CN106582914A - 一种用于超净台的电极探入装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种用于超净台的电极探入装置，包括高压电极杆以及用于将高压电极杆限位在台面上的锁紧机构，该锁紧机构包括固定法兰、密封法兰、两侧锁紧螺杆，以及设置在固定法兰与密封法兰之间的动密封连接件，所述高压电极杆依次穿过台面、固定法兰和密封法兰，高压电极杆的下端设置有接电端。本发明的高压电极杆能够垂直于超净台的台面进行伸缩，并通过锁紧机构进行限位，有效提高了超净台的空间利用率。

Description

一种用于超净台的电极探入装置
技术领域
本发明涉及生物医药化工设备技术领域，具体涉及一种用于超净台的电极探入装置。
背景技术
超净台是一种供单人操作的通用型局部净化设备，气流形式为垂直层流与水平层流，它可造就局部高清洁度空气环境，是科研制药、医疗卫生、电子光学仪器等行业最为理想的专用设备。洁净工作台广泛应用于需要局部净化的区域、实验室、生物制药、光电产业、微电子、硬盘制造等领域。
超净台的灭菌通过等离子体灭菌器来实现，利用超净台的台面、背板、顶板等作为地电极，将高压电极杆探入超净台操作区域内，两个电极之间产生低气压放电现象，即产生低气压等离子体，利用等离子体对超净台内部所有区域进行等离子体灭菌，其中高压电极杆尺寸较长，在超净台内占用的空间较大，使得空间利用率较低。
发明内容
本发明提供一种用于超净台的电极探入装置，能够实现高压电极杆的伸缩调节，提高超净台的空间利用率。
为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：
一种用于超净台的电极探入装置，包括高压电极杆以及用于将高压电极杆限位在台面上的锁紧机构，该锁紧机构包括固定法兰、密封法兰、两侧锁紧螺杆，以及设置在固定法兰与密封法兰之间的动密封连接件，所述高压电极杆依次穿过台面、固定法兰和密封法兰，高压电极杆的下端设置有接电端。
所述固定法兰与台面的下端以及高压电极杆与台面之间通过绝缘组件连接，该绝缘组件包括布置在固定法兰与台面之间的绝缘垫，以及用于接触绝缘垫、固定法兰和高压电极杆的L型绝缘支撑。
所述高压电极杆与密封法兰之间设置有陶瓷密封，该高压电极杆能够垂直于密封法兰做相对移动。
所述高压电极杆的上端设置有台面盖板。
由以上技术方案可知，本发明的高压电极杆能够垂直于超净台的台面进行伸缩，并通过锁紧机构进行限位，有效提高了超净台的空间利用率。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明中绝缘组件的局部放大图；
图3为本发明中优选实施例的结构示意图。
图中：10、高压电极杆，11、接电端，12、陶瓷密封，13、台面盖板，20、锁紧机构，20、锁紧机构，21、固定法兰，22、密封法兰，23、锁紧螺杆，24、动密封连接件，30、绝缘组件，31、绝缘垫，32、L型绝缘支撑，33、密封垫，40、台面。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的一种优选实施方式作详细的说明。
如图1所示，所述电极探入装置包括高压电极杆10以及用于将高压电极杆限位在台面40上的锁紧机构20，该高压电极杆能够垂直于台面进行伸缩，并通过锁紧机构进行锁定。
所述锁紧机构20包括固定法兰21、密封法兰22、两侧锁紧螺杆23，以及设置在固定法兰与密封法兰之间的动密封连接件24，所述高压电极杆依次穿过台面、固定法兰和密封法兰，高压电极杆10的上端设置有台面盖板13，台面盖板用来在高压电极收回时盖住台面上的孔，避免超净台操作时液体不慎流入或渗入，影响绝缘等级。高压电极杆10的下端设置有接电端11。
如图2所示，所述固定法兰21与台面的下端以及高压电极杆10与台面之间通过绝缘组件30连接，该绝缘组件包括布置在固定法兰与台面之间的绝缘垫31，以及用于接触绝缘垫、固定法兰和高压电极杆的L型绝缘支撑32。本实施例中，绝缘垫31也设计成L型，其长边布置在固定法兰与台面之间，短边置于台面与高压电极杆之间，该短边的顶端设置有密封垫33，在高压电极杆缩回时起到密封作用。
如图1的实施例中，高压电极杆10的下端与密封法兰22固定连接，操作时，先松开两侧的锁紧螺杆23，挤压密封法兰，高压电极杆伸入操作室内，然后拧紧锁紧螺杆，将高压电极杆位置限定。
图3示出了第二种实施例的结构示意图，该实施例中，高压电极杆10的下端与密封法兰22之间设置有陶瓷密封12，使得高压电极杆能够垂直于密封法兰做相对移动，这样可以增加高压电极杆伸入操作室内的距离，进一步缩短探入的高压电极杆与超净台中地电极之间的间距，等离子体放电条件更低。这种陶瓷封接电极结构更加安全可靠，耐压等级更高，真空密封程度更高。
以上所述实施方式仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述，并非对本发明的范围进行限定，在不脱离本发明设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本发明的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。

Claims (5)

1.一种用于超净台的电极探入装置，其特征在于，包括高压电极杆(10)以及用于将高压电极杆限位在台面上的锁紧机构(20)，该锁紧机构包括固定法兰(21)、密封法兰(22)、两侧锁紧螺杆(23)，以及设置在固定法兰与密封法兰之间的动密封连接件(24)，所述高压电极杆(10)依次穿过台面、固定法兰和密封法兰，高压电极杆的下端设置有接电端(11)。
2.根据权利要求1所述的电极探入装置，其特征在于，所述固定法兰(21)与台面的下端以及高压电极杆(10)与台面之间通过绝缘组件(30)连接。
3.根据权利要求2所述的电极探入装置，其特征在于，所述绝缘组件(30)包括布置在固定法兰与台面之间的绝缘垫(31)，以及用于接触绝缘垫、固定法兰和高压电极杆的L型绝缘支撑(32)。
4.根据权利要求1所述的电极探入装置，其特征在于，所述高压电极杆(10)与密封法兰(22)之间设置有陶瓷密封(12)，该高压电极杆能够垂直于密封法兰做相对移动。
5.根据权利要求1所述的电极探入装置，其特征在于，所述高压电极杆(10)的上端设置有台面盖板(13)。
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