CN106247918B - 一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置及其使用方法 - Google Patents

一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置及其使用方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106247918B
CN106247918B CN201610805091.5A CN201610805091A CN106247918B CN 106247918 B CN106247918 B CN 106247918B CN 201610805091 A CN201610805091 A CN 201610805091A CN 106247918 B CN106247918 B CN 106247918B
Authority
CN
China
Prior art keywords
knifing
blade
film thickness
measuring
probe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201610805091.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106247918A (zh
Inventor
蒲建宇
李启明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority to CN201610805091.5A priority Critical patent/CN106247918B/zh
Publication of CN106247918A publication Critical patent/CN106247918A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106247918B publication Critical patent/CN106247918B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

本申请提出了一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置及其使用方法，本发明在现有的探针式膜厚测量机上增加了刮膜刀片、刮膜碎屑处理机构和视野CCD，刮膜刀片、刮膜碎屑处理机构和视野CCD均设置在量测盘上；通过搜索CCD确定量测物的测量点位；量测针头移动到测量点位处，绘制出测量区域高度变化曲线，判断量测物是否需要进行刮膜处理，通过刮膜刀片与量测针头的相对距离确定出刮膜坐标，选定点位、刮膜方向以及刮膜长度，下降刮膜刀片，进行刮膜通过自动刮膜的方式替代手动刮膜，大大的减少了了量测时间，并对刮膜量测的精度和操作性有很大的提升，避免了刮膜刀片损坏量测物的危险。适用于对色彩基板的各道制程。

Description

一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置及其使用方法
技术领域
本发明涉及一种探针式膜厚测量机，特别涉及一种用于色彩基板制程流程的探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置。
背景技术
当前的液晶面板行业迎来了前所未有的全面发展上升阶段，市场需求朝向多样化方向发展，这就要求在晶面板行业生产中有所提高，现有的液晶面板行业色彩基板主要的制程流程为涂布→曝光→显影，探针式膜厚测量机用于量测各道制程后的膜厚以及平坦度，因此，对于减少色彩基板的膜厚以及提高色彩基板的平坦度来说，改进探针式膜厚测量机尤为重要；
探针式膜厚测量机的量测原理为：探针5与待测物体接触，将探针5垂直位置变化量化，绘制出测量区域高度变化曲线，经由软件分析处理得出膜厚；在新产品导入或新制程导入时，需要对制程条件进行测试，调整不同的机台设定，此时会涉及到刮膜量测膜厚，手动刮膜需要停机，有人员进入机台对制程玻璃进行刮膜，现有的探针式膜厚测量机均包括CCD英文全称为：Charge Coupled Device是一种电荷耦合器件图像传感器。现有的探针式膜厚测量机包括测机箱6、量测头机轴2、量测盘1、搜索CCD3、量测CCD4和量测针头5；量测头机轴2的一端设置在测机箱6底部，量测头机轴2的另一端固定在量测盘1的上表面；搜索CCD3、量测CCD4和量测针头5均设置在量测盘1的下表面；因此，在使用现有的探针式膜厚测量机时，需要手动刮膜，手动刮膜会增加机台量程的时间，手动刮膜的精度也无法保证，还有破片风险。
发明内容
针对上述现有技术中的问题，本申请提出了一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置及其使用方法。
本发明所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，包括量测机箱、量测头机轴、量测盘、搜索CCD、量测CCD和量测针头；
还包括刮膜刀片和视野CCD；
量测头机轴的一端设置在测机箱底部，量测头机轴的另一端固定在量测盘的上表面；
搜索CCD、量测CCD和量测针头均设置在量测盘的下表面；
刮膜刀片和视野CCD均设置在量测盘上。
根据本发明的一个实施例，一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置还包括刮膜碎屑处理机构；刮膜碎屑处理机构设置在量测盘上。
根据本发明的一个实施例，一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，刮膜碎屑处理机构包括连接杆和刮膜碎屑承载盘；连接杆的一端设置在量测盘的下表面，连接杆的另一端固定在刮膜碎屑承载盘上。
根据本发明的一个实施例，一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置还包括应力感应传感器，应力感应传感器设置在刮膜刀片上。
根据本发明的一个实施例，量测头机轴在水平方向的旋转角度范围为：0°～180°。
根据本发明的一个实施例，量测盘为长方形。
根据本发明的一个实施例，量测盘上设置有伸缩件，刮膜刀片和视野CCD均设置在伸缩件的下表面，当伸缩件处于压缩状态时，刮膜刀片和视野CCD9位于量测盘内部，当伸缩件处于正常或伸长状态时，刮膜刀片和视野CCD9位于量测盘下表面。
本发明所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置的使用方法，其特征在于，包括以下具体步骤：
步骤一、通过搜索CCD确定量测物的测量点位，执行步骤二；
步骤二、确定测量点位后，将量测针头移动到测量点位处，通过量测针头上方的压力传感器经由软体处理绘制出测量区域高度变化曲线，量测CCD用于实时监测针头量测过程以及量测位置精度，执行步骤三；
步骤三、通过测量区域高度变化曲线判断量测物是否需要进行刮膜处理，如果，不需要刮膜处理，结束；如果需要刮膜处理，执行步骤四；
步骤四、通过刮膜刀片与量测针头的相对距离确定出刮膜坐标，执行步骤五；
步骤五、通过刮膜坐标选定点位、刮膜方向以及刮膜长度，执行步骤六；
步骤六、根据步骤五中选定好的点位、刮膜方向以及刮膜长度，下降刮膜刀片，进行刮膜以及碎屑处理收集动作，刮膜完成后返回执行步骤一。
本发明的有益效果不需要手动刮膜，大大的减少了量测时间，并对刮膜量测的精度和操作性有很大的提升，避免了刮膜刀片损坏量测物的危险。
上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代，只要能够达到本发明的目的
附图说明
在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中：
图1显示了背景技术中现有的探针式膜厚测量机的结构示意图；
图2显示了具体实施方式一所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置的结构示意图；
图3显示了具体实施方式一中刮膜碎屑处理机构的结构示意图；
图4显示了具体实施方式三所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置的使用方法流程图；
图5显示了具体实施方式四所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置的使用方法流程图。
在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。
具体实施方式
具体实施方式一：结合图2和图3说明本实施方式，本实施方式所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，包括量测机箱6、量测头机轴2、量测盘1、搜索CCD3、量测CCD4和量测针头5；
量测头机轴2的一端设置在测机箱6底部，量测头机轴2的另一端固定在量测盘1的上表面；量测头机轴2用于带动量测盘1进行旋转；
搜索CCD3、量测CCD4和量测针头5均设置在量测盘1的下表面；搜索CCD3用于确定量测物的测量点位；量测CCD4用于在量测时，提供视野观察，以便绘制出测量区域高度变化曲线；
还包括刮膜刀片7、刮膜碎屑处理机构8和视野CCD9；视野CCD9用于观察在刮膜过程中刮膜刀片7的运行轨迹；
刮膜刀片7、刮膜碎屑处理机构8和视野CCD9均设置在量测盘1上；刮膜刀片7用于刮膜，并且，刮膜碎屑处理机构8和视野CCD9分别设置在近刮膜刀片7处的两侧。
在本实施方式中，刮膜碎屑处理机构8包括连接杆8-1和刮膜碎屑承载盘8-2；连接杆8-1的一端设置在量测盘1的下表面，连接杆8-1的另一端固定在刮膜碎屑承载盘8-2上，刮膜碎屑处理机构8用于对刮膜后产生的光阻碎屑进行收集和清洁，以免量测时污染针头。
在本实施方式中，还包括应力感应传感器，应力感应传感器设置在刮膜刀片7上；应力感应传感器用于防止刮膜刀片7破坏量测物的玻璃面。
在本实施方式中，量测头机轴2在水平方向的旋转角度范围为：0°～180°。
在本实施方式中，量测盘1为长方形。
具体实施方式二：本实施方式所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，包括量测机箱6、量测头机轴2、量测盘1、搜索CCD3、量测CCD4和量测针头5；
量测头机轴2的一端设置在测机箱6底部，量测头机轴2的另一端固定在量测盘1的上表面；量测头机轴2用于带动量测盘1进行旋转；
搜索CCD3、量测CCD4和量测针头5均设置在量测盘1的下表面；搜索CCD3用于确定量测物的测量点位；量测CCD4用于在量测时，提供视野观察，以便绘制出测量区域高度变化曲线；
还包括刮膜刀片7、刮膜碎屑处理机构8和视野CCD9；视野CCD9用于观察在刮膜过程中刮膜刀片7的运行轨迹；
所述量测盘1上设置有伸缩件；
刮膜刀片7、刮膜碎屑处理机构8和视野CCD9均设置在伸缩件的下表面，当伸缩件处于压缩状态时，刮膜刀片7、刮膜碎屑处理机构8和视野CCD9位于量测盘1内部，当伸缩件处于正常或伸长状态时，刮膜刀片7、刮膜碎屑处理机构8和视野CCD9位于量测盘1下表面；刮膜刀片7用于刮膜；刮膜刀片7、刮膜碎屑处理机构8和视野CCD9设置在量测盘的伸缩件下表面，在量测膜厚时，伸缩件处于压缩状态，不影响正常量测膜厚，在自动刮膜时，伸缩件处于正常或伸长状态，正常进行刮膜；伸缩件能够保证不影响正常测量。
在本实施方式中，刮膜碎屑处理机构8包括连接杆8-1和刮膜碎屑承载盘8-2；连接杆8-1的一端设置在量测盘1的下表面，连接杆8-1的另一端固定在刮膜碎屑承载盘8-2上，刮膜碎屑处理机构8用于对刮膜后产生的光阻碎屑进行收集和清洁，以免量测时污染针头。
在本实施方式中，还包括应力感应传感器，应力感应传感器设置在刮膜刀片7上；应力感应传感器用于防止刮膜刀片7破坏量测物的玻璃面。
在本实施方式中，量测头机轴2在水平方向的旋转角度范围为：0°～180°。
在本实施方式中，量测盘1为长方形。
具体实施方式三：结合图4说明本实施方式，本具体实施是基于具体实施方式一所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置的使用方法，
包括以下具体步骤：
步骤一、通过搜索CCD3确定量测物的测量点位，执行步骤二；
步骤二、确定测量点位后，将量测针头5移动到测量点位处，通过量测针头5上方的压力传感器经由软体处理绘制出测量区域高度变化曲线，量测CCD4用于实时监测针头量测过程以及量测位置精度，执行步骤三；在步骤二中根据绘制出测量区域高度变化曲线经由软件分析处理，得出量测物的膜厚；
步骤三、通过测量区域高度变化曲线判断量测物是否需要进行刮膜处理，如果，不需要刮膜处理，结束；如果需要刮膜处理，执行步骤四；
步骤四、通过刮膜刀片7与量测针头5的相对距离确定出刮膜坐标，执行步骤五；在步骤四中根据刮膜刀片7与量测针头5的相对距离通过软体计算得出刮膜坐标；
步骤五、通过刮膜坐标选定点位、刮膜方向以及刮膜长度，执行步骤六；
步骤六、根据步骤五中选定好的点位、刮膜方向以及刮膜长度，下降刮膜刀片7，进行刮膜以及碎屑处理收集动作，刮膜完成后返回执行步骤一。
在本实施方式中通过反复的自动刮膜处理，最后达到刮膜量测膜厚的目的。
具体实施方式四：本具体实施是基于具体实施方式二所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置的使用方法，
包括以下具体步骤：
步骤一、保持伸缩件处于压缩状态后，通过搜索CCD3确定量测物的测量点位，执行步骤二；
步骤二、确定测量点位后，将量测针头5移动到测量点位处，通过量测针头5上方的压力传感器经由软体处理绘制出测量区域高度变化曲线，量测CCD4用于实时监测针头量测过程以及量测位置精度，执行步骤三；在步骤二中根据绘制出测量区域高度变化曲线经由软件分析处理，得出量测物的膜厚；
步骤三、通过测量区域高度变化曲线判断量测物是否需要进行刮膜处理，如果，不需要刮膜处理，结束；如果需要刮膜处理，执行步骤四；
步骤四、保持伸缩件处于正常或伸长状态后，通过刮膜刀片7与量测针头5的相对距离确定出刮膜坐标，执行步骤五；在步骤四中根据刮膜刀片7与量测针头5的相对距离通过软体计算得出刮膜坐标；
步骤五、通过刮膜坐标选定点位、刮膜方向以及刮膜长度，执行步骤六；
步骤六、根据步骤五中选定好的点位、刮膜方向以及刮膜长度，下降刮膜刀片7，进行刮膜以及碎屑处理收集动作，刮膜完成后返回执行步骤一。
在本实施方式中通过反复的自动刮膜处理，最后达到刮膜量测膜厚的目的。
虽然在本文中参照了特定的实施方式来描述本发明，但是应该理解的是，这些实施例仅仅是本发明的原理和应用的示例。因此应该理解的是，可以对示例性的实施例进行许多修改，并且可以设计出其他的布置，只要不偏离所附权利要求所限定的本发明的精神和范围。应该理解的是，可以通过不同于原始权利要求所描述的方式来结合不同的从属权利要求和本文中所述的特征。还可以理解的是，结合单独实施例所描述的特征可以使用在其他所述实施例中。

Claims (8)

1.一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，包括量测机箱(6)、量测头机轴(2)、量测盘(1)、搜索CCD(3)、量测CCD(4)和量测针头(5)；
其特征在于，还包括刮膜刀片(7)和视野CCD(9)；
量测头机轴(2)的一端设置在测机箱(6)底部，量测头机轴(2)的另一端固定在量测盘(1)的上表面；
搜索CCD(3)、量测CCD(4)和量测针头(5)均设置在量测盘(1)的下表面；
刮膜刀片(7)和视野CCD(9)均设置在量测盘(1)上。
2.根据权利要求1所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，其特征在于，还包括刮膜碎屑处理机构(8)；刮膜碎屑处理机构(8)设置在量测盘(1)上。
3.根据权利要求2所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，其特征在于，刮膜碎屑处理机构(8)包括连接杆(8-1)和刮膜碎屑承载盘(8-2)；连接杆(8-1)的一端设置在量测盘(1)的下表面，连接杆(8-1)的另一端固定在刮膜碎屑承载盘(8-2)上。
4.根据权利要求1所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，其特征在于，还包括应力感应传感器，应力感应传感器设置在刮膜刀片(7)上。
5.根据权利要求1所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，其特征在于，量测头机轴(2)在水平方向的旋转角度范围为：0°～180°。
6.根据权利要求1所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，其特征在于，量测盘(1)为长方形。
7.根据权利要求1所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置，其特征在于，量测盘(1)上设置有伸缩件，刮膜刀片(7)和视野CCD(9)均设置在伸缩件的下表面，当伸缩件处于压缩状态时，刮膜刀片(7)和视野CCD(9)位于量测盘(1)内部，当伸缩件处于正常或伸长状态时，刮膜刀片(7)和视野CCD(9)位于量测盘(1)下表面。
8.权利要求1所述的一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置的使用方法，其特征在于，包括以下具体步骤：
步骤一、通过搜索CCD(3)确定量测物的测量点位，执行步骤二；
步骤二、确定测量点位后，将量测针头(5)移动到测量点位处，通过量测针头(5)上方的压力传感器经由软件处理绘制出测量区域高度变化曲线，量测CCD(4)用于实时监测针头量测过程以及量测位置精度，执行步骤三；
步骤三、通过测量区域高度变化曲线判断量测物是否需要进行刮膜处理，不需要刮膜处理，结束；需要刮膜处理，执行步骤四；
步骤四、通过刮膜刀片(7)与量测针头(5)的相对距离确定出刮膜坐标，执行步骤五；
步骤五、通过刮膜坐标选定点位、刮膜方向以及刮膜长度，执行步骤六；
步骤六、根据步骤五中选定好的点位、刮膜方向以及刮膜长度，下降刮膜刀片(7)，进行刮膜以及碎屑处理收集动作，刮膜完成后返回执行步骤一。
CN201610805091.5A 2016-09-07 2016-09-07 一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置及其使用方法 Active CN106247918B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610805091.5A CN106247918B (zh) 2016-09-07 2016-09-07 一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置及其使用方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610805091.5A CN106247918B (zh) 2016-09-07 2016-09-07 一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置及其使用方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106247918A CN106247918A (zh) 2016-12-21
CN106247918B true CN106247918B (zh) 2019-02-15

Family

ID=57599387

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610805091.5A Active CN106247918B (zh) 2016-09-07 2016-09-07 一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置及其使用方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106247918B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108663007A (zh) * 2018-04-26 2018-10-16 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 一种测量膜层锥度角的设备及方法
CN109738677B (zh) * 2019-01-02 2020-11-13 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种测试探针装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103994741A (zh) * 2014-05-12 2014-08-20 京东方科技集团股份有限公司 一种测量膜层厚度的方法和装置
CN104634242A (zh) * 2013-11-12 2015-05-20 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 探针补点系统及方法
CN204594386U (zh) * 2015-01-23 2015-08-26 中石化石油工程技术服务有限公司 金属表面液态膜层厚度测量装置
CN105115432A (zh) * 2015-09-01 2015-12-02 武汉华星光电技术有限公司 一种涂布膜厚的检测系统及方法
CN105466326A (zh) * 2015-12-16 2016-04-06 榆林学院 一种采用电导探针测量液膜厚度随时间变化的实验装置及测量方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014206412A (ja) * 2013-04-11 2014-10-30 清水建設株式会社 膜厚測定方法及び塗膜防水材の施工方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104634242A (zh) * 2013-11-12 2015-05-20 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 探针补点系统及方法
CN103994741A (zh) * 2014-05-12 2014-08-20 京东方科技集团股份有限公司 一种测量膜层厚度的方法和装置
CN204594386U (zh) * 2015-01-23 2015-08-26 中石化石油工程技术服务有限公司 金属表面液态膜层厚度测量装置
CN105115432A (zh) * 2015-09-01 2015-12-02 武汉华星光电技术有限公司 一种涂布膜厚的检测系统及方法
CN105466326A (zh) * 2015-12-16 2016-04-06 榆林学院 一种采用电导探针测量液膜厚度随时间变化的实验装置及测量方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN106247918A (zh) 2016-12-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102679927B (zh) 测量装置及其使用方法
EP2019283B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Vermessung von Ist-Messdaten eines Bauteils
CN106247918B (zh) 一种探针式膜厚测量机自动刮膜量测装置及其使用方法
DE102013224183A1 (de) Härteprüfer und Verfahren für Härteprüfung
CN104515490B (zh) 一种翻转式在线外径自动测量装置
EP2551645A3 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Winkelmessung
CN103901046A (zh) 一种工件内孔缺陷检测方法
CN114754677B (zh) 一种触摸屏和触控笔测试设备中自动精确定位的装置和方法
DE102011086267A1 (de) System und Verfahren zur Steuerung eines thermografischen Messvorganges
CN206601095U (zh) 一种检测滚齿刀同心度装置
CN105783829B (zh) 混凝土浮浆层厚度测定装置及其测定方法
CN108895992A (zh) 一种用于混凝土裂缝断裂面粗糙度的激光扫描装置及使用方法
CN203534535U (zh) 一种玻璃片下垂度自动测量仪
CN106405130B (zh) 一种自动化刚性测试系统及测试方法
CN106840980B (zh) 一种小粒径颗粒摩擦角的测试装置及测试方法
CN107036914A (zh) 一种挡土墙与接触土体界面摩擦角测量装置及方法
US10373799B2 (en) Probe landing detection
CN202648637U (zh) 测量装置
CN102564905B (zh) 超导磁体模拟微重力环境下接触角测量装置及其方法
CN108956278A (zh) 一种再生混凝土抗压检测装置
EP2769178B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur sicherstellung einer prüfabdeckung bei einer manuellen inspektion
EP2405235B1 (en) Stylus abrasion detection method and surface property measurement device
CN208399848U (zh) 一种检验装置
CN106197515A (zh) 一种航空仪表指针抖动量的检测系统及其检测方法
CN109313215B (zh) 扫描型探针显微镜用数据处理装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant