CN106767392A - 双焦点免定位的椭球面反射镜照明装置 - Google Patents

双焦点免定位的椭球面反射镜照明装置 Download PDF

Info

Publication number
CN106767392A
CN106767392A CN201710019957.4A CN201710019957A CN106767392A CN 106767392 A CN106767392 A CN 106767392A CN 201710019957 A CN201710019957 A CN 201710019957A CN 106767392 A CN106767392 A CN 106767392A
Authority
CN
China
Prior art keywords
object lens
ellipsoidal mirror
focus
lighting device
bifocus
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201710019957.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106767392B (zh
Inventor
刘俭
李梦周
李强
高姗
谭久彬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Harbin Institute of Technology
Original Assignee
Harbin Institute of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Harbin Institute of Technology filed Critical Harbin Institute of Technology
Priority to CN201710019957.4A priority Critical patent/CN106767392B/zh
Publication of CN106767392A publication Critical patent/CN106767392A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106767392B publication Critical patent/CN106767392B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/04Measuring microscopes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)

Abstract

本发明双焦点免定位的椭球面反射镜照明装置属于光学显微照明技术领域;该照明装置包括同轴设置的固定盘、物镜、物镜转接件、椭球面反射镜和固定套筒;所述固定盘安装在固定套筒内部,固定盘中心开有螺纹孔,用于固定物镜的物镜转接件与所述螺纹孔螺纹连接,通过在螺纹孔中旋转,实现物镜在光轴上移动,使物镜焦点与椭球面反射镜的远焦点重合;所述椭球面反射镜近焦点同时位于椭球面反射镜的端面上和固定套筒的端面上;本发明照明装置通过特殊的机械结构设计,回避了空间三维测量,实现了对椭球面反射镜免定位的技术目的。

Description

双焦点免定位的椭球面反射镜照明装置
技术领域
本发明双焦点免定位的椭球面反射镜照明装置属于光学显微照明技术领域。
背景技术
随着显微技术的发展,反射式显微成像系统越来越受到重视。能够在大数值孔径角下实现成像的结构分别是:抛物反射镜、双曲线反射镜和椭球面反射镜,其中,椭球面反射镜凭借提高数值孔径和增强对比度的优点,广泛应用在光学共焦显微技术和光学精密测量技术领域中,例如申请号为201210244377.2的发明专利《基于椭球反射照明共焦测量装置》。
然而,椭球面反射镜有较大的收集孔径角,对装调精度要求非常高,容易产生巨大像差。所以为保证椭球面反射镜的有效使用,需要对椭球面反射镜进行高精度定位。对于椭球面反射镜双焦点的高精度定位问题的重要性,一方面,当点源与椭球面反射镜远焦点稍微在径向偏离一点时,会引起较大的慧差和像散;另一方面,只有当样品表面处于椭球面反射镜近焦点处时,椭球面反射镜发挥其大数值孔径优势,能够对样品产生分辨率高、清晰度大、对比度强的光学图像,稍有偏差,成像效果会显著下降,从而造成无法成像的问题。
传统的椭球反射镜焦点定位多采用三坐标空间测量法,使得物镜焦点、针孔等与椭球面反射镜的焦点重合。但是这种测量方法效率低,方法复杂,而且对于椭球面反射镜近焦点来说,传统的测量方法无法解决。如果在设计椭球面反射镜系统时能够避开复杂的空间三维测量,那么会大大降低椭球面反射镜系统测量的复杂性。
发明内容
为了解决上述问题,本发明公开了一种双焦点免定位的椭球面反射镜照明装置,通过特殊的机械结构设计,回避了空间三维测量,实现了对椭球面反射镜免定位的技术目的。
本发明的目的是这样实现的:
双焦点免定位的椭球面反射镜照明装置,包括同轴设置的固定盘、物镜、物镜转接件、椭球面反射镜和固定套筒;
所述固定盘安装在固定套筒内部,固定盘中心开有螺纹孔,用于固定物镜的物镜转接件与所述螺纹孔螺纹连接,通过在螺纹孔中旋转,实现物镜在光轴上移动,使物镜焦点与椭球面反射镜的远焦点重合;
所述椭球面反射镜近焦点同时位于椭球面反射镜的端面上和固定套筒的端面上。
上述双焦点免定位椭球面反射镜照明装置,物镜焦点与椭球面反射镜的远焦点重合,调整步骤及判断方法如下:
步骤a、在椭球面反射镜的近焦点处放置点光源,在物镜后方放置观察屏或成像器件;
步骤b、旋拧物镜转接件,使物镜在光轴上移动;
步骤c、观察屏或成像器件上的圆形光斑光强为最大值时,物镜焦点与椭球面反射镜的远焦点重合。
上述双焦点免定位椭球面反射镜照明装置,物镜焦点与椭球面反射镜的远焦点重合,调整步骤及判断方法如下:
步骤a、在椭球面反射镜的近焦点处放置点光源,在物镜后方放置观察屏或成像器件;
步骤b、旋拧物镜转接件,使物镜在光轴上移动;
步骤c、使观察屏或成像器件在光轴上移动,在观察屏或成像器件上的圆形光斑大小不变时,物镜焦点与椭球面反射镜的远焦点重合。
有益效果:
第一、通过将固定盘、物镜、物镜转接件、椭球面反射镜同轴安装在固定套筒内的结构设计,实现对物镜于椭球面反射镜同轴设置的免定位;
第二、通过固定盘中心开有螺纹孔,用于固定物镜的物镜转接件与所述螺纹孔螺纹连接,通过在螺纹孔中旋转,实现物镜在光轴上移动的结构设计,并配合光学成像方法观察光斑大小的技术手段,直接实现物镜焦点与椭球面反射镜的远焦点重合,实现对椭球面反射镜远焦点免定位的技术目的;
第三、通过椭球面反射镜近焦点同时位于椭球面反射镜的端面上和固定套筒的端面上的结构设计,实现对椭球面反射镜近焦点免定位的技术目的;
以上三个技术目的相结合,回避了空间三维测量,使得本发明具有免定位的有益效果。
附图说明
图1是本发明双焦点免定位的椭球面反射镜照明装置的结构示意图。
图中:1固定盘、2物镜、3物镜转接件、4椭球面反射镜、5固定套筒。
具体实施例
下面将结合附图对本发明装置的具体实施例做进一步详细说明。
具体实施例一
本实施例的双焦点免定位的椭球面反射镜照明装置,结构示意图如图1所示。该双焦点免定位的椭球面反射镜照明装置包括同轴设置的固定盘1、物镜2、物镜转接件3、椭球面反射镜4和固定套筒5;
所述固定盘1安装在固定套筒5内部,固定盘1中心开有螺纹孔,用于固定物镜2的物镜转接件3与所述螺纹孔螺纹连接,通过在螺纹孔中旋转,实现物镜2在光轴上移动,使物镜2焦点与椭球面反射镜4的远焦点重合;
所述椭球面反射镜4近焦点同时位于椭球面反射镜4的端面上和固定套筒5的端面上。
具体实施例二
本实施例的双焦点免定位的椭球面反射镜照明装置,在具体实施例一的基础上,进一步限定物镜2焦点与椭球面反射镜4的远焦点重合,调整步骤及判断方法如下:
步骤a、在椭球面反射镜4的近焦点处放置点光源,在物镜2后方放置观察屏或成像器件;
步骤b、旋拧物镜转接件3,使物镜2在光轴上移动;
步骤c、观察屏或成像器件上的圆形光斑光强为最大值时,物镜2焦点与椭球面反射镜4的远焦点重合。
具体实施例三
本实施例的双焦点免定位的椭球面反射镜照明装置,在具体实施例一的基础上,进一步限定物镜2焦点与椭球面反射镜4的远焦点重合,调整步骤及判断方法如下:
步骤a、在椭球面反射镜4的近焦点处放置点光源,在物镜2后方放置观察屏或成像器件;
步骤b、旋拧物镜转接件3,使物镜2在光轴上移动;
步骤c、使观察屏或成像器件在光轴上移动,在观察屏或成像器件上的圆形光斑大小不变时,物镜2焦点与椭球面反射镜4的远焦点重合。
需要说明的是,附图中无需给出光源、观察屏以及成像器件的具体示意图,对于本领域技术人员来讲,是能够理解本发明技术方案的,做到了充分公开。

Claims (3)

1.双焦点免定位的椭球面反射镜照明装置,其特征在于,包括同轴设置的固定盘(1)、物镜(2)、物镜转接件(3)、椭球面反射镜(4)和固定套筒(5);
所述固定盘(1)安装在固定套筒(5)内部,固定盘(1)中心开有螺纹孔,用于固定物镜(2)的物镜转接件(3)与所述螺纹孔螺纹连接,通过在螺纹孔中旋转,实现物镜(2)在光轴上移动,使物镜(2)焦点与椭球面反射镜(4)的远焦点重合;
所述椭球面反射镜(4)近焦点同时位于椭球面反射镜(4)的端面上和固定套筒(5)的端面上。
2.根据权利要求1所述的双焦点免定位椭球面反射镜照明装置,其特征在于,物镜(2)焦点与椭球面反射镜(4)的远焦点重合,调整步骤及判断方法如下:
步骤a、在椭球面反射镜(4)的近焦点处放置点光源,在物镜(2)后方放置观察屏或成像器件;
步骤b、旋拧物镜转接件(3),使物镜(2)在光轴上移动;
步骤c、观察屏或成像器件上的圆形光斑光强为最大值时,物镜(2)焦点与椭球面反射镜(4)的远焦点重合。
3.根据权利要求1所述的双焦点免定位椭球面反射镜照明装置,其特征在于,物镜(2)焦点与椭球面反射镜(4)的远焦点重合,调整步骤及判断方法如下:
步骤a、在椭球面反射镜(4)的近焦点处放置点光源,在物镜(2)后方放置观察屏或成像器件;
步骤b、旋拧物镜转接件(3),使物镜(2)在光轴上移动;
步骤c、使观察屏或成像器件在光轴上移动,在观察屏或成像器件上的圆形光斑大小不变时,物镜(2)焦点与椭球面反射镜(4)的远焦点重合。
CN201710019957.4A 2017-01-11 2017-01-11 双焦点免定位的椭球面反射镜照明装置 Active CN106767392B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710019957.4A CN106767392B (zh) 2017-01-11 2017-01-11 双焦点免定位的椭球面反射镜照明装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710019957.4A CN106767392B (zh) 2017-01-11 2017-01-11 双焦点免定位的椭球面反射镜照明装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106767392A true CN106767392A (zh) 2017-05-31
CN106767392B CN106767392B (zh) 2019-07-09

Family

ID=58947861

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710019957.4A Active CN106767392B (zh) 2017-01-11 2017-01-11 双焦点免定位的椭球面反射镜照明装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106767392B (zh)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101032388A (zh) * 2007-04-13 2007-09-12 清华大学 一种光学相干层析内窥成像系统
JP2008032402A (ja) * 2006-07-26 2008-02-14 Seiko Epson Corp リフレクタ評価装置及びリフレクタ評価方法
CN102818521A (zh) * 2012-07-05 2012-12-12 哈尔滨工业大学 基于椭球反射照明共焦测量装置
CN103075974A (zh) * 2012-12-14 2013-05-01 哈尔滨工业大学 径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置
CN104697465A (zh) * 2015-03-31 2015-06-10 中国人民解放军国防科学技术大学 椭球面的无像差绝对检验方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008032402A (ja) * 2006-07-26 2008-02-14 Seiko Epson Corp リフレクタ評価装置及びリフレクタ評価方法
CN101032388A (zh) * 2007-04-13 2007-09-12 清华大学 一种光学相干层析内窥成像系统
CN102818521A (zh) * 2012-07-05 2012-12-12 哈尔滨工业大学 基于椭球反射照明共焦测量装置
CN103075974A (zh) * 2012-12-14 2013-05-01 哈尔滨工业大学 径向偏光照明椭球曲面光瞳振幅滤波共焦成像装置
CN104697465A (zh) * 2015-03-31 2015-06-10 中国人民解放军国防科学技术大学 椭球面的无像差绝对检验方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
刘石等: "太阳模拟器用光学积分器设计", 《光子学报》 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN106767392B (zh) 2019-07-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105988207B (zh) 放大光学系统、光学单元和投影仪设备
US7724358B2 (en) Illuminator for darkfield inspection
CN104713577B (zh) 激光接收光轴与可见光光轴平行性调校系统及调校方法
CN112212793B (zh) 一种多弧段光学成像内孔直径测量装置与方法
CN104880833A (zh) 可实现光学镜头与焦面组件高精度定中心的系统及方法
CN104360463A (zh) 三远心同轴照明成像光学系统
JP2021514731A (ja) モバイル通信デバイスベースの角膜形状解析システム
CN208953254U (zh) 一种镜头检测装置
CN106569342A (zh) 一种带有自准直功能的内调焦光管及使用方法
CN202078293U (zh) 便携式眼底相机
CN101371787A (zh) 一种放射摄影探测器光路系统测试装置及测试方法
CN103487929A (zh) 软x射线与极紫外复合型望远镜光轴和焦面的调整方法
CN106840606B (zh) 一种车灯pes投射单元聚光反射分析仪
CN103217798A (zh) 基于非远心光路的数字投影装置
CN106767392B (zh) 双焦点免定位的椭球面反射镜照明装置
Pernechele Hyper-hemispheric and bifocal panoramic lenses
CN108020163B (zh) 一种显微追踪微粒三维位移的装置
CN106501927B (zh) 双焦点免定位的双椭球成像装置
CN203250067U (zh) 基于非远心光路的数字投影装置
CN105629431B (zh) 一种卡塞格林抛物面主镜的光轴确定方法
CN208337777U (zh) 主动对焦装置
CN102944564A (zh) 一种便携式双远心倾斜照明结构杂散光检测装置
CN204613525U (zh) 可实现光学镜头与焦面组件高精度定中心的系统
CN216846141U (zh) 一种平行度检测装置
CN106033147A (zh) 一种光学目标模拟器与球形整流罩中心对准系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant