CN106980027B - 气体分析装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种气体分析装置，气体分析装置包括主管道，用于通入检测气体；检测装置，检测装置的检测端口与主管道连通；导向装置，设置在主管道内，用于将检测气体导向到检测装置的检测端口。通过本发明提供的技术方案，能够解决现有技术中的检测数据不准确的问题。

Description

气体分析装置

技术领域

本发明涉及气体检测技术领域，具体而言，涉及一种气体分析装置。

背景技术

目前，在对真空系统中的残余气体成分进行分析时，需要利用气体分析仪对真空系统进行分析。现有技术中是将气体分析仪连接在真空管道的支路上，在进行检测时，由于气体在支路中的量较少，造成检测困难，并导致检测数据不准确。

发明内容

本发明提供一种气体分析装置，以解决现有技术中的检测数据不准确的问题。

根据本发明提供的一种气体分析装置，气体分析装置包括主管道，用于通入检测气体；检测装置，检测装置的检测端口与主管道连通；导向装置，设置在主管道内，用于将检测气体导向到检测装置的检测端口。

进一步地，导向装置包括设置在主管道内的第一导向段及延伸至检测装置的检测端口的第二导向段，第一导向段与第二导向段连通，第一导向段与第二导向段将主管道内的检测气体导入至检测端口处。

进一步地，气体分析装置还包括分支管道，分支管道的一端与主管道的中部连通，分支管道的另一端与检测装置的检测端口连接，第二导向段设置在分支管道内。

进一步地，导向装置包括设置在主管道内的第一导向管段及设置在分支管道内的第二导向管段，第一导向管段设置在主管道内，第二导向管段与检测装置的检测端口之间具有预定距离。

进一步地，主管道具有入口端和出口端，第一导向段的开口朝主管道的入口端设置。

进一步地，导向装置包括收集部，收集部设置在第一导向段的开口处。

进一步地，第一导向段的轴线与第二导向段的轴线呈夹角设置。

进一步地，第一导向段的轴线与第二导向段的轴线的夹角为90度。

进一步地，第一导向段上设置有环形板，环形板为圆盘形或漏斗形，环形板为收集部。

进一步地，主管道包括第一管道和第二管道，第一管道与第二管道相互连通，收集部设置在第一管道与第二管道的连接处，收集部通过卡簧分别与第一管道和第二管道卡接。

进一步地，检测装置为残余气体分析仪，残余气体分析仪的检测气体探头设置在检测端口处。

应用本发明的技术方案，通过在主管道内增加导向装置，利用导向装置将检测气体引至检测装置的检测端口处，进而能够增加检测端口处的气体流量，使得检测装置检测的数据更加准确。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1示出了根据本发明实施例提供的气体分析装置的结构示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

10、主管道；20、分支管道；30、检测装置；40、导向装置；41、收集部。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。

如图1所示，本发明实施例为气体分析装置，该气体分析装置包括：主管道10、检测装置30以及导向装置40。其中，主管道10用于通入检测气体，检测装置30的检测端口与主管道10连通，导向装置40设置在主管道10内，通过导向装置40将检测气体引入至检测装置30的检测端口处。如此可增加检测气体通入至检测装置30处的流量，以便于检测装置30对检测气体进行检测。可选地，该检测装置30为残余气体分析仪，导向装置40可选用导向管。

应用本发明提供的实施例，通过在主管道10内增加导向装置40，利用导向装置40将检测气体引至检测装置30的检测端口处，进而能够增加检测端口处的气体流量，使得检测装置30检测的数据更加准确。

具体地，导向装置40包括第一导向管段和第二导向管段，第一导向管段与第二导向管段连通，检测气体依次通过第一导向管段、第二导向管段到达检测装置30的检测端口处。

在本实施例中，该气体分析装置还包括分支管道20，分支管道20的一端与主管道10的中部连通，分支管道20的另一端与检测装置30的检测端口连接。具体地，第二导向管段设置在该分支管道20内。

具体地，该主管道10具有入口端和出口端，第一导向管段的开口朝主管道10的入口端方向设置，以便于检测气体进入导向装置40内，并送入分支管道20。

可选地，为了使由导向装置40导入的气体易被检测装置30检测到，将导向装置40的一端靠近检测装置30的检测端口设置。

在本实施例中，为了进一步收集主管道10内的检测气体，在导向装置40的第一导向管段上设置有收集部41，以便于收集检测气体并将检测气体送至检测装置30的检测端口处。

可选地，第一导向管段的轴线与第二导向管段的轴线呈夹角设置，可选地，该夹角为90度。

其中，收集部41可设置为漏斗形，且直径大的一端朝向主管道10的入口端，如此能够增加进入导向装置40内的体积。也可将收集部41设置为圆盘形，且该圆盘环形设置在导向管上位于主管道10的端部。其中，环形板的直径可等于主管道10的内径，以使检测气体全部通过导向装置40进入分支管道20。

在本实施例中，该主管道10包括第一管道和第二管道，并且第一管道与第二管道相互连通，将收集部41设置在第一管道与第二管道的连接处，如此可便于工作人员对导向装置40进行安装。收集部41可通过多种方式固定在主管道10内，可通过螺钉等连接件进行固定，也可通过焊接的方式固定在主管道10内，可选地，在本实施例中，采用卡簧将收集部41分别与第一管道和第二管道卡接。

如图1所示，通入主管道10内的检测气体全部通过导向装置40进入分支管道20，从导向装置40流出后进入分支管道20，经检测装置30检测后，从分支管道20流入主管道10，最后随主管道10内的检测气体流向出口端。

通过本发明实施例提供的气体分析装置，能够提高气体分析准确率，并且，该装置结构简单，便于生产或操作。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种气体分析装置，其特征在于，所述气体分析装置包括：

主管道(10)，用于通入检测气体；

检测装置(30)，所述检测装置(30)的检测端口与所述主管道(10)连通；

导向装置(40)，设置在所述主管道(10)内，用于将所述检测气体导向到所述检测装置(30)的检测端口；

所述导向装置(40)包括设置在所述主管道(10)内的第一导向段及延伸至所述检测装置(30)的检测端口的第二导向段，所述第一导向段与所述第二导向段连通，所述第一导向段与所述第二导向段将所述主管道(10)内的检测气体导入至所述检测端口处；

分支管道(20)，所述分支管道(20)的一端与所述主管道(10)的中部连通，所述分支管道(20)的另一端与所述检测装置(30)的检测端口连接，所述第二导向段设置在所述分支管道(20)内；

所述导向装置包括设置在所述主管道(10)内的第一导向管段及设置在所述分支管道(20)内的第二导向管段，所述第一导向管段设置在所述主管道(10)内，所述第二导向管段与所述检测装置(30)的检测端口之间具有预定距离。

2.根据权利要求1所述的气体分析装置，其特征在于，所述主管道(10)具有入口端和出口端，所述第一导向段的开口朝所述主管道(10)的入口端设置。

3.根据权利要求2所述的气体分析装置，其特征在于，所述导向装置(40)包括收集部(41)，所述收集部(41)设置在所述第一导向段的开口处。

4.根据权利要求1所述的气体分析装置，其特征在于，所述第一导向段的轴线与所述第二导向段的轴线呈夹角设置。

5.根据权利要求4所述的气体分析装置，其特征在于，所述第一导向段的轴线与所述第二导向段的轴线的夹角为90度。

6.根据权利要求3所述的气体分析装置，其特征在于，所述第一导向段上设置有环形板，所述环形板为圆盘形或漏斗形，所述环形板为所述收集部(41)。

7.根据权利要求3所述的气体分析装置，其特征在于，所述主管道(10)包括第一管道和第二管道，所述第一管道与所述第二管道相互连通，所述收集部(41)设置在所述第一管道与所述第二管道的连接处，所述收集部(41)通过卡簧分别与所述第一管道和所述第二管道卡接。

8.根据权利要求1所述的气体分析装置，其特征在于，所述检测装置(30)为残余气体分析仪，所述残余气体分析仪的检测气体探头设置在所述检测端口处。