CN106837911B - 小功率伺服电机驱动先导式伺服插装阀及其闭环控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种小功率伺服电机驱动先导式伺服插装阀及其闭环控制方法，该插装阀利用控制丝杆及导向键将高响应、高定位精度的小功率伺服电机旋转运动转换为控制阀芯的往复运动，再通过机械位移反馈实现闭环控制，使得控制阀芯与主阀芯之间形成同向同距离运动，进而使得主阀口在伺服电机及伺服控制器的动态闭环控制下保持开口且处于平衡状态。总的说来，本发明利用小功率伺服电机的高响应、高定位精度达到伺服插装阀的高响应和高控制精度，并全程采用机械位移反馈实现闭环控制，控制成本低、精度及稳定性高。

Description

小功率伺服电机驱动先导式伺服插装阀及其闭环控制方法

技术领域

本发明涉及一种小功率伺服电机驱动先导式伺服插装阀及其闭环控制方法，属于插装阀技术领域。

背景技术

目前已有的比例伺服插装阀有两种：

1、比例电磁铁驱动液压伺服先导型插装阀，工作原理为采用比例电磁铁驱动液压伺服先导阀方式，最终控制主阀阀口位置，因此主阀及先导阀均需采用位移传感器并采用控制器进行双闭环控制才可以达到高精度控制要求。这种传统的插装阀主要缺点是：a、由于先导阀和主阀均使用位移传感器，该传感器的精度和可靠性成为该插装阀的主要故障原因之一；b、传感器成本相对较高；c、需要复杂闭环控制器及其闭环控制计算方法，调试工作量大；d、该插装阀的工作精度受控制压力、系统压力温度等因素的干扰大，导致阀的工作难以达到稳定的效果。

2、大功率伺服电机直驱插装阀，工作原理为大功率伺服电机直驱插装阀主阀芯并进行伺服控制，其主要缺点是：a、大功率伺服电机安装尺寸大，无法在插装阀集成系统中推广应用；b、大功率伺服电机伺服驱动的响应速度交底，插装阀的动态控制精度难以保证；c、大功率伺服电机的位置反馈分辨率较低，难以达到高精度控制。

鉴于此，有必要针对现有比例伺服插装阀进行改进。

发明内容

针对上述现有技术中的不足之处，本发明旨在提供一种小功率伺服电机驱动先导式伺服插装阀及其闭环控制方法，其利用小功率伺服电机的高响应、高定位精度达到伺服插装阀的高响应和高控制精度，并全程采用机械位移反馈实现闭环控制，控制成本低、精度及稳定性高。

为了实现上述目的，本发明的技术方案：一种小功率伺服电机驱动先导式伺服插装阀，其包括下端部分别具有控制油口、泄油口的主阀体、及固定配合于该主阀体中心通孔下部且同样具有中心通孔的阀套，该阀套下端部设有第一工作油口A、第二工作油口B，在所述主阀体、阀套的中心通孔上滑动配合有可控制所述第一工作油口A、第二工作油口B之间所形成主阀口通断的主阀芯，其特征在于：

所述主阀体上端具有端盖及定位于该端盖上的伺服电机，该伺服电机下方具有可与所述主阀芯上部沉孔滑动配合且由该伺服电机驱动升降的控制阀芯，

所述主阀芯顶部与所述主阀体、端盖之间具有第一油腔，且该主阀芯为阶梯轴结构，其大径轴段上轴肩与所述主阀体之间形成第三油腔、大径轴段下轴肩与所述主阀体、阀套之间形成第五油腔、次径轴段下轴肩与所述阀套之间形成有第九油腔，且所述大径轴段上轴肩、大径轴段下轴肩及次径轴段下轴肩的端面面积依次递减，

所述控制阀芯与所述主阀芯沉孔之间自上而下依次形成有第二油腔、第四油腔、第六油腔、第七油腔及第十油腔，且所述控制阀芯上具有连通所述第二油腔至所述第十油腔的第四油路，所述主阀芯上具有连通所述第四油腔至所述第三油腔的第一油路、连通所述第三油腔至所述第七油腔的第三油路；

所述阀套上具有连通所述第九油腔至所述泄油口的第五油路，所述主阀芯上具有连通所述第九油腔至所述第十油腔的第六油路；所述主阀芯上具有连通所述第五油腔至第六油腔的第二油路，且该第五油腔与所述控制油口相连通；所述主阀芯上具有连通所述第一油腔至所述第一工作油口A的第七油路；

其中，所述控制阀芯上具有可控制所述第四油腔、第六油腔之间所形成第一控制阀口通断的第一阶梯轴肩、及可控制所述第七油腔、第十油腔之间所形成第二控制阀口通断的第二阶梯轴肩。

进一步的，所述伺服电机通过电机支架定位于所述端盖上，且该伺服电机的动力输出轴连接有联轴器，该联轴器与通过轴承定位在所述电机支架上的控制丝杆连接，该控制丝杆下端与所述控制阀芯螺纹连接；所述端盖上具有可用于控制所述控制阀芯升降而不转动的导向键。

进一步的，所述伺服电机为小功率伺服电机，且该伺服电机上具有用于控制该伺服电机转向的伺服驱动器。

进一步的，所述主阀芯上端面环形面积与该主阀芯下端面环形面积相等；且所述大径轴段上轴肩的台阶面环形面积：所述大径轴段下轴肩的台阶面积环形面积：次径轴段下轴肩的台阶面环形面积＝4：2：1。

进一步的，所述主阀体、阀套之间具有第八油腔，所述泄油口与该第八油腔相通，所述第五油路两端分别连接该第八油腔与所述第九油腔。

进一步的，所述控制阀芯向上处于上极限位置时，所述主阀口开启最大位置，且所述第二控制阀口处于关闭状态；所述控制阀芯向下处于下极限位置时，所述主阀口处于关闭状态，且所述第一控制阀口也处于关闭状态。

本发明同时同开了一种前述小功率伺服电机驱动先导式伺服插装阀的闭环控制方法，其包括

S1、伺服电机驱动控制阀芯向上运动Δx后，第二控制阀口开启Δx，第一控制阀口关闭，第三油腔依次经过第三油路、第七油腔、第十油腔、第六油路、第五油路与所述泄油口相通；

油压在第五油腔对主阀芯产生向上作用力，使得主阀芯向上运动，主阀口开启并逐步加大，同时第二控制阀口逐步减小，当主阀芯向上运动Δx后，主阀口开口加大至Δx，第二控制阀口重新关闭；第一控制阀口关闭，第三油腔无法与泄油口联通致使该第三油腔压力上升，直至与第五油腔上的油压形成压力平衡，主阀芯停止向上运动，主阀口保持在Δx开口上处于平衡状态；

S2、伺服电机驱动控制阀芯向下运动Δy后，第二控制阀口关闭，第一控制阀口开启Δy，控制油口与第五油腔相通，并依次通过第二油路、第六油腔、第四油腔、第一油路与第三油腔相连通；

因第二控制阀口关闭，第三油腔无法与泄油口联通，使得油压在第三油腔对主阀芯产生向下作用力，使得主阀芯向下运动，主阀口开口逐渐减小，第一控制阀口逐渐减小，当主阀芯向下运动Δy后，主阀口开口下降Δy，第一控制阀口重新关闭；第二控制阀口关闭，第三油腔无法与泄油口联通，而控制油口与第五油腔相通，致使第三油腔压力上升，直至与第五油腔上的油压形成压力平衡，主阀芯停止向下运动，主阀口保持在下降Δy开口上处于平衡状态。

本发明的有益效果：利用小功率伺服电机的高响应、高定位精度达到伺服插装阀的高响应和高控制精度，并全程采用机械位移反馈实现闭环控制，控制成本低、精度及稳定性高。

附图说明

图1是本发明的部件图；

图2是图1中的指示油腔油路的结构图；

图3是图1中的指示控制阀口的结构图；

图4是图1中控制阀芯上行Δx且主阀芯上行前的结构图；

图5是图1中控制阀芯上行Δx且主阀芯上行Δx的结构图；

图6是图1中控制阀芯下行Δy且主阀芯下行前的结构图；

图7是图1中控制阀芯下行Δy且主阀芯下行Δy的结构图。

具体实施方式

下面结合具体实施例及附图来进一步详细说明本发明。

一种如图1-图7所示的小功率伺服电机驱动先导式伺服插装阀，其包括下端部分别具有控制油口Z1、泄油口Y的主阀体11、及固定配合于该主阀体11中心通孔下部且同样具有中心通孔的阀套7，该阀套7下端部设有第一工作油口A、第二工作油口B，在主阀体11、阀套7的中心通孔上滑动配合有可控制第一工作油口A、第二工作油口B之间所形成主阀口FQ3通断的主阀芯8，

主阀体11上端具有端盖4及定位于该端盖4上的伺服电机1，该伺服电机1下方具有可与主阀芯8上部沉孔滑动配合且由该伺服电机1驱动升降的控制阀芯10，

主阀芯8顶部与主阀体11、端盖4之间具有第一油腔YQ1，且该主阀芯8为阶梯轴结构，其大径轴段上轴肩与主阀体11之间形成第三油腔YQ3、大径轴段下轴肩与主阀体11、阀套7之间形成第五油腔YQ5、次径轴段下轴肩与阀套7之间形成有第九油腔YQ9，且大径轴段上轴肩、大径轴段下轴肩及次径轴段下轴肩的端面面积依次递减，

控制阀芯10与主阀芯8沉孔之间自上而下依次形成有第二油腔YQ2、第四油腔YQ4、第六油腔YQ6、第七油腔YQ7及第十油腔YQ10，且控制阀芯10上具有连通第二油腔YQ2至第十油腔YQ10的第四油路YL4，主阀芯8上具有连通第四油腔YQ4至第三油腔YQ3的第一油路YL1、连通第三油腔YQ3至第七油腔YQ7的第三油路YL3；

阀套7上具有连通第九油腔YQ9至泄油口Y的第五油路YL5，主阀芯8上具有连通第九油腔YQ9至第十油腔YQ10的第六油路YL6；主阀芯8上具有连通第五油腔YQ5至第六油腔YQ6的第二油路YL2，且该第五油腔YQ5与控制油口Z1相连通；主阀芯8上具有连通第一油腔YQ1至第一工作油口A的第七油路YL7；

其中，控制阀芯10上具有可控制第四油腔YQ4、第六油腔YQ6之间所形成第一控制阀口FQ1通断的第一阶梯轴肩、及可控制第七油腔YQ7、第十油腔YQ10之间所形成第二控制阀口FQ2通断的第二阶梯轴肩。

本例中的控制油口Z1、泄油口Y均于主阀体11上采用双接口形式，如图1其中控制油口Z1上一接口采用螺塞堵口，泄油口Y上一接口采用丝堵堵口，以便于后期维护或它用。在主阀体11、阀套7之间具有第八油腔YQ8，泄油口Y与该第八油腔YQ8相通，第五油路YL5两端分别连接该第八油腔YQ8与第九油腔YQ9，通过第八油腔YQ8的设置，以保证整个插装阀的压力平稳。

伺服电机1通过电机支架3定位于端盖4上，且该伺服电机1的动力输出轴连接有联轴器2，该联轴器2与通过轴承12定位在电机支架3上的控制丝杆13连接，该控制丝杆13下端与控制阀芯10螺纹连接；端盖4上具有可用于控制控制阀芯10升降而不转动的导向键5，使用时，通过该控制丝杆13、导向键5将伺服电机1的旋转运动转换为控制阀芯10的往复运动。本例中的伺服电机1为小功率伺服电机，且该伺服电机1上具有用于控制该伺服电机1转向的伺服驱动器14。

主阀芯8上端面环形面积S1与该主阀芯8下端面环形面积S4相等；且大径轴段上轴肩的台阶面环形面积S2：大径轴段下轴肩的台阶面积环形面积S3：次径轴段下轴肩的台阶面环形面积S5＝4：2：1，具体如第一工作油口A工作压力小于等于35MPa，第二工作油口B的工作压力小于等于35MPa，控制油口Z1接外部控制油源并且控制油源压力为8～25MPa，泄油口Y接泄油油路且最大泄油背压阻力不大于2MPa。

作业时，最大泄油背压S5上对主阀芯8向上的作用力被控制油在S2、S3的面积差上产生的向下作用力平衡；而最大泄油背压在S2上对主阀芯8向下的作用力被控制油在S3上对主阀芯8向上的作用力所平衡，因此对于泄油背压及第一工作油口A的油压对主阀芯8的作用力影响全部由结构限定及工作条件限定消除。主阀芯8的上下运动及位置保持只取决于主阀芯上S2及S3上控制油产生的对主阀芯8的作用力。

伺服电机1正向旋转经联轴器2驱动控制丝杆13在导向键5作用下，控制丝杆13产生向上位移，最终带动控制阀芯10向上运动并处于上极限位置时确保主阀口FQ3开启最大位置，且第二控制阀口FQ2处于关闭状态；同理，伺服电机1反向旋转经联轴器2驱动控制丝杆13在导向键5作用下，控制丝杆13产生向下位移，最终带动控制阀芯10向下运动并处于下极限位置时确保主阀口FQ3处于关闭状态，且第一控制阀口FQ1也处于关闭状态。

本发明公开了前述小功率伺服电机驱动先导式伺服插装阀的闭环控制方法，其包括有

S1、如图4所示，伺服电机1正向旋转经联轴器2驱动控制丝杆13在导向键5作用下，控制丝杆13产生向上位移，最终带动控制阀芯10向上运动Δx后，第二控制阀口FQ2开启Δx，控制油口Z1与第五油腔YQ5相通，第一控制阀口FQ1处于关闭状态，第三油腔YQ3依次经过第三油路YL3、第七油腔YQ7、第十油腔YQ10、第六油路YL6、第五油路YL5与泄油口Y相通，也即是第三油腔YQ3泄压；

因此，控制油压在主阀芯8的S3上对主阀芯8产生向上的作用力，即在第五油腔YQ5对主阀芯8产生向上作用力，使得主阀芯8向上运动，主阀口FQ3开启并逐步加大，此过程中，同时第二控制阀口FQ2因主阀芯8的向上运动而逐步减小，当主阀芯8向上运动Δx距离后，主阀口FQ3开口加大至Δx，第二控制阀口FQ2重新关闭；如图5所示，此时第二控制阀口FQ2处于关闭状态，第一控制阀口FQ1也处于关闭状态，第三油腔YQ3无法通过第三油路YL3、第七油腔YQ7、第十油腔YQ10、第六油路YL6、第五油路YL5与泄油口Y联通，因控制油口Z1与第五油腔YQ5相通，致使该第三油腔YQ3压力上升，因此控制油压在主阀芯8的S3上对该主阀芯8继续产生向上的作用力被第三油腔YQ3在S2上对主阀芯8继续产生向下的作用力平衡掉，即与第五油腔YQ5上的油压形成压力平衡，主阀芯8停止向上运动，主阀口FQ3保持在Δx开口上处于平衡状态。

小结，该伺服电机1正向旋转经联轴器2驱动控制丝杆13在导向键5作用下，控制丝杆13产生向上位移，最终带动控制阀芯10向上运动Δx距离，则主阀芯8上行Δx距离，主阀口FQ3会在伺服电机1及伺服驱动器14的动态闭环控制下保持开口并处于平衡状态。

S2、如图6所示，伺服电机1正向旋转经联轴器2驱动控制丝杆13在导向键5作用下，控制丝杆13产生向下位移，最终带动控制阀芯10向下运动Δy后，第二控制阀口FQ2处于关闭状态，第一控制阀口FQ1开启Δy，控制油口Z1与第五油腔YQ5相通，并依次通过第二油路YL2、第六油腔YQ6、第四油腔YQ4、第一油路YL1与第三油腔YQ3相连通；

因第二控制阀口FQ2处于关闭状态，第三油腔YQ3无法与泄油口Y联通，且由于S2＞S3，控制油压在主阀芯8的S2上对主阀芯8产生向下的作用力大于控制油压在主阀芯8的S3上对主阀芯8产生向上的作用力，使得主阀芯8向下运动，主阀口FQ3开口逐渐减小，此过程中，第一控制阀口FQ1因主阀芯8下行运动而逐渐减小，当主阀芯8向下运动Δy距离后，主阀口FQ3开口下降Δy，第一控制阀口FQ1重新关闭；如图7所示，第二控制阀口FQ2关闭，第三油腔YQ3无法与泄油口Y联通，而控制油口Z1与第五油腔YQ5相通，致使第三油腔YQ3压力上升，因此，控制油压在主阀芯8的S3上对该主阀芯8继续产生向上的作用力被第三油腔YQ3压力在主阀芯8的S2上对主阀芯8继续产生向下的作用力平衡掉，即与第五油腔YQ5上的油压形成压力平衡，主阀芯8停止向下运动，主阀口FQ3保持在下降Δy开口上处于平衡状态。

小结，该伺服电机1正向旋转经联轴器2驱动控制丝杆13在导向键5作用下，控制丝杆13产生向下位移，最终带动控制阀芯10向下运动Δy距离，则主阀芯8下上行Δy距离，主阀口FQ3会在伺服电机1及伺服驱动器14的动态闭环控制下保持开口并处于平衡状态。

通过两种状态控制分析，伺服电机1旋转经联轴器2驱动控制丝杆13在导向键5作用下，控制丝杆13产生位移，最终带动控制阀芯10运动Δ距离，则主阀芯8同向产生Δ距离，主阀口FQ3在伺服电机1及伺服控制器14的动态闭环控制下保持开口并处于平衡状态。

以上对本发明实施例所提供的技术方案进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明实施例的原理以及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只适用于帮助理解本发明实施例的原理；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明实施例，在具体实施方式以及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (7)

1.一种小功率伺服电机驱动先导式伺服插装阀，包括下端部分别具有控制油口(Z1)、泄油口(Y)的主阀体(11)、及固定配合于该主阀体(11)中心通孔下部且同样具有中心通孔的阀套(7)，该阀套(7)下端部设有第一工作油口(A)、第二工作油口(B)，在所述主阀体(11)、阀套(7)的中心通孔上滑动配合有可控制所述第一工作油口(A)、第二工作油口(B)之间所形成主阀口(FQ3)通断的主阀芯(8)，其特征在于：

所述主阀体(11)上端具有端盖(4)及定位于该端盖(4)上的伺服电机(1)，该伺服电机(1)下方具有可与所述主阀芯(8)上部沉孔滑动配合且由该伺服电机(1)驱动升降的控制阀芯(10)，

所述主阀芯(8)顶部与所述主阀体(11)、端盖(4)之间具有第一油腔(YQ1)，且该主阀芯(8)为阶梯轴结构，其大径轴段上轴肩与所述主阀体(11)之间形成第三油腔(YQ3)、大径轴段下轴肩与所述主阀体(11)、阀套(7)之间形成第五油腔(YQ5)、次径轴段下轴肩与所述阀套(7)之间形成有第九油腔(YQ9)，且所述大径轴段上轴肩、大径轴段下轴肩及次径轴段下轴肩的端面面积依次递减，

所述控制阀芯(10)与所述主阀芯(8)沉孔之间自上而下依次形成有第二油腔(YQ2)、第四油腔(YQ4)、第六油腔(YQ6)、第七油腔(YQ7)及第十油腔(YQ10)，且所述控制阀芯(10)上具有连通所述第二油腔(YQ2)至所述第十油腔(YQ10)的第四油路(YL4)，所述主阀芯(8)上具有连通所述第四油腔(YQ4)至所述第三油腔(YQ3)的第一油路(YL1)、连通所述第三油腔(YQ3)至所述第七油腔(YQ7)的第三油路(YL3)；

所述阀套(7)上具有连通所述第九油腔(YQ9)至所述泄油口(Y)的第五油路(YL5)，所述主阀芯(8)上具有连通所述第九油腔(YQ9)至所述第十油腔(YQ10)的第六油路(YL6)；所述主阀芯(8)上具有连通所述第五油腔(YQ5)至第六油腔(YQ6)的第二油路(YL2)，且该第五油腔(YQ5)与所述控制油口(Z1)相连通；所述主阀芯(8)上具有连通所述第一油腔(YQ1)至所述第一工作油口(A)的第七油路(YL7)；

其中，所述控制阀芯(10)上具有可控制所述第四油腔(YQ4)、第六油腔(YQ6)之间所形成第一控制阀口(FQ1)通断的第一阶梯轴肩、及可控制所述第七油腔(YQ7)、第十油腔(YQ10)之间所形成第二控制阀口(FQ2)通断的第二阶梯轴肩。

2.根据权利要求1所述的小功率伺服电机驱动先导式伺服插装阀，其特征在于：所述伺服电机(1)通过电机支架(3)定位于所述端盖(4)上，且该伺服电机(1)的动力输出轴连接有联轴器(2)，该联轴器(2)与通过轴承(12)定位在所述电机支架(3)上的控制丝杆(13)连接，该控制丝杆(13)下端与所述控制阀芯(10)螺纹连接；所述端盖(4)上具有可用于控制所述控制阀芯(10)升降而不转动的导向键(5)。

3.根据权利要求1或2所述的小功率伺服电机驱动先导式伺服插装阀，其特征在于：所述伺服电机(1)为小功率伺服电机，且该伺服电机(1)上具有用于控制该伺服电机(1)转向的伺服驱动器(14)。

4.根据权利要求1所述的小功率伺服电机驱动先导式伺服插装阀，其特征在于：所述主阀芯(8)上端面环形面积(S1)与该主阀芯(8)下端面环形面积(S4)相等；且所述大径轴段上轴肩的台阶面环形面积(S2)：所述大径轴段下轴肩的台阶面积环形面积(S3)：次径轴段下轴肩的台阶面环形面积(S5)＝4：2：1。

5.根据权利要求1所述的小功率伺服电机驱动先导式伺服插装阀，其特征在于：所述主阀体(11)、阀套(7)之间具有第八油腔(YQ8)，所述泄油口(Y)与该第八油腔(YQ8)相通，所述第五油路(YL5)两端分别连接该第八油腔(YQ8)与所述第九油腔(YQ9)。

6.根据权利要求1所述的小功率伺服电机驱动先导式伺服插装阀，其特征在于：所述控制阀芯(10)向上处于上极限位置时，所述主阀口(FQ3)开启最大位置，且所述第二控制阀口(FQ2)处于关闭状态；所述控制阀芯(10)向下处于下极限位置时，所述主阀口(FQ3)处于关闭状态，且所述第一控制阀口(FQ1)也处于关闭状态。

7.根据权利要求1-6任一所述小功率伺服电机驱动先导式伺服插装阀的闭环控制方法，其特征在于：包括

S1、伺服电机(1)驱动控制阀芯(10)向上运动Δx后，第二控制阀口(FQ2)开启Δx，第一控制阀口(FQ1)关闭，第三油腔(YQ3)依次经过第三油路(YL3)、第七油腔(YQ7)、第十油腔(YQ10)、第六油路(YL6)、第五油路(YL5)与所述泄油口(Y)相通；

油压在第五油腔(YQ5)对主阀芯(8)产生向上作用力，使得主阀芯(8)向上运动，主阀口(FQ3)开启并逐步加大，同时第二控制阀口(FQ2)逐步减小，当主阀芯(8)向上运动Δx后，主阀口(FQ3)开口加大至Δx，第二控制阀口(FQ2)重新关闭；第一控制阀口(FQ1)关闭，第三油腔(YQ3)无法与泄油口(Y)联通致使该第三油腔(YQ3)压力上升，直至与第五油腔(YQ5)上的油压形成压力平衡，主阀芯(8)停止向上运动，主阀口(FQ3)保持在Δx开口上处于平衡状态；

S2、伺服电机(1)驱动控制阀芯(10)向下运动Δy后，第二控制阀口(FQ2)关闭，第一控制阀口(FQ1)开启Δy，控制油口(Z1)与第五油腔(YQ5)相通，并依次通过第二油路(YL2)、第六油腔(YQ6)、第四油腔(YQ4)、第一油路(YL1)与第三油腔(YQ3)相连通；

因第二控制阀口(FQ2)关闭，第三油腔(YQ3)无法与泄油口(Y)联通，使得油压在第三油腔(YQ3)对主阀芯(8)产生向下作用力，使得主阀芯(8)向下运动，主阀口(FQ3)开口逐渐减小，第一控制阀口(FQ1)逐渐减小，当主阀芯(8)向下运动Δy后，主阀口(FQ3)开口下降Δy，第一控制阀口(FQ1)重新关闭；第二控制阀口(FQ2)关闭，第三油腔(YQ3)无法与泄油口(Y)联通，而控制油口(Z1)与第五油腔(YQ5)相通，致使第三油腔(YQ3)压力上升，直至与第五油腔(YQ5)上的油压形成压力平衡，主阀芯(8)停止向下运动，主阀口(FQ3)保持在下降Δy开口上处于平衡状态。