CN106597913A - 硅片传输平台控制系统 - Google Patents

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邓德智
杨奇峰
邹风山
徐方
边弘晔
陈禹希
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    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/04—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
    • G05B19/042—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers using digital processors
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Abstract

本发明涉及一种硅片传输平台控制系统，包括主控制器、交换机、串口转换模块、IO采集模块和Devicenet HUB，串口转换模块、IO采集模块和Devicenet HUB通过交换机连接到主控制器；交换机还连接以太网设备。在整个控制系统中使用了串口转换模块、IO采集模块、交换机、DeviceNet HUB的组合。这样的设计极大的减小了整个控制系统的体积，把各类通信功能，通过不同的转换模块整合成同一类的通讯方式，可以解决现有洁净真空传输系统中各类通信协议较多的问题。相对于原有的控制系统而言，在结构上更加清晰、集成度更高，控制调度起来更加简单，大大的提高了系统的简易性和可靠性。

Description

硅片传输平台控制系统
技术领域
本发明涉及半导体传输系统的自动化控制领域，更具体的说，是涉及一种硅片传输平台控制系统。
背景技术
在现代先进的半导体加工工艺设备中，硅片传输是必不可少的，尤其涉及到真空环境下的硅片传输，需要硅片从大气环境进入系统，然后过渡到真空，进而在设备中进行相应的工艺加工。在竞争激烈的半导体行业中，高效的生产成本控制，意味着高的竞争力。对半导体设备而言，硅片传输系统具有更高的硅片传输效率，意味着单台设备具有更低的生产成本。如何充分提高系统中各个单元的使用率，提高当前的硅片传输系统的传输效率，提高半导体设备的产能，进而降低生产成本，具有重大意义。
一个洁净硅片传输平台系统为了满足不同加工工艺的需要，需要集成多种设备，如VCE(真空硅片盒升降机)、Alinger(预对准装置)、直驱真空机械手，真空传输腔室、真空泵系统、真空规、IO信号采集单元、阀岛、加热系统及主控制器等。
现有的洁净真空传输系统中，由于各种设备的接口各异，集IO、RS232串口、以太网及DeviceNet等接口于一体，所以在系统搭建上比较混乱，如果将这些接口一一连接到主控制器上，不但会使控制器上的接口种类和数量过多，控制器整体的体积和成本增加，而且在编程与控制上要集合多种协议，使本来可以很简单的控制变得很繁琐；此外，由于系统中需要调度和控制的设备很多，对各设备之间的相互配合要求实时性好，可靠性高，但由于现有的系统的搭建复杂，同时需要履行多种协议，所以系统的实时性和可靠性很难很好的得到保障。
发明内容
有鉴于此，有必要针对上述问题，提供一种硅片传输平台控制系统，大大的提高了系统的简易性和可靠性，把各类通信功能模块，通过不同的转换模块整合成同一类的通讯方式，解决现有洁净真空传输系统中各类通信协议较多的问题。
为了实现上述目的，本发明的技术方案如下：
一种硅片传输平台控制系统，包括主控制器、交换机、串口转换模块、IO采集模块和Devicenet HUB，所述串口转换模块、IO采集模块和Devicenet HUB通过交换机连接到所述主控制器；所述交换机还连接以太网设备。
作为优选的，所述串口转换模块通过RS232连接串口设备，所述串口设备包括真空Alinger、VCE。
作为优选的，所述IO采集模块通过IO接口连接IO设备，所述IO设备包括传感器、真空规、VCE、真空机械手，所述真空机械手为直驱真空机械手。
作为优选的，所述Devicenet HUB(DEVICENET总线隔离中继器)连接DeviceNet总线设备，所述DeviceNet总线设备包括真空规、阀岛，所述阀岛连接有阀门。
作为优选的，所述Devicenet HUB还连接有温度控制器。
与现有技术相比，本发明的有益效果在于：在整个控制系统中使用了串口转换模块、IO采集模块、交换机、DeviceNet HUB的组合。这样的设计极大的减小了整个控制系统的体积，把各类通信功能，通过不同的转换模块整合成同一类的通讯方式，可以解决现有洁净真空传输系统中各类通信协议较多的问题。相对于原有的控制系统而言，在结构上更加清晰、集成度更高，控制调度起来更加简单，大大的提高了系统的简易性和可靠性。
附图说明
图1是本发明的硅片传输平台控制系统的结构框图；
图2是本发明的硅片传输平台控制系统的整体结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明所述的硅片传输平台控制系统作进一步说明。
本发明提供的硅片传输平台控制系统主要用于洁净领域，可以采用8英寸硅片进行传输，及8英寸硅片传输平台控制系统，也可以是其他尺寸的硅片传输平台控制系统。
以下是本发明所述的硅片传输平台控制系统的最佳实例，并不因此限定本发明的保护范围。
图1和图2具体示出一种8英寸硅片传输平台控制系统，包括主控制器、交换机、串口转换模块、IO采集模块和Devicenet HUB，串口转换模块、IO采集模块和Devicenet HUB通过交换机连接到主控制器。极大的减小了整个控制系统的体积，把各类通信功能，通过不同的转换模块整合成同一类的通讯方式，可以解决现有洁净真空传输系统中各类通信协议较多的问题。
交换机还连接以太网设备，将不同通讯协议的设备信息装换为以太网形式，通过交换机与主控制器连接起来。串口转换模块通过RS232连接串口设备，串口设备包括真空Alingner和VCE；IO采集模块通过IO接口连接IO设备，包括传感器、真空规、VCE、真空机械手，并采集来自传感器、真空规、VCE、真空机械手的IO信号，本实施例中采用直驱真空机械手。
Devicenet HUB则连接DeviceNet总线设备，DeviceNet总线设备包括规、阀岛，阀岛连接有阀门，用于信号输入与输出的控制；Devicenet HUB还连接有一温度控制器，实施监测系统温度，并通过Devicenet HUB、交换机反馈到主控制器。
综上所述，本发明的硅片传输平台控制系统，在整个控制系统中使用了串口转换模块、IO采集模块、交换机、DeviceNet HUB的组合。这样的设计极大的减小了整个控制系统的体积，将不同通讯协议的设备最终转换成以太网形式，通过交换机与主控制器相连接起来，从而实现对真空传输平台系统中设备的整体调度和控制。通过不同的转换模块整合成同一类的通讯方式，可以解决现有洁净真空传输系统中各类通信协议较多的问题。相对于原有的控制系统而言，在结构上更加清晰、集成度更高，控制调度起来更加简单，大大的提高了系统的简易型和可靠性。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (6)

1.一种硅片传输平台控制系统，其特征在于，包括主控制器、交换机、串口转换模块、IO采集模块和Devicenet HUB，所述串口转换模块、IO采集模块和Devicenet HUB通过交换机连接到所述主控制器；所述交换机还连接以太网设备。
2.根据权利要求1所述的硅片传输平台控制系统，其特征在于，所述串口转换模块通过RS232连接串口设备，所述串口设备包括真空Alinger、VCE。
3.根据权利要求1所述的硅片传输平台控制系统，其特征在于，所述IO采集模块通过IO接口连接IO设备，所述IO设备包括传感器、真空规、VCE、真空机械手。
4.根据权利要求3所述的硅片传输平台控制系统，其特征在于，所述真空机械手为直驱真空机械手。
5.根据权利要求1所述的硅片传输平台控制系统，其特征在于，所述Devicenet HUB连接DeviceNet总线设备，所述DeviceNet总线设备包括真空规、阀岛，所述阀岛连接有阀门。
6.根据权利要求1所述的硅片传输平台控制系统，其特征在于，所述Devicenet HUB还连接有温度控制器。
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