CN106229805B - 基于微环谐振腔的多倍重频速率锁模激光器 - Google Patents

Abstract

一种基于微环谐振腔的多倍重频速率锁模激光器，包括依次通过腔内单模光纤连接的第一波分复用器、掺铒增益光纤、第二波分复用器、光隔离器、偏振控制器、四端口微环谐振腔、输出耦合器和光延迟线，其中两个波分复用器的输入端分别设置有泵浦光源。本发明重频可以微环谐振腔的自由光谱范围为步长进行调节，从而提升目前基于耗散四波混频效率锁模激光器的应用灵活性和健壮性。在未来超高速光通信系统、微波光子学、光模数转换等方面具有广泛的应用前景，尤其在需要精确多倍频光时钟信号的光信息处理、片上光互连等领域有着极为重要的应用。

Description

基于微环谐振腔的多倍重频速率锁模激光器

技术领域

本发明涉及一种锁模激光器，具体涉及一种基于耗散四波混频效应的超高重频锁模激光器，更具体的涉及一种基于微环谐振腔的超高重频锁模激光器，且其脉冲速率能以腔内微环谐振腔自由光谱范围为步长自由调节。

背景技术

通常高速光脉冲信号可以由锁模激光器和使用高速光电调整光波产生，后一种方案受限于光调制器和电信号产生器带宽，目前只能达到数十吉赫兹，并且其成本随着速率的提升大幅度的增加。而锁模激光器无需高频电子器件，其具有结构简单、成本低廉、稳定性高等优点，在光通信、光学传感、超连续谱产生等技术研究和工业领域有着极为重要的应用。特别是高重频的多倍频锁模激光器在光通信、高分辨率的光子模数转换、光频梳等领域有着极为重要的应用。

通常光纤激光器的重频只有几兆到几十兆赫兹，不利于其在光通信等需要超高重频脉冲方面的应用。为提升光纤锁模激光器的重频，已有几种解决方案：一是通过缩短激光器的腔长，提升激光腔的模式间隔的方法，利用该方案可以得到超高10GHz重频的光脉冲，然而继续缩短腔长将无法得到足够的腔内增益，因此无法产生实用的光脉冲，且其重频随着激光腔的确定而锁定，无法进行调节。第二种方案是基于耗散四波混频效应的锁模激光器，该类激光器可以实现THz以上重频的锁模脉冲，但其往往存在多纵模不稳定性，无法实际应用，虽然其重频可以通过调节腔内滤波器自由谱范围来改变，但是很难实现速率的精确倍频。第三种方法是采用谐波锁模的方法，已报道的被动谐波锁模可以产生数十吉赫兹的光脉冲，主动谐波锁模激光器甚至可以产生数百吉赫兹的光脉冲，然而谐波锁模激光器容易受到不同谐波模式的干扰，产生时间抖动和幅度波动，此外主动锁模激光器还受限于射频信号，成本高；该方法理论上可以实现脉冲速率的倍频，然而实现超高重频时其谐波阶数很高，在实际操作中很难实现，且对控制系统要求极为严格。

发明内容

针对光通信系统、片上光信息处理对超高重频光信号，特别是可以速率可以多倍增长的光信号的需求，本发明提供了一种基于微环谐振腔的重频可倍增的锁模激光器，其产生的光脉冲的重频能够以微环谐振腔自由光谱范围为步长自由调节，该锁模激光器具有结构简单、操作容易、无多纵模不稳定性问题等优点。

本发明的技术方案是：

一种基于微环谐振腔的多倍重频速率锁模激光器，其特殊之处是，包括由单模光纤7连接多个光学器件形成的环形激光腔；所述多个光学器件包括光纤放大器1、光隔离器2、偏振控制器3、四端口微环谐振腔4、光延迟线6；所述四端口微环谐振腔4包括衬底41、包层42、第一直波导43、第二直波导 44和环形波导45；所述第一直波导43的两端分别为Input端口46和Through 端口47；所述第二直波导44的两端分别为Drop端口49和Add端口48；所述光信号从Input端口46进入四端口微环谐振腔4，满足四端口微环谐振腔 4谐振条件的频率从Drop端口49输出；所述激光器的输出是从Through端口 47输出的未能完全耦合进入四端口微环谐振腔4的部分光信号。

上述光纤放大器1、光隔离器2、偏振控制器3、四端口微环谐振腔4、光延迟线6可以首尾依次相连。

上述多个光学器件还包括光分束器5；所述激光器的输出是从Through端口47输出的未能完全耦合进入四端口微环谐振腔4的部分光信号或者是利用光分束器从环形激光腔内提取的部分光信号。

上述光纤放大器1、光隔离器2、偏振控制器3、四端口微环谐振腔4、光分束器5、光延迟线6可以首尾依次相连。

上述光纤放大器1为商用短纤掺铒光学放大器；

或者，为高增益的半导体光放大器；

或者，包括一个或两个泵浦光源以及依次串连的第一波分复用器12、掺铒增益光纤13、第二波分复用器14；其中，一个泵浦光源输出端接第一波分复用器12或第二波分复用器14的输入端，或者两个泵浦光源输出端分别接第一波分复用器12和第二波分复用器14的输入端；所述第一波分复用器12 和第二波分复用器14的输出端分别作为光纤放大器1的两端接入环形激光腔。

上述激光腔的光程等于四端口微环谐振腔4单次循环光程的(N+L/M) 倍，其中：N、L和M均为整数且L和M不可约分，所述多倍重频速率锁模激光器产生重频速率为四端口微环谐振腔4自由光谱范围M倍的锁模脉冲序列。

上述激光腔的模式间隔为四端口微环谐振腔4滤波带宽的0.5-1倍；所述激光器腔长可保证每个四端口微环谐振腔4谐振波长处只有一个激光腔模式形成振荡；当激光腔的总光学长度正好等于四端口微环谐振腔4光学长度的整数倍时，激光器产生重频等于四端口微环谐振腔4自由光谱范围的光脉冲序列。

上述泵浦光源为工作波长980nm或1480nm的单模半导体激光器，其工作参数与掺铒增益光纤13匹配；所述波分复用器的波分范围为980nm/1550nm 或1480nm/1550nm；所述掺铒增益光纤13采用高掺杂浓度的掺铒光纤或铒镱共掺光纤，长度为10-100厘米；所述多倍重频速率锁模激光器的增益介质是掺铒光纤放大器或铒镱共掺光纤放大器或高增益半导体光放大器；所述光隔离器是带尾纤的光隔离器或空间光隔离器；所述偏振控制器是机械式偏振控制器或基于波片的偏振控制器；所述空间光隔离器可以嵌入基于波片的偏振控制器中；所述四端口微环谐振腔4是具有四光端口的非线性微环谐振腔，其品质因子Q＞10⁵；其构成四端口微环谐振腔4的波导具有弱负色散系数；所述光分束器为拉锥型光纤分束器、平面光波导分束器或空间光分束器；所述光分束器用于从环形激光腔内提取2％-80％的能量作为环形激光腔的输出。

一种基于微环谐振腔的多倍重频速率锁模激光产生方法，包括以下步骤：

1)掺铒增益光纤13得到泵浦，产生自发辐射光；

2)光信号在腔内单向传输；

3)调节偏振控制器3使激光腔内的光场偏振态与四端口微环谐振腔4的一个偏振态相一致；

4)通过调节光延迟线6的长度，使得激光腔的光程使之等于微环谐振腔4单次循环光程的整数倍，形成稳定的光脉冲信号，其重频与四端口微环谐振腔4的自由谱范围相一致；

5)进一步调节光延迟线6的长度，使激光腔的光程等于四端口微环谐振腔4单次循环光程的(N+L/M)倍，其中N、L和M都为整数且L和M不可约分，则在四端口微环谐振腔4内有M个光脉冲同时循环，激光器将产生M倍微环谐振腔自由光谱范围的锁模脉冲序列。

上述锁模脉冲序列是从Through端口输出的未能完全耦合进入四端口微环谐振腔4的部分光信号或者是利用光分束器从环形激光腔内提取的部分光信号。

本发明的优点如下：

1、本发明激光器中的四端口微环谐振腔由CMOS兼容工艺制作，有利于批量化制作。

2、本发明激光器的其它器件皆为通用的光纤器件，都已商业化。成本非常低廉。

3、本发明激光器使用四端口微环谐振腔作为锁模器件，具有极强的场增强因子和非线性系数，可以在较低功率情况下，产生非线性效应，实现锁模。

4、本发明激光器中的四端口微环谐振腔同时也是梳状滤波器，并具有很高的精细度，有助于减少每个通带带宽内的激光腔模式数。

5、本发明激光器中的四端口微环谐振腔同时具有非线性器件和梳状滤波器两个功能，降低了激光器的复杂性和激光腔的长度，提升了激光器的模式间隔，从而解决了该类锁模激光器的多纵模不稳定性问题。

6、本发明激光器的基频由四端口微环谐振腔的自由光谱范围决定，因此其基频信号具有很高速率。

7、本发明激光器利用激光腔模式和微环谐振腔谐振波长的相互作用，对激光器的输出波长进行选择，实现锁模脉冲重频以基频为步长增长。

8、本发明锁模激光器脉冲重频的调节仅需调节激光腔的长度，即调整激光腔中光延迟线的长度，操作简单。

9、本发明激光器利用微环谐振腔作为系统的非线性介质和梳状滤波器，无需较长的非线性光纤和分立的梳状滤波器，有利于系统集成，甚至可以片上集成，符合现代光学系统向小型化和集成化发展的趋势。

10、本发明激光器对腔长进行了优化处理，使每个微环谐振波长处只有一个激光腔模式振荡，消除了多纵模不稳定性问题。

附图说明

图1为本发明提供的基于微环谐振腔的多倍重频速率锁模激光器的结构示意图；微环谐振腔直接嵌入环形光纤增益腔内，光纤腔的腔长可由光延迟线进行精确调节。

图2为本发明采用的微环谐振腔的结构示意图；

图3为本发明测得的基频49GHz锁模脉冲的光谱图(a)和自相关曲线图 (b)；

图4为本发明示波器测得的脉冲序列波形图和眼图，测试系统为50GHz 带宽的光电探测器和59GHz的实时示波器；

图5为本发明测得的三倍基频147GHz锁模脉冲的光谱图(a)和自相关曲线图(b)；

图6为本发明测得的六倍基频294GHz锁模脉冲的光谱图(a)和自相关曲线图(b)；

图7为本发明测得的九倍基频441GHz锁模脉冲光谱图(a)和自相关曲线图(b)；

附图标记如下：

1-光纤放大器；11-第一泵浦光源；112-第一波分复器；13-掺铒增益光纤；14-第二波分复器；15-第二泵浦光源；2-光隔离器；3-偏振控制器；4- 四端口微环谐振腔；41-衬底；42-包层；43-第一直波导；44-第二直波导； 45-环形波导；46-Input端口；47-Through端口；48-Add端口；49-Drop端口；5-光分束器；6-光延迟线；7-单模光纤。

具体实施方式

图1是本发明的结构原理示意图，如图所示，本发明所提供的基于微环谐振腔的重频能以微环谐振腔自由光谱范围为步长自由调节的锁模激光系统包括依次通过单模光纤7相连的第一波分复用器12、掺铒增益光纤13、第二波分复用器14、光隔离器2、偏振控制器3、四端口微环谐振腔4、光分束器 5以及光延迟线6。上述各器件依次通过单模光纤相连，形成环形腔，对各个器件的前后顺序没有特殊要求。

第一泵浦光源11、第二泵浦光源15分别设置在两个波分复用器的输入端。通常泵浦源选用工作波长为980n的单模半导体激光器。通过对激光器的腔长进行精确控制，使每个四端口微环谐振腔4谐振通带内只有一个激光腔模式，在本具体示例中，激光腔长约为2.2米。需要注意的是，图1给出的是本发明的一种串联方式，实际中，对各个光学器件的顺序并没有特殊要求(将第一泵浦光源11、第一波分复用器12、掺铒增益光纤13、第二波分复用器14、第二泵浦光源15作为一个整体，组成光纤放大器，为本发明的激光器提供增益)。另外，光分束器5作为该激光器的一个输出方式，还有另外一种输出方式，即激光器可以从四端口微环谐振腔4的through端口47直接输出。

上述各光学组件在本发明中的作用是：

第一泵浦光源11、第一波分复用器12、掺铒增益光纤13、第二波分复用器14、第二泵浦光源15作为一个整体，构成一个光纤放大器，为本发明的激光器提供增益，该部分也可以由短光纤长度的掺铒光学放大器、铒镱共掺光纤放大器或者高增益的半导体光放大器替代。泵浦光源的个数可以是一个或两个，取决于放大器所能提供的光信号增益。泵浦光源的工作波长为980nm 或1480nm的高功率单模半导体激光器，该单模半导体激光器工作参数与掺铒增益光纤匹配，根据泵浦光源的输出功率，可以设置一个或两个泵浦光源。相应于泵浦光源的工作波长，波分复用器的波分范围为980nm/1550nm或 1480nm/1550nm。

掺铒增益光纤采用高掺杂浓度的掺铒光纤或铒镱共掺光纤，如吸收系数为110dB/m@1530nm的掺铒光纤。增益光纤的长度非常短，通常只有数十厘米。

激光器的增益介质可以是光纤长度较短的商业化光纤放大器，如掺铒光纤放大器或铒镱共掺光纤放大器等。激光器的增益介质可以是商业化的高增益半导体光放大器。

光隔离器2用于保证激光信号在光纤环形腔内单向传输，形成单向的激光振荡输出。光隔离器可以是带尾纤的光隔离器或空间光隔离器。

偏振控制器3用于调整光纤环形腔内激光信号的偏振状态(使光纤环形腔内的光波为单偏振态)，使入射到四端口微环谐振腔4输入端口46的激光信号的偏振态与四端口微环谐振腔4的TE模式或TM模式一致，保证整个系统单偏振状态运转。偏振控制器是机械式偏振控制器或基于波片的偏振控制器或其它类型的偏振控制器。空间光隔离器可以嵌入基于波片的偏振控制器中。

四端口微环谐振腔4作为窄线宽梳状滤波器，选择激光的谐振波长，同时作为非线性介质，也是激光器的锁模器件，产生级联四波混频效应，利用其中的非线性效应实现各振荡波长的相位锁定。四端口微环谐振腔4是一个具有四光端口的非线性微环谐振腔，具有高的非线性系数。四端口微环谐振腔4包括衬底41、包层42、第一直波导43、第二直波导44和环形波导45；环形波导45分别与第一直波导43和第二直波导44通过倏逝波进行耦合，其间距直接影响耦合的强度，进而决定四端口微环谐振腔4的品质因子；第一直波导43和第二直波导44对称地排列在环形波导45的两侧。第一直波导43 的两端分别为Input端口46和Through端口47；第二直波导44的两端分别为Drop端口49和Add端口48；光信号从Input端口46进入四端口微环谐振腔4，满足四端口微环谐振腔4谐振条件的频率从Drop端口49输出；激光器的输出是从Through端口47输出的未能完全耦合进入四端口微环谐振腔4的部分光信号。四端口微环谐振腔4具有高品质因子，通常Q＞10⁵。构成四端口微环谐振腔的波导具有弱负色散系数。四端口微环谐振腔4具有高自由光谱范围，如50GHz。四端口微环谐振腔4同时具有梳状滤波器和高非线性介质两个功能。激光器可以直接从四端口微环谐振腔4的Through端口输出。激光器腔长应足够短，保证每个四端口微环谐振腔4谐振波长处只有一个激光腔模式形成振荡。通常激光腔的模式间隔为四端口微环谐振腔4滤波带宽的 0.5-1倍，例如，激光器的腔长为2米，相应于Q＝1.5×10⁶的微环谐振腔。

光分束器5用于从四端口微环谐振腔4的输出信号中提取一部分能量作为整个激光器的输出，分束器可以为任何形式的光分束器，如光纤拉锥分束器、平面波导分束器等。

光延迟线为自由空间延迟线，具有高空间分辨率和延迟精度，用于精确调整激光腔的长度，实现稳定的锁模激光脉冲输出，同时通过调节腔长实现锁模脉冲重频的调节。

激光器的重频直接由光延迟进行调节。当激光腔的总光学长度正好等于四端口微环谐振腔4光学长度的整数倍时，激光器产生重频等于四端口微环谐振腔4自由光谱范围的光脉冲序列，当激光腔的总光学长度等于四端口微环谐振腔4光学长度的(L+M/N)倍时，激光器产生重频等于N倍四端口微环谐振腔4自由光谱范围的光脉冲序列，其中L、M和N都为整数，且M和N不可约分。锁模激光系统的输出端也可以直接设置在四端口微环谐振腔4的Through端口。

本示例中的四端口微环谐振腔4是一种由高非线性系数材料制作的具有弱负色散特性的高品质因子(Q～1.45×10⁶)微环谐振腔，具备很强的光场增强能力(～9.14×10⁷)，同时具有高精细度的梳状滤波特性，图2为四端口微环谐振腔4的结构示意图，包括衬底41、包层42、第一直波导43、第二直波导44和环形波导45以及Input端口46、Through端口47、Add端口48和Drop 端口49四个端口。第一直波导43的两端分别为Input端口46和Through端口47，相应地，第二直波导44的两端分别为Drop端口49和Add端口48。光信号从Input端口46进入四端口微环谐振腔4，满足四端口微环谐振腔4 谐振条件的频率从Drop端口49输出，未能完全耦合进入四端口微环谐振腔4 的部分从Through端口47输出。

可调重频的锁模激光器的原理如下：

逐步加大第一泵浦光源11和第二泵浦光源15的输出功率，掺铒增益光纤13得到泵浦，开始有自发辐射光产生，由光隔离器2保证光信号在腔内单向传输，当光信号的增益超过腔内损耗时，将有连续激光产生，各个波长的频率间隔与四端口微环谐振腔4的自由光谱范围相同。此时各波长的相位并不稳定，没有稳定的激光脉冲产生。进一步增加泵浦功率，腔内的能量将增加，此时四端口微环谐振腔4内的光能量得到极大的增强，此时通过光延迟线6调节激光腔的光程使之等于四端口微环谐振腔4单次循环光程的整数倍，各个谐振波长在四端口微环谐振腔4内发生四波混频效应，各振荡波长的相位由四波混频效应进行锁定，同时从激光腔耦合进四端口微环谐振腔4的光脉冲与四端口微环谐振腔4内的光脉冲相重叠，且相位一致，因此得到不断的加强，最终形成稳定的光脉冲信号，其重频与四端口微环谐振腔4的自由谱范围相一致。图3为第一泵浦光源11和第二泵浦光源15的输出功率均为200mW时锁激光器输出的光谱图(a)和自相关曲线图(b)，其重频为49GHz。图4为激光器输出由50GHz的光电探测器探测后由59GHz示波器测得的波形图和眼图。

进一步调节光延迟线6的长度，使激光腔的光程等于四端口微环谐振腔4 单次循环光程的(N+L/M)倍(N、L和M都为整数)，此时从激光腔注入四端口微环谐振腔4的光脉冲均匀的分布在四端口微环谐振腔4的各个片段上，在四端口微环谐振腔4内有M个光脉冲同时循环。相应于激光器的重频得到M 倍的提升。图5为重频为147GHz(三倍四端口微环谐振腔4的自由光谱范围) 的锁模脉冲的光谱图(a)和自相关曲线图(b)。图6为重频为294GHz(六倍四端口微环谐振腔4的自由光谱范围)的锁模脉冲的光谱图(a)和自相关曲线图(b)。图7为重频为441GHz(九倍四端口微环谐振腔4的自由光谱范围) 的锁模脉冲的光谱图(a)和自相关曲线图(b)。

综上所述，本发明提出的基于四端口微环谐振腔4的重频可以微环谐振腔自由光谱范围为步长自由调节的锁模激光系统，解决了基于耗散四波混频效应的锁模激光器的重频直接由腔内滤波器件的自由光谱范围决定，无法实现调节的缺点。该激光器产生的光脉冲的重频直接通过调节腔内光延迟线进行调节，操作简单方便。该激光器重频精确的按照微环谐振腔的自由光谱范围的整数倍增加，在需要精确倍频光时钟信号的光信息处理、片上光互连等领域有着极为重要的应用，此外在未来超高速光通信系统、微波光子学、光模数转换等方面也具有广泛的应用前景。

Claims (5)

1.一种基于微环谐振腔的多倍重频速率锁模激光器，其特征在于：包括由单模光纤(7)连接多个光学器件形成的环形激光腔；所述多个光学器件包括光纤放大器(1)、光隔离器(2)、偏振控制器(3)、四端口微环谐振腔(4)、光延迟线(6)；所述四端口微环谐振腔(4)包括衬底(41)、包层(42)、第一直波导(43)、第二直波导(44)和环形波导(45)；所述第一直波导(43)的两端分别为Input端口(46)和Through端口(47)；所述第二直波导(44)的两端分别为Drop端口(49)和Add端口(48)；光信号从Input端口(46)进入四端口微环谐振腔(4)，满足四端口微环谐振腔(4)谐振条件的频率从Drop端口(49)输出；所述激光器的输出是从Through端口(47)输出的未能完全耦合进入四端口微环谐振腔(4)的部分光信号；

所述多个光学器件还包括光分束器(5)；所述激光器的输出是从Through端口(47)输出的未能完全耦合进入四端口微环谐振腔(4)的部分光信号或者是利用光分束器从环形激光腔内提取的部分光信号；

所述光纤放大器(1)、光隔离器(2)、偏振控制器(3)、四端口微环谐振腔(4)、光分束器(5)、光延迟线(6)首尾依次相连；

所述光纤放大器(1)为商用短纤掺铒光学放大器；

或者，为高增益的半导体光放大器；

或者，包括一个或两个泵浦光源以及依次串连的第一波分复用器(12)、掺铒增益光纤(13)、第二波分复用器(14)；其中，一个泵浦光源输出端接第一波分复用器(12)或第二波分复用器(14)的输入端，或者两个泵浦光源输出端分别接第一波分复用器(12)和第二波分复用器(14)的输入端；所述第一波分复用器(12)和第二波分复用器(14)的输出端分别作为光纤放大器(1)的两端接入环形激光腔；

所述激光腔的光程等于四端口微环谐振腔(4)单次循环光程的(N+L/M)倍，其中：N、L和M均为整数且L和M不可约分，所述多倍重频速率锁模激光器产生重频速率为四端口微环谐振腔(4)自由光谱范围M倍的锁模脉冲序列。

2.根据权利要求1所述的基于微环谐振腔的多倍重频速率锁模激光器，其特征在于：所述激光腔的模式间隔为四端口微环谐振腔(4)滤波带宽的0.5-1倍；所述激光器腔长可保证每个四端口微环谐振腔(4)谐振波长处只有一个激光腔模式形成振荡；当激光腔的总光学长度正好等于四端口微环谐振腔(4)光学长度的整数倍时，激光器产生重频等于四端口微环谐振腔(4)自由光谱范围的光脉冲序列。

3.根据权利要求2所述的基于微环谐振腔的多倍重频速率锁模激光器，其特征在于：所述泵浦光源为工作波长980nm或1480nm的单模半导体激光器，其工作参数与掺铒增益光纤(13)匹配；所述波分复用器的波分范围为980nm/1550nm或1480nm/1550nm；所述掺铒增益光纤(13)采用高掺杂浓度的掺铒光纤或铒镱共掺光纤，长度为10-100厘米；所述光隔离器是带尾纤的光隔离器或空间光隔离器；所述偏振控制器是机械式偏振控制器或基于波片的偏振控制器；所述空间光隔离器可以嵌入基于波片的偏振控制器中；所述四端口微环谐振腔(4)是具有四光端口的非线性微环谐振腔，其品质因子Q＞10⁵；其构成四端口微环谐振腔(4)的波导具有弱负色散系数；所述光分束器为拉锥型光纤分束器、平面光波导分束器或空间光分束器；所述光分束器用于从环形激光腔内提取2％-80％的能量作为环形激光腔的输出。

4.一种基于微环谐振腔的多倍重频速率锁模激光产生方法，其特征在于：包括以下步骤：

1)掺铒增益光纤(13)得到泵浦，产生自发辐射光；

2)光信号在腔内单向传输；

3)调节偏振控制器(3)使激光腔内的光场偏振态与四端口微环谐振腔(4)的一个偏振态相一致；

4)通过调节光延迟线(6)的长度，使得激光腔的光程使之等于四端口微环谐振腔(4)单次循环光程的整数倍，形成稳定的光脉冲信号，其重频与四端口微环谐振腔(4)的自由谱范围相一致；

5)进一步调节光延迟线(6)的长度，使激光腔的光程等于四端口微环谐振腔(4)单次循环光程的(N+L/M)倍，其中N、L和M都为整数且L和M不可约分，则在四端口微环谐振腔(4)内有M个光脉冲同时循环，激光器将产生M倍四端口微环谐振腔(4)自由光谱范围的锁模脉冲序列。

5.根据权利要求4所述的基于微环谐振腔的多倍重频速率锁模激光产生方法，其特征在于：所述锁模脉冲序列是从Through端口输出的未能完全耦合进入四端口微环谐振腔(4)的部分光信号或者是利用光分束器从环形激光腔内提取的部分光信号。

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