CN106647618B - 一种工艺参数的处理方法和装置 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供了一种工艺参数的处理方法和装置，其中的方法包括：在检测到Recipe模板的第一配置文件发生改变时，依据所述第一配置文件中记录的已有Recipe的第二配置文件标识，查找得到与所述Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件；对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改。本发明实施例可以提高Recipe参数处理效率。

Description

一种工艺参数的处理方法和装置

技术领域

本发明涉及半导体集成电路领域，特别是涉及一种工艺参数的处理方法和装置。

背景技术

Recipe(制程方法)是指工业自动化制造过程中的工艺制程，Recipe中可以包括以下信息：物料加工过程中的多个步骤、每个步骤中各种工艺参数的数值、以及各步骤的结束条件等等。

在实际应用中，Recipe可以通过Recipe模板生成。然而，在半导体集成电路领域，由于加工精细度越来越高，制造过程也变得越来越复杂，因此，一个Recipe中包含的信息也越来越多，所以需要对Recipe模板进行修改，如修改或者增加模板中的参数。在修改了Recipe模板之后，按照修改前的Recipe模板生成的Reicpe变的不可用，因此，还需要对已经生成的Recipe进行相应的修改。

目前，对Recipe模板的修改通常可以通过修改Recipe模板的配置文件来实现，即修改下位机中Recipe模板的配置文件，在Recipe模板的配置文件中修改或者增加参数。在Recipe模板修改完成之后，需要对按照修改前Recipe模板生成的Recipe进行修改，具体地，按照修改后的Recipe模板，对之前已经存在并使用的Recipe的配置文件一一进行对照修改。

然而，随着工艺过程的日益复杂，一个Recipe中包含的信息也越来越多，Recipe模板改变的参数也会逐渐增多，Recipe模板的改变，导致之前的Recipe都得重新修改或者重新编辑；这样，在Recipe数量较大的情况下对每个Recipe的配置文件一一进行修改，工作量较大，使得修改的效率较低，此外，由于修改Recipe需要较强的专业技术知识，因此，修改过程对实施人员要求也比较高。

发明内容

本发明实施例为解决上述问题提供了一种工艺参数的处理方法和装置，能够提高Recipe参数处理效率。

为了解决上述问题，本发明公开了一种工艺参数的处理方法，包括：

在检测到Recipe模板的第一配置文件发生改变时，依据所述第一配置文件中记录的已有Recipe的第二配置文件标识，查找得到与所述Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件；

对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改。

优选地，所述对所述第二配置文件进行与所述第一配置文件进行对比修改的步骤，包括：

依据所述第一配置文件，获取所述Recipe模板对应的第一参数列表；其中，所述第一参数列表中包括所述Recipe模板的第一参数信息；

依据所述第二配置文件，获取所述已有Recipe的第二参数列表和步骤列表；其中，所述第二参数列表中包括所述已有Recipe的第二参数信息；所述步骤列表中包括与所述第二参数信息对应的第三参数信息；

对所述第一参数信息、第二参数信息和第三参数信息进行对比修改。

优选地，所述对所述第一参数信息、第二参数信息和第三参数信息进行对比修改的步骤，包括：

对所述第一参数列表中各第一参数信息和所述第二参数列表中各第二参数信息，逐一进行对比；

在所述第一参数信息和所述第二参数信息不一致时，用所述第一参数信息替换所述第二参数信息；并且，用所述第一参数信息中的第一参数名称替换所述第三参数信息中的第三参数名称，以及用所述第一参数信息中的第一参数默认值替换所述第三参数信息中的第三参数默认值。

优选地，所述方法还包括：

在所述第一参数信息为所述第一参数列表中新增的信息时，在所述第二参数列表中增加与所述第一参数信息对应的第二参数信息，以及在所述步骤列表中增加与所述第一参数信息对应的第三参数信息。

优选地，所述方法还包括：

在对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改之后，依据修改后的第二参数信息和第三参数信息生成与所述已有Recipe对应的新的第二配置文件。

优选地，通过如下步骤检测Recipe模板的第一配置文件发生改变：

在下位机的启动过程中，通过对比Recipe模板的第一配置文件和该Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件是否相符，检测Recipe模板的第一配置文件是否发生改变；

或者，

通过实时监测Recipe模板中的第一参数信息是否发生改变，检测Recipe模板的第一配置文件是否发生改变。

依据本发明的另一个方面，提供了一种工艺参数的处理装置，包括：

检测模块，用于在检测到Recipe模板的第一配置文件发生改变时，依据所述第一配置文件中记录的已有Recipe的第二配置文件标识，查找得到与所述Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件；及

修改模块，用于对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改。

优选地，所述修改模块，包括：

第一获取子模块，用于依据所述第一配置文件，获取所述Recipe模板对应的第一参数列表；其中，所述第一参数列表中包括所述Recipe模板的第一参数信息；

第二获取子模块，用于依据所述第二配置文件，获取所述已有Recipe的第二参数列表和步骤列表；其中，所述第二参数列表中包括所述已有Recipe的第二参数信息；所述步骤列表中包括与所述第二参数信息对应的第三参数信息；

修改子模块，用于对所述第一参数信息、第二参数信息和第三参数信息进行对比修改。

优选地，所述修改子模块，包括：

第一修改单元，用于对所述第一参数列表中各第一参数信息和所述第二参数列表中各第二参数信息，逐一进行对比；

第二修改单元，用于在所述第一参数信息和所述第二参数信息不一致时，用所述第一参数信息替换所述第二参数信息；并且，用所述第一参数信息中的第一参数名称替换所述第三参数信息中的第三参数名称，以及用所述第一参数信息中的第一参数默认值替换所述第三参数信息中的第三参数默认值。

优选地，所述装置还包括：

新增模块，用于在所述第一参数信息为所述第一参数列表中新增的信息时，在所述第二参数列表中增加与所述第一参数信息对应的第二参数信息，以及在所述步骤列表中增加与所述第一参数信息对应的第三参数信息。

优选地，所述装置还包括：

文件生成模块，用于在对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改之后，依据修改后的第二参数信息和第三参数信息生成与所述已有Recipe对应的新的第二配置文件。

与现有技术相比，本发明实施例包括以下优点：

本发明在检测到Recipe模板的第一配置文件发生改变时，则对该Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件进行相应修改。避免了人工对每个已有Recipe的第二配置文件一一进行修改的情况，从而提高了Recipe参数处理效率。此外，由于避免了人工对每个已有Recipe的第二配置文件进行修改，减少了实施人员的操作，可以降低人为修改过程中由于操作失误带来的风险。

附图说明

图1示出了本发明的一种工艺参数的处理方法实施例一的步骤流程图；

图2示出了本发明的一种工艺参数的处理方法实施例二的步骤流程图；

图3示出了本发明一种工艺参数的处理装置实施例的结构框图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

实施例一

参照图1，示出了本发明的一种工艺参数的处理方法实施例一的步骤流程图，具体可以包括：

步骤101、在检测到Recipe模板的第一配置文件发生改变时，依据所述第一配置文件中记录的已有Recipe的第二配置文件标识，查找得到所述已有Recipe的第二配置文件；

目前在半导体集成电路领域，由于加工精细度越来越高，工艺过程也变得越来越复杂，一个Recipe中包含的信息也越来越多，需要修改和增加的Recipe参数会不断增多，在对Recipe模板的第一配置文件修改之后，需要对所有该Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件进行修改。具体地，一个Recipe模板可以对应有多个已有Recipe，因此，需要对每个已有Recipe的第二配置文件进行修改，如果通过手工修改，不但效率低下，而且由于人为因素容易导致错误的发生。本发明实施例的一个目的在于：在Recipe模板的第一配置文件改变时，快速准确地对已有Recipe的第二配置文件进行相应的修改。在具体应用中，对Recipe模板进行修改，通常是通过修改下位机中Recipe模板的第一配置文件来实现的。该第一配置文件具体可以包括：RecipeNamesapce.xml、RecipeNamesapce_bu.xml、RecipeNamesapce_tmp.xml这三个配置文件。其中，RecipeNamespace.xml是最终的Recipe名字空间，RecipeNamespace_bu.xml用于记录执行创建/保存/删除操作前的Recipe名字空间的状态；RecipeNamespace_tmp.xml是临时的Recipe名字空间，编辑Recipe模板时会先修改该文件，然后通过该文件复制给RecipeNamespace.xml，以保证最终的Recipe名字空间是正确的。

在实际应用中，所述第一配置文件中具体可以包括第一参数列表，该第一参数列表中记录了所述Recipe模板的所有第一参数信息，该第一参数信息中具体可以包括：第一参数名称、第一参数类型、第一参数默认值等信息。在实际应用中，对Recipe模板进行修改，具体可以包括：在所述第一参数列表中增加新的第一参数信息，或者删除第一参数信息，或者修改第一参数信息等等。

下面给出了一种第一参数列表的具体示例。

在上述第一参数列表示例中，<RecipeExecutor type＝”default”>和</RecipeExecutor>之间的内容为第一参数列表的具体内容，其中，每个<Param/>可以表示一个第一参数信息，例如：<Param name＝”Cycles(times)”dataObject＝””type＝”D”min＝”0”max＝”100”units＝”time”accuracy＝”1”default＝”2”/>，该第一参数信息的第一参数名称为name的值，即Cycles(times)、第一参数类型为type的值，即D、第一参数默认值为default的值，即2。参照表1，示出了上述第一参数列表中第一参数信息的具体示例。

表1

在实际应用中，本发明工艺参数的处理方法在检测到Recipe模板中的第一参数信息修改时，会依据该Recipe模板的第一配置文件中的第二配置文件标识信息，找到该Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件，并对该第二配置文件中的第二参数列表和步骤列表做相应的修改。在上述第一参数列表示例中，<Recipe/>节点表示该Recipe模板对应的已有Recipe，该Recipe模板有两个对应的已有Recipe，名称name分别的“test1”和“test2”，其中，bodyFileName表示已有Recipe对应的第二配置文件标识，依据该第二配置文件标识可以在下位机中找到该已有Recipe对应的第二配置文件，并对该第二配置文件进行与第一配置文件一致性的修改，也即对“test1”的第二配置文件和“test2”的第二配置文件分别进行与第一配置文件一致性的修改。

在本发明的一种优选实施例中，具体可以通过如下步骤检测Recipe模板的第一配置文件发生改变：

在下位机的启动过程中，通过对比Recipe模板的第一配置文件和该Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件是否相符，检测Recipe模板的第一配置文件是否发生改变；

本发明实施例可以在系统启动时，对比Recipe模板的第一配置文件和该Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件是否相符，例如对比Recipe模板和对应的已有Recipe中的参数信息是否一致，若不一致，则说明Recipe模板的第一配置文件发生改变，需要对已有Recipe进行修改；或者，

通过实时监测Recipe模板中的第一参数信息是否发生改变，检测Recipe模板的第一配置文件是否发生改变。

可以在系统运行过程中，实时监测Recipe模板中的第一参数信息是否发生改变，若发生改变，则说明Recipe模板的第一配置文件发生改变，需要对已有Recipe进行修改。

即本发明实施例可以实现在Recipe模板的第一配置文件中的参数改变的同时，即可对已有Recipe的第二配置文件中的参数也进行相应修改，在实际应用中，该修改过程可以由计算机执行，不需要人工进行参与，避免了人工对每个已有Recipe的第二配置文件一一进行修改的过程，从而可以提高Recipe参数处理效率；此外，由于避免了人工对每个已有Recipe的第二配置文件进行修改，减少了实施人员的操作，可以降低人为修改过程中由于操作失误带来的风险，从而可以提高Recipe参数处理的正确性。

当然，在实际应用中，还可以通过其他方式检测Recipe模板的第一配置文件是否发生改变，本发明对于具体的检测方式不加以限制，例如，还可以通过人工查看的方式，或者，在人工修改了Recipe模板的第一配置文件后，手动启动本发明的工艺参数的处理方法，以实现对已有Recipe的第二配置文件进行修改也是可行的。

步骤102、对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改。

在具体应用中，已有Recipe的第二配置文件具体可以包括第二参数列表和步骤列表(Step)，其中第二参数列表中的第二参数信息和Recipe模板中的第一参数信息具有一一对应的关系；而Step中的第三参数信息和所述第二参数信息具有对应关系。因此，在修改了Recipe模板的第一参数列表中的第一参数信息之后，需要对已有Recipe的第二参数列表和步骤列表中的第二参数信息和第三参数信息进行相应的修改。

在本发明的一种优选实施例中，所述对所述第二配置文件进行与所述第一配置文件进行对比修改的步骤，具体可以包括以下子步骤：

子步骤11、依据所述第一配置文件，获取所述Recipe模板对应的第一参数列表；其中，所述第一参数列表中包括所述Recipe模板的第一参数信息；

子步骤12、依据所述第二配置文件，获取所述已有Recipe的第二参数列表和步骤列表；其中，所述第二参数列表中包括所述已有Recipe的第二参数信息；所述步骤列表中包括与所述第二参数信息对应的第三参数信息；

子步骤13、对所述第一参数信息、第二参数信息和第三参数信息进行对比修改。

在实际应用中，第二参数列表中记录了已有Recipe的所有第二参数信息，该第二参数信息中具体可以包括：第二参数名称、第二参数类型、第二参数默认值等信息。步骤列表中记录了已有Recipe的所有第三参数信息，该第三参数信息中具体可以包括：第三参数名称和第三参数默认值。在具体应用中，一个Recipe可以包括一个或者多个Step。在本发明的一种应用示例中，给出了一种已有Recipe的第二参数列表和Step的示例，下面给出了已有Recipe第二配置文件的第二参数列表的具体示例：

在上述第二参数列表示例中，<ParamList>和</ParamList>之间的内容为第二参数列表的具体内容，其中，每个<Param/>可以表示一个第二参数信息，例如：<Param name＝”Cycles(times)”dataObject＝””type＝”D”min＝”0”max＝”100”units＝”time”accuracy＝”1”default＝”2”/>，并且，该第二参数信息和上述第一参数列表中的第一参数信息具有对应关系。即，在实际应用中，若修改了第一参数列表中的某个第一参数信息，则需要对第二参数列表中对应的第二参数信息，以及步骤列表中对应的第三参数信息也进行一致的修改。

以及，下面给出了已有Recipe第二配置文件的步骤列表的具体示例：

<Step index＝”1”name＝”Clamp”>

<Value param＝”Cycles(times)”value＝”9”/>

<Value param＝”Time_init(sec)”value＝”6”/>

<Value param＝”Time_final(sec)”value＝”6”/>

<Value param＝”Pressure_init(mTorr)”value＝”20”/>

<Value param＝”Pressure_final(mTorr)”value＝”20”/>

<Value param＝”GasCF4_init(200SCCM)”value＝”0”/>

<Value param＝”GasCF4_final(200SCCM)”value＝”0”/>

上述步骤列表具体可以包括第三参数信息，具体地，每个<Value/>可以表示一个第三参数信息，例如：<Value param＝”Cycles(times)”value＝”9”/>，该第三参数信息的第三参数名称为param的值，即Cycles(times)、第三参数默认值为value的值，即9。参照表2，示出了上述步骤列表中第三参数信息的具体示例。

表2

在本发明的另一种优选实施例中，所述对所述第一参数信息、第二参数信息和第三参数信息进行对比修改的步骤，具体可以包括以下子步骤：

子步骤21、对所述第一参数列表中各第一参数信息和所述第二参数列表中各第二参数信息，逐一进行对比；

子步骤22、在所述第一参数信息和所述第二参数信息不一致时，用所述第一参数信息替换所述第二参数信息；并且，用所述第一参数信息中的第一参数名称替换所述第三参数信息中的第三参数名称，以及用所述第一参数信息中的第一参数默认值替换所述第三参数信息中的第三参数默认值。

优选地，上述对所述第一参数信息、第二参数信息和第三参数信息进行对比修改的步骤，还可以包括：

子步骤23、在所述第一参数信息为所述第一参数列表中新增的信息时，在所述第二参数列表中增加与所述第一参数信息对应的第二参数信息，以及在所述步骤列表中增加与所述第一参数信息对应的第三参数信息。

在本发明的又一种优选实施例中，所述方法还可以包括：

在对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改之后，依据修改后的第二参数信息和第三参数信息生成与所述已有Recipe对应的新的第二配置文件。

在本发明实施例中，在对第二配置文件进行修改之后，可以对修改后的第二配置文件进行保存，生成新的第二配置文件，从而在系统下次启动时，可以直接按照新的第二配置文件运行对应的已有Recipe。

综上，本发明在检测到Recipe模板的第一配置文件发生改变时，则对该Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件进行相应修改；相对于现有方案通过人工对每个已有Recipe的第二配置文件一一进行修改，本发明实施例可以通过计算机检测Recipe模板的第一配置文件的改变，并在检测到Recipe模板的第一配置文件发生改变时，通过计算机对该Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件进行相应修改，因此能够提高Recipe参数的处理效率。此外，由于避免了人工对每个已有Recipe的第二配置文件进行修改，减少了实施人员的操作，可以降低人为修改过程中由于操作失误带来的风险。

实施例二

参照图2，示出了本发明的一种工艺参数的处理方法实施例二的步骤流程图，具体可以包括：

步骤201、在检测到Recipe模板的第一配置文件发生改变时，依据所述第一配置文件，获取所述Recipe模板的第一参数列表；

具体地，将Recipe模板对应的第一配置文件中RecipeExecutor节点下以Param为单位存储到第一容器L1中，即将第一参数列表中的所有第一参数信息按顺序依次存储到L1中，所述第一容器L1具体可以为列表List。在实际应用中，除了List，也可以采用其它存储结构，本发明对于存储结构不加以限制。

步骤202、依据所述第一配置文件中记录的已有Recipe的第二配置文件标识，查找得到与所述Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件；

具体地，将Recipe模板的第一配置文件中Recipe节点下的bodyFileName信息存储到第二容器L2中。在具体应用中，Recipe模板可以对应多个已有Recipe，因此，将bodyFileName信息存储到第二容器L2中，即将该Recipe模板对应的所有的已有Recipe的第二配置文件标识按顺序依次存储在L2中。

步骤203、依据各已有Recipe的第二配置文件标识，查找所述已有Recipe对应的第二配置文件；

具体地，依据L2[j]中存储的已有Recipe的第二配置文件标识，在下位机中查找对应的已有Recipe的第二配置文件；其中，j初始设置为0。在具体应用中，Recipe模板可以对应多个已有Recipe，因此，从L2中存储的第一个已有Recipe的标识信息开始查找，直到L2中存储的所有的已有Recipe的标识信息查找结束。

步骤204、依据各已有Recipe对应的第二配置文件，获取各已有Recipe的第二参数列表和步骤列表；

具体地，将第二配置文件中ParamList节点下以Param为单位存储到第三容器L3，即将第二参数列表中的所有第二参数信息按顺序依次存储到L3中，以及将最后一个step节点下的index值存储到第四容器L4，该最后一个step节点下的index值可以表示第二参数信息的个数，再将该步骤列表对应的第三参数信息以Value为单位存储到第五容器L4。

步骤205、对所述第一参数列表中各第一参数信息和所述第二参数列表中各第二参数信息，逐一进行对比；在所述第一参数信息和所述第二参数信息不一致时，用所述第一参数信息替换所述第二参数信息；并且，用所述第一参数信息中的第一参数名称替换所述第三参数信息中的第三参数名称，以及用所述第一参数信息中的第一参数默认值替换所述第三参数信息中的第三参数默认值；

具体地，从L1的第一个Param与L3的第一个Param开始比较，初始i＝0，若L1[i]和L2[i]的内容不一致，则用L1[i]替换L2[i]的内容，同时，将L4[i]的第三参数名称Param替换为L1[i]的第一参数名称name、以及将L4[i]的第三参数默认值value替换为L1[i]的第一参数默认值default。

步骤206、在所述第一参数信息为所述第一参数列表中新增的信息时，在所述第二参数列表中增加与所述第一参数信息对应的第二参数信息，以及在所述步骤列表中增加与所述第一参数信息对应的第三参数信息；

具体地，若L1[i]在L2中不存在，则在L3中增加L1[i]，并且，在L4中增加Value节点，该Value节点中的Param具体为L1[i]的name、value具体为L1[i]的default值。

步骤207、依据修改后的第二参数信息和第三参数信息生成与所述已有Recipe对应的新的第二配置文件。

具体地，依据最新的L3、L4以及L4对应的STEP信息生成以L2[j]为名称的第二配置文件，该第二配置文件具体可以为xml文件。本发明实施例通过逐个对比L1中存储的Recipe模板的第一参数信息，与L3中存储的已有Recipe的第二参数信息、以及L4中存储的已有Recipe的第三参数信息，利用计算机程序实现对已有Recipe第二配置文件中的第二参数信息和第三参数信息进行修改，避免了人工对每个已有Recipe的第二配置文件一一进行修改的过程，从而可以提高Recipe参数处理效率；此外，由于避免了人工对每个已有Recipe的第二配置文件进行修改，减少了实施人员的操作，可以降低人为修改过程中由于操作失误带来的风险，从而可以提高Recipe参数处理的正确性。

应用示例

接下来，以上述实施例中的第一参数列表、第二参数列表和步骤列表的具体示例为例，说明本发明的工艺参数的处理方法。假设对Recipe模板的修改操作具体为：在Recipe模板中增加了一条新的第一参数信息，该新的第一参数信息具体如下：Param：<Param name＝”RcpTestEx”dataobject＝””type＝”I”min＝”0”max＝”1”descriptorList＝”NO:0,YES:1”units＝””default＝”NO”>。

在本发明实施例中，重启下位机软件后即可自动对已有Recipe进行对应的修改，具体过程可以如下：

首先，获取Recipe模板的第一配置文件中RecipeExexutor节点下的所有第一参数信息(Param)和所有Recipe节点下的第二配置文件标识(bodyFileName)。

然后，根据获取的bodyFileName找到对应的已有Recipe的第二配置文件，将第二配置文件对应的第二参数列表中的第二参数信息(ParamList节点下的Param)修改为与Recipe模板中一致的Param，由于Recipe模板中增加了一个参数，因此，所有已有Recipe的第二配置文件中ParamList节点下也会增加一个Param：<Param name＝”RcpTestEx”dataobject＝””type＝”I”min＝”0”max＝”1”descriptorList＝”NO:0,YES:1”units＝””default＝”NO”>。

最后，将已有Recipe的每个Step节点下第三参数信息Value中的第三参数名称(param)与模板中的第一参数名称(Param)进行对比，不同则根据模板进行修改，将第三参数名称(param)修改为模板中对应的第一参数名称(Param节点下的name)，第三参数默认值(value)修改为为模板中对应的第一参数默认值(Param节点下的default值)，在本应用示例中，每个step会自动增加一个新的第三参数，即：<Value param＝”RcpTestExvalue＝”NO”/>。

装置实施例

参照图3，示出了本发明一种工艺参数的处理装置实施例的结构框图，具体可以包括：

检测模块310，用于在检测到Recipe模板的第一配置文件发生改变时，依据所述第一配置文件中记录的已有Recipe的第二配置文件标识，查找得到与所述Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件；及

修改模块320，用于对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改。

在本发明的一种优选实施例中，所述修改模块，具体可以包括：

第一获取子模块，用于依据所述第一配置文件，获取所述Recipe模板对应的第一参数列表；其中，所述第一参数列表中包括所述Recipe模板的第一参数信息；

第二获取子模块，用于依据所述第二配置文件，获取所述已有Recipe的第二参数列表和步骤列表；其中，所述第二参数列表中包括所述已有Recipe的第二参数信息；所述步骤列表中包括与所述第二参数信息对应的第三参数信息；

修改子模块，用于对所述第一参数信息、第二参数信息和第三参数信息进行对比修改。

在本发明的另一种优选实施例中，所述修改子模块，具体可以包括：

第一修改单元，用于对所述第一参数列表中各第一参数信息和所述第二参数列表中各第二参数信息，逐一进行对比；

第二修改单元，用于在所述第一参数信息和所述第二参数信息不一致时，用所述第一参数信息替换所述第二参数信息；并且，用所述第一参数信息中的第一参数名称替换所述第三参数信息中的第三参数名称，以及用所述第一参数信息中的第一参数默认值替换所述第三参数信息中的第三参数默认值。

在本发明的又一种优选实施例中，所述装置还可以包括：

新增模块，用于在所述第一参数信息为所述第一参数列表中新增的信息时，在所述第二参数列表中增加与所述第一参数信息对应的第二参数信息，以及在所述步骤列表中增加与所述第一参数信息对应的第三参数信息。

在本发明的再一种优选实施例中，所述装置还可以包括：

文件生成模块，用于在对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改之后，依据修改后的第二参数信息和第三参数信息生成与所述已有Recipe对应的新的第二配置文件。

对于装置实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。

本领域内的技术人员应明白，本发明实施例的实施例可提供为方法、装置、或计算机程序产品。因此，本发明实施例可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本发明实施例可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。

本发明实施例是参照根据本发明实施例的方法、终端设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理终端设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理终端设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。

这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理终端设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理终端设备上，使得在计算机或其他可编程终端设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程终端设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。

尽管已描述了本发明实施例的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明实施例范围的所有变更和修改。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者终端设备中还存在另外的相同要素。

以上对本发明所提供的一种工艺参数的处理方法和装置，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (7)

1.一种工艺参数的处理方法，其特征在于，所述方法包括：

在检测到Recipe模板的第一配置文件发生改变时，依据所述第一配置文件中记录的已有Recipe的第二配置文件标识，查找得到与所述Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件；

对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改；

其中，所述对所述第二配置文件进行与所述第一配置文件进行对比修改的步骤，包括：

依据所述第一配置文件，获取所述Recipe模板对应的第一参数列表；其中，所述第一参数列表中包括所述Recipe模板的第一参数信息；

依据所述第二配置文件，获取所述已有Recipe的第二参数列表和步骤列表；其中，所述第二参数列表中包括所述已有Recipe的第二参数信息；所述步骤列表中包括与所述第二参数信息对应的第三参数信息；

对所述第一参数信息、第二参数信息和第三参数信息进行对比修改；

其中，所述对所述第一参数信息、第二参数信息和第三参数信息进行对比修改的步骤，包括：

对所述第一参数列表中各第一参数信息和所述第二参数列表中各第二参数信息，逐一进行对比；

在所述第一参数信息和所述第二参数信息不一致时，用所述第一参数信息替换所述第二参数信息；并且，用所述第一参数信息中的第一参数名称替换所述第三参数信息中的第三参数名称，以及用所述第一参数信息中的第一参数默认值替换所述第三参数信息中的第三参数默认值。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

在所述第一参数信息为所述第一参数列表中新增的信息时，在所述第二参数列表中增加与所述第一参数信息对应的第二参数信息，以及在所述步骤列表中增加与所述第一参数信息对应的第三参数信息。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

在对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改之后，依据修改后的第二参数信息和第三参数信息生成与所述已有Recipe对应的新的第二配置文件。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，通过如下步骤检测Recipe模板的第一配置文件发生改变：

在下位机的启动过程中，通过对比Recipe模板的第一配置文件和该Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件是否相符，检测Recipe模板的第一配置文件是否发生改变；

或者，通过实时监测Recipe模板中的第一参数信息是否发生改变，检测Recipe模板的第一配置文件是否发生改变。

5.一种工艺参数的处理装置，其特征在于，所述装置包括：

检测模块，用于在检测到Recipe模板的第一配置文件发生改变时，依据所述第一配置文件中记录的已有Recipe的第二配置文件标识，查找得到与所述Recipe模板对应的已有Recipe的第二配置文件；及

修改模块，用于对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改；

其中，所述修改模块，包括：

第一获取子模块，用于依据所述第一配置文件，获取所述Recipe模板对应的第一参数列表；其中，所述第一参数列表中包括所述Recipe模板的第一参数信息；

第二获取子模块，用于依据所述第二配置文件，获取所述已有Recipe的第二参数列表和步骤列表；其中，所述第二参数列表中包括所述已有Recipe的第二参数信息；所述步骤列表中包括与所述第二参数信息对应的第三参数信息；

修改子模块，用于对所述第一参数信息、第二参数信息和第三参数信息进行对比修改；

其中，所述修改子模块，包括：

第一修改单元，用于对所述第一参数列表中各第一参数信息和所述第二参数列表中各第二参数信息，逐一进行对比；

第二修改单元，用于在所述第一参数信息和所述第二参数信息不一致时，用所述第一参数信息替换所述第二参数信息；并且，用所述第一参数信息中的第一参数名称替换所述第三参数信息中的第三参数名称，以及用所述第一参数信息中的第一参数默认值替换所述第三参数信息中的第三参数默认值。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

新增模块，用于在所述第一参数信息为所述第一参数列表中新增的信息时，在所述第二参数列表中增加与所述第一参数信息对应的第二参数信息，以及在所述步骤列表中增加与所述第一参数信息对应的第三参数信息。

7.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

文件生成模块，用于在对所述第二配置文件与所述第一配置文件进行对比修改之后，依据修改后的第二参数信息和第三参数信息生成与所述已有Recipe对应的新的第二配置文件。