CN106597011B - 双轴mems谐振式加速度传感器结构 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及MEMS谐振式加速度传感器，具体是一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构。本发明解决了现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题。双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，包括中心质量块、第一至第四环岛质量块、第一至第四大锚块、第一至第十六Ω形支撑梁、第一至第四连接梁、第一至第八梳状微谐振器、第一至第八小锚块；其中，第一环岛质量块位于中心质量块的前方；第二环岛质量块位于中心质量块的后方；第三环岛质量块位于中心质量块的左方；第四环岛质量块位于中心质量块的右方。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。
Description
技术领域
本发明涉及MEMS谐振式加速度传感器，具体是一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构。
背景技术
MEMS谐振式加速度传感器是基于谐振器的一种加速度敏感装置，具有体积小、质量轻、灵敏度高、可批量生产、价格便宜等优点，广泛应用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域，具有极其广泛的应用前景。MEMS谐振式加速度传感器的具体工作原理如下：当没有加速度输入时，MEMS谐振式加速度传感器中的谐振器工作在其固有频率的模态下。此时，MEMS谐振式加速度传感器的输出为零。当有加速度输入时，MEMS谐振式加速度传感器中的谐振器的固有频率发生变化。此时，通过检测谐振器的固有频率变化量，即可计算出输入的加速度。然而实践表明，现有MEMS谐振式加速度传感器由于自身结构所限，存在敏感方向单一的问题，由此导致其仅仅能够测出单轴方向输入的加速度，从而导致其适用范围受限。基于此，有必要发明一种全新的MEMS谐振式加速度传感器，以解决现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题。
发明内容
本发明为了解决现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题，提供了一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构。
本发明是采用如下技术方案实现的：
双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，包括中心质量块、第一至第四环岛质量块、第一至第四大锚块、第一至第十六Ω形支撑梁、第一至第四连接梁、第一至第八梳状微谐振器、第一至第八小锚块；
其中，第一环岛质量块位于中心质量块的前方；第一环岛质量块的后表面与中心质量块的前表面平行；第一环岛质量块的左表面与中心质量块的左表面齐平；第一环岛质量块的右表面与中心质量块的右表面齐平；第二环岛质量块位于中心质量块的后方；第二环岛质量块的前表面与中心质量块的后表面平行；第二环岛质量块的左表面与中心质量块的左表面齐平；第二环岛质量块的右表面与中心质量块的右表面齐平；第三环岛质量块位于中心质量块的左方；第三环岛质量块的右表面与中心质量块的左表面平行；第三环岛质量块的前表面与中心质量块的前表面齐平；第三环岛质量块的后表面与中心质量块的后表面齐平；第四环岛质量块位于中心质量块的右方；第四环岛质量块的左表面与中心质量块的右表面齐平；第四环岛质量块的前表面与中心质量块的前表面齐平；第四环岛质量块的后表面与中心质量块的后表面齐平；
第一大锚块的前表面与第一环岛质量块的前表面齐平；第一大锚块的后表面与第一环岛质量块的后表面齐平；第一大锚块的左表面与第三环岛质量块的左表面齐平；第一大锚块的右表面与第三环岛质量块的右表面齐平；第二大锚块的前表面与第一环岛质量块的前表面齐平；第二大锚块的后表面与第一环岛质量块的后表面齐平；第二大锚块的左表面与第四环岛质量块的左表面齐平；第二大锚块的右表面与第四环岛质量块的右表面齐平；第三大锚块的前表面与第二环岛质量块的前表面齐平；第三大锚块的后表面与第二环岛质量块的后表面齐平；第三大锚块的左表面与第三环岛质量块的左表面齐平；第三大锚块的右表面与第三环岛质量块的右表面齐平；第四大锚块的前表面与第二环岛质量块的前表面齐平；第四大锚块的后表面与第二环岛质量块的后表面齐平；第四大锚块的左表面与第四环岛质量块的左表面齐平；第四大锚块的右表面与第四环岛质量块的右表面齐平；
第一Ω形支撑梁的两端分别与第一环岛质量块的左表面中部和第一大锚块的右表面中部固定；第二Ω形支撑梁的两端分别与中心质量块的左表面前部和第三环岛质量块的右表面前部固定；第三Ω形支撑梁的两端分别与第三环岛质量块的前表面中部和第一大锚块的后表面中部固定；第四Ω形支撑梁的两端分别与中心质量块的前表面左部和第一环岛质量块的后表面左部固定；第五Ω形支撑梁的两端分别与第一环岛质量块的右表面中部和第二大锚块的左表面中部固定；第六Ω形支撑梁的两端分别与中心质量块的右表面前部和第四环岛质量块的左表面前部固定；第七Ω形支撑梁的两端分别与中心质量块的前表面右部和第一环岛质量块的后表面右部固定；第八Ω形支撑梁的两端分别与第四环岛质量块的前表面中部和第二大锚块的后表面中部固定；第九Ω形支撑梁的两端分别与中心质量块的左表面后部和第三环岛质量块的右表面后部固定；第十Ω形支撑梁的两端分别与第二环岛质量块的左表面中部和第三大锚块的右表面中部固定；第十一Ω形支撑梁的两端分别与第三环岛质量块的后表面中部和第三大锚块的前表面中部固定；第十二Ω形支撑梁的两端分别与中心质量块的后表面左部和第二环岛质量块的前表面左部固定；第十三Ω形支撑梁的两端分别与中心质量块的右表面后部和第四环岛质量块的左表面后部固定；第十四Ω形支撑梁的两端分别与第二环岛质量块的右表面中部和第四大锚块的左表面中部固定；第十五Ω形支撑梁的两端分别与中心质量块的后表面右部和第二环岛质量块的前表面右部固定；第十六Ω形支撑梁的两端分别与第四环岛质量块的后表面中部和第四大锚块的前表面中部固定；
第一连接梁垂直固定于第一环岛质量块的前表面中部；第二连接梁垂直固定于第二环岛质量块的后表面中部；第三连接梁垂直固定于第三环岛质量块的左表面中部；第四连接梁垂直固定于第四环岛质量块的右表面中部；
第一梳状微谐振器的谐振梁垂直固定于第一连接梁的左表面前部；第二梳状微谐振器的谐振梁垂直固定于第一连接梁的右表面前部；第三梳状微谐振器的谐振梁垂直固定于第二连接梁的左表面后部；第四梳状微谐振器的谐振梁垂直固定于第二连接梁的右表面后部；第五梳状微谐振器的谐振梁垂直固定于第三连接梁的前表面左部；第六梳状微谐振器的谐振梁垂直固定于第三连接梁的后表面左部；第七梳状微谐振器的谐振梁垂直固定于第四连接梁的前表面右部；第八梳状微谐振器的谐振梁垂直固定于第四连接梁的后表面右部；
第一小锚块的右表面中部与第一梳状微谐振器的谐振梁左端固定；第一小锚块的左表面与第一大锚块的左表面齐平；第二小锚块的左表面中部与第二梳状微谐振器的谐振梁右端固定；第二小锚块的右表面与第二大锚块的右表面齐平；第三小锚块的右表面中部与第三梳状微谐振器的谐振梁左端固定；第三小锚块的左表面与第三大锚块的左表面齐平；第四小锚块的左表面中部与第四梳状微谐振器的谐振梁右端固定；第四小锚块的右表面与第四大锚块的右表面齐平；第五小锚块的后表面中部与第五梳状微谐振器的谐振梁前端固定；第五小锚块的前表面与第一大锚块的前表面齐平；第六小锚块的前表面中部与第六梳状微谐振器的谐振梁后端固定；第六小锚块的后表面与第三大锚块的后表面齐平；第七小锚块的后表面中部与第七梳状微谐振器的谐振梁前端固定；第七小锚块的前表面与第二大锚块的前表面齐平；第八小锚块的前表面中部与第八梳状微谐振器的谐振梁后端固定；第八小锚块的后表面与第四大锚块的后表面齐平。
工作时，第一至第四大锚块的下表面、第一至第八小锚块的下表面均与外部基板键合。具体工作过程如下：当没有加速度输入时，第一至第八梳状微谐振器均工作在其固有频率的模态下。此时，本发明的输出为零。当x轴方向（即左右方向）有加速度输入时，中心质量块、第一环岛质量块、第二环岛质量块在惯性力的作用下向左（向右）位移，由此一方面对第一梳状微谐振器的谐振梁、第三梳状微谐振器的谐振梁施加压力（拉力），另一方面对第二梳状微谐振器的谐振梁、第四梳状微谐振器的谐振梁施加拉力（压力），从而使得以上各个梳状微谐振器的谐振梁的固有频率发生变化。此时，通过检测以上各个梳状微谐振器的谐振梁的固有频率变化量，即可计算出x轴方向输入的加速度。当y轴方向（即前后方向）有加速度输入时，中心质量块、第三环岛质量块、第四环岛质量块在惯性力的作用下向前（向后）位移，由此一方面对第五梳状微谐振器的谐振梁、第七梳状微谐振器的谐振梁施加压力（拉力），另一方面对第六梳状微谐振器的谐振梁、第八梳状微谐振器的谐振梁施加拉力（压力），从而使得以上各个梳状微谐振器的谐振梁的固有频率发生变化。此时，通过检测以上各个梳状微谐振器的谐振梁的固有频率变化量，即可计算出y轴方向输入的加速度。
基于上述过程，与现有MEMS谐振式加速度传感器相比，本发明所述的双轴MEMS谐振式加速度传感器结构通过采用全新的对称结构，使得自身敏感方向不再单一，因此其能够测出双轴方向（x轴方向和y轴方向）输入的加速度，其适用范围不再受限。
本发明结构合理、设计巧妙，有效解决了现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题，适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图中：1-中心质量块，201-第一环岛质量块，202-第二环岛质量块，203-第三环岛质量块，204-第四环岛质量块，301-第一大锚块，302-第二大锚块，303-第三大锚块，304-第四大锚块，401-第一Ω形支撑梁，402-第二Ω形支撑梁，403-第三Ω形支撑梁，404-第四Ω形支撑梁，405-第五Ω形支撑梁，406-第六Ω形支撑梁，407-第七Ω形支撑梁，408-第八Ω形支撑梁，409-第九Ω形支撑梁，410-第十Ω形支撑梁，411-第十一Ω形支撑梁，412-第十二Ω形支撑梁，413-第十三Ω形支撑梁，414-第十四Ω形支撑梁，415-第十五Ω形支撑梁，416-第十六Ω形支撑梁，501-第一连接梁，502-第二连接梁，503-第三连接梁，504-第四连接梁，601-第一梳状微谐振器，602-第二梳状微谐振器，603-第三梳状微谐振器，604-第四梳状微谐振器，605-第五梳状微谐振器，606-第六梳状微谐振器，607-第七梳状微谐振器，608-第八梳状微谐振器，701-第一小锚块，702-第二小锚块，703-第三小锚块，704-第四小锚块，705-第五小锚块，706-第六小锚块，707-第七小锚块，708-第八小锚块。
具体实施方式
双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，包括中心质量块1、第一至第四环岛质量块201~204、第一至第四大锚块301~304、第一至第十六Ω形支撑梁401~416、第一至第四连接梁501~504、第一至第八梳状微谐振器601~608、第一至第八小锚块701~708；
其中，第一环岛质量块201位于中心质量块1的前方；第一环岛质量块201的后表面与中心质量块1的前表面平行；第一环岛质量块201的左表面与中心质量块1的左表面齐平；第一环岛质量块201的右表面与中心质量块1的右表面齐平；第二环岛质量块202位于中心质量块1的后方；第二环岛质量块202的前表面与中心质量块1的后表面平行；第二环岛质量块202的左表面与中心质量块1的左表面齐平；第二环岛质量块202的右表面与中心质量块1的右表面齐平；第三环岛质量块203位于中心质量块1的左方；第三环岛质量块203的右表面与中心质量块1的左表面平行；第三环岛质量块203的前表面与中心质量块1的前表面齐平；第三环岛质量块203的后表面与中心质量块1的后表面齐平；第四环岛质量块204位于中心质量块1的右方；第四环岛质量块204的左表面与中心质量块1的右表面齐平；第四环岛质量块204的前表面与中心质量块1的前表面齐平；第四环岛质量块204的后表面与中心质量块1的后表面齐平；
第一大锚块301的前表面与第一环岛质量块201的前表面齐平；第一大锚块301的后表面与第一环岛质量块201的后表面齐平；第一大锚块301的左表面与第三环岛质量块203的左表面齐平；第一大锚块301的右表面与第三环岛质量块203的右表面齐平；第二大锚块302的前表面与第一环岛质量块201的前表面齐平；第二大锚块302的后表面与第一环岛质量块201的后表面齐平；第二大锚块302的左表面与第四环岛质量块204的左表面齐平；第二大锚块302的右表面与第四环岛质量块204的右表面齐平；第三大锚块303的前表面与第二环岛质量块202的前表面齐平；第三大锚块303的后表面与第二环岛质量块202的后表面齐平；第三大锚块303的左表面与第三环岛质量块203的左表面齐平；第三大锚块303的右表面与第三环岛质量块203的右表面齐平；第四大锚块304的前表面与第二环岛质量块202的前表面齐平；第四大锚块304的后表面与第二环岛质量块202的后表面齐平；第四大锚块304的左表面与第四环岛质量块204的左表面齐平；第四大锚块304的右表面与第四环岛质量块204的右表面齐平；
第一Ω形支撑梁401的两端分别与第一环岛质量块201的左表面中部和第一大锚块301的右表面中部固定；第二Ω形支撑梁402的两端分别与中心质量块1的左表面前部和第三环岛质量块203的右表面前部固定；第三Ω形支撑梁403的两端分别与第三环岛质量块203的前表面中部和第一大锚块301的后表面中部固定；第四Ω形支撑梁404的两端分别与中心质量块1的前表面左部和第一环岛质量块201的后表面左部固定；第五Ω形支撑梁405的两端分别与第一环岛质量块201的右表面中部和第二大锚块302的左表面中部固定；第六Ω形支撑梁406的两端分别与中心质量块1的右表面前部和第四环岛质量块204的左表面前部固定；第七Ω形支撑梁407的两端分别与中心质量块1的前表面右部和第一环岛质量块201的后表面右部固定；第八Ω形支撑梁408的两端分别与第四环岛质量块204的前表面中部和第二大锚块302的后表面中部固定；第九Ω形支撑梁409的两端分别与中心质量块1的左表面后部和第三环岛质量块203的右表面后部固定；第十Ω形支撑梁410的两端分别与第二环岛质量块202的左表面中部和第三大锚块303的右表面中部固定；第十一Ω形支撑梁411的两端分别与第三环岛质量块203的后表面中部和第三大锚块303的前表面中部固定；第十二Ω形支撑梁412的两端分别与中心质量块1的后表面左部和第二环岛质量块202的前表面左部固定；第十三Ω形支撑梁413的两端分别与中心质量块1的右表面后部和第四环岛质量块204的左表面后部固定；第十四Ω形支撑梁414的两端分别与第二环岛质量块202的右表面中部和第四大锚块304的左表面中部固定；第十五Ω形支撑梁415的两端分别与中心质量块1的后表面右部和第二环岛质量块202的前表面右部固定；第十六Ω形支撑梁416的两端分别与第四环岛质量块204的后表面中部和第四大锚块304的前表面中部固定；
第一连接梁501垂直固定于第一环岛质量块201的前表面中部；第二连接梁502垂直固定于第二环岛质量块202的后表面中部；第三连接梁503垂直固定于第三环岛质量块203的左表面中部；第四连接梁504垂直固定于第四环岛质量块204的右表面中部；
第一梳状微谐振器601的谐振梁垂直固定于第一连接梁501的左表面前部；第二梳状微谐振器602的谐振梁垂直固定于第一连接梁501的右表面前部；第三梳状微谐振器603的谐振梁垂直固定于第二连接梁502的左表面后部；第四梳状微谐振器604的谐振梁垂直固定于第二连接梁502的右表面后部；第五梳状微谐振器605的谐振梁垂直固定于第三连接梁503的前表面左部；第六梳状微谐振器606的谐振梁垂直固定于第三连接梁503的后表面左部；第七梳状微谐振器607的谐振梁垂直固定于第四连接梁504的前表面右部；第八梳状微谐振器608的谐振梁垂直固定于第四连接梁504的后表面右部；
第一小锚块701的右表面中部与第一梳状微谐振器601的谐振梁左端固定；第一小锚块701的左表面与第一大锚块301的左表面齐平；第二小锚块702的左表面中部与第二梳状微谐振器602的谐振梁右端固定；第二小锚块702的右表面与第二大锚块302的右表面齐平；第三小锚块703的右表面中部与第三梳状微谐振器603的谐振梁左端固定；第三小锚块703的左表面与第三大锚块303的左表面齐平；第四小锚块704的左表面中部与第四梳状微谐振器604的谐振梁右端固定；第四小锚块704的右表面与第四大锚块304的右表面齐平；第五小锚块705的后表面中部与第五梳状微谐振器605的谐振梁前端固定；第五小锚块705的前表面与第一大锚块301的前表面齐平；第六小锚块706的前表面中部与第六梳状微谐振器606的谐振梁后端固定；第六小锚块706的后表面与第三大锚块303的后表面齐平；第七小锚块707的后表面中部与第七梳状微谐振器607的谐振梁前端固定；第七小锚块707的前表面与第二大锚块302的前表面齐平；第八小锚块708的前表面中部与第八梳状微谐振器608的谐振梁后端固定；第八小锚块708的后表面与第四大锚块304的后表面齐平。
中心质量块1为正方形块体；第一至第四环岛质量块201~204均为长方形块体；第一至第四环岛质量块201~204的尺寸一致；第一至第四大锚块301~304均为正方形块体；第一至第四大锚块301~304的尺寸一致；第一至第十六Ω形支撑梁401~416的尺寸一致；第一至第四连接梁501~504的尺寸一致；第一至第八梳状微谐振器601~608的尺寸一致；第一至第八小锚块701~708均为正方形块体；第一至第八小锚块701~708的尺寸一致。
中心质量块1、第一至第四环岛质量块201~204、第一至第四大锚块301~304、第一至第十六Ω形支撑梁401~416、第一至第四连接梁501~504、第一至第八梳状微谐振器601~608、第一至第八小锚块701~708均采用单晶硅片加工而成。
Claims (3)
1.一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，其特征在于：包括中心质量块（1）、第一至第四环岛质量块（201）~（204）、第一至第四大锚块（301）~（304）、第一至第十六Ω形支撑梁（401）~（416）、第一至第四连接梁（501）~（504）、第一至第八梳状微谐振器（601）~（608）、第一至第八小锚块（701）~（708）；
其中，第一环岛质量块（201）位于中心质量块（1）的前方；第一环岛质量块（201）的后表面与中心质量块（1）的前表面平行；第一环岛质量块（201）的左表面与中心质量块（1）的左表面齐平；第一环岛质量块（201）的右表面与中心质量块（1）的右表面齐平；第二环岛质量块（202）位于中心质量块（1）的后方；第二环岛质量块（202）的前表面与中心质量块（1）的后表面平行；第二环岛质量块（202）的左表面与中心质量块（1）的左表面齐平；第二环岛质量块（202）的右表面与中心质量块（1）的右表面齐平；第三环岛质量块（203）位于中心质量块（1）的左方；第三环岛质量块（203）的右表面与中心质量块（1）的左表面平行；第三环岛质量块（203）的前表面与中心质量块（1）的前表面齐平；第三环岛质量块（203）的后表面与中心质量块（1）的后表面齐平；第四环岛质量块（204）位于中心质量块（1）的右方；第四环岛质量块（204）的左表面与中心质量块（1）的右表面齐平；第四环岛质量块（204）的前表面与中心质量块（1）的前表面齐平；第四环岛质量块（204）的后表面与中心质量块（1）的后表面齐平；
第一大锚块（301）的前表面与第一环岛质量块（201）的前表面齐平；第一大锚块（301）的后表面与第一环岛质量块（201）的后表面齐平；第一大锚块（301）的左表面与第三环岛质量块（203）的左表面齐平；第一大锚块（301）的右表面与第三环岛质量块（203）的右表面齐平；第二大锚块（302）的前表面与第一环岛质量块（201）的前表面齐平；第二大锚块（302）的后表面与第一环岛质量块（201）的后表面齐平；第二大锚块（302）的左表面与第四环岛质量块（204）的左表面齐平；第二大锚块（302）的右表面与第四环岛质量块（204）的右表面齐平；第三大锚块（303）的前表面与第二环岛质量块（202）的前表面齐平；第三大锚块（303）的后表面与第二环岛质量块（202）的后表面齐平；第三大锚块（303）的左表面与第三环岛质量块（203）的左表面齐平；第三大锚块（303）的右表面与第三环岛质量块（203）的右表面齐平；第四大锚块（304）的前表面与第二环岛质量块（202）的前表面齐平；第四大锚块（304）的后表面与第二环岛质量块（202）的后表面齐平；第四大锚块（304）的左表面与第四环岛质量块（204）的左表面齐平；第四大锚块（304）的右表面与第四环岛质量块（204）的右表面齐平；
第一Ω形支撑梁（401）的两端分别与第一环岛质量块（201）的左表面中部和第一大锚块（301）的右表面中部固定；第二Ω形支撑梁（402）的两端分别与中心质量块（1）的左表面前部和第三环岛质量块（203）的右表面前部固定；第三Ω形支撑梁（403）的两端分别与第三环岛质量块（203）的前表面中部和第一大锚块（301）的后表面中部固定；第四Ω形支撑梁（404）的两端分别与中心质量块（1）的前表面左部和第一环岛质量块（201）的后表面左部固定；第五Ω形支撑梁（405）的两端分别与第一环岛质量块（201）的右表面中部和第二大锚块（302）的左表面中部固定；第六Ω形支撑梁（406）的两端分别与中心质量块（1）的右表面前部和第四环岛质量块（204）的左表面前部固定；第七Ω形支撑梁（407）的两端分别与中心质量块（1）的前表面右部和第一环岛质量块（201）的后表面右部固定；第八Ω形支撑梁（408）的两端分别与第四环岛质量块（204）的前表面中部和第二大锚块（302）的后表面中部固定；第九Ω形支撑梁（409）的两端分别与中心质量块（1）的左表面后部和第三环岛质量块（203）的右表面后部固定；第十Ω形支撑梁（410）的两端分别与第二环岛质量块（202）的左表面中部和第三大锚块（303）的右表面中部固定；第十一Ω形支撑梁（411）的两端分别与第三环岛质量块（203）的后表面中部和第三大锚块（303）的前表面中部固定；第十二Ω形支撑梁（412）的两端分别与中心质量块（1）的后表面左部和第二环岛质量块（202）的前表面左部固定；第十三Ω形支撑梁（413）的两端分别与中心质量块（1）的右表面后部和第四环岛质量块（204）的左表面后部固定；第十四Ω形支撑梁（414）的两端分别与第二环岛质量块（202）的右表面中部和第四大锚块（304）的左表面中部固定；第十五Ω形支撑梁（415）的两端分别与中心质量块（1）的后表面右部和第二环岛质量块（202）的前表面右部固定；第十六Ω形支撑梁（416）的两端分别与第四环岛质量块（204）的后表面中部和第四大锚块（304）的前表面中部固定；
第一连接梁（501）垂直固定于第一环岛质量块（201）的前表面中部；第二连接梁（502）垂直固定于第二环岛质量块（202）的后表面中部；第三连接梁（503）垂直固定于第三环岛质量块（203）的左表面中部；第四连接梁（504）垂直固定于第四环岛质量块（204）的右表面中部；
第一梳状微谐振器（601）的谐振梁垂直固定于第一连接梁（501）的左表面前部；第二梳状微谐振器（602）的谐振梁垂直固定于第一连接梁（501）的右表面前部；第三梳状微谐振器（603）的谐振梁垂直固定于第二连接梁（502）的左表面后部；第四梳状微谐振器（604）的谐振梁垂直固定于第二连接梁（502）的右表面后部；第五梳状微谐振器（605）的谐振梁垂直固定于第三连接梁（503）的前表面左部；第六梳状微谐振器（606）的谐振梁垂直固定于第三连接梁（503）的后表面左部；第七梳状微谐振器（607）的谐振梁垂直固定于第四连接梁（504）的前表面右部；第八梳状微谐振器（608）的谐振梁垂直固定于第四连接梁（504）的后表面右部；
第一小锚块（701）的右表面中部与第一梳状微谐振器（601）的谐振梁左端固定；第一小锚块（701）的左表面与第一大锚块（301）的左表面齐平；第二小锚块（702）的左表面中部与第二梳状微谐振器（602）的谐振梁右端固定；第二小锚块（702）的右表面与第二大锚块（302）的右表面齐平；第三小锚块（703）的右表面中部与第三梳状微谐振器（603）的谐振梁左端固定；第三小锚块（703）的左表面与第三大锚块（303）的左表面齐平；第四小锚块（704）的左表面中部与第四梳状微谐振器（604）的谐振梁右端固定；第四小锚块（704）的右表面与第四大锚块（304）的右表面齐平；第五小锚块（705）的后表面中部与第五梳状微谐振器（605）的谐振梁前端固定；第五小锚块（705）的前表面与第一大锚块（301）的前表面齐平；第六小锚块（706）的前表面中部与第六梳状微谐振器（606）的谐振梁后端固定；第六小锚块（706）的后表面与第三大锚块（303）的后表面齐平；第七小锚块（707）的后表面中部与第七梳状微谐振器（607）的谐振梁前端固定；第七小锚块（707）的前表面与第二大锚块（302）的前表面齐平；第八小锚块（708）的前表面中部与第八梳状微谐振器（608）的谐振梁后端固定；第八小锚块（708）的后表面与第四大锚块（304）的后表面齐平。
2.根据权利要求1所述的双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，其特征在于：中心质量块（1）为正方形块体；第一至第四环岛质量块（201）~（204）均为长方形块体；第一至第四环岛质量块（201）~（204）的尺寸一致；第一至第四大锚块（301）~（304）均为正方形块体；第一至第四大锚块（301）~（304）的尺寸一致；第一至第十六Ω形支撑梁（401）~（416）的尺寸一致；第一至第四连接梁（501）~（504）的尺寸一致；第一至第八梳状微谐振器（601）~（608）的尺寸一致；第一至第八小锚块（701）~（708）均为正方形块体；第一至第八小锚块（701）~（708）的尺寸一致。
3.根据权利要求1所述的双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，其特征在于：中心质量块（1）、第一至第四环岛质量块（201）~（204）、第一至第四大锚块（301）~（304）、第一至第十六Ω形支撑梁（401）~（416）、第一至第四连接梁（501）~（504）、第一至第八梳状微谐振器（601）~（608）、第一至第八小锚块（701）~（708）均采用单晶硅片加工而成。
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