CN106888518B - 自激判断方法、判断装置及半导体微波设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种自激判断方法、判断装置及半导体微波设备，其中，功率放大器的自激判断方法，包括：检测功率放大器的实际输出功率；确定实际输出功率与设定输出功率之间的差值；如果差值在预设时间内始终大于预设差值阈值，则减小功率放大器的设定输出功率，并确定功率放大器的实际输出功率是否随着设定输出功率的减小而始终不变；在实际输出功率始终不变的情况下，将设定输出功率减小为零，确定是否检测到实际输出功率，并在检测到实际输出功率的情况下，确定功率放大器处于自激状态。通过本发明的技术方案，能够判断功率放大器是否处于自激状态，以减小功率放大器的自激问题带来损害的可能性。

Description

自激判断方法、判断装置及半导体微波设备

技术领域

本发明涉及半导体器件领域，具体而言，涉及一种功率放大器的自激判断方法、一种功率放大器的自激判断装置以及一种半导体微波设备。

背景技术

目前，半导体器件的应用越来越广泛，但是，在半导体器件的应用过程中，由于半导体器件的特性，存在着一些问题。比如，功率放大器在使用过程中，可能会发生自激问题。如果功率放大器出现自激问题，则其输出功率远大于额定功率(超过额定功率的120％甚至150％)，容易损坏系统设备，并且难以查找出问题所在。

因此，如何判断功率放大器处于自激状态，成为亟待解决的问题。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本发明的一个目的在于提出了一种功率放大器的自激判断方法。

本发明的又一个目的在于提出了一种功率放大器的自激判断装置。

本发明的再一个目的在于提出了一种半导体微波设备。

为实现上述目的，根据本发明的第一方面的实施例，提出了一种功率放大器的自激判断方法，包括：检测功率放大器的实际输出功率；确定实际输出功率与设定输出功率之间的差值；如果差值在预设时间内始终大于预设差值阈值，则减小功率放大器的设定输出功率，并确定功率放大器的实际输出功率是否随着设定输出功率的减小而始终不变；以及在实际输出功率始终不变的情况下，将设定输出功率减小为零，确定是否检测到实际输出功率，并在检测到实际输出功率的情况下，确定功率放大器处于自激状态。

在上述技术方案中，通过检测功率放大器的实际输出功率，计算出上述功率放大器的实际输出功率与设定输出功率之间的差值，如果上述差值在预设时间内始终大于预设差值阈值，则控制减小功率放大器的设定输出功率，如果功率放大器的输出功率随着设定输出功率的减小而始终不变，则控制将功率放大器的设定输出功率减小为零，如果在功率放大器的设定输出功率减小为零时，检测到功率放大器有实际输出功率，则可以确定上述功率放大器处于自激状态。通过功率放大器的实际输出功率与设定输出功率之间的变化关系，能够判断功率放大器是否处于自激状态，以避免功率放大器的自激问题带来的损害。

根据本发明的上述实施例的自激判断方法，还可以具有以下技术特征：

根据本发明的一个实施例，优选地，通过控制信号源的输出信号来减小设定输出功率。

在上述技术方案中，通过对信号源的输出信号进行增大或减小，可以增大或减小功率放大器的输入功率，以增大或减小功率放大器的输出功率，从而通过控制减小信号源的输出信号可以减小功率放大器的设定输出功率，以进一步判断功率放大器是否处于自激状态。

根据本发明的一个实施例，优选地，进一步包括：如果确定功率放大器处于自激状态，则控制断开功率放大器的电源。

在上述技术方案中，通过在功率放大器处于自激状态时控制断开功率放大器的电源，以避免功率放大器在自激状态下发生的震荡使其输出功率远远超出额定功率，损坏系统设备，因此，控制断开功率放大器的电源，停止功率放大器的工作，减小由于功率放大器的自激问题导致损失的可能性。

根据本发明的一个实施例，优选地，进一步包括：如果确定功率放大器处于自激状态，则发出功率放大器处于自激状态的提示信息。

在上述技术方案中，通过在确定功率放大器处于自激状态时，发出功率放大器处于自激状态的提示信息，可以在功率放大器发生自激问题时，使用户得知问题的来源，方便维修人员快速找到故障点，以提升用户的使用体验。

根据本发明的一个实施例，优选地，进一步包括：如果确定随着设定输出功率的减小，功率放大器的实际输出功率不是始终不变，则发出功率放大器的输出功率存在误差的提示信息；或者在将设定输出功率减小为零时，如果没有检测到实际输出功率，则发出功率放大器的输出功率存在误差的提示信息。

在上述技术方案中，在实际输出功率与设定输出功率之间的差值在预设时间内始终大于预设差值阈值时，通过控制对功率放大器的设定输出功率进行减小，如果功率放大器的实际输出功率不是随着设定输出功率的减小而始终不变，则认为功率放大器的输出功率存在误差，此时发出功率放大器的输出功率存在误差的提示信息，如果在功率放大器的设定输出功率减小为零时，没有检测到实际输出功率，由于实际输出功率与设定输出功率之间的差值在预设时间内始终大于预设差值阈值，则认为功率放大器的输出功率存在误差，因此发出功率放大器的输出功率存在误差的提示信息，以便用户了解功率放大器的问题所在，以便进行进一步的操作。

根据本发明第二方面的实施例，还提出了一种功率放大器的自激判断装置，包括：检测单元，用于检测功率放大器的实际输出功率；差值确定单元，用于确定实际输出功率与设定输出功率之间的差值；控制单元，用于在差值在预设时间内始终大于预设差值阈值的情况下，减小功率放大器的设定输出功率，并确定功率放大器的实际输出功率是否随着设定输出功率的减小而始终不变；以及自激确定单元，用于在实际输出功率始终不变的情况下，将设定输出功率减小为零，确定检测单元是否检测到实际输出功率，并在检测到实际输出功率的情况下，确定功率放大器处于自激状态。

在上述技术方案中，通过检测功率放大器的实际输出功率，计算出上述功率放大器的实际输出功率与设定输出功率之间的差值，如果上述差值在预设时间内始终大于预设差值阈值，则控制减小功率放大器的设定输出功率，如果功率放大器的输出功率随着设定输出功率的减小而始终不变，则控制将功率放大器的设定输出功率减小为零，如果在功率放大器的设定输出功率减小为零时，检测到功率放大器有实际输出功率，则可以确定上述功率放大器处于自激状态。通过功率放大器的实际输出功率与设定输出功率之间的变化关系，能够判断功率放大器是否处于自激状态，以避免功率放大器的自激问题带来的损害。

根据本发明的一个实施例，优选地，还包括：信号源，控制单元通过控制信号源的输出信号来减小设定输出功率。

在上述技术方案中，通过对信号源的输出信号进行增大或减小，可以增大或减小功率放大器的输入功率，从而可以通过控制减小信号源的输出信号来减小功率放大器的设定输出功率，以进一步判断功率放大器是否处于自激状态。

根据本发明的一个实施例，优选地，控制单元还用于：在确定功率放大器处于自激状态时，控制断开功率放大器的电源。

在上述技术方案中，通过在功率放大器处于自激状态时控制断开功率放大器的电源，以避免功率放大器在自激状态下发生的震荡使其输出功率远远超出额定功率，损坏系统设备，因此，控制断开功率放大器的电源，停止功率放大器的工作，减小由于功率放大器的自激问题导致损失的可能性。

根据本发明的一个实施例，优选地，还包括：第一提示单元，用于确定功率放大器处于自激状态时，发出功率放大器处于自激状态的提示信息。

在上述技术方案中，通过在确定功率放大器处于自激状态时，发出功率放大器处于自激状态的提示信息，可以在功率放大器发生自激问题时，使用户得知问题的来源，方便维修人员快速找到故障点，以提升用户的使用体验。

根据本发明的一个实施例，优选地，还包括：第二提示单元，用于在确定随着设定输出功率的减小，功率放大器的实际输出功率不是始终不变时，发出功率放大器的输出功率存在误差的提示信息；或者在将设定输出功率减小为零时，在没有检测到实际输出功率的情况下，发出功率放大器的输出功率存在误差的提示信息。

在上述技术方案中，在实际输出功率与设定输出功率之间的差值在预设时间内始终大于预设差值阈值时，通过控制对功率放大器的设定输出功率进行减小，如果功率放大器的实际输出功率不是随着设定输出功率的减小而始终不变，则认为功率放大器的输出功率存在误差，此时发出功率放大器的输出功率存在误差的提示信息，如果在功率放大器的设定输出功率减小为零时，没有检测到实际输出功率，由于实际输出功率与设定输出功率之间的差值在预设时间内始终大于预设差值阈值，则认为功率放大器的输出功率存在误差，因此发出功率放大器的输出功率存在误差的提示信息，以便用户了解功率放大器的问题所在，以便进行进一步的操作。

根据本发明第三方面的实施例，还提出了一种半导体微波设备，包括：腔体；如第二方面实施例中任一项提出的功率放大器的自激判断装置；信号源，用于产生微波信号，并将微波信号发送至功放；功率放大器，用于将来自信号源的微波信号进行放大并发射至腔体；以及电源模块，用于在功率放大器的自激判断装置的控制下为信号源模块和功率放大器供电。

在上述技术方案中，功率放大器将信号源产生的微波信号进行放大并发射至腔体，电源在功率放大器的自激判断装置的控制下为功率放大器和信号源供电，通过功率放大器的自激判断装置对功率放大器的实际输出功率与设定输出功率在不同情况下的判断，能够确定功率放大器是否处于自激状态，以便及时停止功率放大器的工作，防止功率放大器的自激问题对上述半导体微波设备造成损坏。其中，具体的判断方法如上述第一方面实施例中任一项提出的通过功率放大器的自激判断方法，具体的判断装置如上述第二方面实施例中任一项提出的通过功率放大器的自激判断装置，在此不再赘述。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1示出了根据本发明的一个实施例的功率放大器的自激判断方法的示意流程图；

图2示出了根据本发明的一个实施例的功率放大器的自激判断装置的示意框图；

图3示出了根据本发明的一个实施例的半导体微波设备的示意框图；

图4示出了根据本发明的一个实施例的半导体微波炉的示意框图；

图5示出了根据本发明的一个实施例的半导体微波炉的通信过程的示意框图；

图6示出了根据本发明的一个实施例的半导体微波炉的自激判断方法的示意流程图。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本发明的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本发明进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是，本发明还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本发明的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

图1示出了根据本发明的一个实施例的功率放大器的自激判断方法的示意流程图。

如图1所示，根据本发明的一个实施例的功率放大器的自激判断方法，包括：步骤S102，检测功率放大器的实际输出功率；步骤S104，确定实际输出功率与设定输出功率之间的差值；步骤S106，如果差值在预设时间内始终大于预设差值阈值，则减小功率放大器的设定输出功率，并确定功率放大器的实际输出功率是否随着设定输出功率的减小而始终不变；以及步骤S108，在实际输出功率始终不变的情况下，将设定输出功率减小为零，确定是否检测到实际输出功率，并在检测到实际输出功率的情况下，确定功率放大器处于自激状态。

在上述实施例中，通过检测功率放大器的实际输出功率，计算出上述功率放大器的实际输出功率与设定输出功率之间的差值，如果上述差值在预设时间内始终大于预设差值阈值，则控制减小功率放大器的设定输出功率，如果功率放大器的输出功率随着设定输出功率的减小而始终不变，则控制将功率放大器的设定输出功率减小为零，如果在功率放大器的设定输出功率减小为零时，检测到功率放大器有实际输出功率，则可以确定上述功率放大器处于自激状态。通过功率放大器的实际输出功率与设定输出功率之间的变化关系，能够判断功率放大器是否处于自激状态，以避免功率放大器的自激问题带来的损害。

其中，上述预设时间的确定，可以通过测试保证功率放大器在自激状态时工作上述预设时间而不损坏，可以根据本发明的实践过程来具体设定。

其中，优选地，通过控制信号源的输出信号来减小设定输出功率。通过对信号源的输出信号进行增大或减小，可以增大或减小功率放大器的输入功率，以增大或减小功率放大器的输出功率，从而通过控制减小信号源的输出信号可以减小功率放大器的设定输出功率，以进一步判断功率放大器是否处于自激状态。

其中，优选地，控制信号源的输出信号以减小设定输出功率，可以通过以下方式实现：控制信号源的输出信号使功率放大器的设定输出功率减小一档，其中，减小一档后的设定输出功率可为减小前设定输出功率的90％，也可每减小一档，设定输出功率减小额定输出功率的10％。

优选地，如果在步骤S108中确定功率放大器处于自激状态，则控制断开功率放大器的电源。

在上述实施例中，通过在功率放大器处于自激状态时控制断开功率放大器的电源，以避免功率放大器在自激状态下使其输出功率远远超出额定功率，损坏系统设备，因此，控制断开功率放大器的电源，停止功率放大器的工作，减小由于功率放大器的自激问题导致损失的可能性。

优选地，进一步包括：如果确定功率放大器处于自激状态，则发出功率放大器处于自激状态的提示信息。

在上述实施例中，通过在确定功率放大器处于自激状态时，发出功率放大器处于自激状态的提示信息，可以在功率放大器发生自激问题时，使用户得知问题的来源，方便维修人员快速找到故障点，以提升用户的使用体验。

其中，优选地，发出功率放大器处于自激状态的提示信息，可以控制输出设定的故障代码，或者控制发出报警声，还可以控制报警灯亮，可以根据本发明的实践情况具体设定。

优选地，进一步包括：如果确定随着设定输出功率的减小，功率放大器的实际输出功率不是始终不变，则发出功率放大器的输出功率存在误差的提示信息；或者在将设定输出功率减小为零时，如果没有检测到实际输出功率，则发出功率放大器的输出功率存在误差的提示信息。

在上述实施例中，在实际输出功率与设定输出功率之间的差值在预设时间内始终大于预设差值阈值时，通过控制对功率放大器的设定输出功率进行减小，如果功率放大器的实际输出功率不是随着设定输出功率的减小而始终不变，则认为功率放大器的输出功率存在误差，此时发出功率放大器的输出功率存在误差的提示信息，如果在功率放大器的设定输出功率减小为零时，没有检测到实际输出功率，由于实际输出功率与设定输出功率之间的差值在预设时间内始终大于预设差值阈值，则认为功率放大器的输出功率存在误差，因此发出功率放大器的输出功率存在误差的提示信息，以便用户了解功率放大器的问题所在，进行进一步的操作。

图2示出了根据本发明的一个实施例的功率放大器的自激判断装置的示意框图。

如图2所示，根据本发明的一个实施例的功率放大器的自激判断装置200，包括：检测单元202，用于检测功率放大器的实际输出功率；差值确定单元204，用于确定实际输出功率与设定输出功率之间的差值；控制单元206，用于在差值在预设时间内始终大于预设差值阈值的情况下，减小功率放大器的设定输出功率，并确定功率放大器的实际输出功率是否随着设定输出功率的减小而始终不变；以及自激确定单元208，用于在实际输出功率始终不变的情况下，将设定输出功率减小为零，确定检测单元是否检测到实际输出功率，并在检测到实际输出功率的情况下，确定功率放大器处于自激状态。

在上述实施例中，通过检测功率放大器的实际输出功率，计算出上述功率放大器的实际输出功率与设定输出功率之间的差值，如果上述差值在预设时间内始终大于预设差值阈值，则控制减小功率放大器的设定输出功率，如果功率放大器的输出功率随着设定输出功率的减小而始终不变，则控制将功率放大器的设定输出功率减小为零，如果在功率放大器的设定输出功率减小为零时，检测到功率放大器有实际输出功率，则可以确定上述功率放大器处于自激状态。通过功率放大器的实际输出功率与设定输出功率之间的变化关系，能够判断功率放大器是否处于自激状态，以避免功率放大器的自激问题带来的损害。

其中，上述预设时间的确定，可以通过测试保证功率放大器在自激状态时工作上述预设时间而不损坏，可以根据本发明的实践过程来具体设定。

优选地，功率放大器的自激判断装置200还包括：信号源210，控制单元206通过控制信号源210的输出信号来减小设定输出功率。

其中，优选地，通过控制信号源210的输出信号来减小设定输出功率。通过对信号源210的输出信号进行增大或减小，可以增大或减小功率放大器的输入功率，以增大或减小功率放大器的输出功率，从而通过控制减小信号源210的输出信号可以减小功率放大器的设定输出功率，以进一步判断功率放大器是否处于自激状态。

其中，控制信号源210的输出信号以减小设定输出功率，可以通过以下方式实现：控制信号源210的输出信号使功率放大器的设定输出功率减小一档，其中，减小一档后的设定输出功率可为减小前设定输出功率的90％，也可每减小一档，设定输出功率减小额定输出功率的10％。

优选地，控制单元206还用于：在确定功率放大器处于自激状态时，控制断开功率放大器的电源。

在上述实施例中，通过在功率放大器处于自激状态时控制断开功率放大器的电源，以避免功率放大器在自激状态下发生的震荡使其输出功率远远超出额定功率，损坏系统设备，因此，控制断开功率放大器的电源，停止功率放大器的工作，减小由于功率放大器的自激问题导致损失的可能性。

优选地，还包括：第一提示单元212，用于确定功率放大器处于自激状态时，发出功率放大器处于自激状态的提示信息。

在上述实施例中，通过在确定功率放大器处于自激状态时，发出功率放大器处于自激状态的提示信息，可以在功率放大器发生自激问题时，使用户得知问题的来源，方便维修人员快速找到故障点，以提升用户的使用体验。

其中，发出功率放大器处于自激状态的提示信息，可以控制输出设定的故障代码，或者控制发出报警声，还可以控制报警灯亮，可以根据本发明的实践情况具体设定。

优选地，还包括：第二提示单元214，用于在确定随着设定输出功率的减小，功率放大器的实际输出功率不是始终不变时，发出功率放大器的输出功率存在误差的提示信息；或者在将设定输出功率减小为零时，在没有检测到实际输出功率的情况下，发出功率放大器的输出功率存在误差的提示信息。

在上述实施例中，在实际输出功率与设定输出功率之间的差值在预设时间内始终大于预设差值阈值时，通过控制对功率放大器的设定输出功率进行减小，如果功率放大器的实际输出功率不是随着设定输出功率的减小而始终不变，则认为功率放大器的输出功率存在误差，此时发出功率放大器的输出功率存在误差的提示信息，如果在功率放大器的设定输出功率减小为零时，没有检测到实际输出功率，由于实际输出功率与设定输出功率之间的差值在预设时间内始终大于预设差值阈值，则认为功率放大器的输出功率存在误差，因此发出功率放大器的输出功率存在误差的提示信息，以便用户了解功率放大器的问题所在，以便进行进一步的操作。

图3示出了根据本发明的一个实施例的半导体微波设备的示意框图。

如图3所示，根据本发明的一个实施例的半导体微波设备300，包括：腔体302；如上述实施例中任一项提出的功率放大器的自激判断装置200；信号源304，用于产生微波信号，并将微波信号发送至功放；功率放大器306，用于将来自信号源304的微波信号进行放大并发射至腔体302；以及电源模块308，用于在功率放大器的自激判断装置200的控制下为信号源304和功率放大器306供电。

在上述实施例中，功率放大器306将信号源304产生的微波信号进行放大并发射至腔体302，电源模块308在功率放大器的自激判断装置200的控制下为功率放大器306和信号源304供电，通过功率放大器的自激判断装置200对功率放大器306的实际输出功率与设定输出功率在不同情况下的判断，能够确定功率放大器306是否处于自激状态，以便及时停止功率放大器306的工作，防止功率放大器306的自激问题对上述半导体微波设备300造成损坏。其中，具体的判断方法如上述实施例中任一项提出的通过功率放大器的自激判断方法，具体的判断装置如上述实施例中任一项提出的通过功率放大器的自激判断装置，在此不再赘述。

图4示出了根据本发明的一个实施例的半导体微波炉的示意框图。

图5示出了根据本发明的一个实施例的半导体微波炉的通信过程的示意框图。

以半导体微波炉作为半导体微波设备，对本发明提出的功率放大器的自激判断方法和功率放大器的自激判断装置进行具体说明。

现有微波炉是通过磁控管发射微波的，与半导体微波加热设备的原理不一样，因此所遇到的问题也不一样，比如：磁控管有跳模、磁环炸裂等问题；半导体微波加热设备会有自激问题。

如图4所示，半导体微波炉400包括控制系统402、信号模块404、功放模块406、检测模块408、直流电源410、腔体412，具体的，控制系统402相当于通过功率放大器的自激判断装置200中的控制单元206，功放模块406包括功率放大器，检测模块408相当于检测单元202，信号模块404相当于信号源304，直流电源410相当于电源模块308。

其中，如图5所示，控制系统402向信号模块404发出控制指令，用以控制信号模块404发出微波信号，信号模块404将发出的微波信号发送至功放模块406，检测模块408检测功放模块406放大后的微波信号，并将检测结果发送至控制系统402。

具体地，信号模块404作为微波源，可有一个或多个，用于产生2.4GHz～2.5GHz之间的微波信号，控制系统402控制增大或减小信号模块404产生的微波信号，信号模块404将产生的微波信号发送到功放模块406，进行放大后，发射至腔体412中，用于加热食材。检测模块408对功放模块406的输出功率进行检测，并将检测结果发送至控制系统402。直流电源410在控制系统402的控制下，向信号模块404和功放模块406供电。

另外，控制系统402还可以包括第一提示单元212和第二提示单元214，第一提示单元212用于确定功放模块406处于自激状态时，发出功放模块406处于自激状态的提示信息，第二提示单元214用于在确定随着功放模块406设定输出功率的减小，其实际输出功率不是始终不变时，发出功放模块406的输出功率存在误差的提示信息，或者在将功放模块406设定输出功率减小为零时，没有检测到实际输出功率的情况下，发出功放模块406的输出功率存在误差的提示信息。

图6示出了根据本发明的一个实施例的半导体微波炉的自激判断方法的示意流程图。

如图6所示，根据本发明的一个实施例的半导体微波炉400，对功率放大器的自激判断方法包括以下步骤：

步骤S602，运行中，检测到功率放大器的实际输出功率与设定输出功率之间的差值连续预设时间内始终大于预设差值阈值；

步骤S604，减小信号模块404输出给功率放大器的信号；

步骤S606，判断功率放大器的实际输出功率是否保持不变，若判断发生变化，则执行步骤S608，若判断保持不变，则执行步骤S610；

步骤S608，提示功率放大器的输出功率有误差，需重新校验；

步骤S610，关闭信号模块404输出给功率放大器的信号；

步骤S612，判断功率放大器是否仍有功率输出，若判断没有功率输出，则执行步骤S608，若判断仍有功率输出，则执行步骤S614；

步骤S614，关闭直流电源410的输出，并提示功率放大器处于自激状态的故障代码。

通过上述步骤，可以根据半导体微波炉的功率放大器的实际输出功率和设定输出功率之间的变化关系，确定功率放大器是否发生自激，如果发生自激，则断开功率放大器的电源，减小因为功率放大器的自激现象导致损坏半导体微波炉的可能。

以上结合附图详细说明了本发明的技术方案，本发明提出了一种功率放大器的自激判断方案，通过功率放大器的实际输出功率与设定输出功率之间的变化关系，能够判断功率放大器是否处于自激状态，以减小功率放大器的自激问题带来损害的可能性。

本发明实施例方法中的步骤可以根据实际需要进行顺序调整、合并和删减。

本发明实施例装置中的单元可以根据实际需要进行合并、划分和删减。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种功率放大器的自激判断方法，其特征在于，包括：

检测功率放大器的实际输出功率；

确定所述实际输出功率与设定输出功率之间的差值；

如果所述差值在预设时间内始终大于预设差值阈值，则减小所述功率放大器的设定输出功率，并确定所述功率放大器的实际输出功率是否随着所述设定输出功率的减小而始终不变；以及

在所述实际输出功率始终不变的情况下，将所述设定输出功率减小为零，确定是否检测到所述实际输出功率，并在检测到所述实际输出功率的情况下，确定所述功率放大器处于自激状态。

2.根据权利要求1所述的自激判断方法，其特征在于，通过控制信号源的输出信号来减小所述设定输出功率。

3.根据权利要求1所述的自激判断方法，其特征在于，进一步包括：

如果确定所述功率放大器处于自激状态，则控制断开所述功率放大器的电源。

4.根据权利要求3所述的自激判断方法，其特征在于，进一步包括：

如果确定所述功率放大器处于自激状态，则发出所述功率放大器处于自激状态的提示信息。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的自激判断方法，其特征在于，进一步包括：

如果确定随着所述设定输出功率的减小，所述功率放大器的实际输出功率不是始终不变，则发出所述功率放大器的输出功率存在误差的提示信息；或者

在将所述设定输出功率减小为零时，如果没有检测到所述实际输出功率，则发出所述功率放大器的输出功率存在误差的提示信息。

6.一种功率放大器的自激判断装置，其特征在于，包括：

检测单元，用于检测功率放大器的实际输出功率；

差值确定单元，用于确定所述实际输出功率与设定输出功率之间的差值；

控制单元，用于在所述差值在预设时间内始终大于预设差值阈值的情况下，减小所述功率放大器的设定输出功率，并确定所述功率放大器的实际输出功率是否随着所述设定输出功率的减小而始终不变；以及

自激确定单元，用于在所述实际输出功率始终不变的情况下，将所述设定输出功率减小为零，确定所述检测单元是否检测到所述实际输出功率，并在检测到所述实际输出功率的情况下，确定所述功率放大器处于自激状态。

7.根据权利要求6所述的自激判断装置，其特征在于，还包括：

信号源，所述控制单元通过控制所述信号源的输出信号来减小所述设定输出功率。

8.根据权利要求6所述的自激判断装置，其特征在于，所述控制单元还用于：

在确定所述功率放大器处于自激状态时，控制断开所述功率放大器的电源。

9.根据权利要求8所述的自激判断装置，其特征在于，还包括：

第一提示单元，用于确定所述功率放大器处于自激状态时，发出所述功率放大器处于自激状态的提示信息。

10.根据权利要求6至9中任一项所述的自激判断装置，其特征在于，还包括：

第二提示单元，用于在确定随着所述设定输出功率的减小，所述功率放大器的实际输出功率不是始终不变时，发出所述功率放大器的输出功率存在误差的提示信息；或者

在将所述设定输出功率减小为零时，在没有检测到所述实际输出功率的情况下，发出所述功率放大器的输出功率存在误差的提示信息。

11.一种半导体微波设备，其特征在于，包括：

腔体；

如权利要求6至10中任一项所述的功率放大器的自激判断装置；

信号源，用于产生微波信号，并将所述微波信号发送至所述功率放大器；

功率放大器，用于将来自所述信号源的所述微波信号进行放大并发射至所述腔体；以及

电源模块，用于在所述功率放大器的自激判断装置的控制下为所述信号源和所述功率放大器供电。

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