CN106248269A - 基于光纤光栅的温度不敏感二维应力传感器 - Google Patents
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- 239000000835 fiber Substances 0.000 title claims abstract description 114
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims abstract description 9
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 claims description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 2
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 claims description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 2
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 18
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 4
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- FGRBYDKOBBBPOI-UHFFFAOYSA-N 10,10-dioxo-2-[4-(N-phenylanilino)phenyl]thioxanthen-9-one Chemical compound O=C1c2ccccc2S(=O)(=O)c2ccc(cc12)-c1ccc(cc1)N(c1ccccc1)c1ccccc1 FGRBYDKOBBBPOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000035800 maturation Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000000985 reflectance spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
Classifications
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/24—Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet
- G01L1/242—Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet the material being an optical fibre
- G01L1/246—Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet the material being an optical fibre using integrated gratings, e.g. Bragg gratings
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Abstract
本发明涉及一种光纤光栅传感器，具体涉及温度不敏感的高精度二维应力光纤光栅传感器。基于光纤光栅的温度不敏感二维应力传感器，所述实心弹性管为圆柱形，其上对称的刻有ZC轴方向和YC轴方向上两组固定光纤光栅的对称刻槽，第一光纤光栅、第二光纤光栅、第三光纤光栅和第四光纤光栅分别用双组份环氧树脂胶粘贴于实心弹性管的对称刻槽内的中间位置，所述空心弹性管套于实心弹性管的外壁，空心弹性管和实心弹性管之间的缝隙用环氧树脂胶填充，一分四耦合器的四端口分别与所述第一光纤光栅、第二光纤光栅、第三光纤光栅和第四光纤光栅相熔接。该传感器解决了光纤光栅封装尺寸过大、测量精度不高、温度应力交叉敏感和传感器件不稳定的问题。
Description
技术领域
本发明涉及一种光纤光栅传感器，具体涉及温度不敏感的高精度二维应力光纤光栅传感器。
背景技术
随着紫外光刻写光栅技术的成熟，光纤光栅作为优质的传感单元具有体积小，可远距离传感被用在工程项目的各个场景中。光纤光栅的传感测量中，最重要的就是温度和应力的交叉敏感问题，光纤光栅的传感参数收到光栅光程的影响，而外界温度和应力会交叉、综合作用于光纤光栅上，引起光栅中光程的变化，影响单变量的测量准确性。
公知的光纤光栅传感器（例如：CN1334920A），其设计方法与现实技术侧重于应变、位移等物理量的一维传感测量。公知的光纤光栅传感器（例如：CN1412527A、CN1654926A），其设计目的也为温度不敏感应力传感器，设计者运用了一根光栅作为单轴应力传感测量，运用串联光栅的方式实现温度消除，虽然实现温度不敏感二维应力测量传感器设计，由于串联了光纤光栅结构，设计的传感器尺寸较大，单根光纤光栅测量精度不高，而且传感器的性能不稳定。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术中存在的问题提供一种基于光纤光栅的温度
不敏感二维应力传感器，该传感器解决了光纤光栅封装尺寸过大、测量精度不高、温度应力交叉敏感和传感器件不稳定的问题。
本发明提供的技术方案是：
基于光纤光栅的温度不敏感二维应力传感器，包括空心弹性管、实心弹性管、第一光纤光栅、第二光纤光栅、第三光纤光栅、第四光纤光栅以及一分四光纤耦合器；所述实心弹性管为圆柱形，其上对称的刻有ZC轴方向和YC轴方向上两组固定光纤光栅的对称刻槽，第一光纤光栅、第二光纤光栅、第三光纤光栅和第四光纤光栅分别用双组份环氧树脂胶粘贴于实心弹性管的对称刻槽内的中间位置，所述空心弹性管套于实心弹性管的外壁，空心弹性管和实心弹性管之间的缝隙用环氧树脂胶填充，一分四耦合器的四端口分别与所述第一光纤光栅、第二光纤光栅、第三光纤光栅和第四光纤光栅相熔接。
具体的，所述第一光纤光栅、第二光纤光栅、第三光纤光栅和第四光纤光栅符合如下条件：设定YC轴上第一光纤光栅的中心波长为Δλ A1，则第二光纤光栅的中心波长Δλ A2=Δλ A1±Δλ；设定ZC轴上第三光纤光栅中心波长Δλ B1，第四光纤光栅的中心波长Δλ B2=Δλ B1±Δλ；其中2nm≤Δλ≤4nm，10nm≤ |Δλ A1- Δλ B1|≤20nm。
具体的，所述空心弹性管和实心弹性管的材质为弹性金属、有机弹性玻璃、弹性塑料或尼龙中的一种。
本发明提供二维应力传感器利用两组不同波长的光纤光栅进行二维应力的实时传感，光纤光栅分布分为第一光纤光栅和第二光纤光栅为一组测试YC轴的力分量，第三光纤光栅和第四光纤光栅为一组测试ZC轴的力分量。
当应变和温度变化不是很大时，波长的变化与温度和应变存在如下一阶线性关系，温度改变 ΔT , 所受应力产生应变Δε分解YC和ZC方向，在YC方向产生形变为 Δεy，在ZC方向产生形变为 ΔεZ，则有：
ΔλA1 =KTΔT +KεΔεy (1) ΔλA2 =KTΔT –KεΔεy (2)
ΔλB1 =KTΔT +KεΔεZ (3) ΔλB2 =KTΔT –KεΔεZ (4)
式(1)、(2)相减得：ΔλA1-ΔλA2 =2KεΔΔεy
式(3)、(4)相减得：Δλ B1-ΔλB2 =2KεΔΔεZ
则合应变为：Δε=[（Δεy）^2 +（ΔεZ）^2]^0.5
其中YC轴上第一光纤光栅的中心波长为Δλ A1，第二光纤光栅的中心波长为
Δλ A2；ZC轴上第三光纤光栅中心波长为Δλ B1，第四光纤光栅的中心波长为Δλ B2，KT为温度系数，Kε为应力系数。
从上述公式中看出每组光纤光栅中心反射波长的差值与两倍的形变 Δε成线性关系, 在小挠度条件下，不但有效的补偿了温度变化对应变测量的影响，而且将应变测量灵敏度提高了一倍，实现了高精度的线性传感解调。
附图说明
图1是本发明结构示意图；
图2是本发明的一个维度受力的反射谱；
图3是本发明的3D示意图。
1空心弹性管 2对称刻槽 3 第一光纤光栅 4第二光纤光栅
5 第三光纤光栅 6 第四光纤光栅 7双组份环氧树脂胶 8 实心弹性管
9一分四耦合器。
具体实施方式
如图1所示为本具体实施方式提供的基于光纤光栅的温度不敏感二维应力传感器的结构示意图，包括空心弹性管 1、实心弹性管8、第一光纤光栅3、第二光纤光栅4、第三光纤光栅5、第四光纤光栅6以及一分四光纤耦合器9，所述空心弹性管1和实心弹性管8的材质为弹性金属；所述实心弹性管8为圆柱形，其上对称的刻有ZC轴方向和YC轴方向上两组固定光纤光栅的对称刻槽2，第一光纤光栅3、第二光纤光栅4、第三光纤光栅5和第四光纤光栅6分别用双组份环氧树脂胶7粘贴于实心弹性管8的对称刻槽2内的中间位置，所述空心弹性管1套于实心弹性管8的外壁，空心弹性管1和实心弹性管8之间的缝隙用环氧树脂胶7填充，一分四耦合器9的四端口分别与所述第一光纤光栅3、第二光纤光栅4、第三光纤光栅5和第四光纤光栅6相熔接，图3是3D示意图。
所述第一光纤光栅3、第二光纤光栅4、第三光纤光栅5和第四光纤光栅6符合如下条件：设定YC轴上第一光纤光栅3的中心波长为Δλ A1，则第二光纤光栅4的中心波长Δλ A2=Δλ A1±Δλ；设定ZC轴上第三光纤光栅5中心波长Δλ B1，第四光纤光栅6的中心波长Δλ B2=Δλ B1±Δλ；其中2nm≤Δλ≤4nm，10nm≤ |Δλ A1- Δλ B1|≤20nm。
本发明提供的二维应力传感器在做解调测试的时候，需要使用环形器、光谱仪，在这里列举两种测量方法：一种是光谱测量，将宽谱光源的光输入进环形器输入端口，环形器传输端口接本发明提供的二维应力传感器传感结构中的一分四耦合器的公共端，环形器输出端口接光谱仪实时测量；另一种为拍平测量，即宽谱光源的光输入进环形器输入端口，环形器传输端口接本发明提供的二维应力传感器传感结构中的一分四耦合器的公共端，环形器输出端口接光电探测器，光电探测器的电输出端接频谱仪。
当对本发明提供的基于光纤光栅的温度不敏感二维应力传感器做应力测量时，需要给本发明所述的传感器右下角方向的力，应力传感结构将外力分解为相互垂直的ZC和YC轴方向的力；YC轴方向的力通过第一光纤光栅3和第二光纤光栅4传感测量，由于本发明提供的传感器在受力时，第一光纤光栅3被拉伸，其栅长变长，反射波长变长，同时第二光纤光栅4被压缩，栅长变短，在小挠度的情况下，第一光纤光栅3与第二光纤光栅4的反射波长差与应变成线性关系；ZC轴方向的力通过第三光纤光栅5和第四光纤光栅6传感测量，由于本发明提供的传感器在受力时，第三光纤光栅5被拉伸，栅长变长，反射波长变长，同时第四光纤光栅6被压缩，栅长变短（其反射图谱如图3所示），在小挠度的情况下，同一纬度内的两根光纤光栅的反射波长差与应变成线性关系；通过对YC、ZC方向波长差的数据处理，获得相应方向的应力值，再经过力学合成，获得对外界二维应力的测量。其他方向的力作用下，通过相似的力学分解可以测量其他方向的受力情况。
由于在一个维度上使用了两根光纤光栅，当外界环境温度值发生变化时，两根光纤光栅是同步变化，即温度的变化对两根光栅的影响是等同的。
当应变和温度变化不是很大时，波长的变化与温度和应变存在如下一阶线性关系，令所处温度改变为 ΔT , 所受应力产生应变Δε分解YC和ZC方向，在YC方向产生形变为 Δεy，在ZC方向产生形变为 ΔεZ，则有：
ΔλA1 =KTΔT +KεΔεy (1) ΔλA2 =KTΔT –KεΔεy (2)
ΔλB1 =KTΔT +KεΔεZ (3) ΔλB2 =KTΔT –KεΔεZ (4)
式(1)、(2)相减得：ΔλA1-ΔλA2=2KεΔεy
式(3)、(4)相减得：ΔλB1-ΔλB2=2KεΔεz
则合应变为：Δε=[（Δεy）^2+（Δεz）^2]^0.5
Δλ A1为第一光纤光栅3的实时反射波长，Δλ A2为第二光纤光栅4的实时反射波长，Δλ B1为第三光纤光栅5的实时反射波长，Δλ B2为第四光纤光栅6的实时反射波长，KT为温度系数，Kε为应力系数。
通过公式可以看出测量系统在原理上排除了温度对光纤光栅应力测量的影响，同时将传统的光纤光栅传感器的解调精度提高了2倍，从而实现了温度不敏感的高精度二维应力测量。
最后应当说明的是:以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对其限制；尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细的说明，所属领域的普通技术人员应当理解：依然可以对本发明的具体实施方式进行修改或者对部分技术特征进行等同替换；而不脱离本发明技术方案的精神，其均应涵盖在本发明请求保护的技术方案范围当中。
Claims (3)
1.基于光纤光栅的温度不敏感二维应力传感器，其特征在于，包括空心弹性管 （1）、实心弹性管（8）、第一光纤光栅（3）、第二光纤光栅（4）、第三光纤光栅（5）、第四光纤光栅（6）以及一分四光纤耦合器（9）；所述实心弹性管（8）为圆柱形，其上对称的刻有ZC轴方向和YC轴方向上两组固定光纤光栅的对称刻槽（2），第一光纤光栅（3）、第二光纤光栅（4）、第三光纤光栅（5）和第四光纤光栅（6）分别用双组份环氧树脂胶（7）粘贴于实心弹性管（8）的对称刻槽（2）内的中间位置，所述空心弹性管（1）套于实心弹性管（8）的外壁，空心弹性管（1）和实心弹性管（8）之间的缝隙用环氧树脂胶（7）填充，一分四耦合器（9）的四端口分别与所述第一光纤光栅（3）、第二光纤光栅（4）、第三光纤光栅（5）和第四光纤光栅（6）相熔接。
2.根据权利要求1所述基于光纤光栅的温度不敏感二维应力传感器，其特征在于，所述第一光纤光栅（3）、第二光纤光栅（4）、第三光纤光栅（5）和第四光纤光栅（6）符合如下条件：设定YC轴上第一光纤光栅（3）的中心波长为Δλ A1，则第二光纤光栅（4）的中心波长Δλ A2=Δλ A1±Δλ；设定ZC轴上第三光纤光栅（5）中心波长Δλ B1，第四光纤光栅（6）的中心波长Δλ B2=Δλ B1±Δλ；其中2nm≤Δλ≤4nm，10nm≤ |Δλ A1 - Δλ B1|≤20nm。
3.根据权利要求1所述基于光纤光栅的温度不敏感二维应力传感器，其特征在于，所述空心弹性管（1）和实心弹性管（8）的材质为弹性金属、有机弹性玻璃、弹性塑料或尼龙中的一种。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610612684.XA CN106248269A (zh) | 2016-07-29 | 2016-07-29 | 基于光纤光栅的温度不敏感二维应力传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201610612684.XA CN106248269A (zh) | 2016-07-29 | 2016-07-29 | 基于光纤光栅的温度不敏感二维应力传感器 |
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| CN106248269A true CN106248269A (zh) | 2016-12-21 |
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| CN201610612684.XA Pending CN106248269A (zh) | 2016-07-29 | 2016-07-29 | 基于光纤光栅的温度不敏感二维应力传感器 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20161221 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |