CN107064660A - 热刺激电流与空间电荷的联合测量装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种热刺激电流与空间电荷的联合测量装置，包括：高压直流电源，用于向被测试样施加高压直流电压；高压脉冲发生器，用于产生高频高压脉冲；高压电极，用于向被测试样施加高压直流电压和高压脉冲信号；单刀双掷开关，用于在空间电荷与热刺激电流测量间的切换；加热套；数字示波器，用于采集与传输空间电荷信号；微电流计，在热刺激电流测试中，用于采集电流信号；工控机，用于控制数字示波器、程控电源和微电流计的运行参数和启停，并且接收来自数字示波器的空间电荷信号以及微电流计的热刺激电流信号。该装置可以实现热刺激电流与空间电荷联合测量的目的，提高了测量结果的精度和可靠性，简单易实现。

Description

热刺激电流与空间电荷的联合测量装置

技术领域

本发明涉及固体电介质材料性能测试技术领域，特别涉及一种热刺激电流与空间电荷的联合测量装置。

背景技术

电介质材料如果有一个或多个位置内正负电荷不能互相抵消，则多余的电荷称为相应位置上的空间电荷。空间电荷的存在、转移和消失会直接削弱或加强电介质材料内的局部电场。目前国内外已经普遍认可，由于电场的畸变作用，空间电荷对电介质材料的电导、局部放电、击穿和老化等电学性能均有显著的影响。

空间电荷测量技术是空间电荷研究的基础。20世纪70年代，热刺激电流法被用来研究电介质材料内部的电荷输运和陷阱特性，通过对被测试样进行缓慢升温，检测升温过程中释放的电流信号，从而获得电介质材料的微观参数（如活化能、弛豫时间、陷阱能级分布等信息）。随着测量技术和测量理论的不断发展，热刺激电流法在国内外已成为一种基本的测量方法，特点是测量灵敏度和分辨率高，测量准确。20世纪80年代以后，先后出现多种无损直接测量空间电荷的方法，其中电声脉冲法是具有代表性的一种测量技术。该测量技术主要应用于直流电场条件下固体绝缘材料内部空间电荷分布特性的测量，研究空间电荷的注入、迁移、积聚和消散等动态演变过程，结合相关的物理模型，可以分析固体绝缘材料内部电荷的起源机制和迁移规律等。

热刺激电流法和电声脉冲法具有明显的差异性和较强的互补性：（1）热刺激电流法检测去极化过程中被测试样缓慢升温释放出的电流信号，而电声脉冲法主要研究极化过程中空间电荷的动态演变行为；（2）热刺激电流法属于间接测量技术，无法获得空间电荷的实时分布、动态演变过程。而电声脉冲法直接测量空间电荷的分布，并可以计算得到载流子迁移率、内部电场分布等重要参数；（3）影响因素的差异性。除了极化电场、温度和时间等相同影响因素外，热刺激电流法较电声脉冲法测量更复杂，影响因素更多，包括降温速率、升温速率、温度范围等；（4）相较之下，热刺激电流法理论发展更早，理论体系更成熟，在半导体和聚合物绝缘材料等多个领域已得到广泛的应用与发展。因此，实现热剌激电流法与电声脉冲法空间电荷联合测量，必将丰富电介质材料空间电荷的研究手段和方法，有助于阐明空间电荷研究中诸多尚不清楚的重要问题，如空间电荷输运对电介质材料陷阱、击穿和老化的影响，热刺激电流和空间电荷测量数据对应性、等效性以及互补性等等。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

为此，本发明的目的在于提出一种热刺激电流与空间电荷的联合测量装置，该装置可以联合测量热刺激电流与空间电荷，简单易实现。

为达到上述目的，本发明实施例提出了一种热刺激电流与空间电荷的联合测量装置，包括：高压直流电源，用于向所述被测试样施加高压直流电压；高压脉冲发生器，用于产生高频高压脉冲，并施加在被测试样上，以在脉冲电场的作用下，使所述被测试样内部的空间电荷发生振动，形成声波信号并传播；高压电极，用于向所述被测试样施加高压直流电压和高压脉冲信号；单刀双掷开关，用于在空间电荷与热刺激电流测量间的切换；加热套；数字示波器，用于采集与传输所述空间电荷信号；微电流计，在热刺激电流测试中，用于采集电流信号；工控机，用于控制所述数字示波器、所述程控电源和所述微电流计的运行参数和启停，并且接收来自所述数字示波器的空间电荷信号以及所述微电流计的热刺激电流信号。

本发明实施例的热刺激电流与空间电荷的联合测量装置，用于热刺激电流与空间电荷的同试样同区域联合测量，通过在测量装置的上电极安装加热装置、下电极安装温控液循环控温的设计，不仅能够满足热刺激电流测量的要求，而且拓展了空间电荷测量的应用范围，并且单刀双掷开关的灵活投切可以实现空间电荷极化、去极化全过程的测量，以及去极化过程进行热刺激电流的测量，从而实现热刺激电流与空间电荷联合测量的目的，提高了测量结果的精度和可靠性，简单易实现。

另外，根据本发明上述实施例的热刺激电流与空间电荷的联合测量装置还可以具有以下附加的技术特征：

进一步地，在本发明的一个实施例中，上述的装置还包括：限流电阻，用于在所述被测试样发生击穿时限制瞬态电流；瞬变二极管，用于在所述被测试样发生击穿时保护微电流计，抑制击穿过程可能产生的瞬态过电压。

本发明实施例的热刺激电流与空间电荷的联合测量装置，瞬变二极管和限流电阻能够在被测试样发生击穿时保护微电流计，提高了装置的安全性能，可以为热刺激电流与空间电荷联合测量技术的发展提供重要的支持。

进一步地，在本发明的一个实施例中，上述的装置还包括：程控电源，用于根据控制指令控制所述高压直流电源输出；压电传感器，所述压电传感器呈90°弯折结构，用于将所述高压脉冲对空间电荷作用产生的声波信号转换为电压信号。

进一步地，在本发明的一个实施例中，上述的装置还包括：温控液入口，在温度控制时，用于输入处于所需温度状态的液体；温控液出口，用于输出温控液。

进一步地，在本发明的一个实施例中，上述的装置还包括：绝缘树脂；接地金属屏蔽罩，所述接地金属屏蔽罩，用于引入高压直流电压和高压脉冲信号。

进一步地，在本发明的一个实施例中，上述的装置还包括：匹配电阻，用于对所述高压脉冲信号进行阻抗匹配，以减小高压脉冲的反射分量。

进一步地，在本发明的一个实施例中，上述的装置还包括：衰减器，用于降低高所述压脉冲发生器发出的触发脉冲幅值。

进一步地，在本发明的一个实施例中，上述的装置还包括：半导电层，用于减小所述空间电荷产生的声波信号在所述被测试样的上表面的反射分量。

进一步地，在本发明的一个实施例中，上述的装置还包括：接地金属板；声波吸收块，用于吸收从所述压电传感器穿过的声波；金属电极，用于输出所述压电传感器产生的电压信号；放大器，用于放大所述压电传感器产生的电压信号。

进一步地，在本发明的一个实施例中，上述的装置还包括：接地；高压电阻；金属屏蔽壳，用于屏蔽环境中的电磁干扰。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为根据本发明一个实施例的热刺激电流与空间电荷的联合测量装置的结构示意图；

图2为根据本发明一个实施例的热刺激电流与空间电荷的联合测量装置的极化电压、温度和电流的时序示意图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

下面参照附图描述根据本发明实施例提出的热刺激电流与空间电荷的联合测量装置。

该热刺激电流与空间电荷的联合测量装置包括：高压直流电源、高压脉冲发生器、高压电极、单刀双掷开关、加热套、数字示波器、微电流计和工控机。

其中，高压直流电源用于向被测试样施加高压直流电压。高压脉冲发生器用于产生高频高压脉冲，并施加在被测试样上，以在脉冲电场的作用下，使被测试样内部的空间电荷发生振动，形成声波信号并传播。高压电极用于向被测试样施加高压直流电压和高压脉冲信号。单刀双掷开关用于在空间电荷与热刺激电流测量间的切换。数字示波器，用于采集与传输空间电荷信号。在热刺激电流测试中，微电流计用于采集电流信号。工控机用于控制数字示波器、程控电源和微电流计的运行参数和启停，并且接收来自数字示波器的空间电荷信号以及微电流计的热刺激电流信号。本发明实施例的测量装置可以实现热刺激电流与空间电荷联合测量的目的，提高了测量结果的精度和可靠性，简单易实现。

本发明实施例的热刺激电流与空间电荷的联合测量装置，用于热刺激电流与空间电荷的同试样同区域联合测量，通过在测量装置的上电极安装加热装置、下电极安装温控液循环控温的设计，不仅能够满足热刺激电流测量的要求，而且拓展了空间电荷测量的应用范围，并且单刀双掷开关的灵活投切可以实现空间电荷极化、去极化全过程的测量，以及去极化过程进行热刺激电流的测量，从而实现热刺激电流与空间电荷联合测量的目的，提高了测量结果的精度和可靠性，简单易实现。

进一步地，在本发明的一个实施例中，本发明实施例的装置还包括：限流电阻和瞬变二极管。其中，限流电阻用于在被测试样发生击穿时限制瞬态电流；瞬变二极管用于在被测试样发生击穿时保护微电流计，抑制击穿过程可能产生的瞬态过电压。

本发明实施例的热刺激电流与空间电荷的联合测量装置，瞬变二极管和限流电阻能够在被测试样发生击穿时保护微电流计，提高了装置的安全性能，可以为热刺激电流与空间电荷联合测量技术的发展提供重要的支持。

进一步地，在本发明的一个实施例中，本发明实施例的装置还包括：程控电源和压电传感器。其中，程控电源用于根据控制指令控制高压直流电源输出；压电传感器呈90°弯折结构，压电传感器用于将高压脉冲对空间电荷作用产生的声波信号转换为电压信号。

进一步地，在本发明的一个实施例中，本发明实施例的装置还包括：温控液入口和温控液出口。其中，在温度控制时，温控液入口用于输入处于所需温度状态的液体；温控液出口用于输出温控液。

进一步地，在本发明的一个实施例中，本发明实施例的装置还包括：绝缘树脂和接地金属屏蔽罩。其中，接地金属屏蔽罩用于引入高压直流电压和高压脉冲信号。

进一步地，在本发明的一个实施例中，本发明实施例的装置还包括：匹配电阻。其中，匹配电阻用于对高压脉冲信号进行阻抗匹配，以减小高压脉冲的反射分量。

进一步地，在本发明的一个实施例中，本发明实施例的装置还包括：衰减器。其中，衰减器用于降低高压脉冲发生器发出的触发脉冲幅值。

进一步地，在本发明的一个实施例中，本发明实施例的装置还包括：半导电层。其中，半导电层用于减小空间电荷产生的声波信号在被测试样的上表面的反射分量。

进一步地，在本发明的一个实施例中，本发明实施例的装置还包括：接地金属板、声波吸收块、金属电极和放大器。其中，声波吸收块用于吸收从压电传感器穿过的声波；金属电极用于输出压电传感器产生的电压信号；放大器用于放大压电传感器产生的电压信号。

进一步地，在本发明的一个实施例中，本发明实施例的装置还包括：接地、高压电阻和金属屏蔽壳。其中，金属屏蔽壳，用于屏蔽环境中的电磁干扰。

在本发明的实施例中，本发明实施例的装置满足：（1）添加温控功能，实现电场与温度场的耦合。温控功能既是热刺激电流测量的基本需求，同时也大大拓展了空间电荷测量能力和应用范围；（2）实现同试样同区域测量。极化过程中利用电声脉冲法测量空间电荷的分布特性，去极化过程进行热刺激电流测试，针对同一个被测试样的相同测试区域，测试结果更可靠；（3）小体积、高耐压的电极结构设计，适应热刺激电流法与电声脉冲法空间电荷对强电场测量条件的需求。另外，本发明实施例的装置可以适应固体电介质材料空间电荷研究的发展趋势，为空间电荷测量技术多功能化和高性能化的发展起到重要的推动作用。

下面以一个具体实施例对本发明实施例的装置进行详细描述。

在本发明的一个具体实施例中，本发明实施例的装置包括：接地金属屏蔽罩、绝缘树脂、高压电容、匹配电阻、高压脉冲发生器、衰减器、高压电极、半导电层、被测试样、接地金属板、压电传感器、声波吸收块、金属电极、放大器、金属屏蔽壳、数字示波器、工控机、接地、程控电源、高压直流电源、高压电阻、单刀双掷开关、加热套、限流电阻、瞬变二极管、微电流计、温控液入口和温控液出口。

其中，接地金属屏蔽罩，底部开口，内部掏空供绝缘树脂浇注，其侧面开孔引入高压直流电压和高压脉冲信号。

绝缘树脂，除密封并固定高压电容等元器件外，还起到绝缘的作用。

匹配电阻，封装固定在绝缘树脂中，其作用是对高压脉冲进行阻抗匹配，以减小高压脉冲的反射分量。

高压脉冲发生器，用于产生高频高压脉冲，并施加在被测试样上。被测试样在脉冲电场的作用下，其内部的空间电荷发生振动形成声波信号并传播。

衰减器，用于降低高压脉冲发生器发出的触发脉冲幅值，防止数字示波器承受过电压。

高压电极，部分封装并固定在绝缘树脂中，其作用是向被测试样施加高压直流电压和高压脉冲信号。

半导电层，与高压电极紧密贴合，其作用是尽可能减小空间电荷产生的声波信号在被测试样的上表面的反射分量。

被测试样，置于接地金属板中央，其上表面隔着半导电层与高压电极下表面紧密接触。

接地金属板，其上表面用于放置被测试样，内部有通道供温控液循环流动控温。

压电传感器，呈90°弯折结构，上表面与接地金属板紧密接触，下表面水平部分与声波吸收块贴合，下表面弯折部分与金属电极连接，用于将高压脉冲对空间电荷作用产生的声波信号转换为电压信号。

声波吸收块，紧贴压电传感器水平部分下表面，用于吸收从压电传感器穿过的声波，防止声波反射回压电传感器造成干扰。

金属电极，内表面紧贴在声波吸收块，外表面与压电传感器弯折部分下表面相连，输出压电传感器产生的电压信号。

放大器，用于将压电传感器产生的电压信号放大，其输入端连接金属电极，输出端将放大后的电压信号传输至数字示波器。

金属屏蔽壳，安装在接地金属板底部，用于屏蔽环境中的电磁干扰，防止在空间电荷测量过程引入干扰。

数字示波器，用于采集与传输空间电荷信号。

工控机，用于数字示波器、程控电源和微电流计运行参数和启停的控制，并且接收来自数字示波器的空间电荷信号以及微电流计的热刺激电流信号。

接地，其作用是提供地电位以及防止人身伤害。

程控电源，将工控机的指令转化为高压直流电源能识别的信号，控制高压直流电源的输出。

高压直流电源，用于向被测试样施加高压直流电压。

高压电阻，位于高压直流电源出口，当试样击穿时起分压限流的作用。

单刀双掷开关，用于在空间电荷与热刺激电流测量间的切换。

加热套，安装在接地金属屏蔽罩外侧面中，通过加热接地金属屏蔽罩，并经绝缘树脂传热，调控高压金属电极的温度。

限流电阻，用于在被测试样发生击穿时限制瞬态电流。

瞬变二极管，用于在被测试样发生击穿时保护微电流计，抑制击穿过程可能产生的瞬态过电压，而在正常测量过程中不动作。

微电流计，用于在热刺激电流测试中采集电流信号。

温控液入口，用于在温度控制时输入处于所需温度状态的液体。

温控液出口，用于输出温控液，形成循环，实现被测试样和温控液均匀换热。

在本发明的实施例中，通过耦合温度控制模块以及引入单刀双掷开关的设计，实现了热刺激电流与空间电荷同试样同区域联合测量的目的，能够获得被测试样内部的空间电荷实时分布和陷阱特性，提高了测试精度和测量结果的可靠性，并且具有小体积、高耐压的高压电极结构，可以适应热刺激电流法与电声脉冲法对强电场测量条件的需求。

下面结合附图对本发明实施例的装置的工作原理进行详细描述。

如图1所示，本发明实施例的装置包括：接地金属屏蔽罩1、绝缘树脂2、高压电容3、匹配电阻4、高压脉冲发生器5、衰减器6、高压电极7、半导电层8、被测试样9、接地金属板10、压电传感器11、声波吸收块12、金属电极13、放大器14、金属屏蔽壳15、数字示波器16、工控机17、接地18、程控电源19、高压直流电源20、高压电阻21、单刀双掷开关22、加热套23、限流电阻24、瞬变二极管25、微电流计26、温控液入口27和温控液出口28。

工作时，在图2中接地金属板10上表面正中央位置滴适量硅油，随后将被测试样9放置在滴有硅油的接地金属板10正中央。在被测试样9上表面中央位置滴适量硅油后，安装高压电极装置，使高压电极7上的半导电层8与被测试样9上表面紧密接触。其中，硅油是为了消除接触面的气隙，改善声波传播效果。将单刀双掷开关22切换至高压直流电源侧，同时启动加热套23进行升温。待温度上升至预设值并维持该温度稳定后，施加所需的高压脉冲和高压直流电压，二者同时叠加在被测试样9上，此时工控机17发出指令使数字示波器16开始采集空间电荷信号，并且实时传输并存储在工控机17上。

极化一段时间后，在温控液入口28注入温控液至接地金属板10内部，并在温控液出口27流出，以降低接地金属板10的温度至预设值，在此过程中被测试样9也不断降温。然后，撤去高压直流电压，并将单刀双掷开关22的拨片接地短路数分钟，以消除被测试样9表面电荷的影响。如图2所示，去极化电流呈现指数式衰减，但与极化过程的电流极性相反。随后，投切单刀双掷开关22至微电流计26侧，同时工控机17发出指令以恒定的速率对被测试样9进行线性升温并进行热刺激电流信号的采集。

当被测试样9内部存在空间电荷，其在高压脉冲作用下形成振动，从而产生声波。声波依次穿过被测试样9和接地金属板10后作用在压电传感器11上。压电传感器11通过压电效应将声波信号转换成电压信号，并经由压电传感器11中90°弯折部分的下表面和金属电极13传输至数字示波器16并由其读取。采集热刺激电流信号时，被测试样9中的电流通过半导电层8、高压电极7和限流电阻24后由微电流计26读取。

根据本发明实施例提出的热刺激电流与空间电荷的联合测量装置，通过在空间电荷测量装置耦合升温和快速降温模块的设计，满足了热刺激电流测量对温度的要求，提供了联合热刺激电流测量的条件，并且单刀双掷开关的灵活投切实现空间电荷分布特性在极化与去极化全过程的测量，而去极化过程中形成通过切换可以进行热刺激电流的测量，实现了热刺激电流与空间电荷同试样同区域联合测量的目的，并能够更直观、精确地结合空间电荷分布和陷阱参数研究固体电介质材料的性能。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种热刺激电流与空间电荷的联合测量装置，其特征在于，包括：

高压直流电源，用于向所述被测试样施加高压直流电压；

高压脉冲发生器，用于产生高频高压脉冲，并施加在被测试样上，以在脉冲电场的作用下，使所述被测试样内部的空间电荷发生振动，形成声波信号并传播；

高压电极，用于向所述被测试样施加高压直流电压和高压脉冲信号；

单刀双掷开关，用于在空间电荷与热刺激电流测量间的切换；

加热套；

数字示波器，用于采集与传输所述空间电荷信号；

微电流计，在热刺激电流测试中，用于采集电流信号；以及

工控机，用于控制所述数字示波器、所述程控电源和所述微电流计的运行参数和启停，并且接收来自所述数字示波器的空间电荷信号以及所述微电流计的热刺激电流信号。

2.根据权利要求1所述的热刺激电流与空间电荷的联合测量装置，其特征在于，还包括：

限流电阻，用于在所述被测试样发生击穿时限制瞬态电流；

瞬变二极管，用于在所述被测试样发生击穿时保护微电流计，抑制击穿过程可能产生的瞬态过电压。

3.根据权利要求1所述的热刺激电流与空间电荷的联合测量装置，其特征在于，还包括：

程控电源，用于根据控制指令控制所述高压直流电源输出；

压电传感器，所述压电传感器呈90°弯折结构，用于将所述高压脉冲对空间电荷作用产生的声波信号转换为电压信号。

4.根据权利要求1所述的热刺激电流与空间电荷的联合测量装置，其特征在于，还包括：

温控液入口，在温度控制时，用于输入处于所需温度状态的液体；

温控液出口，用于输出温控液。

5.根据权利要求1所述的热刺激电流与空间电荷的联合测量装置，其特征在于，还包括：

绝缘树脂；

接地金属屏蔽罩，所述接地金属屏蔽罩，用于引入高压直流电压和高压脉冲信号。

6.根据权利要求1所述的热刺激电流与空间电荷的联合测量装置，其特征在于，还包括：

匹配电阻，用于对所述高压脉冲信号进行阻抗匹配，以减小高压脉冲的反射分量。

7.根据权利要求1所述的热刺激电流与空间电荷的联合测量装置，其特征在于，还包括：

衰减器，用于降低高所述压脉冲发生器发出的触发脉冲幅值。

8.根据权利要求1所述的热刺激电流与空间电荷的联合测量装置，其特征在于，还包括：

半导电层，用于减小所述空间电荷产生的声波信号在所述被测试样的上表面的反射分量。

9.根据权利要求1所述的热刺激电流与空间电荷的联合测量装置，其特征在于，还包括：

接地金属板；

声波吸收块，用于吸收从所述压电传感器穿过的声波；

金属电极，用于输出所述压电传感器产生的电压信号；

放大器，用于放大所述压电传感器产生的电压信号。

10.根据权利要求1所述的热刺激电流与空间电荷的联合测量装置，其特征在于，还包括：

接地；

高压电阻；

金属屏蔽壳，用于屏蔽环境中的电磁干扰。