CN106404664A - 一种用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置,包括晶体支撑部件,支撑框架,定位机构;晶体支撑部件通过中轴转动安装在支撑框架上,晶体支撑部件为柱型,包括n个晶体装配结构,晶体装配结构均匀分布在晶体支撑部件的外侧面;定位机构安装在支撑框架上,定位机构中的定位基座的中轴和晶体支撑部件的中轴固定联接且与支撑框架转动联接;定位基座上的基座定位结构与晶体支撑部件上的晶体装配结构精确定位装配且一一对应;本发明通过采用晶体支撑部件和定位机构的结合,在完成切换晶体的同时还保证了晶体的定位精度,且动作过程可靠,并使检测装置的使用寿命增长了,因此具有明显的优点。
Description
技术领域
本发明属于光谱仪检测仪器领域,尤其涉及一种用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置。
背景技术
光谱仪需要测量数十个元素的特征谱线;而单独一块晶体只能检测有限数量的特征谱线,只有通过晶体切换装置将多个晶体逐个切换,才能实现全部谱线的测量。光谱仪是精密测量仪器,工业现场使用频率高;这就要求晶体切换装置切换定位精度高,动作可靠,使用寿命长;实际工作中还要求满足真空条件下的工作需要,因此迫切需要寻找一种能够解决此问题的晶体切换结构。
发明内容
有鉴于此,需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个,本发明提供了一种用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置。
所述一种用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置,包括晶体支撑部件,支撑框架,定位机构; 所述晶体支撑部件通过中轴转动安装在所述支撑框架上,所述晶体支撑部件为柱型,包括n个晶体装配结构,所述晶体装配结构均匀分布在所述晶体支撑部件的外侧面;所述定位机构安装在所述支撑框架上,所述定位机构包括定位基座,定位模块以及回弹机构;所述定位基座中心轴安装在所述支撑框架上且具有基座定位结构,所述定位模块一端联接在所述支撑框架上,另一端具有模块定位结构,所述基座定位结构与所述模块定位结构紧密配合,所述回弹机构一端固定联接在所述支撑框架上,另一端与所述定位模块相联;所述定位基座为圆盘结构,所述基座定位结构为定位孔,所述模块定位结构为定位柱,所述定位柱沿所述定位基座圆周方向弹性安装;所述基座定位结构和所述模块定位结构精密配合且所述基座定位结构数量为大于等于1的自然数;所述定位机构中的所述定位基座的中轴和所述晶体支撑部件的中轴固定联接且与所述支撑框架转动联接,所述定位基座上的所述基座定位结构与所述晶体支撑部件上的所述晶体装配结构精确定位装配且一一对应。
根据本专利背景技术中对现有技术所述,在光谱仪测量元素的特征谱线时,由于有几十种元素,而单个晶体只能测量有限数量的特征谱线,因此只能通过晶体切换装置将多个晶体逐渐切换,而对于切换前后晶体的位置总是存在较大的误差;而本发明公开的一种用于光谱检测的晶体切换装置,通过采用晶体支撑部件和定位机构的结合,在完成切换晶体的同时还保证了晶体的定位精度,且动作过程可靠,并使检测装置的使用寿命增长了,因此具有明显的优点。
另外,根据本发明公开的用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置还具有如下附加技术特征:
进一步地,所述晶体装配结构包括开口背离所述晶体支撑部件中心方向的第一凹槽和第二凹槽,所述第一凹槽位于所述第二凹槽下方,所述第二凹槽顶部具有凸起,所述第二凹槽侧面及所述凸起内侧面为与晶体表面相配合的平面。
进一步地,所述晶体支撑部件中空,且具有中轴。
中空结构减轻了所述晶体支撑部件的整体重量,使得安装更加方便。
进一步地,所述晶体装配结构的内表面安装有具有向外弹出部件的弹性装置,所述向外弹出部件的顶端高于所述第一凹槽的深度。
如此,可以将所述晶体顶起与所述晶体装配结构精密接触。
进一步地,所述弹性装置下端具有横片,下部形成“L”型结构。
形成的L型结构,是使得所述晶体的下端被托起,避免滑落。
进一步地,所述晶体装配结构中形成所述第一凹槽和所述第二凹槽的两侧支板上表面为平面且具有第三凹槽。
所形成的凹槽可以使得所述晶体与所述上表面更好的接触和推入。
进一步地,所述支撑部件为立体四边结构,包括上支撑边,下支撑边,左支撑边,右支撑边,所述上支撑边上具有与通过所述晶体支撑部件中轴线的中轴相联的转动部件,所述定位基座安装在所述晶体支撑部件的下方且与所述晶体支撑部件精确固定。
如此,可以使得所述定位基座和所述晶体支撑部件同步转动。
进一步地,所述支撑框架为包括上边、下边、左边和右边构成的四边结构,所述定位基座中心轴转动安装在通过所述支撑框架的所述上边和所述下边的中心轴上,所述支撑框架一体成型。
进一步地,所述基座定位结构数量为2、4、6、8个。
进一步地,所述定位柱具有滑动面。
优选地,所述滑动面为斜面或带弧度的面。
进一步地,所述定位柱具有锥形头或圆头。
进一步地,所述支撑框架还包括齿轮,所述齿轮转动安装在所述支撑架上且与所述定位基座同轴并固定联接。
外部传动部件将转动通过齿轮传递所述装置,所述装置进行转动,从而定位机构能够使得晶体支撑部件上的晶体装配结构精确定位。
进一步地,所述晶体支撑部件还包括T型部件,所述T型部件装入所述第三凹槽中,起到保护所述晶体支撑部件的作用,减少检测光对所述晶体支撑部件的所述支板表面的影响。
本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本发明的实践了解到。
附图说明
本发明的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
图1用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置示意图;
图2是已装载了晶体的晶体支撑部件示意图;
图3是晶体支撑部件的T型部件;
图4晶体支撑部件的某方向的示意图;
图5是定位机构的示意图;
图6是图5具有内部虚线示意图。
图中,100支撑框架,20定位机构,201定位基座,202定位模块,2011基座定位结构,2021模块定位结构,203回弹机构,301齿轮,400晶体,401晶体支撑部件,4011晶体装配结构,4012晶体支撑部件中轴,4013第二凹槽,4014第一凹槽,4015支板,4016第三凹槽,4017凸起,4018弹性装置,4019T型部件。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本发明,而不能解释为对本发明的限制。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语 “上”、“下”、“底”、“顶”、“前”、“后”、“内”、“外”、“横”、“竖”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“连接”、“连通”、“相连”、“连接”、“配合”应做广义理解,例如,可以是固定连接,一体地连接,也可以是可拆卸连接;可以是两个元件内部的连通;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连;“配合”可以是面与面的配合,也可以是点与面或线与面的配合,也包括孔轴的配合,对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
本发明的发明构思如下,通过采用晶体支撑部件和定位机构的结合,在完成切换晶体的同时还保证了晶体的定位精度,且动作过程可靠,并使检测装置的使用寿命增长了,因此具有明显的优点。
下面将参照附图来描述本发明,其中图1用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置示意图;图2是已装载了晶体的晶体支撑部件示意图;图3是晶体支撑部件的T型部件;图4晶体支撑部件的某方向的示意图;图5是定位机构的示意图;图6是图5具有内部虚线示意图。
如图1-6所示,根据本发明的实施例,所述用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置包括晶体支撑部件401,支撑框架100,定位机构20;所述晶体支撑部件401通过中轴转动安装在所述支撑框架100上,所述晶体支撑部件401为柱型,包括n个晶体装配结构4011,所述晶体装配结构4011均匀分布在所述晶体支撑部件401的外侧面;所述定位机构20安装在所述支撑框架100上,所述定位机构20包括定位基座201,定位模块202以及回弹机构203;所述定位基座201中心轴安装在所述支撑框架100上且具有基座定位结构2011,所述定位模块202一端联接在所述支撑框架100上,另一端具有模块定位结构2021,所述基座定位结构2011与所述模块定位结构2021紧密配合,所述回弹机构203一端固定联接在所述支撑框架100上,另一端与所述定位模块202相联;所述定位基座201为圆盘结构,所述基座定位结构2011为定位孔,所述模块定位结构2021为定位柱,所述定位柱沿所述定位基座201圆周方向弹性安装;所述基座定位结构2011和所述模块定位结构2021精密配合且所述基座定位结构2011数量为大于等于1的自然数;所述定位机构20中的所述定位基座201的中轴和所述晶体支撑部件401的中轴固定联接且与所述支撑框架100转动联接,所述定位基座201上的所述基座定位结构2011与所述晶体支撑部件401上的所述晶体装配结构4011精确定位装配且一一对应。
根据本专利背景技术中对现有技术所述,在光谱仪测量元素的特征谱线时,由于有几十种元素,而单个晶体只能测量有限数量的特征谱线,因此只能通过晶体切换装置将多个晶体逐渐切换,而对于切换前后晶体的位置总是存在较大的误差;而本发明公开的一种用于光谱检测的晶体切换装置,通过采用晶体支撑部件和定位机构的结合,在完成切换晶体的同时还保证了晶体的定位精度,且动作过程可靠,并使检测装置的使用寿命增长了,因此具有明显的优点。
另外,根据本发明公开的用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置还具有如下附加技术特征:
根据本发明的一些实施例,所述晶体装配结构4011包括开口背离所述晶体支撑部件中心方向的第一凹槽4014和第二凹槽4013,所述第一凹槽4014位于所述第二凹槽4013下方,所述第二凹槽4013顶部具有凸起4017,所述第二凹槽4013侧面及所述凸起4017内侧面为与晶体表面相配合的平面。
根据本发明的一些实施例,所述晶体支撑部件401中空,且具有中轴4012。
中空结构减轻了所述晶体支撑部件401的整体重量,使得安装更加方便。
根据本发明的一些实施例,所述晶体装配结构4011的内表面安装有具有向外弹出部件的弹性装置4018,所述向外弹出部件的顶端高于所述第一凹槽4014的深度。
如此,可以将所述晶体400顶起与所述晶体装配结构4011精密接触。
根据本发明的一些实施例,所述弹性装置4018下端具有横片,下部形成“L”型结构。
形成的L型结构,是使得所述晶体400的下端被托起,避免滑落。
根据本发明的一些实施例,所述晶体装配结构4011中形成所述第一凹槽4014和所述第二凹槽4013的两侧支板上表面为平面且具有第三凹槽4016。
所形成的凹槽可以使得所述晶体400与所述上表面更好的接触和推入。
根据本发明的一些实施例,所述支撑部件100为立体四边结构,包括上支撑边,下支撑边,左支撑边,右支撑边,所述上支撑边上具有与通过所述晶体支撑部件401中轴线的中轴相联的转动部件,所述定位基座201安装在所述晶体支撑部件401的下方且与所述晶体支撑部件401精确固定。
如此,可以使得所述定位基座201和所述晶体支撑部件401同步转动。
根据本发明的一些实施例,所述支撑框架100为包括上边、下边、左边和右边构成的四边结构,所述定位基座201中心轴转动安装在通过所述支撑框架100的所述上边和所述下边的中心轴上,所述支撑框架100一体成型。
根据本发明的一些实施例,所述基座定位结构2011数量为2、4、6、8个。
根据本发明的一些实施例,所述定位柱具有滑动面。
优选地,所述滑动面为斜面或带弧度的面。
根据本发明的一些实施例,所述定位柱具有锥形头或圆头。
根据本发明的实施例,所述支撑框架还包括齿轮301,所述齿轮301转动安装在所述支撑架100上且与所述定位基座201同轴并固定联接。
外部传动部件将转动通过齿轮传递所述装置,所述装置进行转动,从而定位机构能够使得晶体支撑部件上的晶体装配结构精确定位。
根据本发明的一些实施例,所述晶体支撑部件401还包括T型部件4019,所述T型部件4019装入所述第三凹槽4016中,起到保护所述晶体支撑部件401的作用,减少检测光对所述晶体支撑部件401的所述支板4015表面的影响。
任何提及“一个实施例”、“实施例”、“示意性实施例”等意指结合该实施例描述的具体构件、结构或者特点包含于本发明的至少一个实施例中。在本说明书各处的该示意性表述不一定指的是相同的实施例。而且,当结合任何实施例描述具体构件、结构或者特点时,所主张的是,结合其他的实施例实现这样的构件、结构或者特点均落在本领域技术人员的范围之内。
尽管参照本发明的多个示意性实施例对本发明的具体实施方式进行了详细的描述,但是必须理解,本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例,这些改进和实施例将落在本发明原理的精神和范围之内。具体而言,在前述公开、附图以及权利要求的范围之内,可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进,而不会脱离本发明的精神。除了零部件和/或布局方面的变型和改进,其范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (12)
1.一种用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置,其特征在于,包括晶体支撑部件,支撑框架,定位机构;
所述晶体支撑部件通过中轴转动安装在所述支撑框架上,所述晶体支撑部件为柱型,包括n个晶体装配结构,所述晶体装配结构均匀分布在所述晶体支撑部件的外侧面;
所述定位机构安装在所述支撑框架上,所述定位机构包括定位基座,定位模块以及回弹机构;所述定位基座中心轴安装在所述支撑框架上且具有基座定位结构,所述定位模块一端联接在所述支撑框架上,另一端具有模块定位结构,所述基座定位结构与所述模块定位结构紧密配合,所述回弹机构一端固定联接在所述支撑框架上,另一端与所述定位模块相联;所述定位基座为圆盘结构,所述基座定位结构为定位孔,所述模块定位结构为定位柱,所述定位柱沿所述定位基座圆周方向弹性安装;所述基座定位结构和所述模块定位结构精密配合且所述基座定位结构数量为大于等于1的自然数;
所述定位机构中的所述定位基座的中轴和所述晶体支撑部件的中轴固定联接且与所述支撑框架转动联接;
所述定位基座上的所述基座定位结构与所述晶体支撑部件上的所述晶体装配结构精确定位装配且一一对应。
2.根据权利要求1所述的用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置,其特征在于,所述晶体装配结构包括开口背离所述晶体支撑部件中心方向的第一凹槽和第二凹槽,所述第一凹槽位于所述第二凹槽下方,所述第二凹槽顶部具有凸起,所述第二凹槽侧面及所述凸起内侧面为与晶体表面相配合的平面。
3.根据权利要求1所述的用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置,其特征在于,所述晶体支撑部件中空,且具有中轴。
4.根据权利要求1所述的用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置,其特征在于,所述晶体装配结构的内表面安装有具有向外弹出部件的弹性装置,所述向外弹出部件的顶端高于所述第一凹槽的深度。
5.根据权利要求4所述的用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置,其特征在于,所述弹性装置下端具有横片,下部形成“L”型结构。
6.根据权利要求1所述的用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置,其特征在于,所述晶体装配结构中形成所述第一凹槽和所述第二凹槽的两侧支板上表面为平面且具有第三凹槽。
7.根据权利要求1所述的用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置,其特征在于,所述支撑部件为立体四边结构,包括上支撑边,下支撑边,左支撑边,右支撑边,所述上支撑边上具有与通过所述晶体支撑部件中轴线的中轴相联的转动部件,所述定位基座安装在所述晶体支撑部件的下方且与所述晶体支撑部件精确固定。
8.根据权利要求1所述的用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置,其特征在于,所述支撑框架为包括上边、下边、左边和右边构成的四边结构,所述定位基座中心轴转动安装在通过所述支撑框架的所述上边和所述下边的中心轴上,所述支撑框架一体成型。
9.根据权利要求1所述的用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置,其特征在于,所述定位柱具有滑动面。
10.根据权利要求9所述的用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置,其特征在于,所述滑动面为斜面或带弧度的面。
11.根据权利要求1所述的用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置,其特征在于,所述定位柱具有锥形头或圆头。
12.根据权利要求1所述的用于光谱检测具有定位机构的晶体切换装置,其特征在于,所述支撑框架还包括齿轮,所述齿轮转动安装在所述支撑架上且与所述定位基座同轴并固定联接。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109288535A (zh) * | 2018-09-21 | 2019-02-01 | 上海联影医疗科技有限公司 | 一种ct扫描仪 |
CN112234427A (zh) * | 2020-10-23 | 2021-01-15 | 浙江德扬精密仪器有限公司 | 一种适用于光参量振荡器的晶体切换装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5513828A (en) * | 1991-10-09 | 1996-05-07 | Advanced Fuel Research, Inc. | Vibration immunizing dynamic support structure |
US6559938B1 (en) * | 1998-09-22 | 2003-05-06 | Kla-Tencor Corporation | Backside contamination inspection device |
CN201449369U (zh) * | 2009-07-01 | 2010-05-05 | 江苏天瑞仪器股份有限公司 | 一种自动换样平台 |
CN104712917A (zh) * | 2013-12-15 | 2015-06-17 | 西安华科光电有限公司 | 一种光源可切换的激光-led调整机构 |
-
2016
- 2016-08-26 CN CN201610731180.XA patent/CN106404664B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5513828A (en) * | 1991-10-09 | 1996-05-07 | Advanced Fuel Research, Inc. | Vibration immunizing dynamic support structure |
US6559938B1 (en) * | 1998-09-22 | 2003-05-06 | Kla-Tencor Corporation | Backside contamination inspection device |
CN201449369U (zh) * | 2009-07-01 | 2010-05-05 | 江苏天瑞仪器股份有限公司 | 一种自动换样平台 |
CN104712917A (zh) * | 2013-12-15 | 2015-06-17 | 西安华科光电有限公司 | 一种光源可切换的激光-led调整机构 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109288535A (zh) * | 2018-09-21 | 2019-02-01 | 上海联影医疗科技有限公司 | 一种ct扫描仪 |
CN109288535B (zh) * | 2018-09-21 | 2023-03-03 | 上海联影医疗科技股份有限公司 | 一种ct扫描仪 |
CN112234427A (zh) * | 2020-10-23 | 2021-01-15 | 浙江德扬精密仪器有限公司 | 一种适用于光参量振荡器的晶体切换装置 |
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