CN107229136B - 光调制器 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够抑制在基板上产生电线的配线交叉的部位的光调制器。在本发明所涉及的光调制器中，接收在光波导中传播的光波的受光元件和向基板的外部输出受光元件的受光信号的输出端子配置于基板。并且，将受光元件与输出端子进行电连接的电线的至少一部分形成于基板。并且，具有多个光调制部，针对各光调制部至少设有受光元件、输出端子以及电线。并且，在针对各光调制部设置的受光元件中，将至少1个受光元件配置成光波行进方向上的位置与其他受光元件的光波行进方向上的位置不同。并且，将各输出端子配置成光波行进方向上的排列与各受光元件的光波行进方向上的排列相对应。

Description

光调制器
技术领域
本发明涉及一种光调制器，尤其涉及一种具备具有电光效应的基板、形成于该基板的光波导以及用于对在该光波导中传播的光波进行调制的调制电极的光调制器。
背景技术
在光通信领域或光测量领域中，使用具有马赫-曾德尔(Mach Zehnder)型光波导的强度调制器或相位调制器等各种光调制器。从马赫-曾德尔型光波导输出的光的强度变化相对于施加于调制电极的电压例如表现出正弦函数的特性。根据光调制器的用途，为了得到最佳的输出光的强度，需要将施加于调制电极的调制信号设定于适当的工作偏置点。
因此，以往，将从光调制器输出的信号光的一部分或从马赫-曾德尔型光波导的合波部放射的放射光作为监视光，利用如光检测器那样的受光元件进行检测，并监视光调制器的输出光的强度的状态。并且，根据受光元件的检测值(监视输出)来对施加于调制电极的调制信号的工作偏置点进行调整(偏置控制)。
关于这种光调制器，到目前为止提出有各种发明。
例如，专利文献1中公开有如下光调制器，该光调制器即使在基板上配置有受光元件的情况下，也提高受光元件的受光灵敏度，并且抑制受光元件的频带下降。并且，专利文献2中公开有如下光调制器，该光调制器即使在同时接收监视来自马赫-曾德尔型光波导的合波部的2束放射光的情况下，也抑制受光元件的频带下降。
专利文献1：日本特开2015-138145号公报
专利文献2：日本特开2015-194517号公报
发明内容
发明要解决的问题
随着近年来的通信的大容量化，开发出了如下结构的光调制器：在1个基板设置多个光调制部，按每个光调制部将不同的调制信号施加于调制电极来进行光调制。并且，还开发出了具备多个设有多个光调制部的基板的多元件结构的光调制器。这种光调制器构成为，为了在各个光调制部独立地进行调制信号的偏置控制而在基板上配置多个受光元件并针对每个光调制部检测监视光。
并且，随着通信的高速化，还推进着受光元件的受光频带的高频率化。为了确保与高速通信相对应的受光频带，需要将传播受光元件的受光信号的电线尽可能短地配线。然而，若想要在基板上配置多个受光元件的结构中将电线较短地配线，则由于配线的自由度小而有可能在基板上产生多处电线的配线交叉(cross)的部位。在电线的配线交叉的附近容易发生电串扰，担心发生在电线中传播的受光信号包含噪声的问题。
本发明所要解决的课题在于解决如上所述的问题，并提供一种能够抑制在基板上产生电线的配线交叉的部位的光调制器。
用于解决问题的方案
为了解决上述课题，本发明的光调制器具有如下技术特征。
(1)一种光调制器，其具有：基板，形成有光波导；以及光调制部，对在该光波导中传播的光波进行调制，所述光调制器的特征在于，接收在该光波导中传播的光波的受光元件和向该基板的外部输出该受光元件的受光信号的输出端子配置于该基板，并且将该受光元件与该输出端子进行电连接的电线的至少一部分形成于该基板，具有多个该光调制部，针对各光调制部至少设有该受光元件、该输出端子以及该电线，在针对各光调制部设置的受光元件中，至少1个受光元件配置成光波行进方向上的位置与其他受光元件的光波行进方向上的位置不同，各输出端子配置成光波行进方向上的排列与各受光元件的光波行进方向上的排列相对应。
(2)上述(1)所述的光调制器的特征在于，该光波导具有并排的多个光波导部分，至少1个受光元件以横跨相邻的2个光波导部分的方式配置，并且接收在一个光波导部分中传播的光波的第1受光部和接收在另一个光波导部分中传播的光波的第2受光部设置于1个受光元件内。
发明效果
本发明的光调制器具有：基板，形成有光波导；以及光调制部，对在该光波导中传播的光波进行调制，其中，接收在该光波导中传播的光波的受光元件和向该基板的外部输出该受光元件的受光信号的输出端子配置于该基板，并且将该受光元件与该输出端子进行电连接的电线的至少一部分形成于该基板，具有多个该光调制部，针对各光调制部至少设有该受光元件、该输出端子以及该电线，在针对各光调制部设置的受光元件中，至少1个受光元件配置成光波行进方向上的位置与其他受光元件的光波行进方向上的位置不同，各输出端子配置成光波行进方向上的排列与各受光元件的光波行进方向上的排列相对应，因此能够提供一种能够抑制在基板上产生电线的配线交叉的部位的光调制器。
附图说明
图1是说明本发明所涉及的光调制器的第1实施例的俯视图。
图2是说明本发明所涉及的光调制器的第2实施例的俯视图。
图3是说明本发明所涉及的光调制器的第3实施例的俯视图。
图4是说明本发明所涉及的光调制器的第4实施例的俯视图。
附图标记说明
1、1A、1B-基板，2-光波导，3(#1)～3(#4)、61(A)、61(B)、62(A)、62(B)-受光元件，4(#1)～4(#4)-电线，5(#1)～5(#4)、81(A)、81(B)、82(A)、82(B)-输出端子，21-输出波导，22-监视用波导，23-放射光波导，31、31a、31b-受光部，M(a)～M(d)-光调制部。
具体实施方式
以下，对本发明所涉及的光调制器进行详细说明。
如图1～图3所示，本发明的光调制器涉及如下光调制器，该光调制器具有：基板1，形成有光波导2；以及光调制部M，对在该光波导2中传播的光波进行调制。
在该光调制器中，接收在该光波导2中传播的光波的受光元件3和向该基板1的外部输出该受光元件3的受光信号的输出端子5配置于该基板1。并且，将该受光元件3与该输出端子5进行电连接的电线4的至少一部分形成于该基板1。并且，具有多个该光调制部M，针对各光调制部M至少设有该受光元件3、该输出端子5以及该电线4。并且，在针对各光调制部M设置的受光元件3中，至少1个受光元件3配置成光波行进方向上的位置与其他受光元件3的光波行进方向上的位置不同。并且，各输出端子5配置成光波行进方向上的排列与各受光元件3的光波行进方向上的排列相对应。
图1中示出说明本发明所涉及的光调制器的第1实施例的俯视图。
作为基板1，有石英、半导体等能够形成光波导的基板、或作为具有电光效应的基板的使用了LiNbO3(铌酸锂)、LiTaO3(钽酸锂)和PLZT(锆钛酸铅镧)中的任一单晶等的基板。
形成于基板1的光波导2是例如通过在LiNbO3基板(LN基板)上使钛(Ti)等高折射率物质热扩散而形成的。并且，也可以利用在成为光波导的部分的两侧形成有槽的肋型光波导或将光波导部分设为凸状的脊型波导。并且，对于PLC(Planar Lightwave Circuit：石英系平面光波回路)等的在不同的基板上形成光波导并将这些基板贴合而集成的光回路也可以应用本发明。
在基板1上设有用于对在光波导2中传播的光波进行调制的调制电极(未图示)。调制电极由信号电极和接地电极构成，是在基板表面形成Ti/Au的电极图案并通过镀金方法等形成的。另外，根据需要也可以在形成光波导之后的基板表面设置电介质SiO2等的缓冲层。另外，若在向受光元件3侧导出在基板1(光波导2)内传播的信号光的区域中形成缓冲层，则难以高效地导出信号光，因此优选在该区域不形成缓冲层。并且，在隔着缓冲层配置受光元件3的情况下，为了确保受光灵敏度，使配置受光元件3的区域的缓冲层的厚度薄于其他区域的缓冲层的厚度较好。
受光元件3可以与光波导2直接接触，但为了高效地抽出从光波导2放射的光(倏逝波，evanescent wave)，优选在光波导2上形成高折射率膜后在该高折射率膜之上配置受光元件3。在该情况下，需要将高折射率膜的折射率设定为高于光波导2的折射率且低于受光元件基板的折射率。并且，也可以例如日本特开2013-80009号公报所公开的那样构成为，在基板1(或光波导2等)处配置槽或反射部件，通过反射将信号光的一部分引导至受光元件侧。
本实施例的光调制器具有并排的4个光调制部M(a)～M(d)，所述光调制部M(a)～M(d)对调制电极施加调制信号来进行光调制。光调制部M(a)～M(d)构成为彼此使用不同的调制信号来进行光调制，且各自独立地进行调制信号的偏置控制。所谓各光调制部并排，并不要求光波行进方向(图1中的左右方向)上的位置一致，光波行进方向上的位置也可以偏离。
另外，作为彼此使用不同的调制信号来进行光调制的光调制部，并不限定于如本实施例那样由1个马赫-曾德尔型光波导形成的光调制部。即，例如可以使用由将2个马赫-曾德尔型光波导配置成嵌入型的嵌套型光波导形成的光调制部、将2个嵌套型光波导进一步配置成嵌入型而成的光调制部等各种形状的光调制部。
在基板1上，与各光调制部M相对应地设有利用受光部31接收在光波导2中传播的光波的受光元件3、向基板1的外部输出受光元件3的受光信号的输出端子5、以及将受光元件3与输出端子5进行电连接的电线4的至少一部分。在本例中，作为基板1，使用了厚度为20μm以下的基板，但基板的厚度是任意的。
在本实施例中，针对光调制部M(a)设有具有受光元件3(#1)、电线4(#1)以及输出端子5(#1)的第1受光系统。并且，针对光调制部M(c)设有具有受光元件3(#2)、电线4(#2)以及输出端子5(#2)的第2受光系统。并且，针对光调制部M(b)设有具有受光元件3(#3)、电线4(#3)以及输出端子5(#3)的第3受光系统。并且，针对光调制部M(d)设有具有受光元件3(#4)、电线4(#4)以及输出端子5(#4)的第4受光系统。
各受光元件3将在各光调制部M的输出波导21中传播并从光调制器输出的信号光的一部分作为监视光而检测。另外，如后面参考图2进行说明的那样，也可以将从构成各光调制部M的各个马赫-曾德尔型光波导的合波部放射的放射光作为监视光而检测。并且，在基板具有一定程度的厚度的情况下，也可以设为将各受光元件3埋设于基板的结构。
在本实施例中，针对各光调制部M的输出波导21设有抽出在输出波导21中传播的信号光的一部分的监视用波导22。该监视用波导22形成为将从输出波导21抽出的信号光引导至相对应的受光元件3。
即，本实施例中的各受光元件3分别为将由相对应的光调制部M调制的信号光的一部分作为监视光而检测的结构。另外，也可以与输出波导21重叠地配置受光元件3，并且在输出波导21的剖面的一部分设置槽或反射部件，由此从输出波导21直接取出信号光的一部分并由受光元件3接收。
从各受光元件3输出的各个受光信号在连接于该受光元件3的电线4中传播而到达输出端子5，并从输出端子5输出至基板1的外部。
在本实施例中，将各电线4的整个区段形成于基板1上，但也可以将一部分区段以与基板1隔开的方式形成。
在本发明中，在推进光调制器的小型化时，为了确保各受光元件3的受光频带而将各电线4的配线尽可能短地形成，并且为了抑制产生电线4彼此交叉的部位而对受光元件3和输出端子5的配置进行了研究设计。
即，在本发明所涉及的光调制器中，为了缩短受光元件部分在基板1的宽度方向上的长度L1，在针对各光调制部M设置的受光元件3中，将至少1个受光元件3配置成光波行进方向上的位置与其他受光元件3的光波行进方向上的位置不同。在此，所谓宽度方向是指与光波行进方向正交且与基板1的表面平行的方向，是图1中的上下方向。受光元件3在宽度方向上具有一定程度的长度，因此，在将各受光元件3的光波行进方向上的位置对齐的情况下，若将受光元件3的个数设为N、将受光元件3的宽度方向上的长度设为L2，则基板1的宽度方向上的长度L1成为L1＝L2×N。
与此相对，在本发明所涉及的光调制器中，由于将至少1个受光元件3配置成光波行进方向上的位置与其他受光元件3的光波行进方向上的位置不同，因此能够将基板1的宽度方向上的长度L1缩短为L2×N以下。
并且，在本发明所涉及的光调制器中，将各输出端子5配置成光波行进方向上的排列与各受光元件3的光波行进方向上的排列相对应。由此，能够缩短将受光元件3与输出端子5进行连接的电线4的配线，还能够减少电线4彼此交叉的部位。
参考图1对受光元件3、电线4以及输出端子5的具体配置进行说明。
在图1中，在基板1的沿光波行进方向的一个端边(图中下侧的端边)配置有各输出端子5。并且，就各受光元件3而言，从与输出端子侧相反的一侧的端边(图中上侧的端边)起按受光元件3(#1)、3(#3)、3(#2)、3(#4)的顺序配置有这些受光元件3。
为了缩短基板1的宽度方向上的长度，这些受光元件3配置成在相邻的受光元件彼此之间光波行进方向上的位置不同。并且，在这些受光元件3中，将受光元件3(#1)和受光元件3(#2)的光波行进方向上的位置配置成比受光元件3(#3)和受光元件3(#4)的光波行进方向上的位置更向光波行进方向的下游侧错开。
与其对应地，以使输出端子5(#1)和输出端子5(#2)的光波行进方向上的位置比输出端子5(#3)和输出端子5(#4)的光波行进方向上的位置更靠下游侧的排列来配置这些输出端子5。
并且，在具有光波行进方向上的位置相同的多个受光元件3的情况下，越靠近输出端子侧的端边的受光元件3所对应的输出端子5则配置于越靠近受光元件侧的位置。例如，在受光元件3(#1)和受光元件3(#2)中，受光元件3(#2)更靠近输出端子侧的端边，因此将输出端子5(#2)配置于更靠近受光元件侧的位置。
根据这种结构，能够将各电线4设为从受光元件3沿光波行进方向延伸之后朝向输出端子方向延伸的简单的配线。由此，能够抑制在基板1上产生电线4的配线交叉的部位，并且能够缩短电线4的配线。
图2中示出说明本发明所涉及的光调制器的第2实施例的俯视图。
在本实施例中，针对光调制部M(a)设有具有受光元件3(#1)、电线4(#1)以及输出端子5(#1)的第1受光系统。并且，针对光调制部M(b)设有具有受光元件3(#2)、电线4(#2)以及输出端子5(#2)的第2受光系统。并且，针对光调制部M(c)设有具有受光元件3(#3)、电线4(#3)以及输出端子5(#3)的第3受光系统。并且，针对光调制部M(d)设有具有受光元件3(#4)、电线4(#4)以及输出端子5(#4)的第4受光系统。
另外，各光调制部M可以设为由1个马赫-曾德尔型光波导形成的光调制部、将2个马赫-曾德尔型光波导配置成嵌入型而成为嵌套型光波导的光调制部、将2个嵌套型光波导进一步配置成嵌入型而成的光调制部等各种形状的光调制部。
并且，在本实施例中，在各光调制部M的输出波导21的两侧设有引导从构成光调制部M的马赫-曾德尔型光波导的合波部放射的放射光的放射光波导23，并以覆盖输出波导21和放射光波导23的方式配置有受光元件3。
即，本实施例中的各受光元件3分别为将来自构成相对应的光调制部M的马赫-曾德尔型光波导的合波部的放射光作为监视光而检测的结构。
另外，在输出波导21与受光元件3之间设有低折射率结构(具有比输出波导的折射率低的折射率的结构)，从而抑制在输出波导中传播的信号光入射到受光元件。作为低折射率结构，可以列举出配置SiO2等的膜的结构、或设置空气层的结构等。
在图2中，在基板1的沿光波行进方向的一个端边(图中下侧的端边)配置有各输出端子5。并且，就各受光元件3而言，从与输出端子侧相反的一侧的端边(图中上侧的端边)起按受光元件3(#1)、3(#2)、3(#3)、3(#4)的顺序配置有这些受光元件。
为了缩短基板1的宽度方向上的长度，这些受光元件3配置成光波行进方向上的位置全部都不同。具体而言，从光行进方向的上游朝向下游，按受光元件3(#4)、3(#3)、3(#2)、3(#1)的顺序错开地配置。
与其对应地，从光行进方向的上游朝向下游，以输出端子5(#4)、5(#3)、5(#2)、5(#1)这样的排列来配置这些输出端子5。
即使是这种结构，也能够将各电线4设为从受光元件3沿光波行进方向延伸之后朝向输出端子方向延伸的简单的配线。由此，能够抑制在基板1上产生电线4的配线交叉的部位，并且能够缩短电线4的配线。关于通过该配置所导致的电串扰，能够通过在并行的电线4(#1)～4(#4)之间配设串扰抑制单元来抑制。作为串扰抑制单元，可以使用连接于光调制器的壳体并接地的金属等。
图3中示出说明本发明所涉及的光调制器的第3实施例的俯视图。
在本实施例中，针对光调制部M(a)设有具有受光元件3(#1)、电线4(#1)以及输出端子5(#1)的第1受光系统。并且，针对光调制部M(b)设有具有受光元件3(#2)、电线4(#2)以及输出端子5(#2)的第2受光系统。并且，针对光调制部M(c)设有具有受光元件3(#2)、电线4(#3)以及输出端子5(#3)的第3受光系统。并且，针对光调制部M(d)设有具有受光元件3(#3)、电线4(#4)以及输出端子5(#4)的第4受光系统。
另外，各光调制部M可以设为由1个马赫-曾德尔型光波导形成的光调制部、将2个马赫-曾德尔型光波导配置成嵌入型而成为嵌套型光波导的光调制部、将2个嵌套型光波导进一步配置成嵌入型的光调制部等各种形状的光调制部。
并且，在本实施例中，与第1实施例(图1)同样地，针对各光调制部M的输出波导21设有抽出在输出波导21中传播的信号光的一部分的监视用波导22。该监视用波导22形成为将从输出波导21抽出的信号光引导至相对应的受光元件3。
即，本实施例中的各受光元件3分别为将由相对应的光调制部M调制的信号光的一部分作为监视光而检测的结构。另外，也可以与输出波导21重叠地配置受光元件3，并且在输出波导21的剖面的一部分设置槽或反射部件，由此从输出波导21直接取出信号光的一部分并由受光元件3接收。
并且，在本实施例中，成为由光调制部M(b)和光调制部M(c)共用1个受光元件3(#2)的结构。具体而言，针对光调制部M(b)的监视用波导22和针对光调制部M(c)的监视用波导22并排形成，并以横跨这些波导部分的方式配置有受光元件3(#2)。在受光元件3(#2)中，接收在针对光调制部M(b)的监视用波导22中传播的光波的第1受光部31a和接收在针对光调制部M(c)的监视用波导22中传播的光波的第2受光部31b设置于1个受光元件内。另外，所谓各监视用波导22并排形成，并不要求光波行进方向(图3中的左右方向)上的位置一致，光波行进方向也可以偏离，但优选具有以能够共用1个受光元件3的程度重复的区段。
如此，通过设为由1个受光元件3接收多个光波的结构，能够削减基板上的受光元件数量，因此在谋求基板的小型化时是有效的。
在图3中，在基板1的沿光波行进方向的一个端边(图中下侧的端边)配置有各输出端子5。并且，就各受光元件3而言，从与输出端子侧相反的一侧的端边(图中上侧的端边)起按受光元件3(#1)、3(#2)、3(#3)的顺序配置有这些受光元件3。
为了缩短基板1的宽度方向上的长度，这些受光元件3配置成光波行进方向上的位置全部都不同。具体而言，从光行进方向的上游朝向下游，按受光元件3(#3)、3(#2)、3(#1)的顺序错开地配置。
与其对应地，从光行进方向的上游朝向下游，以输出端子5(#4)、5(#3)、5(#2)、5(#1)这样的排列来配置这些输出端子5。
并且，针对最靠近输出端子侧的端边的受光元件3(#3)的电线4(#4)从相对于针对其他受光元件3(#1)、3(#2)的电线4(#1)～(#3)而言光波行进方向上的不同的位置连接于受光元件3。即，电线4(#1)～(#3)在受光元件3的光行进方向的下游侧连接于该受光元件3，与此相对，电线4(#4)在受光元件3的光行进方向的上游侧连接于该受光元件3。
即使是这种结构，也能够将各电线4设为从受光元件3沿光波行进方向延伸之后朝向输出端子方向延伸的简单的配线。由此，能够抑制在基板1上产生电线4的配线交叉的部位，并且能够缩短电线4的配线。
在到此为止的说明中，以在1片基板上设有多个光调制部的光调制器作为例子，但本发明也可以应用于具备多个设有多个光调制部的基板的多元件结构的光调制器。
图4中示出说明本发明所涉及的光调制器的第4实施例的俯视图。
该图的光调制器具备被输入波长λ1的光波的第1基板1(A)和被输入波长λ2的光波的第2基板1(B)。基板1(A)具有2个主调制部，这些主调制部分别具有2个副调制部。并且，针对各个副调制部设有受光元件61(A)，并且针对各个主调制部也设有受光元件62(A)。针对主调制部的受光元件62(A)是必须的，而针对副调制部的受光元件61(A)则可以省略，但为了进行更准确的调制控制，优选设置受光元件61(A)。基板2(A)也具有与基板1(A)的光调制部和受光元件同样的光调制部和受光元件。
在基板1(B)上设有用于向外部输出受光元件61(B)、62(B)的受光信号的输出端子81(B)、82(B)。并且，在基板1(B)上还设有用于向外部输出基板1(A)侧的受光元件61(A)、62(A)的受光信号的输出端子81(A)、82(A)。即，构成为在基板1(A)上检测出的受光信号经由基板1(B)输出至外部。
受光元件61(A)与输出端子81(A)、受光元件62(A)与输出端子82(A)、受光元件61(B)与输出端子81(B)、受光元件62(B)与输出端子82(B)分别通过电线相连接。
即使是这种多元件结构的光调制器，在将受光元件配置成光波行进方向上的位置不同的情况下，通过以与其配置相对应的排列来配置输出端子，也能够使将受光元件与输出端子进行电连接的电线的配线变得简单。由此，能够抑制在基板上产生电线的配线交叉的部位，并且能够缩短电线的配线。
另外，在图4中，成为受光元件61(A)、61(B)接收在放射光波导中传播的放射光、且受光元件62(A)、62(B)接收在监视用波导中传播的监视光的结构，但当然并不限定于这种结构。即，也可以设为由受光元件61(A)、61(B)接收在输出波导中传播的信号光的一部分或在监视用波导中传播的监视光的结构。并且，还可以设为由受光元件62(A)、62(B)接收在输出波导中传播的信号光的一部分或在放射光波导中传播的放射光。
以上，根据实施例对本发明进行了说明，但本发明并不限定于上述内容，在不脱离本发明的宗旨的范围内当然可以适当地进行设计变更。
产业上的可利用性
如上说明，根据本发明，能够提供一种能够抑制在基板上产生电线的配线交叉的部位的光调制器。

Claims (4)

1.一种光调制器，其具有：基板，形成有光波导；以及光调制部，对在该光波导中传播的光波进行调制，所述光调制器的特征在于，
接收在该光波导中传播的光波的受光元件和向该基板的外部输出该受光元件的受光信号的输出端子配置于该基板，并且将该受光元件与该输出端子进行电连接的电线的至少一部分形成于该基板，
具有多个该光调制部，
针对各光调制部至少设有该受光元件、该输出端子以及该电线，
在针对各光调制部设置的受光元件中，至少1个受光元件配置成光波行进方向上的位置与其他受光元件的光波行进方向上的位置不同，
各输出端子配置成光波行进方向上的排列与各受光元件的光波行进方向上的排列相对应，
从各光调制部的光波导分支出抽出在该光波导中传播的光波的一部分并将该光波的一部分引导至相对应的受光元件的监视用波导，
多个该光调制部具有最靠近所述基板的沿光波行进方向的一个端边即第一端边的第一光调制部、最靠近所述基板的与该第一端边相反的一侧的端边即第二端边的第四光调制部、以及位于所述第一光调制部与所述第四光调制之间的第二光调制部及第三光调制部，
在并排形成的各监视用波导中，与所述第一光调制部对应的第一监视用波导相对于所述第一光调制部的光波导位于所述第一端边侧，与所述第二光调制部对应的第二监视用波导相对于所述第二光调制部的光波导位于所述第二端边侧，与所述第三光调制部对应的第三监视用波导相对于所述第三光调制部的光波导位于所述第一端边侧，与所述第四光调制部对应的第四监视用波导相对于所述第四光调制部的光波导位于所述第二端边侧。
2.根据权利要求1所述的光调制器，其特征在于，
以横跨所述第二监视用波导与所述第三监视用波导的方式配置受光元件，并且在该受光元件内设置有接收在所述第二监视用波导中传播的光波的第一受光部和接收在所述第三监视用波导中传播的光波的第二受光部。
3.根据权利要求2所述的光调制器，其特征在于，
所述第二监视用波导与所述第三监视用波导在光波行进方向上的位置不一致。
4.根据权利要求2所述的光调制器，其特征在于，
与各受光元件连接的电线包括在受光元件的光行进方向的下游侧连接于该受光元件的电线、以及在受光元件的光行进方向的上游侧连接于该受光元件的电线。
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