CN106352989B - 一种非制冷红外焦平面探测器微桥的制作方法和结构 - Google Patents
一种非制冷红外焦平面探测器微桥的制作方法和结构 Download PDFInfo
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Denomination of invention: Fabrication method and structure of an uncooled infrared focal plane detector microbridge Effective date of registration: 20230113 Granted publication date: 20191018 Pledgee: Yantai Branch of China Merchants Bank Co.,Ltd. Pledgor: YANTAI RAYTRON TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: Y2023980031039 |
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