CN106248264A - 一种连通型压阻阵列 - Google Patents
一种连通型压阻阵列 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106248264A CN106248264A CN201610712683.2A CN201610712683A CN106248264A CN 106248264 A CN106248264 A CN 106248264A CN 201610712683 A CN201610712683 A CN 201610712683A CN 106248264 A CN106248264 A CN 106248264A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- film
- packaging film
- array
- communicate
- pressure drag
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/18—Measuring force or stress, in general using properties of piezo-resistive materials, i.e. materials of which the ohmic resistance varies according to changes in magnitude or direction of force applied to the material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Abstract
本发明涉及一种连通型压阻阵列,属于传感器技术领域。该连通型压阻阵列包括底层封装薄膜、顶层封装薄膜、和位于二者之间的压阻敏感薄膜;底层封装薄膜由带有窗口的内侧绝缘薄膜和覆合有电极阵列的外侧绝缘薄膜构成;顶层封装薄膜的结构、尺寸和电极数目都与底层封装薄膜的相同;连通型压阻阵列的传感子单元总数与底层封装薄膜的电极数相同,每个传感子单元的两个输出信号端为底层封装薄膜的电极和与其正对的顶层封装薄膜的电极;连通型压阻阵列中所有传感子单元共用同一片压阻薄膜,作用于连通型压阻阵列上的任何一个区域的力,都会引起所有传感子单元输出信号的变化。采用本发明设计的连通型压阻阵列可消除测量盲区、扩展压阻阵列的测量区域。
Description
技术领域
本发明属于传感器技术领域,特别涉及到传感器阵列和压力测量。
背景技术
随着科技的发展,阵列型传感器在现代工程中得到了广泛应用。比如,利用导电高分子复合材料压阻效应的压力传感器阵列。但传统传感器阵列是一种非连通型阵列,即:各个传感子单元之间是分离的,传感子单元之间没有压阻敏感材料。故而,传统传感器阵列无法探测到作用于传感子单元之间的压力(即:存在盲区),其测量区域有待扩大。
发明内容
本发明的目的是为克服已有技术的不足之处,提出一种连通型压阻阵列。该连通型压阻阵列包括底层封装薄膜、顶层封装薄膜、和位于二者之间的压阻敏感薄膜;底层封装薄膜由带有窗口的内侧绝缘薄膜和覆合有电极阵列的外侧绝缘薄膜构成;顶层封装薄膜的结构、尺寸和电极数目都与底层封装薄膜的相同;连通型压阻阵列的每个传感子单元的两个输出信号端为底层封装薄膜的电极和与其正对的顶层封装薄膜的电极,传感子单元的总数与底层封装薄膜或顶层封装薄膜的电极数相同;连通型压阻阵列中所有传感子单元共用同一片压阻敏感薄膜。
本发明提出的连通型压阻阵列的研制方法,包括以下步骤:在一张绝缘薄膜的表面覆合电极阵列作为底层封装薄膜的外侧绝缘薄膜;在另一张绝缘薄膜上开窗口作为底层封装薄膜的内侧绝缘薄膜,内侧绝缘薄膜上的窗口的数量和尺寸都与外侧绝缘薄膜上的电极的相同;将开有窗口的内侧绝缘薄膜和覆合有电极阵列的外侧绝缘薄膜覆合在一起组成底层封装薄膜,并确保所有电极与窗口都一一对齐,以使所有电极裸露在外;裁剪压阻敏感薄膜,使其面积介于底层封装薄膜的面积和电极阵列所占据的面积之间;将压阻敏感薄膜贴敷在底层封装薄膜的内侧绝缘薄膜上,并确保压阻敏感薄膜对电极阵列全覆盖;在底层封装薄膜表面未被压阻敏感薄膜所覆盖的部分涂敷热固胶,将另一个结构与底层封装薄膜相同的多层结构作为顶层封装薄膜覆盖在压阻敏感薄膜上形成三明治结构,并确保顶层封装薄膜的所有电极和底层封装薄膜的所有电极分别正对;用柔性材料封装机对所述的三明治结构进行热压封装,完成连通型压阻阵列的制备。
本发明的特点及效果:
与传统的非连通型阵列相比,本发明所设计的连通型压阻阵列中的所有传感子单元共用同一片压阻敏感薄膜,该压阻敏感薄膜将所有传感子单元连通为一体。因此,作用于连通型压阻阵列上的任何一个区域的力,都会引起所有传感子单元输出信号的变化,这种思路在国际上尚属首次;连通型压阻阵列不但消除了测量盲区、扩展了压阻阵列的测量区域、还提高了传感子单元的使用效率和可靠性,适合应用于人工电子皮肤研制和大面积压力测量等领域。
附图说明
图1为底层封装薄膜的外侧绝缘薄膜和在其表面覆合的电极阵列及其引线的俯视示意图。
图2为底层封装薄膜的内侧绝缘薄膜和在其表面开的窗口的俯视示意图。
图3为连通型压阻阵列的制备流程的剖面示意图。
图1-图3中,a代表底层封装薄膜的外侧绝缘薄膜,b代表覆合在底层封装薄膜的外侧绝缘薄膜表面的电极,c代表覆合在底层封装薄膜的外侧绝缘薄膜表面的电极的引线,d代表底层封装薄膜的内侧绝缘薄膜,e代表在底层封装薄膜的内侧绝缘薄膜的表面上开的窗口,f代表压阻敏感薄膜,g代表热固胶,h代表顶层封装薄膜的外侧绝缘薄膜,i代表覆合在顶层封装薄膜的外侧绝缘薄膜表面的电极,j代表顶层封装薄膜的内侧绝缘薄膜。
具体实施方式
在一张绝缘薄膜的表面覆合n行n列电极阵列作为底层封装薄膜的外侧绝缘薄膜,如图1所示;在另一张绝缘薄膜上开窗口作为底层封装薄膜的内侧绝缘薄膜,内侧绝缘薄膜上的窗口的数量和尺寸都与外侧绝缘薄膜上的电极的相同,如图2所示;将开有窗口的内侧绝缘薄膜和覆合有电极阵列的外侧绝缘薄膜覆合在一起组成底层封装薄膜,并确保所有电极与窗口都一一对齐,以使所有电极裸露在外;裁剪压阻敏感薄膜,使其面积介于底层封装薄膜的面积和电极阵列所占据的面积之间;将压阻敏感薄膜贴敷在底层封装薄膜的内侧绝缘薄膜上,并确保压阻敏感薄膜对电极阵列全覆盖,如图3(A)所示;在底层封装薄膜表面未被压阻敏感薄膜所覆盖的部分涂敷热固胶,如图3(B)所示;将另一个结构与底层封装薄膜相同的多层结构作为顶层封装薄膜覆盖在压阻敏感薄膜上形成三明治结构,并确保顶层封装薄膜的所有电极和底层封装薄膜的所有电极分别正对,如图3(C)所示;用柔性材料封装机对所述的三明治结构进行热压封装,完成连通型压阻阵列的制备。
实施例
在一张聚酰亚胺薄膜的表面覆合3行3列铜电极阵列作为底层封装薄膜的外侧绝缘薄膜;在另一张聚酰亚胺薄膜上开窗口作为底层封装薄膜的内侧绝缘薄膜,内侧绝缘薄膜上的窗口的数量和尺寸都与外侧绝缘薄膜上的电极的相同;将开有窗口的内侧绝缘薄膜和覆合有电极阵列的外侧绝缘薄膜覆合在一起组成底层封装薄膜,并确保所有电极与窗口都一一对齐,以使所有电极裸露在外;用溶液混合法将炭黑粉末和聚二甲基硅氧烷按混合,质量比为0.08∶1,并通过挤压成型法制成炭黑填充聚二甲基硅氧烷复合材料薄膜;裁剪炭黑填充聚二甲基硅氧烷复合材料薄膜作为压阻敏感薄膜,使其面积介于底层封装薄膜的面积和3行3列电极阵列所占据的面积之间;将压阻敏感薄膜帖敷于底层封装薄膜之上,并确保压阻敏感薄膜对3行3列电极阵列全覆盖;在底层封装薄膜表面未被压阻敏感薄膜所覆盖的部分涂敷热固胶;将另一个结构与底层封装薄膜相同的多层结构作为顶层封装薄膜覆盖在压阻敏感薄膜上形成三明治结构,并确保顶层封装薄膜的所有电极和底层封装薄膜的所有电极分别正对;用柔性材料封装机对所述的三明治结构进行热压封装,完成连通型压阻阵列的制备。
Claims (2)
1.一种连通型压阻阵列,其特征在于,该连通型压阻阵列包括压阻敏感薄膜、底层封装薄膜和顶层封装薄膜;底层封装薄膜由带有窗口的内侧绝缘薄膜和覆合有电极阵列的外侧绝缘薄膜构成,顶层封装薄膜的结构、尺寸和电极数目都与底层封装薄膜的相同;连通型压阻阵列的传感子单元总数与底层封装薄膜的电极数相同,每个传感子单元的两个输出信号端为底层封装薄膜的电极和与其正对的顶层封装薄膜的电极;连通型压阻阵列中所有传感子单元共用同一片压阻敏感薄膜。
2.如权利要求1所述的连通型压阻阵列的研制方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:在一张绝缘薄膜的表面覆合电极阵列作为底层封装薄膜的外侧绝缘薄膜;在另一张绝缘薄膜上开窗口作为底层封装薄膜的内侧绝缘薄膜,内侧绝缘薄膜上的窗口的数量和尺寸都与外侧绝缘薄膜上的电极的相同;将开有窗口的内侧绝缘薄膜和覆合有电极阵列的外侧绝缘薄膜覆合在一起组成底层封装薄膜,并确保所有电极与窗口都一一对齐,以使所有电极裸露在外;裁剪压阻敏感薄膜,使其面积介于底层封装薄膜的面积和电极阵列所占据的面积之间;将压阻敏感薄膜贴敷在底层封装薄膜的内侧绝缘薄膜上,并确保压阻敏感薄膜对电极阵列全覆盖;在底层封装薄膜表面未被压阻敏感薄膜所覆盖的部分涂敷热固胶,将另一个结构与底层封装薄膜相同的多层结构作为顶层封装薄膜覆盖在压阻敏感薄膜上形成三明治结构,并确保顶层封装薄膜的所有电极和底层封装薄膜的所有电极分别正对;用柔性材料封装机对所述的三明治结构进行热压封装,完成连通型压阻阵列的制备。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610712683.2A CN106248264A (zh) | 2016-08-16 | 2016-08-16 | 一种连通型压阻阵列 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610712683.2A CN106248264A (zh) | 2016-08-16 | 2016-08-16 | 一种连通型压阻阵列 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106248264A true CN106248264A (zh) | 2016-12-21 |
Family
ID=57595130
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201610712683.2A Pending CN106248264A (zh) | 2016-08-16 | 2016-08-16 | 一种连通型压阻阵列 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106248264A (zh) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108426657A (zh) * | 2018-02-08 | 2018-08-21 | 浙江大学 | 一种多层式的多级阵列压力传感器 |
CN108801535A (zh) * | 2018-05-29 | 2018-11-13 | 浙江大学 | 一种片状柔性压阻传感器的自封装方法 |
CN113916416A (zh) * | 2021-09-23 | 2022-01-11 | 北京科技大学 | 一种高渗透性应变非敏感型电子皮肤及其制备方法 |
CN114563112A (zh) * | 2022-01-20 | 2022-05-31 | 北京科技大学 | 一种抗应变干扰型本征可拉伸压力传感阵列及其制备方法 |
CN114577376A (zh) * | 2021-11-25 | 2022-06-03 | 上海交通大学 | 压力传感阵列及其制备方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101201278A (zh) * | 2007-11-30 | 2008-06-18 | 清华大学 | 基于阵列式超薄柔顺力传感器的曲面层间挤压力监测系统 |
CN101201277A (zh) * | 2007-11-23 | 2008-06-18 | 清华大学 | 阵列式超薄柔顺力传感器及其制备方法 |
CN101885463A (zh) * | 2010-06-21 | 2010-11-17 | 东北大学 | 基于碳纳米管填充高分子复合材料的柔性压敏元件研制方法 |
CN102023064A (zh) * | 2010-10-19 | 2011-04-20 | 东北大学 | 用于研制柔性传感器敏感单元的挤压式极间硫化成型封装法 |
CN102141451A (zh) * | 2011-04-06 | 2011-08-03 | 东北大学 | 电极旁置式柔软压敏探头研制方法 |
-
2016
- 2016-08-16 CN CN201610712683.2A patent/CN106248264A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101201277A (zh) * | 2007-11-23 | 2008-06-18 | 清华大学 | 阵列式超薄柔顺力传感器及其制备方法 |
CN101201278A (zh) * | 2007-11-30 | 2008-06-18 | 清华大学 | 基于阵列式超薄柔顺力传感器的曲面层间挤压力监测系统 |
CN101885463A (zh) * | 2010-06-21 | 2010-11-17 | 东北大学 | 基于碳纳米管填充高分子复合材料的柔性压敏元件研制方法 |
CN102023064A (zh) * | 2010-10-19 | 2011-04-20 | 东北大学 | 用于研制柔性传感器敏感单元的挤压式极间硫化成型封装法 |
CN102141451A (zh) * | 2011-04-06 | 2011-08-03 | 东北大学 | 电极旁置式柔软压敏探头研制方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108426657A (zh) * | 2018-02-08 | 2018-08-21 | 浙江大学 | 一种多层式的多级阵列压力传感器 |
CN108801535A (zh) * | 2018-05-29 | 2018-11-13 | 浙江大学 | 一种片状柔性压阻传感器的自封装方法 |
CN113916416A (zh) * | 2021-09-23 | 2022-01-11 | 北京科技大学 | 一种高渗透性应变非敏感型电子皮肤及其制备方法 |
CN113916416B (zh) * | 2021-09-23 | 2023-05-16 | 北京科技大学 | 一种高渗透性应变非敏感型电子皮肤及其制备方法 |
CN114577376A (zh) * | 2021-11-25 | 2022-06-03 | 上海交通大学 | 压力传感阵列及其制备方法 |
CN114577376B (zh) * | 2021-11-25 | 2022-12-09 | 上海交通大学 | 压力传感阵列及其制备方法 |
CN114563112A (zh) * | 2022-01-20 | 2022-05-31 | 北京科技大学 | 一种抗应变干扰型本征可拉伸压力传感阵列及其制备方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106248264A (zh) | 一种连通型压阻阵列 | |
CN104034454B (zh) | 一种用于多物理量测量的传感器芯片及其制备方法 | |
CN102539035A (zh) | 一种点阵型柔性压力分布传感器及其制备方法 | |
CN103047927B (zh) | 陶瓷基底压阻式应变片 | |
CN101788360B (zh) | 用于叶片和翼型的压力及流分离的测量的接触传感器 | |
CN203940940U (zh) | 一种用于多物理量测量的传感器芯片 | |
CN106017751B (zh) | 一种高灵敏度压阻式压力传感器及其制备方法 | |
CN206132279U (zh) | 高温压力传感器 | |
CN105973946A (zh) | 一种带红细胞压积测量和补偿的高精度血糖试纸 | |
CN105136873B (zh) | 一种集成传感器及其制备方法 | |
CN106468604A (zh) | 高温压力传感器及其制作方法 | |
CN110388997A (zh) | 一种复合液态金属电极的柔性压力传感器 | |
CN103063339A (zh) | 带有屏蔽层的硅压阻式压力传感器芯片 | |
CN203629763U (zh) | 一种用于检测包装密封性的柔性气压传感器 | |
CN203310799U (zh) | 一种多工作电极的血糖试纸 | |
CN205826661U (zh) | 耐干湿循环及高低温循环的应变片粘贴层 | |
CN205373926U (zh) | 一种土压力多点分布测试传感器 | |
CN103759866B (zh) | 同面小电极型柔软压敏探头及其研制方法 | |
CN109374714A (zh) | 组装式生物传感器芯片 | |
CN203203999U (zh) | 一种同时检测两种肺癌标志物的电化学免疫传感器 | |
CN106643898B (zh) | 一种声表面波多参数传感器集成封装方法 | |
CN207801867U (zh) | 一种太阳能电池电性能测试装置 | |
CN207280367U (zh) | 网状传感器 | |
CN203465026U (zh) | 双探头高精度体表温度传感器 | |
CN106441649B (zh) | 用连通型压阻传感器阵列定位与测量压力的方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20161221 |