CN107024338A - 使用棱镜分光的共光路点衍射同步移相干涉测试装置 - Google Patents
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107917760A (zh) * | 2018-01-08 | 2018-04-17 | 哈尔滨工程大学 | 基于透射点衍射式共路数字全息的偏振态参量测量装置与方法 |
CN108036737A (zh) * | 2017-12-12 | 2018-05-15 | 南京信息工程大学 | 一种全场照明快照式检测反射面面形的装置及方法 |
CN108180998A (zh) * | 2018-01-08 | 2018-06-19 | 哈尔滨工程大学 | 基于载频正交透射点衍射数字全息的偏振态参量测量装置与方法 |
CN108180824A (zh) * | 2018-01-08 | 2018-06-19 | 哈尔滨工程大学 | 双波长载频正交透射点衍射式共路数字全息测量装置与方法 |
CN108225172A (zh) * | 2018-01-08 | 2018-06-29 | 哈尔滨工程大学 | 透射式点衍射共路数字全息测量装置与方法 |
CN108592784A (zh) * | 2018-01-08 | 2018-09-28 | 哈尔滨工程大学 | 双波长透射点衍射式共路数字全息测量装置与方法 |
CN114322748A (zh) * | 2021-11-19 | 2022-04-12 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 一种偏振同步相移点衍射干涉仪 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006119427A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Ricoh Co Ltd | レーザ加工方法及びレーザ加工装置及びにこれよって作製された構造体 |
US7106456B1 (en) * | 2002-01-09 | 2006-09-12 | Interphase Technologies, Inc. | Common-path point-diffraction phase-shifting interferometer |
CN101319873A (zh) * | 2008-07-16 | 2008-12-10 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 用于同步移相干涉仪的空间移相器 |
CN201885805U (zh) * | 2010-12-07 | 2011-06-29 | 四川大学 | 环形共光路点衍射干涉波前传感装置 |
CN102507020A (zh) * | 2011-11-01 | 2012-06-20 | 南京理工大学 | 使用微透镜阵列的同步移相干涉测试方法及装置 |
CN203298878U (zh) * | 2013-05-03 | 2013-11-20 | 内蒙古工业大学 | 条纹对比度与载频可调的环路点衍射干涉波前传感器 |
CN104655053A (zh) * | 2013-11-25 | 2015-05-27 | 南京理工大学 | 基于针孔式点衍射干涉仪球面镜曲率半径测量装置及方法 |
CN104931125A (zh) * | 2015-06-12 | 2015-09-23 | 哈尔滨工业大学 | 抗偏振混叠的双路线偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪 |
-
2016
- 2016-02-01 CN CN201610071045.7A patent/CN107024338B/zh active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7106456B1 (en) * | 2002-01-09 | 2006-09-12 | Interphase Technologies, Inc. | Common-path point-diffraction phase-shifting interferometer |
JP2006119427A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Ricoh Co Ltd | レーザ加工方法及びレーザ加工装置及びにこれよって作製された構造体 |
CN101319873A (zh) * | 2008-07-16 | 2008-12-10 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 用于同步移相干涉仪的空间移相器 |
CN201885805U (zh) * | 2010-12-07 | 2011-06-29 | 四川大学 | 环形共光路点衍射干涉波前传感装置 |
CN102507020A (zh) * | 2011-11-01 | 2012-06-20 | 南京理工大学 | 使用微透镜阵列的同步移相干涉测试方法及装置 |
CN203298878U (zh) * | 2013-05-03 | 2013-11-20 | 内蒙古工业大学 | 条纹对比度与载频可调的环路点衍射干涉波前传感器 |
CN104655053A (zh) * | 2013-11-25 | 2015-05-27 | 南京理工大学 | 基于针孔式点衍射干涉仪球面镜曲率半径测量装置及方法 |
CN104931125A (zh) * | 2015-06-12 | 2015-09-23 | 哈尔滨工业大学 | 抗偏振混叠的双路线偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108036737A (zh) * | 2017-12-12 | 2018-05-15 | 南京信息工程大学 | 一种全场照明快照式检测反射面面形的装置及方法 |
CN108036737B (zh) * | 2017-12-12 | 2019-11-12 | 南京信息工程大学 | 一种全场照明快照式检测反射面面形的装置及方法 |
CN107917760A (zh) * | 2018-01-08 | 2018-04-17 | 哈尔滨工程大学 | 基于透射点衍射式共路数字全息的偏振态参量测量装置与方法 |
CN108180998A (zh) * | 2018-01-08 | 2018-06-19 | 哈尔滨工程大学 | 基于载频正交透射点衍射数字全息的偏振态参量测量装置与方法 |
CN108180824A (zh) * | 2018-01-08 | 2018-06-19 | 哈尔滨工程大学 | 双波长载频正交透射点衍射式共路数字全息测量装置与方法 |
CN108225172A (zh) * | 2018-01-08 | 2018-06-29 | 哈尔滨工程大学 | 透射式点衍射共路数字全息测量装置与方法 |
CN108592784A (zh) * | 2018-01-08 | 2018-09-28 | 哈尔滨工程大学 | 双波长透射点衍射式共路数字全息测量装置与方法 |
CN114322748A (zh) * | 2021-11-19 | 2022-04-12 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 一种偏振同步相移点衍射干涉仪 |
CN114322748B (zh) * | 2021-11-19 | 2024-04-12 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 偏振同步相移点衍射干涉仪及其检测方法 |
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