CN106505145A - 一种基于环氧玻纤布基板的振动源晶片及微型泵 - Google Patents
一种基于环氧玻纤布基板的振动源晶片及微型泵 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106505145A CN106505145A CN201611007758.3A CN201611007758A CN106505145A CN 106505145 A CN106505145 A CN 106505145A CN 201611007758 A CN201611007758 A CN 201611007758A CN 106505145 A CN106505145 A CN 106505145A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fiber
- fabric substrate
- vibration source
- epoxy glass
- source chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 39
- 239000004744 fabric Substances 0.000 title claims abstract description 33
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 title claims abstract description 31
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 abstract description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 abstract description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000012779 reinforcing material Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 5
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 1
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
- H10N30/883—Additional insulation means preventing electrical, physical or chemical damage, e.g. protective coatings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/04—Pumps having electric drive
- F04B43/043—Micropumps
- F04B43/046—Micropumps with piezoelectric drive
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/206—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using only longitudinal or thickness displacement, e.g. d33 or d31 type devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/875—Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
本发明公开了一种基于环氧玻纤布基板的振动源晶片及微型泵，包括环氧玻纤布基板和压电陶瓷晶片，所述环氧玻纤布基板上制作导电线路后作为电极，所述压电陶瓷晶片粘贴于环氧玻纤布基板的导电线路上。所述微型泵包含该振动源晶片。环氧玻纤布基板是以环氧树脂作粘合剂，以电子级玻璃纤维布作增强材料的一类基板。利用它的粘结片和内芯薄型覆铜板制作成导电线路板，再用制作成导电线路板之后的环氧玻纤板做为基片作为电极，再与压电陶瓷晶片粘贴为一体成为振动源晶片，就可以解决并突破现有的金属基板在水液体或较潮湿环境工作中容易出现的被腐蚀、氧化和漏电风险。
Description
技术领域
本发明涉及微型泵技术领域，具体涉及一种基于环氧玻纤布基板的振动源晶片及微型泵。
背景技术
压电陶瓷振动源晶片也称压电换能器，是压电微型泵的主要驱动器件。微型泵的振动源晶片通常长期工作在有水液体或较潮湿的环境中，对抗腐蚀性、绝缘性要求比较高，而现有的振动源晶片所使用的金属基片在这种恶劣环境下工作时就会出现金属基片被腐蚀、氧化甚至漏电风险，会严重影响产品的使用寿命、效率及安全隐患。且金属基片容易变形，即变形后不回弹或回弹小，如出现金属基片变形，振动源晶片的压电陶瓷片就会出现龟裂，使产品工作效率低或失效，从而浪费资源。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明旨在提供一种基于环氧玻纤布基板的振动源晶片及微型泵，通过采用环氧玻纤布基板作为基板，得到的振动源晶片能够制作出具有绝缘性好、耐热性强、抗腐蚀性好等优点，效率高，噪音低，结构简单特点的微型泵。
为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：
一种基于环氧玻纤布基板的振动源晶片，包括环氧玻纤布基板和压电陶瓷晶片，所述环氧玻纤布基板上制作导电线路后作为电极，所述压电陶瓷晶片粘贴于环氧玻纤布基板的导电线路上。
利用上述振动源晶片制作的微型泵，包括所述球形泵体，所述球形泵体内安装有振动源晶片，所述振动源晶片将球形泵体分为上下两个部分，上部分为进腔，下部分为出腔；所述进腔和出腔的端面分别设有上泵盖和下泵盖；所述进腔和出腔分别通过进单向阀和出单向阀连通有进管和出管；
所述振动源晶片包括环氧玻纤布基板和压电陶瓷晶片，所述环氧玻纤布基板上制作导电线路后作为电极，所述压电陶瓷晶片粘贴于环氧玻纤布基板的导电线路上。
进一步地，所述球形泵体的内壁设置有安装槽，所述振动源晶片的边缘插接在所述安装槽内，且振动源晶片的边缘和安装槽之间设有密封圈。
本发明的有益效果在于：
1、振动源晶片的基片采用环氧玻纤布基板。环氧玻纤布基板是以环氧树脂作粘合剂，以电子级玻璃纤维布作增强材料的一类基板。利用它的粘结片和内芯薄型覆铜板制作成导电线路板后作为电极，再与压电陶瓷晶片粘贴为一体成为振动源晶片，就可以解决并突破现有的金属基板在水液体或较潮湿环境工作中容易出现的被腐蚀、氧化和漏电风险。
2、利用环氧玻纤布基板制作得到的振动源晶片具有绝缘性好、耐热性强、抗腐蚀性好等优点，效率高，噪音低，结构简单特点。可以使产品更有安全性及延长产品使用寿命，从而使产品更符合国家的节能环保要求。可以广泛运用于水族鱼缸增氧，或微型精密仪器设备等需要微小气量、水量的场合。
附图说明
图1为振动源晶片的截面结构示意图；
图2为导电线路的结构示意图；
图3为微型泵的结构示意图。
具体实施方式
以下将结合附图对本发明作进一步的描述，需要说明的是，本实施例以本技术方案为前提，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本发明的保护范围并不限于本实施例。
如图1-2所示，一种基于环氧玻纤布基板的振动源晶片，包括环氧玻纤布基板11和压电陶瓷晶片10，所述环氧玻纤布基板11上制作导电线路12(薄型覆铜线路)后作为电极，所述压电陶瓷晶片10粘贴于环氧玻纤布基板11的导电线路12上。
作为本发明的另一个技术方案，如图3所示，一种微型泵，包括所述球形泵体，所述球形泵体内安装有振动源晶片7，所述振动源晶片7将球形泵体分为上下两个部分，上部分为进腔81，下部分为出腔82；所述进腔81和出腔82的端面分别设有上泵盖5和下泵盖9；所述进腔81和出腔82分别通过进单向阀4和出单向阀3连通有进管2和出管1。
进一步地，所述球形泵体的内壁设置有安装槽，所述振动源晶片7的边缘插接在所述安装槽内，且振动源晶片的边缘和安装槽之间设有密封圈6。
在驱动模块电压的作用下，振动源晶片产生振动源。振动源晶片在硅胶密封腔或隔膜囊内做弯曲变形振动，来改变进腔或出腔的容积，使进腔或出腔的进单向阀或出单向阀连续打开与封闭，实现进气和出气、进水或出水动作，成为泵体，即为微型泵。
对于本领域的技术人员来说，可以根据以上的技术方案和构思，作出各种相应的改变和变形，而所有的这些改变和变形都应该包括在本发明权利要求的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种基于环氧玻纤布基板的振动源晶片，其特征在于，包括环氧玻纤布基板和压电陶瓷晶片，所述环氧玻纤布基板上制作导电线路后作为电极，所述压电陶瓷晶片粘贴于环氧玻纤布基板的导电线路上。
2.一种微型泵，包括所述球形泵体，所述球形泵体内安装有振动源晶片，所述振动源晶片将球形泵体分为上下两个部分，上部分为进腔，下部分为出腔；所述进腔和出腔的端面分别设有上泵盖和下泵盖；所述进腔和出腔分别通过进单向阀和出单向阀连通有进管和出管；其特征在于：
所述振动源晶片包括环氧玻纤布基板和压电陶瓷晶片，所述环氧玻纤布基板上制作导电线路后作为电极，所述压电陶瓷晶片粘贴于环氧玻纤布基板的导电线路上。
3.根据权利要求2所述的微型泵，其特征在于，所述球形泵体的内壁设置有安装槽，所述振动源晶片的边缘插接在所述安装槽内，且振动源晶片的边缘和安装槽之间设有密封圈。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201611007758.3A CN106505145A (zh) | 2016-11-16 | 2016-11-16 | 一种基于环氧玻纤布基板的振动源晶片及微型泵 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201611007758.3A CN106505145A (zh) | 2016-11-16 | 2016-11-16 | 一种基于环氧玻纤布基板的振动源晶片及微型泵 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106505145A true CN106505145A (zh) | 2017-03-15 |
Family
ID=58324650
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201611007758.3A Pending CN106505145A (zh) | 2016-11-16 | 2016-11-16 | 一种基于环氧玻纤布基板的振动源晶片及微型泵 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN106505145A (zh) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4586017A (en) * | 1983-09-12 | 1986-04-29 | General Electric Company | Persistent current switch for high energy superconductive solenoids |
| CN1270705A (zh) * | 1997-09-30 | 2000-10-18 | 西门子公司 | 压电元件 |
| CN1422445A (zh) * | 2000-04-10 | 2003-06-04 | 西门子公司 | 压电陶瓷弯曲变换器及其应用 |
| CN1793647A (zh) * | 2005-06-04 | 2006-06-28 | 胡军 | 一种用于制造微型泵的压电陶瓷片和微型气泵 |
| CN103195694A (zh) * | 2013-04-14 | 2013-07-10 | 苏州科技学院 | 一种无阀压电微量泵 |
-
2016
- 2016-11-16 CN CN201611007758.3A patent/CN106505145A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4586017A (en) * | 1983-09-12 | 1986-04-29 | General Electric Company | Persistent current switch for high energy superconductive solenoids |
| CN1270705A (zh) * | 1997-09-30 | 2000-10-18 | 西门子公司 | 压电元件 |
| CN1422445A (zh) * | 2000-04-10 | 2003-06-04 | 西门子公司 | 压电陶瓷弯曲变换器及其应用 |
| CN1793647A (zh) * | 2005-06-04 | 2006-06-28 | 胡军 | 一种用于制造微型泵的压电陶瓷片和微型气泵 |
| CN100365278C (zh) * | 2005-06-04 | 2008-01-30 | 胡军 | 一种用于制造微型泵的压电陶瓷片和微型气泵 |
| CN103195694A (zh) * | 2013-04-14 | 2013-07-10 | 苏州科技学院 | 一种无阀压电微量泵 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| JIANGUO等: "Theoretical and experimental study on the piezoceramic actuating laminate", 《TRANSACTIONS OF NANJING UNIVERSITY OF 》 * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100365278C (zh) | 一种用于制造微型泵的压电陶瓷片和微型气泵 | |
| WO2016150391A1 (zh) | 智能功率模块及其制造方法 | |
| CN104883091B (zh) | 一种基于微加工技术的压电电磁集成发电装置 | |
| CN207781586U (zh) | 整流桥式半导体器件 | |
| WO2010078778A1 (zh) | 直立自吸式压电陶瓷泵 | |
| CN105098439B (zh) | 金属纳米注塑气密电连接器及其制造工艺 | |
| CN209013920U (zh) | 一种用于圆板式传感器的微型箔式电阻应变计 | |
| CN106505145A (zh) | 一种基于环氧玻纤布基板的振动源晶片及微型泵 | |
| CN103117253B (zh) | 功率模块的封装结构 | |
| CN106523332A (zh) | 一种微型泵的振动源晶片及微型泵 | |
| CN204286668U (zh) | 压力传感器 | |
| CN103864000B (zh) | 一种电共轭流体微型泵 | |
| CN203616041U (zh) | 高过载背压式绝压传感器模块 | |
| CN104358674A (zh) | 一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的双平面线圈驱动式微泵 | |
| CN109356831B (zh) | 适用于封闭流体回路的压电泵及其制作方法 | |
| CN101650246A (zh) | 内置调理电路的弯曲圆盘式水压传感器 | |
| CN103050459A (zh) | 功率模块信号端子及其连接结构 | |
| CN207925484U (zh) | 一种具有防腐蚀功能的二极管 | |
| CN204204840U (zh) | 多段式液晶面板驱动芯片封装凸块结构 | |
| CN201773830U (zh) | 一种集成电路器件的盖板 | |
| CN219960944U (zh) | 一种压合治具及柔性电路板 | |
| CN209461487U (zh) | 一种具有优良气密性的led封装结构 | |
| CN212779683U (zh) | 模块化设计的电容式压力变送器 | |
| CN216134435U (zh) | 一种基于水介质压力脉动的压电陶瓷片俘能装置 | |
| CN213152415U (zh) | 一种耐候性能好的led驱动电源 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20170315 |
|
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |