可见光波段(0.6~0.9μm)、激光波段(1.06μm)与中红外波段(3.0~5.0μm)分光,并且尽可能提高每个谱段的分光效率。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题,本发明提出一种可见光、激光与中红外波段全介质薄膜分色元件的设计方法,该设计方法包括如下步骤:
分色元件包括相互平行的第一表面和第二表面;第一表面具有可见光和激光波长反射、中红外波长透射的光学多层膜,第二表面具有中红外波长透射的减反射薄膜;
选定参考波长λ0为0.9μm,单位光学厚度为λ0/4;选择基底Sub材料为Si;选择第一表面的高折射率材料H为Si,低折射率材料L为SiO2;选择第二表面的高折射率材料H’为Ge,低折射率材料L’为YF3,中折射率材料M为ZnS;
将第一表面的初始膜系结构设计为如下结构:
Sub|0.6(0.5H 1L 0.5H)^4 0.8(0.5H 1L 0.5H)^4(0.5H 1L 0.5H)^4|Air
设定第一表面的初始膜系结构在波长范围λ0±0.3μm波段的反射率为最大值,3.0~5.0μm波段的透过率为最大值;对第一表面的初始膜系结构进行优化,膜系结构优化后为如下结构:
Sub|x1H x2L x3H x4L……x23H x24L x25H|Air
其中,x1~x25分别为每层薄膜的光学厚度系数,其中0<xi<6;
将第二表面的初始膜系结构设计为如下结构:
Sub|8.0H’0.3L’2.2H’1.8L’1.6M|Air
设定第二表面的初始膜系结构在波长范围3.0~5.0μm波段的透过率为最大值,对第二表面的初始膜系结构进行优化,膜系结构优化后为如下结构:
Sub|y1H’y2L’y3H’y4L’y5M|Air
其中,y1~y5为每层薄膜的光学厚度系数,其中0<yi<8;
分色元件的最终结构为:
Air|x25H x24L x23H……x4L x3H x2L x1H|Sub|y1H’y2L’y3H’y4L’y5M|Air
分色元件的工作角度为45°。
进一步地,第一表面的初始膜系结构优化后为如下结构:
Sub|2.0658H 0.1335L 4.9438H 0.2804L 1.9670H 0.4191L 1.7501H0.6748L1.4928H 1.4128L 1.4595H 0.5955L 1.1344H 1.1176L 1.3968H0.5952L 1.0274H0.5330L 0.9159H 0.9536L 0.5335H 1.4038L 0.1548H1.4737L 0.3959H|Air。
进一步地,第二表面的初始膜系结构优化后为如下结构:
Sub|7.7189H’0.2885L’2.2440H’1.7503L’1.6387M|Air。
此外,本发明还提出一种采用上述设计方法得到的可见光、激光与中红外波段全介质薄膜分色元件。
(三)有益效果
本发明提出的可见光、激光与中红外波段全介质薄膜分色元件及设计方法,按照可见光与激光反射、红外透射的方法进行分光,与传统的介质-金属-介质膜系结构不同,在硅材料基底上采用全介质薄膜材料设计,可见光波段(0.6~0.9μm)与激光(1.06μm)的平均分光效率达到98%以上,中红外波段(3.0~5.0μm)的平均分光效率达到97%以上。
附图说明
图1为本发明实施例分色元件结构示意图;
图2为本发明实施例Si基底的光学常数;
图3为本发明实施例Si薄膜的光学常数;
图4为本发明实施例SiO2薄膜的光学常数;
图5为本发明实施例第一表面的光谱反射率率曲线;
图6为本发明实施例Ge薄膜的光学常数;
图7为本发明实施例ZnS薄膜的光学常数;
图8为本发明实施例YF3薄膜的光学常数;
图9为本发明实施例第二表面的光谱透过率曲线;
图10为本发明实施例分色元件的可见光波段分光效率曲线;
图11为本发明实施例分色元件的中红外波段分光效率曲线。
具体实施方式
为使本发明的目的、内容和优点更加清楚,下面结合附图和实施例,对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。
本实施例提出一种可见光、激光与中红外波段全介质薄膜分色元件及设计方法。该设计方法包括如下步骤:
(1)分色元件包括相互平行的第一表面A和第二表面B,结构如图1所示。第一表面A具有可见光和激光波长反射、中红外波长透射的光学多层膜,第二表面B具有中红外波长透射的减反射薄膜。
(2)选定参考波长λ0为0.9μm,单位光学厚度为λ0/4;选择基底Sub材料为Si,其光学常数如图2所示;选择第一表面A的高折射率材料H为Si,其光学常数如图3所示;低折射率材料L为SiO2,其光学常数如图4所示。
(3)将第一表面A的初始膜系结构设计为如下结构:
Sub|0.6(0.5H 1L 0.5H)^4 0.8(0.5H 1L 0.5H)^4(0.5H 1L 0.5H)^4|Air
(4)设定第一表面A的初始膜系结构在波长范围0.6~1.1μm波段的反射率为最大值,3.0~5.0μm波段的透过率为最大值;对第一表面A的初始膜系结构进行优化,膜系结构优化后为如下结构:
Sub|2.0658H 0.1335L 4.9438H 0.2804L 1.9670H 0.4191L 1.7501H 0.6748L1.4928H 1.4128L 1.4595H 0.5955L 1.1344H 1.1176L 1.3968H 0.5952L 1.0274H0.5330L 0.9159H 0.9536L 0.5335H 1.4038L 0.1548H 1.4737L 0.3959H|Air。
第一表面A的薄膜物理厚度为2.64μm,其表面光谱反射率如图5所示。
(5)选择第二表面B的高折射率材料H’为Ge,其光学常数如图6所示;低折射率材料L’为YF3,其光学常数如图7所示;中折射率材料M为ZnS,其光学常数如图8所示。
(6)将第二表面B的初始膜系结构设计为如下结构:
Sub|8.0H’0.3L’2.2H’1.8L’1.6M|Air
(7)设定第二表面B的初始膜系结构在波长范围3.0~5.0μm波段的透过率为最大值,对第二表面B的初始膜系结构进行优化,膜系结构优化后为如下结构:
Sub|7.7189H’0.2885L’2.2440H’1.7503L’1.6387M|Air。
第二表面B的薄膜物理厚度为0.978μm,其表面光谱透过率如图9所示。
(8)分色元件的工作角度为45°。该分色元件对于可见光波段(0.6~0.9μm)和激光波段(1.06μm)以反射方式分离,分光效率如图10所示,平均分光效率为98%以上;对于中红外波段(3.0-5.0μm)以透射方式分离,分光效率如图11所示,平均分光效率为96%以上。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变形,这些改进和变形也应视为本发明的保护范围。
Claims (4)
1.一种可见光、激光与中红外波段全介质薄膜分色元件的设计方法,其特征在于,所述设计方法包括如下步骤:
所述分色元件包括相互平行的第一表面和第二表面;所述第一表面具有可见光和激光波长反射、中红外波长透射的光学多层膜,所述第二表面具有中红外波长透射的减反射薄膜;
选定参考波长λ0为0.9μm,单位光学厚度为λ0/4;选择基底Sub材料为Si;选择所述第一表面的高折射率材料H为Si,低折射率材料L为SiO2;选择所述第二表面的高折射率材料H’为Ge,低折射率材料L’为YF3,中折射率材料M为ZnS;
将所述第一表面的初始膜系结构设计为如下结构:
Sub|0.6(0.5H 1L 0.5H)^4 0.8(0.5H 1L 0.5H)^4(0.5H 1L 0.5H)^4|Air
设定所述第一表面的初始膜系结构在波长范围λ0±0.3μm波段的反射率为最大值,3.0~5.0μm波段的透过率为最大值;对所述第一表面的初始膜系结构进行优化,膜系结构优化后为如下结构:
Sub|x1H x2L x3H x4L……x23H x24L x25H|Air
其中,x1~x25分别为每层薄膜的光学厚度系数,其中0<xi<6;
将所述第二表面的初始膜系结构设计为如下结构:
Sub|8.0H’0.3L’2.2H’1.8L’1.6M|Air
设定所述第二表面的初始膜系结构在波长范围3.0~5.0μm波段的透过率为最大值,对所述第二表面的初始膜系结构进行优化,膜系结构优化后为如下结构:
Sub|y1H’y2L’y3H’y4L’y5M|Air
其中,y1~y5为每层薄膜的光学厚度系数,其中0<yi<8;
所述分色元件的最终结构为:
Air|x25H x24L x23H……x4L x3H x2L x1H|Sub|y1H’y2L’y3H’y4L’y5M|Air
所述分色元件的工作角度为45°。
2.如权利要求1所述的设计方法,其特征在于,
所述第一表面的初始膜系结构优化后为如下结构:
Sub|2.0658H 0.1335L 4.9438H 0.2804L 1.9670H 0.4191L 1.7501H 0.6748L1.4928H 1.4128L 1.4595H 0.5955L 1.1344H 1.1176L 1.3968H 0.5952L 1.0274H0.5330L 0.9159H 0.9536L 0.5335H 1.4038L 0.1548H 1.4737L 0.3959H|Air。
3.如权利要求1所述的设计方法,其特征在于,
所述第二表面的初始膜系结构优化后为如下结构:
Sub|7.7189H’0.2885L’2.2440H’1.7503L’1.6387M|Air。
4.一种可见光、激光与中红外波段全介质薄膜分色元件,其特征在于,采用如权利要求1~3中任一项所述的设计方法得到。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710694595.9A CN107290814B (zh) | 2017-08-15 | 2017-08-15 | 一种可见光、激光与中红外波段全介质薄膜分色元件及设计方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710694595.9A CN107290814B (zh) | 2017-08-15 | 2017-08-15 | 一种可见光、激光与中红外波段全介质薄膜分色元件及设计方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN107290814A true CN107290814A (zh) | 2017-10-24 |
CN107290814B CN107290814B (zh) | 2019-08-16 |
Family
ID=60106962
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710694595.9A Active CN107290814B (zh) | 2017-08-15 | 2017-08-15 | 一种可见光、激光与中红外波段全介质薄膜分色元件及设计方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN107290814B (zh) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108227048A (zh) * | 2018-01-26 | 2018-06-29 | 河南师范大学 | 硅晶圆上的一种低发射率红外增透膜 |
CN108614313A (zh) * | 2018-05-09 | 2018-10-02 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 可调的降低光学表面反射率的方法 |
CN110824588A (zh) * | 2019-11-21 | 2020-02-21 | 天津津航技术物理研究所 | 一种中波红外硬质保护薄膜窗口的设计方法 |
CN110879435A (zh) * | 2019-11-18 | 2020-03-13 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种以硒化锌晶体为基底的中长波红外宽光谱分色片 |
CN112111720A (zh) * | 2020-09-22 | 2020-12-22 | 南京信息工程大学 | 一种激光、红外、微波兼容隐身材料及其制备方法与应用 |
CN112162340A (zh) * | 2020-09-15 | 2021-01-01 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种以锗为基底45度角倾斜使用的红外宽光谱分色片 |
CN114325911A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-04-12 | 苏州厚朴传感科技有限公司 | 一种中红外双色滤光片及制备方法 |
CN114460677A (zh) * | 2022-04-13 | 2022-05-10 | 翼捷安全设备(昆山)有限公司 | Mems黑体封装用的红外滤光片及其制备方法 |
CN114839708A (zh) * | 2022-03-24 | 2022-08-02 | 中国计量大学 | 一种抗激光损伤的蓝光反射镜及设计方法 |
CN115079314A (zh) * | 2022-07-25 | 2022-09-20 | 无锡泓瑞航天科技有限公司 | 一种适用于低温与高温环境下的中红外光谱段光学窗口 |
CN115494565A (zh) * | 2022-09-15 | 2022-12-20 | 安徽光智科技有限公司 | 一种防护激光的红外减反膜、制备方法和应用 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101893729A (zh) * | 2010-07-22 | 2010-11-24 | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 | 一种中红外带通滤光片及其制备方法 |
CN203217159U (zh) * | 2012-09-27 | 2013-09-25 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种可见光、中波红外和长波红外三波段光学成像系统 |
CN103592714A (zh) * | 2013-10-17 | 2014-02-19 | 同济大学 | 一种易于制备的反射式多通道滤光元件的设计方法 |
CN105842857A (zh) * | 2016-04-28 | 2016-08-10 | 西安应用光学研究所 | 一种ZnS基底反0.5~0.8μm可见光及1.064μm激光并透3.7~4.8μm中波红外分色膜的膜系结构 |
CN105911625A (zh) * | 2016-05-09 | 2016-08-31 | 浙江水晶光电科技股份有限公司 | 一种混合吸收型红外截止滤光片及其制备方法 |
CN106291793A (zh) * | 2016-11-04 | 2017-01-04 | 天津津航技术物理研究所 | 一种短波红外窄带滤光片及其制备方法 |
-
2017
- 2017-08-15 CN CN201710694595.9A patent/CN107290814B/zh active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101893729A (zh) * | 2010-07-22 | 2010-11-24 | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 | 一种中红外带通滤光片及其制备方法 |
CN203217159U (zh) * | 2012-09-27 | 2013-09-25 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种可见光、中波红外和长波红外三波段光学成像系统 |
CN103592714A (zh) * | 2013-10-17 | 2014-02-19 | 同济大学 | 一种易于制备的反射式多通道滤光元件的设计方法 |
CN105842857A (zh) * | 2016-04-28 | 2016-08-10 | 西安应用光学研究所 | 一种ZnS基底反0.5~0.8μm可见光及1.064μm激光并透3.7~4.8μm中波红外分色膜的膜系结构 |
CN105911625A (zh) * | 2016-05-09 | 2016-08-31 | 浙江水晶光电科技股份有限公司 | 一种混合吸收型红外截止滤光片及其制备方法 |
CN106291793A (zh) * | 2016-11-04 | 2017-01-04 | 天津津航技术物理研究所 | 一种短波红外窄带滤光片及其制备方法 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108227048A (zh) * | 2018-01-26 | 2018-06-29 | 河南师范大学 | 硅晶圆上的一种低发射率红外增透膜 |
CN108614313A (zh) * | 2018-05-09 | 2018-10-02 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 可调的降低光学表面反射率的方法 |
CN110879435A (zh) * | 2019-11-18 | 2020-03-13 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种以硒化锌晶体为基底的中长波红外宽光谱分色片 |
CN110824588A (zh) * | 2019-11-21 | 2020-02-21 | 天津津航技术物理研究所 | 一种中波红外硬质保护薄膜窗口的设计方法 |
CN112162340B (zh) * | 2020-09-15 | 2022-03-29 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种以锗为基底45度角倾斜使用的红外宽光谱分色片 |
CN112162340A (zh) * | 2020-09-15 | 2021-01-01 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种以锗为基底45度角倾斜使用的红外宽光谱分色片 |
CN112111720B (zh) * | 2020-09-22 | 2022-11-29 | 南京信息工程大学 | 一种激光、红外、微波兼容隐身材料及其制备方法与应用 |
CN112111720A (zh) * | 2020-09-22 | 2020-12-22 | 南京信息工程大学 | 一种激光、红外、微波兼容隐身材料及其制备方法与应用 |
CN114325911A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-04-12 | 苏州厚朴传感科技有限公司 | 一种中红外双色滤光片及制备方法 |
CN114325911B (zh) * | 2021-12-31 | 2024-01-30 | 苏州厚朴传感科技有限公司 | 一种中红外双色滤光片及制备方法 |
CN114839708A (zh) * | 2022-03-24 | 2022-08-02 | 中国计量大学 | 一种抗激光损伤的蓝光反射镜及设计方法 |
CN114460677A (zh) * | 2022-04-13 | 2022-05-10 | 翼捷安全设备(昆山)有限公司 | Mems黑体封装用的红外滤光片及其制备方法 |
CN114460677B (zh) * | 2022-04-13 | 2022-09-16 | 翼捷安全设备(昆山)有限公司 | Mems黑体封装用的红外滤光片及其制备方法 |
CN115079314A (zh) * | 2022-07-25 | 2022-09-20 | 无锡泓瑞航天科技有限公司 | 一种适用于低温与高温环境下的中红外光谱段光学窗口 |
CN115079314B (zh) * | 2022-07-25 | 2024-01-16 | 无锡泓瑞航天科技有限公司 | 一种适用于低温与高温环境下的中红外光谱段光学窗口 |
CN115494565A (zh) * | 2022-09-15 | 2022-12-20 | 安徽光智科技有限公司 | 一种防护激光的红外减反膜、制备方法和应用 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107290814B (zh) | 2019-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107290814B (zh) | 一种可见光、激光与中红外波段全介质薄膜分色元件及设计方法 | |
CN107479190B (zh) | 一种可见光与长波红外全介质薄膜分色元件及设计方法 | |
CN102495474B (zh) | 一种可见光/长波红外宽波段共调焦光学成像系统 | |
CN107300783B (zh) | 一种可见光、激光与中红外波段分色元件及设计方法 | |
Hobbs et al. | Design, fabrication, and measured performance of anti-reflecting surface textures in infrared transmitting materials | |
CN110879435B (zh) | 一种以硒化锌晶体为基底的中长波红外宽光谱分色片 | |
CN107515438B (zh) | 一种红外宽谱段截止窄带激光分光元件 | |
CN104793324A (zh) | 一种红外双波段共孔径折反射成像系统 | |
CN110031980A (zh) | 一种“四光合一”的光谱分光结构 | |
CN109298517A (zh) | 一种多光谱同轴折反式无焦光学系统 | |
CN110989142B (zh) | 一种傅里叶变换成像光谱仪前置共口径双波段消色差镜头 | |
CN107367776B (zh) | 一种热辐射可控的红外光学窗口薄膜设计方法 | |
Parker et al. | Technical aspects of the new AAO/UKST Hα interference filter | |
CN108089244A (zh) | 一种宽带大角度减反射红外光学多层膜 | |
CN113325578B (zh) | 一种光电吊舱的光学系统 | |
US9411137B2 (en) | Ultra compact inverse telephoto optical system for use in the IR spectrum | |
CN109765685B (zh) | 一种双视场透射式多传感器单孔径光学系统 | |
Yang et al. | Diffraction efficiency model for diffractive optical element with antireflection coatings at different incident angles | |
JP3399159B2 (ja) | 赤外域用光学膜および光学素子 | |
Lappschies et al. | Advanced dielectric coatings for the Euclid mission telescope manufactured by the PARMS process | |
Kim et al. | Design of a grating-based thin-film filter for broadband spectropolarimetry | |
Thompson | Common aperture multispectral optics for military applications | |
US10359544B2 (en) | Long-wave infrared anti-reflective laminate | |
US6567211B1 (en) | Dual-band millimeter-wave and infrared anti-reflecting coatings | |
Mahendra et al. | Dichroic beam splitter for visible, short-wave infrared, and mid-wave infrared |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |