CN106946466A - 强化玻璃加工孔的方法及装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种强化玻璃加工孔的方法及装置，所述方法包括：第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光照射强化玻璃的一个表面，使第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光在强化玻璃内部靠近入射面的位置处聚焦；基于自聚焦效应，第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光在强化玻璃的内部形成间隔的多个焦点；在第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光的能量作用下，强化玻璃内部对应多个焦点处形成多个微裂纹，多个微裂纹相间隔；在入射面对应微裂纹处注入强碱溶液，强碱溶液溶蚀相邻两个微裂纹之间的强化玻璃材料，使多个此时处于间隔状态的微裂纹相连接，形成贯穿强化玻璃的孔。本申请的方法可以不破坏强化玻璃的均匀应力，使强化玻璃保持较佳地形状。

Description

强化玻璃加工孔的方法及装置

技术领域

本申请涉及强化玻璃加工领域，尤其涉及一种强化玻璃加工孔的方法及装置。

背景技术

本部分的描述仅提供与本申请公开相关的背景信息，而不构成现有技术。

强化玻璃因其具有较佳的机械性能和耐热性能而被广泛应用，例如，触摸式电子设备的显示屏和半导体封装与测试应用等。而这些部件的形成通常需要对强化玻璃采取部分精细加工，如外形切割、异形图形切割、钻孔等。

强化玻璃一般是由普通玻璃经退火强化处理，然后加热到接近软化点温度(700摄氏度左右)，再进行快速均匀的冷却得到的。经上述工艺得到的强化玻璃表面形成有均匀压应力，内部形成有张应力，从而使强化玻璃的抗弯强度和抗冲击强度较高(强化玻璃的强度约是普通退火玻璃的四倍以上)。然而，亦正是因为强化玻璃具有的上述特点，若直接对其进行切割或削磨加工，会因破坏其均匀应力而使其碎裂。

现有的加工手段，通常是在普通玻璃退火之前进行外形切割、异形图形切割、钻孔等操作，之后再进行退火，形成所需求的强化玻璃。通过这种加工手段形成的强化玻璃的形状、材质均匀度以及切割形状位置等容易产生变化，同时增加了加工成本。目前也有使用激光直接切割，但是对于孔的激光加工边缘存在较大玻璃熔边，同时由于激光加工区域和未加工区域存在一定温度梯度，进而形成热应力和形变，会致使部份玻璃边缘存在崩口，产生不可恢复的裂纹源，影响材料后期使用强度。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

发明内容

有鉴于此，本申请提供了一种强化玻璃加工孔的方法及装置，以在对强化玻璃的钻孔加工时，可以不破坏强化玻璃的均匀应力，使强化玻璃保持较佳地形状。

为了实现上述目的，本申请提供了如下的技术方案。

一种强化玻璃加工孔的方法，包括：

选取强化玻璃的一个表面作为入射面，第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光照射所述入射面，使所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃内部靠近所述入射面的位置处聚焦；基于自聚焦效应，所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃的内部形成间隔的多个焦点；在所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光的能量作用下，所述强化玻璃内部对应多个所述焦点处形成多个微裂纹，多个所述微裂纹相间隔；

在所述入射面对应所述微裂纹处注入强碱溶液，所述强碱溶液溶蚀相邻两个所述微裂纹之间的强化玻璃材料，使多个此时处于间隔状态的所述微裂纹相连接，形成贯穿所述强化玻璃的孔。

优选地，在所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光照射所述入射面的步骤中包括：

第一激光器发出第一超短脉冲激光，第二激光器发出第一超短脉冲激光；

控制所述第一超短脉冲激光和所述第一超短脉冲激光照射所述入射面的角度，使所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃内部靠近所述入射面的位置处聚焦。

优选地，所述第一激光器包括如下的任意一种：皮秒激光器、飞秒激光器、亚皮秒激光器；

相应地，所述第一超短脉冲激光的脉宽包括如下的任意一种：皮秒、飞秒、亚皮秒。

优选地，所述第二激光器包括如下的任意一种：皮秒激光器、飞秒激光器、亚皮秒激光器；

相应地，所述第二超短脉冲激光的脉宽包括如下的任意一种：皮秒、飞秒、亚皮秒。

优选地，在所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光照射所述入射面的步骤中包括：

激光器发出超短脉冲激光；

光学多焦点聚焦装置将所述超短脉冲激光分割成第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光；

使所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃内部靠近所述入射面的位置处聚焦。

优选地，在使所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃内部靠近所述入射面的位置处聚焦的步骤中，

所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃内部靠近所述入射面的位置处聚焦形成起始焦点；

相应地，所述强化玻璃对应所述起始焦点处形成起始微裂纹，所述起始微裂纹沿所述强化玻璃厚度方向的一端顶接所述入射面。

优选地，在第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光照射所述入射面的步骤之前，所述方法还包括：使用压缩气体对所述入射面进行吹扫清理操作，以清除所述入射面上的杂质。

优选地，所述强碱溶液的PH值大于或等于12，所述强碱溶液的溶质包括如下的任意一种：氢氧化钾、氢氧化钠。

优选地，在所述入射面对应所述微裂纹处注入强碱溶液的步骤中，所述强碱溶液对形成的所述孔的边缘进行溶解打磨，以使所述孔的边缘光滑。

一种强化玻璃加工孔的装置，包括：超短脉冲激光源模块和强碱溶液注入模块；

选取强化玻璃的一个表面作为入射面，所述超短脉冲激光源模块产生的第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光照射所述入射面，使所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃内部靠近所述入射面的位置处聚焦；基于自聚焦效应，所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃的内部形成间隔的多个焦点；在所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光的能量作用下，所述强化玻璃对应多个所述焦点处形成多个微裂纹，多个所述微裂纹相间隔；

所述强碱溶液注入模块在所述入射面对应所述微裂纹处注入强碱溶液，所述强碱溶液溶蚀相邻两个所述微裂纹之间的强化玻璃材料，使多个此时处于间隔状态的所述微裂纹相连接，形成贯穿所述强化玻璃的孔。

借由以上的技术方案，本申请的强化玻璃加工孔的方法，利用超短脉冲激光在强化玻璃内部的自聚焦效应，从而可以使第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光能够在强化玻璃内部形成多个焦点；且由于第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光峰值功率极大，从而在第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光的作用下，对应多个焦点处可以形成微裂纹；同时，结合化学腐蚀的方式，向微裂纹中注入的强碱溶液可以溶蚀间隔在微裂纹之间的强化玻璃材料，从而使间隔的多个微裂纹连接起来，形成贯穿强化玻璃的孔。

由于第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光在强化玻璃内部形成的焦点光斑较小，如此，超短脉冲激光和第二超短脉冲激光的能量能够较佳地作用在焦点附近，从而在强化玻璃中形成的热应力较小，大大降低因热应力而引发强化玻璃应力失衡的现象，如此可以减小残余应力、冷作硬化和热影响区对强化玻璃的影响，使强化玻璃在形成孔之后，仍然能保持较佳地形状，也可以使形成的孔具有良好的孔壁质量。

其它应用领域将根据本文中提供的描述而变得明显。本发明内容的描述和具体示例仅旨在例示的目的，并非旨在限制本发明的范围。

附图说明

在此描述的附图仅用于解释目的，而不意图以任何方式来限制本申请公开的范围。另外，图中的各部件的形状和比例尺寸等仅为示意性的，用于帮助对本申请的理解，并不是具体限定本申请各部件的形状和比例尺寸。本领域的技术人员在本申请的教导下，可以根据具体情况选择各种可能的形状和比例尺寸来实施本申请。在附图中：

图1为本申请实施方式的强化玻璃加工孔的方法的流程图；

图2为超短脉冲激光在强化玻璃中聚焦形成焦点的示意图；

图3为强化玻璃内部在焦点处聚焦形成微裂纹的示意图；

图4为强碱溶液注入微裂纹的示意图；

图5为强碱溶液溶解多个微裂纹之间的强化玻璃后的示意图；

图6为强化玻璃中形成孔的示意图上；

图7为本申请实施方式的强化玻璃加工孔的装置的模块图。

具体实施方式

需要说明的是，当一个零部件被称为“设置于”另一个零部件，它可以直接在另一个零部件上或者也可以存在居中的零部件。当一个零部件被认为是“连接”另一个零部件，它可以是直接连接到另一个零部件或者可能同时存在居中零部件。本文所使用的术语“竖直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请一并参阅图1至图6，本申请实施方式提供了一种强化玻璃加工孔的方法，所述方法可以包括如下步骤：

步骤S10：选取强化玻璃6的一个表面作为入射面，第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2照射所述入射面，使所述第一超短脉冲激光1和所述第二超短脉冲激光2在所述强化玻璃6内部靠近所述入射面的位置处聚焦；基于自聚焦效应，所述第一超短脉冲激光1和所述第二超短脉冲激光2在所述强化玻璃6的内部形成间隔的多个焦点3；在所述第一超短脉冲激光1和所述第二超短脉冲激光2的能量作用下，所述强化玻璃6内部对应多个所述焦点3处形成多个微裂纹4，多个所述微裂纹4相间隔；

步骤S20：在所述入射面对应所述微裂纹4处注入强碱溶液，所述强碱溶液溶蚀相邻两个所述微裂纹4之间的强化玻璃材料，使多个此时处于间隔状态的所述微裂纹4相连接，形成贯穿所述强化玻璃6的孔5。

本申请实施方式的强化玻璃加工孔的方法，利用超短脉冲激光在强化玻璃6内部的自聚焦效应，从而可以使第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2能够在强化玻璃6内部形成多个焦点3；且由于第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2峰值功率极大，从而在第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2的能量作用下，对应多个焦点3处可以形成微裂纹4；同时，结合化学腐蚀的方式，向微裂纹4中注入的强碱溶液可以溶蚀间隔在微裂纹4之间的强化玻璃材料，从而使间隔的多个微裂纹4连接起来，形成贯穿强化玻璃6的孔5。

在本实施方式中，由于第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2在强化玻璃6内部形成的焦点3光斑较小，如此，超短脉冲激光和第二超短脉冲激光2的能量能够较佳地作用在焦点3附近，从而在强化玻璃6中形成的热应力较小，大大降低因热应力而引发强化玻璃6应力失衡的现象，如此可以减小残余应力、冷作硬化和热影响区对强化玻璃6的影响，使强化玻璃6在形成孔5之后，仍然能保持较佳地形状，也可以使形成的孔5具有良好的孔5壁质量。

如图2所示，强化玻璃6沿其厚度方向可以具有相背对的第一表面61和第二表面62，以及围设在第一表面61和第二表面62之间的至少一个侧表面。例如，当强化玻璃6呈圆形板状时，第一表面61和第二表面62之间具有一个呈环形的侧表面；或者，当强化玻璃6呈方形板状时，第一表面61和第二表面62之间具有四个呈环形的侧表面。实际中，可以根据需要在强化玻璃6上加工的孔5的位置，而适应性的调整作为入射面的表面。

具体的，举例为，当需要在强化玻璃6上加工沿其厚度方向的孔时，可以将第一表面61和第二表面62中的任意一个作为所述入射面，相应地，第一表面61和第二表面62中的另一个作为出射面；或者，当需要在强化玻璃6的侧壁上加工侧孔时，可以将侧表面作为所述入射面。因此，通过上述举例说明，本申请技术方案可以实现在强化玻璃6的任意位置处加工孔，操作较为灵活。

图2示意性的示出了需要在强化玻璃6上加工沿其厚度方向的孔5，并将第一表面61作为所述入射面。但是应当理解的是，本申请的保护范围不因此示例而受到限制。

在本实施方式中，第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2在强化玻璃6内部的自聚焦效应的原理如下：强化玻璃6受第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2照射时，强化玻璃6的折射率可以发生与第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2的光强度相关的变化。当第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2的光强度在强化玻璃6横截面的分布是高斯形(即钟形)时，且第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2的光强度足够产生非线性效应的情况下，强化玻璃6的折射率的横向分布也是高斯形状的。从而，强化玻璃6能够会聚第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2，使第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2的光束在强化玻璃6内部发生会聚。

基于上述的自聚焦效应，首先可以产生第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2，使第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2聚焦于强化玻璃6内部靠近入射面的位置处，第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2在该处聚焦后开始发散，由于自聚焦效应再次聚焦，周而复始，从而在强化玻璃6的内部形成一系列激光聚焦形成的焦点3。随后，第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2射出强化玻璃6并发散。

在一个实施方式中，第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2可以分别由两个激光器产生并发出，即第一激光器发出第一超短脉冲激光1，第二激光器发出第二超短脉冲激光2，通过控制第一超短脉冲激光1和第一超短脉冲激光1照射入射面的角度，使第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2在强化玻璃6内部靠近入射面的位置处聚焦。

在本实施方式中，第一激光器和第二激光器可以包括如下的任意一种：皮秒激光器、飞秒激光器、亚皮秒激光器；相应地，第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2的脉宽可以包括如下的任意一种：飞秒、皮秒、亚皮秒。

在本实施方式中，超短脉冲激光一般是指脉冲时间宽度小于10^-12秒的脉冲激光。其中，皮秒激光器发出的超短脉冲激光的脉冲时间宽度为10^-12秒量级，飞秒激光器发出的超短脉冲激光的脉冲时间宽度为10^-15秒量级，亚皮秒激光器发出的超短脉冲激光的脉冲时间宽度为10^-13秒量级。

超短脉冲激光的峰值功率如下：

P＝E/Δτ (1)

其中，

P-峰值功率；

E-脉冲能量；

Δτ-指脉冲时间宽度。

因此可知，超短脉冲激光的峰值功率与脉冲时间宽度呈反比关系，因此，超短脉冲激光的峰值功率较大，有利于强化玻璃6内部的多个焦点3处形成微裂纹4。

进一步地，由于超短脉冲激光的峰值功率较大，在强化玻璃6内部的多个焦点3处的能量较高，可以将强化玻璃6内部的多个焦点3附近的材料气化，产生等离子体，这样孔5的加工效率较高，最终得到的孔5的边缘质量较佳，孔5壁较为光滑，不会在孔5的周围产生裂纹，热影响较少，对强化玻璃材料的损伤也较少。

在另一个实施方式中，第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2也可以由同一个激光器发出的。具体的，激光器发出超短脉冲激光，由光学多焦点聚焦装置将超短脉冲激光分割成第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2；随后，通过控制第一超短脉冲激光1和第一超短脉冲激光1照射入射面的角度，使第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2在强化玻璃6内部靠近入射面的位置处聚焦。

在本实施方式中，光学多焦点聚焦装置可以采用任意合适的现有构造，本申请对此不作限定。

如图3所示，在一个实施方式中，在使第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2在强化玻璃6内部靠近入射面的位置处聚焦的步骤中，第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2在强化玻璃6内部靠近入射面的位置处聚焦形成起始焦点31；相应地，强化玻璃6对应起始焦点31处形成起始微裂纹41，起始微裂纹41沿强化玻璃6厚度方向的一端顶接入射面。

在本实施方式中，通过第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2在强化玻璃6内部靠近入射面的位置处聚焦形成起始焦点31，并使强化玻璃6对应起始焦点31处形成一端顶接入射面的起始微裂纹41，从而便于后续强碱溶液能够经该起始微裂纹41进入强化玻璃6内部，完成对间隔在多个其他微裂纹4之间的强化玻璃材料的溶解腐蚀，为强化玻璃材料的溶解和腐蚀提供突破口。

图3示意性的示出了强化玻璃6的上表面为入射面，第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2在强化玻璃6内部靠近该入射面的位置处聚焦形成焦点3即始焦点31位于多个其它焦点3的最上端。则该起始焦点31的上端顶接强化玻璃6的上表面，后续可以在强化玻璃6的上表面对应该起始焦点31的位置处注入强碱溶液，强碱溶液可以通过该起始焦点31进入强化玻璃6内部，并逐渐完成对位于该起始焦点31下方的多个其它焦点3之间间隔的强化玻璃材料进行溶蚀。

通常，所有物质均具有一定的吸光性。在某些情况下，当强化玻璃6的入射面附着有杂质时，入射的第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2可能会被杂质部分或全部被吸收，从而可能导致第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2射入强化玻璃6内部的强度发生衰减；严重时，可能造成第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2无法射入强化玻璃6内部。

因此，在一个实施方式中，在第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2照射入射面的步骤之前，方法还可以包括：使用压缩气体对入射面进行吹扫清理操作，以清除入射面上的杂质。

在本实施方式中，压缩气体可以具有较大的喷射压强，其可以对强化玻璃6的入射面进行吹扫，从而清楚入射面上可能存在杂质，从而可以尽量避免因杂质吸光而导致第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2射入强化玻璃6内部的强度发生衰减，或者，第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2无法射入强化玻璃6内部的发生。

在本申请中，强碱溶液可以与间隔在多个微裂纹4之间的强化玻璃材料发生化学反应，从而达到连接多个微裂纹4，形成贯穿强化玻璃6的孔5的目的。一般地，强碱溶液与强化玻璃材料发生化学反应的速度与强碱溶液的PH值有较大关系。具体的，强碱溶液与强化玻璃材料发生化学反应的速度与强碱溶液的PH值呈正相关关系。因此，为了提高强碱溶液与强化玻璃材料发生化学反应的速度，应适当采用PH值较大的强碱溶液。实践证明，当强碱溶液的PH值大于或等于12时，强碱溶液与强化玻璃材料发生化学反应的速度较快，孔5的加工效率得以提高。

此外，强碱溶液的溶质对强碱溶液的PH值有直接影响。一般地，相同浓度的强碱溶液，强碱溶液的溶质不同，溶液中对PH值贡献的氢氧根离子的浓度可能也不同。因此，为了应尽量选用在溶液中电离程度较大的溶质，例如氢氧化钾或氢氧化钠。

本申请实施方式的强化玻璃加工孔的方法，利用超短脉冲激光在强化玻璃6内部的自聚焦效应，从而可以使第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2能够在强化玻璃6内部形成多个焦点3；且由于第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2峰值功率极大，从而在第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2的作用下，对应多个焦点3处可以形成微裂纹4；同时，结合化学腐蚀的方式，向微裂纹4中注入的强碱溶液可以溶蚀间隔在微裂纹4之间的强化玻璃材料，从而使间隔的多个微裂纹4连接起来，形成贯穿强化玻璃6的孔5。

在本实施方式中，由于第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2在强化玻璃6内部形成的焦点3光斑较小，使第一超短脉冲激光1和第二超短脉冲激光2的能量能够较佳地作用在焦点3附近，从而在强化玻璃6中形成的热应力较小，大大降低因热应力而引发强化玻璃6内部应力失衡的现象，如此进一步减小残余应力、冷作硬化和热影响区对强化玻璃6的影响，从而使强化玻璃6在形成孔5之后，仍然能保持较佳地形状，也可以使形成的孔5具有良好的壁面质量。

实践证明，利用本申请的强化玻璃加工孔的方法，得到的孔5的壁面光滑，无微小裂纹，对强化玻璃6的强度影响极小，是一种高效高品质的孔的加工方法。

基于同一构思，本申请实施方式还提供了一种强化玻璃加工孔的装置，如下面的实施方式所述。由于强化玻璃加工孔的装置解决问题的原理，以及能够取得的技术效果与强化玻璃加工孔的方法相似，因此强化玻璃加工孔的装置的实施可以参见上述强化玻璃加工孔的方法的实施，重复之处不再赘述。

请参阅图7，本申请实施方式还提供了一种强化玻璃加工孔的装置，其可以包括：超短脉冲激光源模块10和强碱溶液注入模块20；选取强化玻璃的一个表面作为入射面，所述超短脉冲激光源模块10产生的第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光照射所述入射面，使所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃内部靠近所述入射面的位置处聚焦；基于自聚焦效应，所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃的内部形成间隔的多个焦点；在所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光的能量作用下，所述强化玻璃对应多个所述焦点处形成多个微裂纹，多个所述微裂纹相间隔；所述强碱溶液注入模块20在所述入射面对应所述微裂纹处注入强碱溶液，所述强碱溶液溶蚀相邻两个所述微裂纹之间的强化玻璃材料，使多个此时处于间隔状态的所述微裂纹相连接，形成贯穿所述强化玻璃的孔。

本实施方式提供的强化玻璃加工孔的装置与本申请强化玻璃加工孔的方法相对应，可以实现本申请强化玻璃加工孔的装置方法的技术效果，在此不再赘述。

在本实施方式中，超短脉冲激光源模块10和强碱溶液注入模块20可采用任意合适的现有构造。具体的，举例为，超短脉冲激光源模块10可以为皮秒激光器、飞秒激光器、亚皮秒激光器中的任意一种；强碱溶液注入模块20可以为能够容置强碱溶液，并将强碱溶液注射出的装置，例如可以为由不与强碱溶液发生化学反应的材料制成的注射器等。

需要说明的是，在本实施方式中，为清楚简要地说明本实施方式所提供的技术方案，描述以上装置时以功能分为各种模块分别描述，说明书附图也进行了相应简化。但是应该理解，本申请实施方式在范围上并不因此而受到限制。

需要说明的是，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的和区别类似的对象，两者之间并不存在先后顺序，也不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

本文引用的任何数字值都包括从下限值到上限值之间以一个单位递增的下值和上值的所有值，在任何下值和任何更高值之间存在至少两个单位的间隔即可。举例来说，如果阐述了一个部件的数量或过程变量(例如温度、压力、时间等)的值是从1到90，优选从21到80，更优选从30到70，则目的是为了说明该说明书中也明确地列举了诸如15到85、22到68、43到51、30到32等值。对于小于1的值，适当地认为一个单位是0.0001、0.001、0.01、0.1。这些仅仅是想要明确表达的示例，可以认为在最低值和最高值之间列举的数值的所有可能组合都是以类似方式在该说明书明确地阐述了的。

除非另有说明，所有范围都包括端点以及端点之间的所有数字。与范围一起使用的“大约”或“近似”适合于该范围的两个端点。因而，“大约20到30”旨在覆盖“大约20到大约30”，至少包括指明的端点。

应该理解，以上描述是为了进行图示说明而不是为了进行限制。通过阅读上述描述，在所提供的示例之外的许多实施方式和许多应用对本领域技术人员来说都将是显而易见的。因此，本教导的范围不应该参照上述描述来确定，而是应该参照前述权利要求以及这些权利要求所拥有的等价物的全部范围来确定。在前述权利要求中省略这里公开的主题的任何方面并不是为了放弃该主体内容，也不应该认为申请人没有将该主题考虑为所公开的申请主题的一部分。

Claims (10)

1.一种强化玻璃加工孔的方法，其特征在于，包括：

选取强化玻璃的一个表面作为入射面，第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光照射所述入射面，使所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃内部靠近所述入射面的位置处聚焦；基于自聚焦效应，所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃的内部形成间隔的多个焦点；在所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光的能量作用下，所述强化玻璃内部对应多个所述焦点处形成多个微裂纹，多个所述微裂纹相间隔；

在所述入射面对应所述微裂纹处注入强碱溶液，所述强碱溶液溶蚀相邻两个所述微裂纹之间的强化玻璃材料，使多个此时处于间隔状态的所述微裂纹相连接，形成贯穿所述强化玻璃的孔。

2.如权利要求1所述的强化玻璃加工孔的方法，其特征在于，在所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光照射所述入射面的步骤中包括：

第一激光器发出第一超短脉冲激光，第二激光器发出第一超短脉冲激光；

控制所述第一超短脉冲激光和所述第一超短脉冲激光照射所述入射面的角度，使所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃内部靠近所述入射面的位置处聚焦。

3.如权利要求2所述的强化玻璃加工孔的方法，其特征在于，所述第一激光器包括如下的任意一种：皮秒激光器、飞秒激光器、亚皮秒激光器；

相应地，所述第一超短脉冲激光的脉宽包括如下的任意一种：皮秒、飞秒、亚皮秒。

4.如权利要求2所述的强化玻璃加工孔的方法，其特征在于，所述第二激光器包括如下的任意一种：皮秒激光器、飞秒激光器、亚皮秒激光器；

相应地，所述第二超短脉冲激光的脉宽包括如下的任意一种：皮秒、飞秒、亚皮秒。

5.如权利要求1所述的强化玻璃加工孔的方法，其特征在于，在所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光照射所述入射面的步骤中包括：

激光器发出超短脉冲激光；

光学多焦点聚焦装置将所述超短脉冲激光分割成第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光；

使所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃内部靠近所述入射面的位置处聚焦。

6.如权利要求1所述的强化玻璃加工孔的方法，其特征在于，在使所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃内部靠近所述入射面的位置处聚焦的步骤中，

所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃内部靠近所述入射面的位置处聚焦形成起始焦点；

相应地，所述强化玻璃对应所述起始焦点处形成起始微裂纹，所述起始微裂纹沿所述强化玻璃厚度方向的一端顶接所述入射面。

7.如权利要求1所述的强化玻璃加工孔的方法，其特征在于，在第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光照射所述入射面的步骤之前，所述方法还包括：使用压缩气体对所述入射面进行吹扫清理操作，以清除所述入射面上的杂质。

8.如权利要求1所述的强化玻璃加工孔的方法，其特征在于，所述强碱溶液的PH值大于或等于12，所述强碱溶液的溶质包括如下的任意一种：氢氧化钾、氢氧化钠。

9.如权利要求1所述的强化玻璃加工孔的方法，其特征在于，在所述入射面对应所述微裂纹处注入强碱溶液的步骤中，所述强碱溶液对形成的所述孔的边缘进行溶解打磨，以使所述孔的边缘光滑。

10.一种强化玻璃加工孔的装置，其特征在于，包括：超短脉冲激光源模块和强碱溶液注入模块；

选取强化玻璃的一个表面作为入射面，所述超短脉冲激光源模块产生的第一超短脉冲激光和第二超短脉冲激光照射所述入射面，使所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃内部靠近所述入射面的位置处聚焦；基于自聚焦效应，所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光在所述强化玻璃的内部形成间隔的多个焦点；在所述第一超短脉冲激光和所述第二超短脉冲激光的能量作用下，所述强化玻璃对应多个所述焦点处形成多个微裂纹，多个所述微裂纹相间隔；

所述强碱溶液注入模块在所述入射面对应所述微裂纹处注入强碱溶液，所述强碱溶液溶蚀相邻两个所述微裂纹之间的强化玻璃材料，使多个此时处于间隔状态的所述微裂纹相连接，形成贯穿所述强化玻璃的孔。