CN106329875A - 一种多自由度直线电机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种多自由度直线电机,包括定子和动子,所述定子包括两个背铁和与所述背铁粘接的若干磁铁阵列,所述动子包括设于所述两个背铁之间的若干线圈阵列,所述若干线圈阵列沿竖直方向排列,所述若干线圈阵列内通入的三相电流的初始相位不一致。通过设置沿竖直方向排列的若干线圈阵列,并对不同的线圈阵列通入初始相位不一致的三相电流,使其在磁铁阵列的作用下同时具有水平方向和竖直方向的出力,且推力常数大,性能好,大大提高了直线电机的整体性能,有效满足了光刻设备的高精度定位需求。
Description
技术领域
本发明涉及光刻领域,尤其涉及一种多自由度直线电机。
背景技术
随着光刻技术的进步和半导体工业的快速发展,对于光刻设备有四项基本性能指标:线宽均匀性(CD,Critical Dimension Uniformity)、焦深(Focus)、套刻(Overlay)和产率(Throughput)。为了提高线宽均匀性,工件台或掩模台必须提高水平向精密定位能力;为了提高焦深误差精度,工件台或掩模台必须提高垂向精密定位能力;为了提高光刻机套刻误差精度,工件台或掩模台必须提高其内部模态来提升动态定位特性。此外,光刻设备必须增加产率,因此工件台或掩模台还必须高速运动,快速启动和停止。光刻设备的高速、高加速和高精密的定位能力是相互矛盾的,增加扫描速度需要功率更大的电机,实现长行程和高速度运动,并具有多自由度运动来进行光刻曝光和对准。直线电机是一种将电能直接转换成直线运动机械能,而不需要任何中间转换机构的传动装置,相比旋转电机具有结构简单、定位精度高以及传动效率高等优势,因此广泛应用于光刻设备的高精度定位平台中。
如图1所示,传统直线电机通常包括上下对称设置的两块背铁1’、粘接在背铁1’上的磁铁阵列2’、连接两块磁铁阵列2’的U型支架4’和位于磁铁阵列2’之间的线圈3’,线圈3’的数量为3的倍数。当线圈3’的数量等于3时,在线圈3’内通入三相电流,使线圈3’与磁铁2’之间产生X轴方向的相互作用力,二者沿X轴方向相对运动;当线圈3’的数量大于3时,可以通过串联或并联的方式,使线圈3’最终只有三个出线端子用于接三相电流。如图2所示,为传统直线电机电磁结构图,其中黑色箭头代表磁铁的充磁方向,两组磁铁阵列2’中包含四种充磁方向的磁铁:N型磁铁201’、S型磁铁202’、H1磁铁203’、H2磁铁204’。线圈3’沿XZ平面的中心线与磁力中心线CP重合,以该种方式设置的线圈3’,无论以何种方式接线或通电,该种直线电机只有X轴方向出力的功能,即只具有一个自由度,不能满足光刻设备在其他方向的运动和高精度定位。
针对以上问题,现有技术中提供了一种具有悬浮和横向能力的无铁芯磁性直线马达,如图3所示,与上述单自由度直线电机不同的是,该结构中使线圈3’沿XZ平面的中心线偏离磁力中心线CP,也就是说线圈3’与两侧磁铁阵列2’的距离不一样,此时给线圈3’通入具有相位偏移的换向电流,线圈3’会产生与X轴方向垂直,与Z轴平行的出力,由于传统直线电机线圈3’与两边磁铁阵列2’的距离相等,当通入具有相位偏移的换向电流后,两边磁铁阵列2’对线圈3’产生的Z轴向作用力相互抵消,而该结构中,将线圈3’偏置,使得两边磁铁阵列2’对线圈3’产生的Z向作用力不平衡,因此线圈3’会产生Z向出力,使直线马达具有二自由度。然而采用上述结构不仅会降低电机沿X轴方向的推力性能,且产生的Z向出力较小,从而影响了直线电机的整体性能,未能切实满足光刻设备的高精度定位需求。
发明内容
本发明为了克服以上不足,提供了一种既能有效增加电机的运动自由度,又能提高推力常数的多自由度直线电机。
为了解决上述技术问题,本发明的技术方案是:一种多自由度直线电机,包括定子和动子,所述定子包括两个背铁和与所述背铁粘接的若干磁铁阵列,所述动子包括设于所述两个背铁之间的若干线圈阵列,所述若干线圈阵列沿竖直方向排列,所述若干线圈阵列内通入的三相电流的初始相位不一致。
进一步的,所述若干线圈阵列沿竖直方向错位排列。
进一步的,所述磁铁阵列的数量为两个,分别设置在两个所述背铁相对的一侧。
进一步的,两个所述磁铁阵列之间通过U型支架连接。
进一步的,所述磁铁阵列为海尔贝克磁铁阵列,包括若干个由4块永磁铁沿X轴方向依次拼接而成的海尔贝克单元。
进一步的,所述4块永磁铁依次为S型磁铁、H1磁铁、N型磁铁和H2磁铁,所述S型磁铁的磁化方向沿Y轴正向,所述N型磁铁的磁化方向沿Y轴负向,所述H1磁铁的磁化方向沿X轴正向,所述H2磁铁的磁化方向沿X轴负向。
进一步的,所述线圈阵列设有两个,分别为第一线圈阵列和第二线圈阵列,所述第一线圈阵列和第二线圈阵列沿竖直方向错位排列。
进一步的,所述第一线圈阵列和第二线圈阵列均包括若干绕线组,所述每个绕线组由三个线圈水平排列而成。
进一步的,所述S型磁铁和N型磁铁沿水平方向的中心距离为τ,所述第一线圈阵列与第二线圈阵列相应一侧沿水平方向的间距L满足:-τ<L<τ。
进一步的,所述第一线圈阵列与第二线圈阵列相应一侧沿水平方向的间距L为τ/2。
本发明提供的多自由度直线电机,包括定子和动子,所述定子包括两个背铁和与所述背铁粘接的若干磁铁阵列,所述动子包括设于所述两个背铁之间的若干线圈阵列,所述若干线圈阵列沿竖直方向排列,所述若干线圈阵列内通入的三相电流的初始相位不一致。通过设置沿竖直方向排列的若干线圈阵列在水平方向移位,并对不同的线圈阵列通入初始相位不一致的三相电流,使其在磁铁阵列的作用下同时具有水平方向和竖直方向的出力,且推力常数大,性能好,大大提高了直线电机的整体性能,有效满足了光刻设备的高精度定位需求。
附图说明
图1是传统单自由度直线电机结构示意图;
图2是传统单自由度直线电机电磁结构图;
图3是现有技术中二自由度直线电机的结构示意图;
图4是本发明多自由度直线电机一实施例的结构示意图;
图5是本发明多自由度直线电机一实施例的部分结构示意图;
图6是本发明多自由度直线电机一实施例的主视示意图;
图7是本发明多自由度直线电机沿X轴方向运动时X轴方向推力常数的仿真曲线;
图8是本发明多自由度直线电机沿Z轴方向运动时X轴方向推力常数的仿真曲线;
图9是本发明多自由度直线电机沿X轴方向运动时Z轴方向推力常数的仿真曲线;
图10是本发明多自由度直线电机沿Z轴方向运动时Z轴方向推力常数的仿真曲线。
图1-3中所示:1’、背铁;2’、磁铁阵列;201’、N型磁铁;202’、S型磁铁;203’、H1磁铁;204’、H2磁铁;3’、线圈;4’、U型支架。
图4-10中所示:1、背铁;2、磁铁阵列;201、海尔贝克单元;3、线圈阵列;31、第一线圈阵列;32、第二线圈阵列;310a-310c,320a-320c、线圈;4、U型支架。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作详细描述:
如图4-5所示,本发明提供一种多自由度直线电机,包括定子和动子,其中,定子包括两个背铁1和与背铁1粘接的若干磁铁阵列2,本实施例中,磁铁阵列2的数量为两个,分别设置在两个背铁1相对的一侧,两个磁铁阵列2之间通过U型支架4固定连接。动子包括设于两个背铁1之间的若干线圈阵列3,若干线圈阵列3沿竖直方向(即Z轴方向)排列,为了不增加直线电机的尺寸和重量,本发明中使若干线圈阵列3沿Z轴方向重叠后的高度和沿水平面(X-Y平面)的面积与传统直线电机中一个线圈阵列的高度和面积相同。若干线圈阵列3内通入的三相电流的初始相位不一致,通过对不同的线圈阵列3通入初始相位不一致的三相内流,使其在磁铁阵列2的作用下同时具有水平方向(即X轴方向)和Z轴方向的出力,使直线电机具有二自由度运动性能。
如图6所示,磁铁阵列2为海尔贝克磁铁阵列,包括若干个由4块永磁铁沿X轴方向依次拼接而成的海尔贝克单元201,4块永磁铁依次为S型磁铁、H1磁铁、N型磁铁和H2磁铁,其中,S型磁铁的磁化方向沿Y轴正向,N型磁铁的磁化方向沿Y轴负向,H1磁铁的磁化方向沿X轴正向,H2磁铁的磁化方向沿X轴负向,4块永磁铁两两的磁化方向相反,起到了增强磁场的作用,设N型磁铁和S型磁铁中心位置沿X轴方向的间距为τ,即为极距。
请重点参照图6,若干线圈阵列3沿竖直方向错位排列,本实施例中,线圈阵列3设有两个,分别为第一线圈阵列31和第二线圈阵列32,两者沿竖直方向错位排列,即第一线圈阵列31和第二线圈阵列32相应一侧沿水平方向上设有一定间距,优选的,第一线圈阵列31与第二线圈阵列32相应一侧沿Z轴方向的间距L满足:-τ<L<τ,本实施例中,第一线圈阵列31与第二线圈阵列32相应一侧沿X轴方向的间距L为τ/2。
优选的,第一线圈阵列31和第二线圈阵列32均包括若干绕线组,每个绕线组由三个线圈水平排列而成,本实施例中,第一线圈阵列31包括1个绕线组,其中的三个线圈分别为310a、310b和310c,第二线圈阵列32包括1个绕线组,其中三个线圈分别为320a、320b和320c。
请继续参照图6,N型磁铁和S型磁铁中心位置沿X轴方向的间距为τ,每个线圈沿X轴方向的宽度为Wcoil,二者之间有如下关系:
或
或
则第一线圈阵列31和第二线圈阵列32内部的三相电流的相位关系描述如下:
根据三相电机的矢量控制技术,每个线圈内所通的电流采用直轴交轴(DQ)分解法进行控制,逻辑上对应两个电流分量,分别为直轴电流和交轴电流 用于控制电机Z向出力,用于控制电机X向出力。对应于第一线圈阵列31内三个线圈310a、310b和310c内的电流分别为iAaq、iBaq、iCaq、iAad、iBad、iCad,对应于第二线圈阵列32内三个线圈320a、320b和320c内的电流分别为iAbq、iBbq、iCbq、iAbd、iBbd、iCbd。将iq、id的初始相位定义为和对于第一线圈阵列31来说,其中三个线圈310a、310b和310c的初始相位分别为:对于第二线圈阵列32来说,其中三个线圈320a、320b和320c的初始相位分别为当线圈宽度Wcoil和极距τ之间满足式(1)的关系时,第一线圈阵列31中三个线圈310a、310b和310c通入的三相电流初始相位需要满足以下关系:
式中,n为整数。
与此同时,对于第二线圈阵列32来说,其中三个线圈320a、320b和320c通入的三相电流初始相位与第一线圈阵列31三个线圈310a、310b和310c通入的三相电流初始相位相关,两者需要满足的关系为:
L为第一线圈阵列31与第二线圈阵列32相应一侧沿X轴方向的间距。当L为τ/2时,上述公式为:
同理,当线圈宽度Wcoil和极距τ之间满足式(2)或式(3)的关系时,第一线圈阵列31中三个线圈310a、310b和310c通入的三相电流初始相位与公式(5)类似,第二线圈阵列32中三个线圈320a、320b和320c通入的三相电流初始相位与第一线圈阵列31三个线圈310a、310b和310c通入的三相电流初始相位关系与公式(6)类似。
本实施例中以L=τ/2为例,如图7所示,为线圈阵列3相对于磁铁阵列2沿X轴方向运动时,线圈阵列3中沿X轴方向推力常数的仿真曲线,图中横轴为沿X轴方向行程,仿真的行程为60mm,纵轴是推力常数数值,电机X轴方向推力常数约为128.4N/A,其波动比例<0.1%。如图7所示,为线圈阵列3相对于磁铁阵列2沿Z轴方向运动时,线圈阵列3中沿X轴方向推力常数的仿真曲线,图中横轴为沿Z轴方向行程,仿真的行程为1mm,推力常数约为128.4N/A,与沿X轴方向运动时相仿,且波动比例为0.6%。如图9所示,为线圈阵列3相对于磁铁阵列2沿X轴方向运动时,线圈阵列3沿Z轴方向推力常数仿真曲线,从图中可以看出电机Z轴方向推力常数约为33.77N/A,波动系数为0.2%。如图10所示,为线圈阵列3相对于磁铁阵列2沿Z轴方向运动时,线圈阵列3中沿Z轴方向推力常数仿真曲线,电机Z向推力常数大概为33.77N/A,波动比例为1%,由此可知,本发明提供的多自由度直线电机增加了电机沿Z轴方向的运动自由度之后,并不影响直线电机沿X轴方向的推力常数,大大提高了直线电机的整体性能。
综上所述,本发明提供的多自由度直线电机,包括定子和动子,定子包括两个背铁1和与背铁1粘接的若干磁铁阵列2,动子包括设于两个背铁1之间的若干线圈阵列3,若干线圈阵列3沿竖直方向排列,若干线圈阵列3内通入的三相电流的初始相位不一致。通过设置沿竖直方向排列的若干线圈阵列3在水平方向上移动,并对不同的线圈阵列3通入初始相位不一致的三相电流,使其在磁铁阵列2的作用下同时具有水平方向和竖直方向的出力,且推力常数大,性能好,大大提高了直线电机的整体性能,有效满足了光刻设备的高精度定位需求。
虽然说明书中对本发明的实施方式进行了说明,但这些实施方式只是作为提示,不应限定本发明的保护范围。在不脱离本发明宗旨的范围内进行各种省略、置换和变更均应包含在本发明的保护范围内。
Claims (10)
1.一种多自由度直线电机,包括定子和动子,所述定子包括两个背铁和与背铁粘接的若干磁铁阵列,其特征在于,所述动子包括设于所述两个背铁之间的若干线圈阵列,所述若干线圈阵列沿竖直方向排列,所述若干线圈阵列内通入的三相电流的初始相位不一致。
2.根据权利要求1所述的多自由度直线电机,其特征在于,所述若干线圈阵列沿竖直方向错位排列。
3.根据权利要求2所述的多自由度直线电机,其特征在于,所述磁铁阵列的数量为两个,分别设置在两个所述背铁相对的一侧。
4.根据权利要求3所述的多自由度直线电机,其特征在于,两个所述磁铁阵列之间通过U型支架连接。
5.根据权利要求2所述的多自由度长行程直线电机,其特征在于,所述磁铁阵列为海尔贝克磁铁阵列,包括若干个由4块永磁铁沿X轴方向依次拼接而成的海尔贝克单元。
6.根据权利要求5所述的多自由度长行程直线电机,其特征在于,所述4块永磁铁依次为S型磁铁、H1磁铁、N型磁铁和H2磁铁,所述S型磁铁的磁化方向沿Y轴正向,所述N型磁铁的磁化方向沿Y轴负向,所述H1磁铁的磁化方向沿X轴正向,所述H2磁铁的磁化方向沿X轴负向。
7.根据权利要求6所述的多自由度直线电机,其特征在于,所述线圈阵列设有两个,分别为第一线圈阵列和第二线圈阵列,所述第一线圈阵列和第二线圈阵列沿竖直方向错位排列。
8.根据权利要求7所述的多自由度直线电机,其特征在于,所述第一线圈阵列和第二线圈阵列均包括若干绕线组,所述每个绕线组由三个线圈水平排列而成。
9.根据权利要求7所述的多自由度直线电机,其特征在于,所述S型磁铁和N型磁铁沿水平方向的中心距离为τ,所述第一线圈阵列与第二线圈阵列相应一侧沿水平方向的间距L满足:-τ<L<τ。
10.根据权利要求9所述的多自由度直线电机,其特征在于,所述第一线圈阵列与第二线圈阵列相应一侧沿水平方向的间距L为τ/2。
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