CN106716142B - 具有贴附式探针的检测装置 - Google Patents

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Abstract

一种具有贴附式探针的检测装置，其包含一座体（100）以及一探针（200）。座体（100）设置有一载台（140），探针（200）具有一探针座体（210）以及自探针座体（210）的一端的侧面延伸而出的一针尖（220），探针座体（210）的另一端借由一贴片（230）粘附于座体（100），且探针座体（210）能够被从座体（100）拔除，针尖（220）邻近载台（140）并且朝向载台（140）配置。探针座体（210）直接贴附在座体（100）且易于被从座体（100）上拔除，因此易于更换探针（200）。

Description

具有贴附式探针的检测装置
技术领域
本发明有关于检测装置，尤指一种易于更换探针的具有贴附式探针的检测装置。
背景技术
原子力显微镜为一种用于检测微小对象的检测装置。原子力显微镜借由一探针接触对象的表面并且沿对象表面移动，再借由光杠杆来读取探针的微小作动，因此而能够精确量测到微小对象的外形。探针具有一探针座体以及自探针座体的一端的侧面延伸而出的一针尖，且探针座体的另一端固定。当针尖沿对象表面移动时，针尖能够借由探针座体弹性弯曲而动作。
原子力显微镜使用时，针尖沿对象表面移动并且与对象表面磨擦而磨损。当针尖磨损致一定程度时，必须更换探针才能确保量测数据的精确度。一般而言，探针是被一夹具夹持以便于更换。探针座体若水平配置，则探针座体与对象表面之间仅存在等同于针尖长度的间隙，由于夹具的尺寸较探针大，探针座体必须要配置成相对于对象的表面倾斜相当大的夹角才足以容纳夹具。其缺点在于当夹具过度接近对象的表面时，探针座体会被过度弯曲而折断。
发明内容
技术问题
本发明提供一种易于更换探针的检测装置。
技术解决方案
本发明提供一种具有贴附式探针的检测装置，其包含一座体、一载台以及一探针。载台设置在座体，探针具有一探针座体以及自探针座体的一端的侧面延伸而出的一针尖，探针座体的另一端借由一贴片粘附于座体，且探针座体能够被从座体拔除，针尖邻近载台并且朝向载台配置。
较佳地，贴片的二面分别涂布有粘胶，且贴片的二面分别粘贴探针座体及延伸臂。
粘胶的粘着力介于5 g /25mm～50 g/25mm 之间。粘胶可以为感压胶。粘胶可以为硅类粘胶。
较佳地，座体包含有一延伸臂，探针座体粘附于延伸臂。延伸臂朝向载台延伸以供粘附探针座体。座体包含一下座部以及承载于下座部上的一上座部，载台承载于下座部上且探针座体设置在上座部。延伸臂的一端锁附在上座部，延伸臂的另一端朝向载台延伸以供粘附探针座体。探针座体与载台相互平行配置。
有益效果
本发明的具有贴附式探针的检测装置，其探针座体直接贴附在座体，且探针座体易于被从座体上拔除，因此易于更换探针。
附图说明
图 1 为本发明较佳实施例的具有贴附式探针的检测装置的示意图。
图 2 为本发明较佳实施例的具有贴附式探针的检测装置的示意图。
图 3 为本发明较佳实施例的具有贴附式探针的检测装置中的探针的示意图。
图 4 为本发明较佳实施例的具有贴附式探针的检测装置中的探针的示意图。
图 5 为本发明较佳实施例的具有贴附式探针的检测装置中的探针针尖的示意图。
附图标记说明
10 待测物
100 座体
110 下座部
120 上座部
130 支脚
140 载台
150 延伸臂
151 固定端
152 延伸端
200 探针
210 探针座体
211 粘着端
212 悬臂梁
220 针尖
230 贴片。
具体实施方式
参阅图 1 及图2，本发明的较佳实施例提供一种具有贴附式探针的检测装置，其用于检测一待测物10。于本实施例中，本发明的具有贴附式探针的检测装置较佳地包含有一座体100 以及一探针200。
于本实施例中，座体100 较佳地由复数电路板相互榫接组合而构成，而且座体100包含一下座部110 以及一上座部120。上座部120 借由复数支脚130 支撑在下座部110 而承载于下座部110 之上。各支脚130 较佳地螺接于上座部120，并且可以借由扭转各支脚130 以调整上座部120 的水平。
座体 100 的下座部110 上承载有一载台140，载台140 介于下座部110 与上座部120 之间，而且载台140 水平配置以用于承载待测物10。
延伸臂 150 设置在座体100 的上座部120 并且介于下座部110 与上座部120之间，延伸臂150 可以是电路板构成，但本发明不以此为限。较佳地，延伸臂150 的一端为一固定端151，延伸臂150 的另一端为一延伸端152。延伸臂150的固定端151 锁附连接在座体100 的上座部120，延伸臂150 可以平行于载台140配置或者是向载台140 略微下斜配置，而且延伸臂150 的延伸端152 朝向载台140 延伸。
参阅图 3 至图5，探针200 具有一探针座体210，探针座体210 的一端为一粘着端211，探针座体210 的另一端则为一悬臂梁212，探针座体210 的悬臂梁212 的侧面延伸而出一针尖220。探针座体210 可以与载台140 相互平行配置或者是向载台140 略微下斜配置，探针座体210 的粘着端211 借由一贴片230 粘附于延伸臂150 的延伸端152，针尖220邻近载台140 并且朝向载台140 配置。借此使得探针200 的针尖220 能够抵接于待测物10，并且使得悬臂梁212 在其弹性限度内弯曲，借由载台140 扫描位移而容许悬臂梁212上的探针200 跟随待测物10 表面结构起伏动作。
贴片 230 的二面分别涂布有弱粘性的粘胶，而且贴片230 的二面分别粘贴探针座体210 及延伸臂150，借此将探针200 固定于延伸臂150。前述弱粘性的粘胶例如感压胶或是硅类粘胶，其粘胶的粘着力介于5 g /25mm～50 g/25mm 之间，借此使得探针座体210易于被从延伸臂150 上拔除，因此易于更换探针200。
本发明的具有贴附式探针的检测装置，其探针座体 210 直接贴附在延伸臂150，因此不需要在探针座体210 与载台140 之间预留容置夹具的空间。再者，探针座体210 可以邻近载台140 而平行于载台140 配置，即使在安装探针200或是量测的过程中不慎将延伸臂150 过度接近载台140，悬臂梁212 也不致于过度弯曲而折断。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，非用以限定本发明的专利范围，其他运用本发明的专利精神的等效变化，均应俱属本发明的专利范围。

Claims (10)

1.一种具有贴附式探针的检测装置，其特征在于，其包含：
一座体，该座体设置有一载台；以及
一探针，具有一探针座体以及自该探针座体的一端的悬臂梁侧面延伸而出的一针尖，该探针座体的另一端借由一贴片粘附于座体，且该探针座体能够被从座体拔除，该针尖邻近该载台并且朝向该载台配置。
2.如权利要求1 所述的具有贴附式探针的检测装置，其特征在于，该座体包含有一延伸臂，该贴片的二面分别涂布有粘胶，且该贴片的二面分别粘贴该探针座体及该延伸臂。
3.如权利要求2 所述的具有贴附式探针的检测装置，其特征在于，该粘胶的粘着力介于5 g /25mm～50 g/25mm 之间。
4.如权利要求2 所述的具有贴附式探针的检测装置，其特征在于，该粘胶为感压胶。
5.如权利要求4 所述的具有贴附式探针的检测装置，其特征在于，该粘胶为硅类粘胶。
6.如权利要求1 所述的具有贴附式探针的检测装置，其特征在于，该座体包含有一延伸臂，该探针座体粘附于该延伸臂。
7.如权利要求6 所述的具有贴附式探针的检测装置，其特征在于，该延伸臂朝向该载台延伸以供粘附该探针座体。
8.如权利要求1 所述的具有贴附式探针的检测装置，其特征在于，该座体包含一下座部以及承载于该下座部上的一上座部，该载台承载于该下座部上且该探针座体设置在该上座部。
9.如权利要求8 所述的具有贴附式探针的检测装置，其特征在于，该座体包含有一延伸臂，该延伸臂的一端锁附在该上座部，该延伸臂的另一端朝向该载台延伸以供粘附该探针座体。
10.如权利要求1 所述的具有贴附式探针的检测装置，其特征在于，该探针座体与该载台相互平行配置。
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