CN106100586A - 基于mems宽频带相位检测器的倍频器 - Google Patents

基于mems宽频带相位检测器的倍频器 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种基于MEMS宽频带相位检测器的倍频器,包括MEMS宽频带相位检测器、直流自动增益控制AGC放大器、第一压控振荡器VCO1和第二压控振荡器VCO2、第一可变电阻R1和第二可变电阻R2、除法器。本发明的有益效果为:MEMS宽频带相位检测器的使用,使倍频器具有宽频带特性,可以实现对不同频率的参考信号的倍频;通过可变电阻对压控振荡器电压的控制和对直流自动增益控制AGC放大器增益的控制,实现对参考信号和反馈信号的同步调节,即使在电路存在波动的情况下也能实现倍频;结构新颖,操作方便,与GaAs单片微波集成电路兼容。

Description

基于MEMS宽频带相位检测器的倍频器
技术领域
本发明涉及微电子机械系统领域,尤其是一种基于MEMS宽频带相位检测器的倍频器。
背景技术
倍频器可以以一个参考信号为标准,利用频率基本运算技术,获得参考信号频率N倍的频率信号。目前,倍频器已经广泛应用在无线电收、发信机中,广泛采用倍频器作为收、发信机的振荡频源。
现有技术中,倍频器大多工作在单个频点,无法满足宽带通讯系统的需求。另外,微电子技术促使电路系统向着体积小、功耗低的方向发展。MEMS宽频带相位检测器能够在较宽频段内保持稳定的检测性能,具备构造宽带倍频器的潜力。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于,提供一种结构合理的基于MEMS宽频带相位检测器的倍频器,可以实现宽频带范围内不同频率信号的倍频。
为解决上述技术问题,本发明提供一种基于MEMS宽频带相位检测器的倍频器,包括MEMS宽频带相位检测器、直流自动增益控制AGC放大器、第一压控振荡器VCO1和第二压控振荡器VCO2、第一可变电阻R1和第二可变电阻R2、除法器;电源VE通过第一可变电阻R1加载到第一压控振荡器VCO1上,同时通过第二可变电阻R2加载到直流自动增益控制AGC放大器上;第一压控振荡器VCO1产生参考信号,通过调节第一可变电阻R1的大小改变第一压控振荡器VCO1的控制电压VC1;参考信号和反馈信号分别加载到MEMS宽频带相位检测器的地线2和CPW信号线3组成的两个对称的输入端口,得到与相位差有关的直流电压V,直流电压V输入直流自动增益控制AGC放大器,放大后的信号为第二压控振荡器VCO2的控制电压VC2,第二压控振荡器VCO2的输出信号通过除法器后,频率变为原来的1/N,作为倍频器的反馈信号输入MEMS宽频带相位检测器;调节第二可变电阻R2的大小控制直流自动增益控制AGC放大器的增益,调节第二压控振荡器VCO2的控制电压,控制反馈信号的频率;同步调节第一可变电阻R1和第二可变电阻R2,使第二压控振荡器VCO2的输出频率为第一压控振荡器VCO1的输出频率的N倍,完成对不同频率的参考信号的倍频,实现在宽频带范围内工作的倍频器。
优选的,参考信号和反馈信号通过输入端口输入MEMS宽频带相位检测器后,首先通过功合器进行矢量合成,合成信号通过热电式功率传感器转化为与相位差有关的直流电压V,经直流输出电极11输出;此直流电压V可以表示为:其中K为与输入信号幅度有关的系数,ωref为参考信号角频率,ωback为反馈信号角频率,为固有相位差;MEMS宽频带相位检测器输出的直流电压V通过第一端口12输入至直流自动增益控制AGC放大器进行放大,放大后的直流电压VC2可以表示为:其中A为直流自动增益控制AGC放大器的增益系数,放大后的直流电压VC2为第二压控振荡器VCO2的控制电压,通过第二端口13控制第二压控振荡器VCO2的输出频率,VCO2输出频率ωo可以通过下式表达:通过调节第二可变电阻R2,改变直流自动增益控制AGC放大器的直流偏置电源VC可以实现对增益系数A的调节,从而改变第二压控振荡器VCO2的控制电压及其相应的输出信号的频率,第二压控振荡器VCO2的输出信号通过第三端口14输入除法器;经过除法器后,频率变为原来的1/N,也就是:此信号为倍频器的反馈信号,通过第四端口15重新输入MEMS宽频带相位检测器;通过同步控制第一可变电阻R1和第二可变电阻R2,可使反馈信号和参考信号的频率相等,即第二压控振荡器VCO2的输出频率是第一压控振荡器VCO1输出频率的N倍,实现倍频。
优选的,MEMS宽频带相位检测器在不同频率下的输出直流电压V存在波动的情况下,通过调节第一可变电阻R1和第二可变电阻R2来实现倍频,倍频后的信号通过第五端口16输出。
优选的,MEMS宽频带相位检测器以GaAs1为衬底,包括功合器和热电式功率传感器,功合器包括地线2、CPW信号线3、第一ACPS传输线4、第二ACPS传输线5、第三ACPS传输线6和隔离电阻7,热电式功率传感器包括终端电阻8、热电堆半导体臂9、热电堆金属臂10、直流输出电极11;MEMS宽频带相位检测器以GaAs为衬底,地线2与CPW信号线3构成功合器的输入和输出端口,第一ACPS传输线4、第二ACPS传输线5和第三ACPS传输线6相级联,隔离电阻7分别设置在第一ACPS传输线4、第二ACPS传输线5和第三ACPS传输线6的末端,终端电阻8设置在CPW信号线3的输出端口处,热电堆半导体臂9与热电堆金属臂10依次连接,构成热电堆,直流输出电极11连接在热电堆两端。
优选的,第一ACPS传输线4的特征阻抗为Z1,第二ACPS传输线5的特征阻抗为Z2,第三ACPS传输线的特征阻抗为Z3。
本发明的有益效果为:MEMS宽频带相位检测器的使用,使倍频器具有宽频带特性,可以实现对不同频率的参考信号的倍频;通过可变电阻对压控振荡器电压的控制和对直流自动增益控制AGC放大器增益的控制,实现对参考信号和反馈信号的同步调节,即使在电路存在波动的情况下也能实现倍频;结构新颖,操作方便,与GaAs单片微波集成电路兼容。
附图说明
图1是本发明的倍频器俯视图。
图2是本发明的倍频器的A-A’向剖面图。
图3是本发明的倍频器的B-B’向剖面图。
具体实施方式
如图1、2和3所示,一种基于MEMS宽频带相位检测器的倍频器,包括MEMS宽频带相位检测器、直流自动增益控制AGC放大器、第一压控振荡器VCO1和第二压控振荡器VCO2、第一可变电阻R1和第二可变电阻R2、除法器;电源VE通过第一可变电阻R1加载到第一压控振荡器VCO1上,同时通过第二可变电阻R2加载到直流自动增益控制AGC放大器上;第一压控振荡器VCO1产生参考信号,通过调节第一可变电阻R1的大小改变第一压控振荡器VCO1的控制电压VC1;参考信号和反馈信号分别加载到MEMS宽频带相位检测器的地线2和CPW信号线3组成的两个对称的输入端口,得到与相位差有关的直流电压V,直流电压V输入直流自动增益控制AGC放大器,放大后的信号为第二压控振荡器VCO2的控制电压VC2,第二压控振荡器VCO2的输出信号通过除法器后,频率变为原来的1/N,作为倍频器的反馈信号输入MEMS宽频带相位检测器;调节第二可变电阻R2的大小控制直流自动增益控制AGC放大器的增益,调节第二压控振荡器VCO2的控制电压,控制反馈信号的频率;同步调节第一可变电阻R1和第二可变电阻R2,使第二压控振荡器VCO2的输出频率为第一压控振荡器VCO1的输出频率的N倍,完成对不同频率的参考信号的倍频,实现在宽频带范围内工作的倍频器。
参考信号和反馈信号通过输入端口输入MEMS宽频带相位检测器后,首先通过功合器进行矢量合成,合成信号通过热电式功率传感器转化为与相位差有关的直流电压V,经直流输出电极11输出;此直流电压V可以表示为:其中K为与输入信号幅度有关的系数,ωref为参考信号角频率,ωback为反馈信号角频率,为固有相位差;MEMS宽频带相位检测器输出的直流电压V通过第一端口12输入至直流自动增益控制AGC放大器进行放大,放大后的直流电压VC2可以表示为:其中A为直流自动增益控制AGC放大器的增益系数,放大后的直流电压VC2为第二压控振荡器VCO2的控制电压,通过第二端口13控制第二压控振荡器VCO2的输出频率,VCO2输出频率ωo可以通过下式表达:通过调节第二可变电阻R2,改变直流自动增益控制AGC放大器的直流偏置电源VC可以实现对增益系数A的调节,从而改变第二压控振荡器VCO2的控制电压及其相应的输出信号的频率,第二压控振荡器VCO2的输出信号通过第三端口14输入除法器;经过除法器后,频率变为原来的1/N,也就是:此信号为倍频器的反馈信号,通过第四端口15重新输入MEMS宽频带相位检测器;通过同步控制第一可变电阻R1和第二可变电阻R2,可使反馈信号和参考信号的频率相等,即第二压控振荡器VCO2的输出频率是第一压控振荡器VCO1输出频率的N倍,实现倍频。
MEMS宽频带相位检测器在不同频率下的输出直流电压V存在波动的情况下,通过调节第一可变电阻R1和第二可变电阻R2来实现倍频,倍频后的信号通过第五端口16输出。
MEMS宽频带相位检测器以GaAs1为衬底,包括功合器和热电式功率传感器,功合器包括地线2、CPW信号线3、第一ACPS传输线4、第二ACPS传输线5、第三ACPS传输线6和隔离电阻7,热电式功率传感器包括终端电阻8、热电堆半导体臂9、热电堆金属臂10、直流输出电极11;MEMS宽频带相位检测器以GaAs为衬底,地线2与CPW信号线3构成功合器的输入和输出端口,第一ACPS传输线4、第二ACPS传输线5和第三ACPS传输线6相级联,隔离电阻7分别设置在第一ACPS传输线4、第二ACPS传输线5和第三ACPS传输线6的末端,终端电阻8设置在CPW信号线3的输出端口处,热电堆半导体臂9与热电堆金属臂10依次连接,构成热电堆,直流输出电极11连接在热电堆两端。
第一ACPS传输线4的特征阻抗为Z1,第二ACPS传输线5的特征阻抗为Z2,第三ACPS传输线的特征阻抗为Z3。
本发明的基于MEMS宽频带相位检测器的倍频器的制备方法如下:
1)准备GaAs衬底:选用外延的半绝缘GaAs衬底,其中外延N+GaAs的
掺杂浓度为1018cm-3,其方块电阻值为100~130Ω/□;
2)光刻并隔离外延的N+GaAs,形成热电堆的半导体热偶臂的图形和欧姆接触区;
3)反刻N+GaAs,形成其掺杂浓度为1017cm-3的热电堆的半导体热偶臂;
4)光刻:去除将要保留金锗镍/金地方的光刻胶;
5)溅射金锗镍/金,其厚度共为
6)剥离,形成热电堆的金属热偶臂;
7)光刻:去除将要保留氮化钽地方的光刻胶;
8)溅射氮化钽,其厚度为1μm;
9)剥离;
10)光刻:去除将要保留第一层金的地方的光刻胶;
11)蒸发第一层金,其厚度为0.3μm;
12)剥离,形成CPW信号线、ACPS信号线、地线、直流输出电极;
13)反刻氮化钽,形成终端电阻,其方块电阻为25Ω/□;
14)蒸发钛/金/钛,其厚度为蒸发用于电镀的底金;
15)光刻:去除要电镀地方的光刻胶;
16)电镀第二层金,其厚度为2μm;
17)反刻钛/金/钛,腐蚀底金,形成CPW信号线、ACPS信号线、地线、直流输电极;
18)将该GaAs衬底背面减薄至100μm;
19)将制备的MEMS宽频带相位检测器与其他电路元件相连,构成倍频器。
区分是否为该结构的标准如下:
本发明的基于MEMS宽频带相位检测器的倍频器包含MEMS宽频带相位检测器,直流自动增益控制AGC放大器,第一压控振荡器VCO1和第二压控振荡器VCO2,第一可变电阻R1和第二可变电阻R2,除法器。MEMS宽频带相位检测器采用三节传输线级联结构,实现宽带特性。直流电源VE通过第一可变电阻R1和第二可变电阻R2分别连接到第一压控振荡器VCO1和直流自动增益控制AGC放大器上,参考信号由第一压控振荡器VCO1产生,通过调节第一可变电阻R1的大小来控制参考信号的频率。参考信号和反馈信号通过MEMS宽频带相位检测器后输出包含相位差信息的直流电压V,经直流自动增益控制AGC放大器进行放大,产生第二压控振荡器VCO2的控制电压,第二压控振荡器VCO2的输出信号经除法器后产生反馈信号。直流自动增益控制AGC放大器的增益由第二可变电阻R2控制,通过调节第二可变电阻R2的大小便可控制反馈信号的频率,同步调节第一可变电阻R1和第二可变电阻R2使第二压控振荡器VCO2的输出频率为第一压控振荡器VCO1输出频率的N倍,完成倍频,实现在宽频带范围内工作的倍频器。
尽管本发明就优选实施方式进行了示意和描述,但本领域的技术人员应当理解,只要不超出本发明的权利要求所限定的范围,可以对本发明进行各种变化和修改。

Claims (5)

1.一种基于MEMS宽频带相位检测器的倍频器,其特征在于,包括:MEMS宽频带相位检测器、直流自动增益控制AGC放大器、第一压控振荡器VCO1和第二压控振荡器VCO2、第一可变电阻R1和第二可变电阻R2、除法器;电源VE通过第一可变电阻R1加载到第一压控振荡器VCO1上,同时通过第二可变电阻R2加载到直流自动增益控制AGC放大器上;第一压控振荡器VCO1产生参考信号,通过调节第一可变电阻R1的大小改变第一压控振荡器VCO1的控制电压VC1;参考信号和反馈信号分别加载到MEMS宽频带相位检测器的地线(2)和CPW信号线(3)组成的两个对称的输入端口,得到与相位差有关的直流电压V,直流电压V输入直流自动增益控制AGC放大器,放大后的信号为第二压控振荡器VCO2的控制电压VC2,第二压控振荡器VCO2的输出信号通过除法器后,频率变为原来的1/N,作为倍频器的反馈信号输入MEMS宽频带相位检测器;调节第二可变电阻R2的大小控制直流自动增益控制AGC放大器的增益,调节第二压控振荡器VCO2的控制电压,控制反馈信号的频率;同步调节第一可变电阻R1和第二可变电阻R2,使第二压控振荡器VCO2的输出频率为第一压控振荡器VCO1的输出频率的N倍,完成对不同频率的参考信号的倍频,实现在宽频带范围内工作的倍频器。
2.如权利要求1所述的基于MEMS宽频带相位检测器的倍频器,其特征在于,参考信号和反馈信号通过输入端口输入MEMS宽频带相位检测器后,首先通过功合器进行矢量合成,合成信号通过热电式功率传感器转化为与相位差有关的直流电压V,经直流输出电极(11)输出;此直流电压V表示为:其中K为与输入信号幅度有关的系数,ωref为参考信号角频率,ωback为反馈信号角频率,为固有相位差;MEMS宽频带相位检测器输出的直流电压V通过第一端口(12)输入至直流自动增益控制AGC放大器进行放大,放大后的直流电压VC2表示为:其中A为直流自动增益控制AGC放大器的增益系数,放大后的直流电压VC2为第二压控振荡器VCO2的控制电压,通过第二端口(13)控制第二压控振荡器VCO2的输出频率,VCO2输出频率ωo通过下式表达:通过调节第二可变电阻R2,改变直流自动增益控制AGC放大器的直流偏置电源VC实现对增益系数A的调节,从而改变第二压控振荡器VCO2的控制电压及其相应的输出信号的频率,第二压控振荡器VCO2的输出信号通过第三端口(14)输入除法器;经过除法器后,频率变为原来的1/N,也就是:此信号为倍频器的反馈信号,通过第四端口(15)重新输入MEMS宽频带相位检测器;通过同步控制第一可变电阻R1和第二可变电阻R2,可使反馈信号和参考信号的频率相等,即第二压控振荡器VCO2的输出频率是第一压控振荡器VCO1输出频率的N倍,实现倍频。
3.如权利要求1所述的基于MEMS宽频带相位检测器的倍频器,其特征在于,MEMS宽频带相位检测器在不同频率下的输出直流电压V存在波动的情况下,通过调节第一可变电阻R1和第二可变电阻R2来实现倍频,倍频后的信号通过第五端口(16)输出。
4.如权利要求1所述的基于MEMS宽频带相位检测器的倍频器,其特征在于,MEMS宽频带相位检测器以GaAs(1)为衬底,包括功合器和热电式功率传感器,功合器包括地线(2)、CPW信号线(3)、第一ACPS传输线(4)、第二ACPS传输线(5)、第三ACPS传输线(6)和隔离电阻(7),热电式功率传感器包括终端电阻(8)、热电堆半导体臂(9)、热电堆金属臂(10)、直流输出电极(11);MEMS宽频带相位检测器以GaAs为衬底,地线(2)与CPW信号线(3)构成功合器的输入和输出端口,第一ACPS传输线(4)、第二ACPS传输线(5)和第三ACPS传输线(6)相级联,隔离电阻(7)分别设置在第一ACPS传输线(4)、第二ACPS传输线(5)和第三ACPS传输线(6)的末端,终端电阻(8)设置在CPW信号线(3)的输出端口处,热电堆半导体臂(9)与热电堆金属臂(10)依次连接,构成热电堆,直流输出电极(11)连接在热电堆两端。
5.如权利要求1所述的基于MEMS宽频带相位检测器的倍频器,其特征在于,第一ACPS传输线(4)的特征阻抗为Z1,第二ACPS传输线(5)的特征阻抗为Z2,第三ACPS传输线(6)的特征阻抗为Z3。
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