CN106350786B - 在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法 - Google Patents

在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106350786B
CN106350786B CN201610710000.XA CN201610710000A CN106350786B CN 106350786 B CN106350786 B CN 106350786B CN 201610710000 A CN201610710000 A CN 201610710000A CN 106350786 B CN106350786 B CN 106350786B
Authority
CN
China
Prior art keywords
zinc
spin coating
zno
polyethylene glycol
presoma
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201610710000.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN106350786A (zh
Inventor
焦杨
杜利霞
姚合宝
郑新亮
李兴华
范海波
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Northwest University
Original Assignee
Northwest University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Northwest University filed Critical Northwest University
Priority to CN201610710000.XA priority Critical patent/CN106350786B/zh
Publication of CN106350786A publication Critical patent/CN106350786A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106350786B publication Critical patent/CN106350786B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/02Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
    • C23C18/12Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material
    • C23C18/1204Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material inorganic material, e.g. non-oxide and non-metallic such as sulfides, nitrides based compounds
    • C23C18/1208Oxides, e.g. ceramics
    • C23C18/1216Metal oxides
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y40/00Manufacture or treatment of nanostructures
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/02Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
    • C23C18/12Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material
    • C23C18/1229Composition of the substrate
    • C23C18/1245Inorganic substrates other than metallic

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)

Abstract

本发明公开的在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法,具体按照以下步骤实施:步骤1、利用醋酸锌、二乙醇胺、无水乙醇及聚乙二醇制备前驱体;步骤2、将经步骤1得到的前躯体采用旋涂仪旋涂于氧化锌纳米柱阵列上;步骤3、经步骤2后,将旋涂有前驱体的氧化锌纳米柱阵列放置于恒温电热板上,于空气氛围下进行退火处理,实现在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒。本发明的方法,能使氧化锌纳米颗粒与纳米柱紧密结合、易对单根纳米柱形成良好包覆,从而有效提高纳米柱阵列表面积、表面粗糙度,使其能更好地应用于光伏器件、疏水性表面等领域,或作为制备氧化锌纳米分级结构的基础。

Description

在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法
技术领域
本发明属于纳米材料表面修饰方法技术领域,涉及一种在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法,具体涉及一种通过旋涂醋酸锌、二乙醇胺和聚乙二醇(PEG2000或PEG4000)的混合溶液来在ZnO纳米柱阵列表面包覆生长ZnO纳米颗粒的方法。
背景技术
晶体氧化锌是一种多功能半导体材料,在光电、压电、紫外激光等领域有潜在应用。近年来,以氧化锌纳米柱阵列为代表的纳米结构氧化锌更是备受关注。因其具有特殊的表面形貌、微观结构与性质,氧化锌纳米柱阵列在纳米发电机、气敏、生物分子探测及疏水性表面等方面均有良好表现,在新型光伏器件的研究中,更被认为是良好的光电极材料。
就现有技术而言,可通过热蒸发沉积、化学气相沉积、磁控溅射、电化学沉积、水热法等湿化学方法获得氧化锌纳米柱阵列。不同方法获得的纳米柱阵列在形貌特征、晶体质量、荧光性质等方面存在差异,但总体都由表面光滑的单晶纳米柱构成。
在氧化锌纳米柱阵列表面沉积、修饰其它材料,是改善由其构成的纳米器件性能的有效途径。例如,用原子层沉积技术在其表面包覆一层氧化铝,从纳米柱阵列顶端旋涂或滴加氧化锌或二氧化钛纳米晶体,这都有效提高了氧化锌纳米柱阵列太阳能电池的光电转换效率。
一般而言,使用原子层沉积或真空气相沉积技术得到的表面修饰物为薄层状,而非纳米颗粒形貌,样品表面积增加效果有限。而且,由于涉及真空,能耗较高。为保证修饰物为纳米颗粒状,现有技术通常是将预先合成好的纳米颗粒通过旋涂、滴涂等方式附着于纳米柱阵列表面。这种方式对纳米颗粒分散剂要求较高,纳米颗粒分散效果不好的情况下,往往聚集成较大的颗粒团,不能进入纳米柱阵列的间隙,无法对单根纳米柱形成良好包覆。而依靠这种方式分散在阵列中的纳米颗粒与纳米柱之间为物理吸附,结合不牢靠。
发明内容
本发明的目的在于提供一种在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法,能使氧化锌纳米颗粒与纳米柱紧密结合、易对单根纳米柱形成良好包覆,从而有效提高纳米柱阵列表面积、表面粗糙度,使其能更好地应用于光伏器件、疏水性表面等领域,或作为制备氧化锌纳米分级结构的基础。
本发明所采用的技术方案是,一种在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法,具体按照以下步骤实施:
步骤1、利用醋酸锌、二乙醇胺、无水乙醇及聚乙二醇制备前驱体;
步骤2、将经步骤1得到的前躯体采用旋涂仪旋涂于氧化锌纳米柱阵列上;
步骤3、经步骤2后,将旋涂有前驱体的氧化锌纳米柱阵列放置于恒温电热板上,于空气氛围下进行退火处理,实现在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒。
本发明的特点还在于:
步骤1具体按照以下步骤实施:
步骤1.1、按摩尔比1:1~2分别量取醋酸锌和二乙醇胺,并将量取的醋酸锌和二乙醇胺混合,形成混合物;
步骤1.2、取无水乙醇添加到经步骤1.1得到的混合物中,形成混合溶液,其中,醋酸锌的摩尔体积浓度为0.1mol/L~0.2mol/L,二乙醇胺的摩尔体积浓度为0.1mol/L~0.4mol/L;
步骤1.3、待步骤1.2完成后,先称取聚乙二醇,标准为:每1升混合溶液对应聚乙二醇20g~80g;然后将称取的聚乙二醇于热水浴中加热熔融形成液体状的聚乙二醇;
步骤1.4、将经步骤1.3得到的液体状的聚乙二醇添加到经步骤1.2得到的混合溶液中,搅拌均匀后形成前躯体。
聚乙二醇具体为PEG2000或PEG4000。
步骤1.3中热水浴的温度为65℃~75℃。
在步骤2中,用旋涂仪在氧化锌纳米柱阵列上旋涂前躯体时,旋涂量控制为:5ml/cm2~7ml/cm2
在步骤2中,用旋涂仪在氧化锌纳米柱阵列上旋涂前躯体时:要采用滴加的方式将经步骤1得到的前躯体滴加到氧化锌纳米柱阵列上,在整个过程中:要分两个阶段控制:第一阶段:将旋涂仪的转速控制为450r/min~550r/min,旋转时间控制为4s~8s;第二阶段:将旋涂仪的转速控制为950r/min~1050r/min,旋转时间控制为2s~4s。
步骤3中,恒温电热板的温度控制为450℃~550℃,退火时间控制为8min~12min。
本发明的有益效果在于:
(1)本发明一种在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法具有制备成本低及操作简单的优点,在整个过程中不涉及真空或特殊气氛等条件。
(2)利用本发明一种在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法,所生成的氧化锌纳米颗粒不是附着,而是以纳米柱为基底,直接生长在氧化锌纳米柱上,与纳米柱结合紧密,接触良好。
(3)利用本发明一种在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法,所生成的氧化锌纳米颗粒结晶性良好,小而均匀,容易实现对阵列中单根纳米柱的良好包覆。
附图说明
图1是未经处理的氧化锌纳米柱阵列的扫描电子显微镜照片;
图2是旋涂5ml前驱体并退火处理后的氧化锌纳米柱阵列的扫描电子显微镜照片;
图3是旋涂7ml前驱体并退火处理后的氧化锌纳米柱阵列的扫描电子显微镜照片;
图4是水滴站立于未经处理的氧化锌纳米柱阵列表面的光学照片;
图5是水滴站立于旋涂5ml前驱体并退火处理后的氧化锌纳米柱阵列表面的光学照片;
图6是水滴站立于旋涂7ml前驱体并退火处理后的氧化锌纳米柱阵列表面的光学照片;
图7是将本发明方法中的前驱体旋涂于平坦的ITO/玻璃表面,再经退火处理后的扫描电子显微镜照片;
图8是图7中样品的紫外可见透射光谱;
图9是将本发明方法中的前驱体旋涂于平坦的ITO/玻璃表面,再经退火处理后的X-射线衍射谱。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明。
本发明在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法,具体按照以下步骤实施:
步骤1、利用醋酸锌、二乙醇胺、无水乙醇及聚乙二醇(PEG)制备前驱体,具体按照以下步骤实施:
步骤1.1、按摩尔比1:1~2分别量取醋酸锌和二乙醇胺,并将量取的醋酸锌和二乙醇胺混合,形成混合物;
步骤1.2、取无水乙醇添加到经步骤1.1得到的混合物中,形成混合溶液,其中,醋酸锌的摩尔体积浓度为0.1mol/L~0.2mol/L,二乙醇胺的摩尔体积浓度为0.1mol/L~0.4mol/L;
步骤1.3、待步骤1.2完成后,先称取聚乙二醇,标准为:每1升混合溶液对应聚乙二醇20g~80g;然后将称取的聚乙二醇于热水浴中加热熔融形成液体状的聚乙二醇;
其中,聚乙二醇具体为PEG2000或PEG4000;
热水浴的温度为65℃~75℃;
步骤1.4、将经步骤1.3得到的液体状的聚乙二醇添加到经步骤1.2得到的混合溶液中,搅拌均匀后形成前躯体。
步骤2、将经步骤1得到的前躯体采用旋涂仪旋涂于氧化锌纳米柱阵列上;
用旋涂仪在氧化锌纳米柱阵列上旋涂前躯体时,旋涂量控制为:5ml/cm2~7ml/cm2
用旋涂仪在氧化锌纳米柱阵列上旋涂前躯体时:要采用滴加的方式将经步骤1得到的前躯体滴加到氧化锌纳米柱阵列上,在整个过程中:要分两个阶段控制:
第一阶段:将旋涂仪的转速控制为450r/min~550r/min,旋转时间控制为4s~8s;
第二阶段:将旋涂仪的转速控制为950r/min~1050r/min,旋转时间控制为2s~4s。
步骤3、经步骤2后,将旋涂有前驱体的氧化锌纳米柱阵列放置于恒温电热板上,于空气氛围下进行退火处理,实现在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒;
其中,恒温电热板的温度控制为450℃~550℃,退火时间控制为8min~12min。
实施例1
按摩尔比1:1分别量取醋酸锌和二乙醇胺,并将量取的醋酸锌和二乙醇胺混合,形成混合物;取无水乙醇添加到混合物中,形成混合溶液,其中,醋酸锌的摩尔体积浓度为0.1mol/L,二乙醇胺的摩尔体积浓度为0.1mol/L;先称取聚乙二醇,标准为:每1升混合溶液对应聚乙二醇(PEG2000)20g;然后将称取的聚乙二醇(PEG2000)于温度为65℃的热水浴中加热熔融形成液体状的聚乙二醇(PEG2000);将液体状的聚乙二醇(PEG2000)添加到混合溶液中,搅拌均匀后形成前躯体;
将得到的前躯体采用旋涂仪旋涂于氧化锌纳米柱阵列上,旋涂量控制为:5ml/cm2;用旋涂仪在氧化锌纳米柱阵列上旋涂前躯体时:要采用滴加的方式将前躯体滴加到氧化锌纳米柱阵列上,在整个过程中:要分两个阶段控制:第一阶段:将旋涂仪的转速控制为450r/min,旋转时间控制为8s;第二阶段:将旋涂仪的转速控制为950r/min,旋转时间控制为4s;
将旋涂有前驱体的氧化锌纳米柱阵列放置于温度为450℃的恒温电热板上,于空气氛围下进行退火处理12min,实现在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒。
实施例2
按摩尔比1:1.5分别量取醋酸锌和二乙醇胺,并将量取的醋酸锌和二乙醇胺混合,形成混合物;取无水乙醇添加到混合物中,形成混合溶液,其中,醋酸锌的摩尔体积浓度为0.15mol/L,二乙醇胺的摩尔体积浓度为0.25mol/L;先称取聚乙二醇,标准为:每1升混合溶液对应聚乙二醇(PEG4000)20g;然后将称取的聚乙二醇(PEG4000)于温度为70℃的热水浴中加热熔融形成液体状的聚乙二醇(PEG4000);将液体状的聚乙二醇(PEG4000)添加到混合溶液中,搅拌均匀后形成前躯体;
将得到的前躯体采用旋涂仪旋涂于氧化锌纳米柱阵列上,旋涂量控制为:6ml/cm2;用旋涂仪在氧化锌纳米柱阵列上旋涂前躯体时:要采用滴加的方式将前躯体滴加到氧化锌纳米柱阵列上,在整个过程中:要分两个阶段控制:第一阶段:将旋涂仪的转速控制为500r/min,旋转时间控制为6s;第二阶段:将旋涂仪的转速控制为1000r/min,旋转时间控制为3s;
将旋涂有前驱体的氧化锌纳米柱阵列放置于温度为500℃的恒温电热板上,于空气氛围下进行退火处理10min,实现在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒。
实施例3
按摩尔比1:2分别量取醋酸锌和二乙醇胺,并将量取的醋酸锌和二乙醇胺混合,形成混合物;取无水乙醇添加到混合物中,形成混合溶液,其中,醋酸锌的摩尔体积浓度为0.2mol/L,二乙醇胺的摩尔体积浓度为0.4mol/L;先称取聚乙二醇,标准为:每1升混合溶液对应聚乙二醇(PEG2000)20g;然后将称取的聚乙二醇(PEG2000)于温度为75℃的热水浴中加热熔融形成液体状的聚乙二醇(PEG2000);将液体状的聚乙二醇(PEG2000)添加到混合溶液中,搅拌均匀后形成前躯体;
将得到的前躯体采用旋涂仪旋涂于氧化锌纳米柱阵列上,旋涂量控制为:7ml/cm2;用旋涂仪在氧化锌纳米柱阵列上旋涂前躯体时:要采用滴加的方式将前躯体滴加到氧化锌纳米柱阵列上,在整个过程中:要分两个阶段控制:第一阶段:将旋涂仪的转速控制为550r/min,旋转时间控制为4s;第二阶段:将旋涂仪的转速控制为1050r/min,旋转时间控制为2s;
将旋涂有前驱体的氧化锌纳米柱阵列放置于温度为550℃的恒温电热板上,于空气氛围下进行退火处理8min,实现在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒。
图1是未经处理的氧化锌纳米柱阵列的扫描电子显微镜照片,由图1可以看出:未经处理的氧化锌纳米柱具有规则几何外形,表面光滑。
图2是旋涂5ml前驱体并退火处理后的氧化锌纳米柱阵列的扫描电子显微镜照片,图3是旋涂7ml前驱体并退火处理后的氧化锌纳米柱阵列的扫描电子显微镜照片,由图2和图3可以看出:纳米柱表面就均被包覆上了纳米颗粒状修饰物。
图4~图6分别表示水滴站立于图1~图3中三种氧化锌纳米柱阵列表面的光学照片,水与三种表面的静态接触角从126°依次增加至129°和133°,这说明了:氧化锌纳米柱阵列的表面粗糙度依次增加,该方法成功改造了氧化锌纳米柱阵列的表面形貌以及疏水性。
图7是将本发明方法中制备出的前躯体(其中,醋酸锌和二乙醇胺的摩尔比1:1)旋涂于平坦的ITO/玻璃表面,再退火处理后的扫描电子显微镜照片,由图7可以看出:所得到的氧化锌颗粒大小均匀。
图8是图7中氧化锌颗粒的紫外可见透射光谱,从图8中可以看出:在380nm附近,光透过率陡然下降,对应半导体氧化锌的带边吸收,这说明该方法生成的氧化锌纳米颗粒具有良好结晶性。
图9是将本发明方法制备的前躯体(其中,醋酸锌和二乙醇胺的摩尔比1:2)旋涂于平坦的ITO/玻璃表面,再退火处理后的X-射线衍射谱,由图9中可以看出:得到的氧化锌颗粒结晶良好。
本发明在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法,能使氧化锌纳米颗粒与纳米柱紧密结合、易对单根纳米柱形成良好包覆,从而有效提高纳米柱阵列表面积、表面粗糙度,使其能更好地应用于光伏器件、疏水性表面等领域,或作为制备氧化锌纳米分级结构的基础。

Claims (5)

1.在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法,其特征在于,具体按照以下步骤实施:
步骤1、利用醋酸锌、二乙醇胺、无水乙醇及聚乙二醇制备前驱体;
步骤2、将经步骤1得到的前驱 体采用旋涂仪旋涂于氧化锌纳米柱阵列上;
步骤3、经步骤2后,将旋涂有前驱体的氧化锌纳米柱阵列放置于恒温电热板上,于空气氛围下进行退火处理,实现在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒;
所述步骤1具体按照以下步骤实施:
步骤1.1、按摩尔比1:1~2分别量取醋酸锌和二乙醇胺,并将量取的醋酸锌和二乙醇胺混合,形成混合物;
步骤1.2、取无水乙醇添加到经步骤1.1得到的混合物中,形成混合溶液,其中,醋酸锌的摩尔体积浓度为0.1mol/L~0.2mol/L,二乙醇胺的摩尔体积浓度为0.1mol/L~0.4mol/L;
步骤1.3、待步骤1.2完成后,先称取聚乙二醇,标准为:每1升混合溶液对应聚乙二醇20g~80g;然后将称取的聚乙二醇于热水浴中加热熔融形成液体状的聚乙二醇;
步骤1.4、将经步骤1.3得到的液体状的聚乙二醇添加到经步骤1.2得到的混合溶液中,搅拌均匀后形成前驱体;
在所述步骤2中,用旋涂仪在氧化锌纳米柱阵列上旋涂前驱 体时:要采用滴加的方式将经步骤1得到的前驱 体滴加到氧化锌纳米柱阵列上,在整个过程中:要分两个阶段控制:
第一阶段:将旋涂仪的转速控制为450r/min~550r/min,旋转时间控制为4s~8s;
第二阶段:将旋涂仪的转速控制为950r/min~1050r/min,旋转时间控制为2s~4s。
2.根据权利要求1所述的在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法,其特征在于,所述聚乙二醇具体为PEG2000或PEG4000。
3.根据权利要求1所述的在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法,其特征在于,所述步骤1.3中热水浴的温度为65℃~75℃。
4.根据权利要求1所述的在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法,其特征在于,在所述步骤2中,用旋涂仪在氧化锌纳米柱阵列上旋涂前驱 体时,旋涂量控制为:5ml/cm2~7ml/cm2
5.根据权利要求1所述的在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法,其特征在于,所述步骤3中,恒温电热板的温度控制为450℃~550℃,退火时间控制为8min~12min。
CN201610710000.XA 2016-08-23 2016-08-23 在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法 Active CN106350786B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610710000.XA CN106350786B (zh) 2016-08-23 2016-08-23 在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610710000.XA CN106350786B (zh) 2016-08-23 2016-08-23 在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106350786A CN106350786A (zh) 2017-01-25
CN106350786B true CN106350786B (zh) 2019-01-22

Family

ID=57844570

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610710000.XA Active CN106350786B (zh) 2016-08-23 2016-08-23 在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106350786B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107037510B (zh) * 2017-06-08 2018-02-27 刘子轩 一种摄像镜头表面防结雾处理方法
CN108198940B (zh) * 2017-12-15 2021-05-14 浙江海洋大学 一种ZnMgO纳米柱氧化铝纳米颗粒复合薄膜作为电子传输层的倒结构有机太阳电池
CN109301069A (zh) * 2018-10-30 2019-02-01 深圳清华大学研究院 太阳电池及其制备方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101456579A (zh) * 2008-12-05 2009-06-17 天津大学 低温水热法合成氧化锌纳米管阵列的方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101456579A (zh) * 2008-12-05 2009-06-17 天津大学 低温水热法合成氧化锌纳米管阵列的方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
透明多孔氧化锌薄膜的制备及其光学性能的研究;楼白杨等;《真空科学与技术学报》;20160731;第36卷(第7期);790-794

Also Published As

Publication number Publication date
CN106350786A (zh) 2017-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Kuo et al. Investigation of annealing-treatment on the optical and electrical properties of sol–gel-derived zinc oxide thin films
Bu Rapid synthesis of ZnO nanostructures through microwave heating process
Gherab et al. Aluminium nanoparticles size effect on the optical and structural properties of ZnO nanostructures synthesized by spin-coating technique
Xue et al. Growth of ZnO nanorod forests and characterization of ZnO-coated nylon fibers
CN106350786B (zh) 在ZnO纳米柱阵列表面沉积生长ZnO纳米颗粒的方法
Apeh et al. Properties of nanostructured ZnO thin films synthesized using a modified aqueous chemical growth method
Bidier et al. Structural and optical characteristics of Ti-doped ZnO nanorods deposited by simple chemical bath deposition
Cavusoglu et al. Complexing agent triethanolamine mediated synthesis of nanocrystalline CuO thin films at room temperature via SILAR technique
CN101009228A (zh) 高度取向的氧化锌纳米柱阵列的超声辅助水溶液制备方法
Sypniewska et al. Structural, morphological and photoluminescent properties of annealed ZnO thin layers obtained by the rapid sol-gel spin-coating method
Shikha et al. Structural and optical properties of ZnO thin films deposited by sol–gel method: effect of stabilizer concentration
Khadher et al. Metal oxide thin films: a mini review
Seol et al. Ferroelectricity in solution-processed V-doped ZnO thin films
Shahul Hameed et al. Effect of silver doping on optical properties of nanoflower ZnO thin films prepared by spray pyrolysis technique
Periasamy et al. Effect of annealing on the characteristics of nanocrystalline ZnO thin films
Sun et al. DNA-based fabrication of density-controlled vertically aligned ZnO nanorod arrays and their SERS applications
Nouneh et al. Structural and spectral properties of ZnO nanorods by wet chemical method for hybrid solar cells applications
CN103232172B (zh) 大面积制备二氧化钛纳米中空球有序薄膜的方法
Shim et al. Growth and optical properties of aluminum-doped zinc oxide nanostructures on flexible substrates in flexible electronics
Farooq et al. Effect of sol concentration on structural and optical behavior of ZnO thin films prepared by sol-gel spin coating
Gao et al. Effects of Mn dopant on tuning carrier concentration in Mn doped ZnO nanoparticles synthesized by co-precipitation technique
Suwanboon et al. Fabrication and properties of nanocrystalline zinc oxide thin film prepared by sol-gel method
Sholehah et al. The effects of annealing temperature and seed layer on the growth of ZnO Nanorods in a chemical bath deposition process
Yang et al. Effect of Synthesis Time on Synthesis and Photoluminescence Properties of ZnO Nanorods
Morkoç Karadeniz et al. A comparative study on structural and optical properties of ZnO micro-nanorod arrays grown on seed layers using chemical bath deposition and spin coating methods

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant