CN106609350A - 一种负载模块开盖结构 - Google Patents

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杜广宇
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方仕彩
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Abstract

一种负载模块开盖结构，主要解决现有负载模块开盖结构采用手动开盖的方式费时费力等问题，本发明提供一种负载模块开盖结构，该开盖结构包括上盖板，曲连杆，负载腔体，气缸，直连杆及气缸套。本发明的负载模块开盖结构简单实用，自动化程度高，节省开盖时间，提高产能，并且具有较大的开合角度，机构运动平稳。

Description

一种负载模块开盖结构
技术领域
本发明涉及一种负载模块开盖结构，属于半导体薄膜设备的应用技术领域。
背景技术
半导体薄膜制备设备中，负载模块需要按期开腔以便对腔体内进行清理。由于腔体内部在抽真空状态下，上盖板通常会和腔体密封圈黏连，因此上盖板开启需要起升力，采用手动开盖的方式费时费力。所以，需要一种具有较大的开合角度，实现开盖的自动化，节省开盖时间、提高生产效率的负载模块开盖结构。
发明内容
本发明以解决上述问题为目的，提供了一种负载模块开盖结构，该开盖结构采用四杆机构旋转开闭上盖板，具有较大的开合角度，使用便捷、省时省力，提高产能。
为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：
一种负载模块开盖结构，该开盖结构包括上盖板，曲连杆，负载腔体，气缸，直连杆及气缸套；所述上盖板与负载腔体之间通过曲连杆与直连杆相连接，两个所述气缸套分别固定安装在负载腔体的上表面两侧，上盖板两侧分别固定有气缸，所述气缸插入气缸套中活动连接。
进一步地，所述直连杆为两个。
进一步地，所述气缸在气缸套中可伸缩。
本发明的有益效果及特点在于：
1、本发明的负载模块开盖结构简单实用，自动化程度高，节省开盖时间，提高产能；
2、本发明的负载模块开盖结构具有较大的开合角度，机构运动平稳。
附图说明
图1为本发明的负载模块开盖结构示意图；
图2为本发明实施例中的负载模块开盖结构闭合时的结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例进一步对本发明进行详细说明，但发明保护内容不局限于所述实施例：
参照图1-2，一种负载模块开盖结构，该开盖结构包括上盖板1，曲连杆2，负载腔体3，气缸4，直连杆5及气缸套6；所述上盖板1与负载腔体3之间通过曲连杆2与直连杆5相连接，两个所述气缸套6分别固定安装在负载腔体3的上表面两侧，上盖板1两侧分别固定有气缸4，所述气缸4插入气缸套6中活动连接。
所述直连杆5为两个。
所述气缸4在气缸套6中可伸缩。
闭合时，负载模块各结构如图2所示；当上盖板1需要开启时，打开上盖板1，气缸4从气缸套6中伸出，向上推动上盖板1沿曲连杆2和直连杆5组成的四杆机构，达到开盖的目的；当上盖板1需要闭合时，拉下下盖板1，气缸4从气缸套6中收缩，向下拉动上盖板1沿曲连杆2和直连杆5组成的四杆机构旋转，达到关闭上盖板1的功能。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种负载模块开盖结构，其特征在于，该开盖结构包括上盖板，曲连杆，负载腔体，气缸，直连杆及气缸套；所述上盖板与负载腔体之间通过曲连杆与直连杆相连接，两个所述气缸套分别固定安装在负载腔体的上表面两侧，上盖板两侧分别固定有气缸，所述气缸插入气缸套中活动连接。
2.如权利要求1所述的一种负载模块开盖结构，其特征在于，所述直连杆为两个。
3.如权利要求1所述的一种负载模块开盖结构，其特征在于，所述气缸在气缸套中可伸缩。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112435829A (zh) * 2020-11-30 2021-03-02 斯沃博达汽车电子（昆山）有限公司 一种汽车发动机线圈及生产工艺
CN114717509A (zh) * 2022-06-09 2022-07-08 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 一种腔体盖开合结构及气相沉积设备

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