CN106378710A - 修整器进气系统以及抛光机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种修整器进气系统以及抛光机，修整器进气系统包括：真空源；与真空源相连的真空管路；压缩空气源；与压缩空气源相连的压缩空气管路；压缩空气控制阀，压缩空气控制阀用于调节压缩空气管路输出的压缩空气压力；修整器，修整器形成有加载腔室，加载腔室选择性地与真空管路和压缩空气管路相连；压力传感器，压力传感器用于检测加载腔室的压力；控制器，控制器根据压力传感器的检测结果通过压缩空气控制阀调节压缩空气管路输出的压缩空气压力。这样可以使得修整器压力控制精确，精确的压力控制可以使得修整器对抛光垫进行适当的修整，从而可以改善抛光效果。

Description

修整器进气系统以及抛光机

技术领域

本发明涉及抛光设备技术领域，尤其涉及一种修整器进气系统以及具有该修整器进气系统的抛光机。

背景技术

在化学机械抛光设备中，随着抛光过程的进行，抛光垫的物理及化学性能会发生变化，导致抛光速率和抛光质量降低。因此，在抛光过程中必须对抛光垫进行适当的修整，改善抛光垫的抛光性能，提高抛光垫的使用寿命，降低抛光成本。但是，修整器在控制过程中，修整头下压作用于抛光垫时压力控制精度不高，可能出现实际设定的压力值与修整头最终作用到抛光垫上的压力值不一致，所以无法对抛光垫做出适当修整。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明提出一种修整器进气系统，该修整器进气系统可以对加载腔室的压力精确控制，从而可以使得修整头对抛光垫进行适当的调整。

本发明进一步地提出了一种抛光机。

根据本发明的修整器进气系统，包括：真空源；真空管路，所述真空管路与所述真空源相连；压缩空气源；压缩空气管路，所述压缩空气管路与所述压缩空气源相连；压缩空气控制阀，所述压缩空气控制阀设置在所述压缩空气管路上以调节所述压缩空气管路输出的压缩空气压力；修整器，所述修整器形成有加载腔室，所述加载腔室选择性地与所述真空管路和所述压缩空气管路相连；压力传感器，所述压力传感器用于检测所述加载腔室的压力；控制器，所述控制器分别与所述压力传感器和所述压缩空气控制阀相连以根据所述压力传感器的检测结果通过所述压缩空气控制阀调节所述压缩空气管路输出的压缩空气压力。

根据本发明的修整器进气系统，压力传感器可以对加载腔室的压力进行实时检测，控制器对压力传感器的结果进行分析，而且控制器将检测结果与加载腔室设定的压力值进行比较以确定是否一致，如果两个压力值不一致，控制器控制压缩空气控制阀工作以使加载腔室的实际压力与设定的压力一致，这样可以使得修整器压力控制精确。精确的压力控制可以使得修整器对抛光垫进行适当的修整，从而可以改善抛光效果，可以提高抛光垫的使用寿命，可以降低抛光成本。

另外，根据本发明的修整器进气系统还可以具有以下区别技术特征：

在本发明的一些示例中，所述修整器进气系统还包括：总管路和第一控制阀，所述总管路连接在所述第一控制阀和所述修整器之间，所述第一控制阀设置成用于将所述总管路选择性地连通所述真空管路和压缩空气管路。

在本发明的一些示例中，所述修整器进气系统还包括：第二控制阀，所述第二控制阀适于控制大气源和所述总管路之间的通断。

在本发明的一些示例中，所述第二控制阀设置在所述总管路上且与所述第一控制阀串联。

在本发明的一些示例中，所述第一控制阀为具有中位保持功能的三位三通阀或三位五通阀，所述第二控制阀为两位三通阀。

在本发明的一些示例中，所述第二控制阀与所述总管路相连且与所述第一控制阀并联。

在本发明的一些示例中，所述第一控制阀为具有中位保持功能的三位三通阀或三位五通阀，所述第二控制阀为两通阀。

在本发明的一些示例中，所述压缩空气控制阀为电气比例阀。

在本发明的一些示例中，真空管路上还设置有减压阀和过滤器，所述减压阀靠近所述真空源设置。

根据本发明的抛光机，包括上述的修整器进气系统。

所述抛光机与所述修整器进气系统的有益效果相同，在此不再详述。

附图说明

图1是根据本发明第一实施例的修整器进气系统的结构示意图；

图2是根据本发明第二实施例的修整器进气系统的结构示意图；

图3是修整器和抛光垫的配合示意图。

附图标记：

修整器进气系统100；

真空管路10；减压阀11；过滤器12；

压缩空气管路20；压缩空气控制阀21；

修整器30；修整头31；加载腔室32；

压力传感器40；控制器50；总管路60；

第一控制阀70；第二控制阀80；抛光垫90。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

下面参考附图详细描述根据本发明实施例的修整器进气系统100，该修整器进气系统100可以应用在抛光机上。

根据本发明实施例的修整器进气系统100可以包括：真空源、真空管路10、压缩空气源、压缩空气管路20、压缩空气控制阀21、修整器30、压力传感器40、控制器50、总管路60、第一控制阀70和第二控制阀80。

如图1和图2所示，真空管路10与真空源相连，压缩空气管路20与压缩空气源相连，其中，真空源可以为容纳真空的容器或者产生真空的设备，压缩空气源可以为产生压缩空气的设备或者容纳压缩空气的容器。优选地，如图1和图2所示，真空管路10上还可以设置有减压阀11和过滤器12，减压阀11靠近真空源设置。也就是说，从真空源进入真空管路10内的真空会先经过减压阀11的减压之后流动至过滤器12，过滤器12再过滤吸入的气体。

压缩空气控制阀21设置在压缩空气管路20上以调节压缩空气管路20输出的压缩空气压力，例如，压缩空气控制阀21可以为电气比例阀，电气比例阀是阀内比例电磁铁输入电压信号产生相应动作，使工作阀阀芯产生位移，阀口尺寸发生改变并以此完成与输入电压成比例压力、流量输出元件。由此，电气比例阀可以控制压缩空气管路20输出的压缩空气压力。

如图1和图2所示，修整器30形成有加载腔室32，加载腔室32选择性地与真空管路10和压缩空气管路20相连，也就是说，真空源可以通过真空管路10向加载腔室32供入真空，压缩空气源可以通过压缩空气管路20向加载腔室32供入压缩空气，当然，本发明并不限于此，例如，加载腔室32还可以选择性地与大气源相连，大气源可以直接为外界大气环境，或者，大气源可以为相应的大气输出设备。对于修整器30与真空管路10、压缩空气管路20和大气源之间的连接结构将在后面的内容中详细描述。

如图1和图2所示，压力传感器40用于检测加载腔室32的压力，控制器50分别与压力传感器40和压缩空气控制阀21相连以根据压力传感器40的检测结果通过压缩空气控制阀21调节压缩空气管路20输出的压缩空气压力。也就是说，压力传感器40可以对加载腔室32的压力进行实时检测，然后压力传感器40将检测结果以电信号的方式传递给控制器50，控制器50对压力传感器40的结果进行分析，而且控制器50将检测结果与加载腔室32设定的压力值进行比较以确定是否一致，如果两个压力值不一致，控制器50控制电气比例阀工作以使加载腔室32的实际压力与设定的压力一致，这样可以使得修整器30压力控制精确。

如图3所示，修整器30设置在抛光垫90的上方，而且修整器30可以对抛光垫90进行修整。由此，精确的压力控制可以使得修整器30对抛光垫90进行适当的修整，从而可以改善抛光效果，可以提高抛光垫90的使用寿命，可以降低抛光成本。

下面描述一下修整器30与真空管路10、压缩空气管路20和大气源之间的连接结构。

如图1和图2所示，总管路60连接在第一控制阀70和修整器30之间，第一控制阀70设置成用于将总管路60选择性地连通真空管路10和压缩空气管路20。具体地，如图1和图2所示，第一控制阀70可以为具有中位保持功能的三位三通阀或者三位五通阀，这样通过控制第一控制阀70的通断状态，可以有效控制真空管路10和总管路60之间的通断，以及可以控制压缩空气管路20和总管路60之间的通断，而且这样可以使得修整器进气系统100结构简单，控制阀数量较少，成本低。

如图1和图2所示，第二控制阀80适于可以控制大气源和总管路60之间的通断。也就是说，通过控制第二控制阀80的通断，大气源可以选择性地向总管路60输出大气，大气可以进入到修整器30的加载腔室32内。

需要说明的是，如图1和图3所示，修整器30可以包括修整头31，修整头31处形成有加载腔室32。

如图1所示，第二控制阀80设置在总管路60上，而且第二控制阀80与第一控制阀70串联，这样第二控制阀80不仅控制大气源和总管路60之间的通断，第二控制阀80还可以控制总管路60自身的通断，这样可以控制真空或压缩气体是否可以进入加载腔室32，当第二控制阀80处于断开状态时，加载腔室32可以进入保压状态。可选地，如图1所示，第二控制阀80可以为两位三通阀。

如图2所示，第二控制阀80与总管路60相连，而且第二控制阀80与第一控制阀70并联。这样第二控制阀80单独控制大气源和总管路60之间的通断，第二控制阀80可以为两通阀，而且通过将第一控制阀70和第二控制阀80并联，可以使得修整器进气系统100控制逻辑简单，结构简单。

其中，修整头31内的加载腔室32可以具有三个进气口，三个进气口分别供真空、压缩气体和大气进入，所以加载腔室32至少对应以下三个状态：与压缩空气相通状态、与真空相通状态和与大气相通状态。当然，通过控制第一控制阀70和第二控制阀80的通断，加载腔室32还可以具有密闭保压状态。

在加载腔室32处于初始状态时，加载腔室32与大气相通，这样可以避免加载腔室32处于长时间的收缩状态，从而可以避免修整头31的破损和寿命降低，以及可以避免消耗能源。

然后，第二控制阀80断开或者第一控制阀70和第二控制阀80同时断开，从而使得加载腔室32可以从初始状态切换到密闭保压状态，压力传感器40可以检测加载腔室32内的压力值，以判断加载腔室32的密封性是否良好。

第一控制阀70可以控制真空管路10和总管路60之间的通断，以及可以控制压缩空气管路20和总管路60之间的通断，当第一控制阀70与真空管路10连通时且第二控制阀80不影响真空管路10和总管路60之间的真空流动时，真空进入到加载腔室32内。当第一控制阀70与压缩空气管路20连通时且第二控制阀80不影响压缩空气管路20和总管路60之间的压缩空气流动时，压缩空气进入到加载腔室32内。第一控制阀70还可以将真空管路10和压缩空气管路20同时断开。

根据本发明实施例的修整器进气系统100，压力传感器40可以对加载腔室32的压力进行实时检测，控制器50对压力传感器40的结果进行分析，而且控制器50将检测结果与加载腔室32设定的压力值进行比较以确定是否一致，如果两个压力值不一致，控制器50控制电气比例阀工作以使加载腔室32的实际压力与设定的压力一致，这样可以使得修整器30压力控制精确。精确的压力控制可以使得修整器30对抛光垫90进行适当的修整，从而可以改善抛光效果，可以提高抛光垫90的使用寿命，可以降低抛光成本。

根据本发明实施例的抛光机，包括上述实施例的修整器进气系统100。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种修整器进气系统，其特征在于，包括：

真空源；

真空管路，所述真空管路与所述真空源相连；

压缩空气源；

压缩空气管路，所述压缩空气管路与所述压缩空气源相连；

压缩空气控制阀，所述压缩空气控制阀设置在所述压缩空气管路上以调节所述压缩空气管路输出的压缩空气压力；

修整器，所述修整器形成有加载腔室，所述加载腔室选择性地与所述真空管路和所述压缩空气管路相连；

压力传感器，所述压力传感器用于检测所述加载腔室的压力；

控制器，所述控制器分别与所述压力传感器和所述压缩空气控制阀相连以根据所述压力传感器的检测结果通过所述压缩空气控制阀调节所述压缩空气管路输出的压缩空气压力。

2.根据权利要求1所述的修整器进气系统，其特征在于，还包括：总管路和第一控制阀，所述总管路连接在所述第一控制阀和所述修整器之间，所述第一控制阀设置成用于将所述总管路选择性地连通所述真空管路和压缩空气管路。

3.根据权利要求2所述的修整器进气系统，其特征在于，还包括：第二控制阀，所述第二控制阀适于控制大气源和所述总管路之间的通断。

4.根据权利要求3所述的修整器进气系统，其特征在于，所述第二控制阀设置在所述总管路上且与所述第一控制阀串联。

5.根据权利要求4所述的修整器进气系统，其特征在于，所述第一控制阀为具有中位保持功能的三位三通阀或三位五通阀，所述第二控制阀为两位三通阀。

6.根据权利要求3所述的修整器进气系统，其特征在于，所述第二控制阀与所述总管路相连且与所述第一控制阀并联。

7.根据权利要求6所述的修整器进气系统，其特征在于，所述第一控制阀为具有中位保持功能的三位三通阀或三位五通阀，所述第二控制阀为两通阀。

8.根据权利要求1所述的修整器进气系统，其特征在于，所述压缩空气控制阀为电气比例阀。

9.根据权利要求1所述的修整器进气系统，其特征在于，真空管路上还设置有减压阀和过滤器，所述减压阀靠近所述真空源设置。

10.一种抛光机，其特征在于，包括根据权利要求1-9中任一项所述的修整器进气系统。