CN106098531A - 一种窄波紫外光源放电灯 - Google Patents
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Abstract
本发明提出了一种窄波紫外光源放电灯,其特征在于主腔体的弧形外表面为上电极,主腔体的平板外表面为下电极,主腔体形状为弧状体结构,由弧形筒体和平板封接而成,弧形筒体为熔融石英,平板为合成石英,平板的外表面设置有下电极,主腔体的一端通过上电极引线和下电极引线与交流电源相连,主腔体两端设置有排气孔,排气孔与排气管相连;有益效果是制造成本低,工艺简单,发光强度高,具有非常广阔的商业前景,即可以填补相关技术空白,又可产生较大的社会效益与经济效益。
Description
技术领域
本发明涉及精密光电领域,特别是涉及一种窄波紫外光源放电灯。
背景技术
窄波紫外光源与其他传统紫外光源相比主要优势在于光效高,输出光波波长单一,波长半高宽较窄,基本在5~15nm。
窄波紫外光源还具有以下几点优势:真空紫外波段光输出强度高,可达50mW/cm2;非相干光有利于大面积加工;无传统光源固有的电极腐蚀现象,使用寿命极大加长;可随时瞬间开启熄灭,无需预热,无需快门,开关次数不影响使用寿命;开启和运行不受周围环境温度影响;冷光源,不产生红外输出,对被处理对象无明显加热效应;绿色环保,制造无需用汞,无二次污染和废旧回收处理问题。
公知的波长越短的紫外光其输出的光子能量越高,如波长为172nm的准分子真空紫外光子能量高达7.2eV,足以打开大多数分子键。因此窄波紫外光源可被广泛应用于表面清洁,灭菌,表面改性,去除有机物,污染处理等领域。
随着紫外光源在各个领域的广泛应用,特别是表面清洗与表面改性。如何提高紫外光源产生的光照强度及使用寿命,成为许多科研院所及企业研究的课题。
紫外光源放电灯的结构一般分为平板型和同轴圆柱体等类型。
平板型管照射面为平面,但封接时需要6块平板进行12条边的封接,而半圆柱体只需要4块料进行6条边的封接,人工成本较高。
同轴圆柱体虽然选材方便,但由于照射面为曲面,与平面被照物则容易产生照射不均匀的问题,且外照射管需要使用合成石英,内管使用熔融石英,受激时内外管温差较大容易产生形变导致参数变差。
为了解决目前现有技术中涉及的制造工艺复杂、人工成本高昂、性能不稳定等技术瓶颈,本发明提出了一种窄波紫外光源放电灯,其成本较低,安全可靠,方案独特,结构新颖,既能满足企业的实际需求,填补相关技术空白,又可产生较大的社会效益与经济效益。
发明内容
为了克服上述现有技术的不足,本发明提供了一种窄波紫外光源放电灯,能够大大降低制造成本,有效提升发光强度,具有广泛的市场应用前景。
一种窄波紫外光源放电灯,包括上电极、主腔体、下电极、上电极引线、下电极引线、交流电源,其特征在于主腔体的弧形外表面为上电极,主腔体的平板外表面为下电极;主腔体形状为弧状体结构,由弧形筒体和平板封接而成;
所述弧形筒体为熔融石英,平板为合成石英;平板为透光结构,平板的外表面设置有下电极,下电极不覆盖平板外表面的全部面积,下电极的涂覆面积为平板外表面全部面积的0.5倍以下;
所述主腔体的一端通过上电极引线和下电极引线与交流电源相连,主腔体两端设置有排气孔,排气孔与排气管相连;主腔体中充入惰性气体作为放电介质,放电介质在交流电源的高频高压激励下放电发光;
所述主腔体的内表面非出光面上涂覆有内反射膜,所述内反射膜由二氧化硅、粘结剂、分散剂组成并固化;内反射膜表面设置有保护膜,该保护膜由氟化镁组成,以溶胶状态涂覆于内反射膜表面并固化成致密薄膜;所述主腔体的外表面设置有上电极。
与现有技术相比,本发明的有益效果如下:制造工艺简单、成本低廉、发光强度高、应用前景广,具有非常广阔的商业前景,即可以填补相关技术空白,又可产生较大的社会效益与经济效益。
附图说明
图1是一种窄波紫外光源放电灯;
图2是一种窄波紫外光源放电灯的截面图;
图3是一种窄波紫外光源放电灯的材料使用示意图。
图1-图3中:
1、上电极; 2、主腔体; 3、下电极;
4、上电极引线; 5、下电极引线; 6、交流电源;
7、内反射膜; 8、弧面熔融石英; 9、侧板熔融石英;
10、合成石英。
具体实施方式
参考附图描述本发明的实施方式,下面结合图1-图3对本发明进行具体说明。一种窄波紫外光源放电灯,包括上电极1、主腔体2、下电极3、上电极引线4、下电极引线5、交流电源6。
主腔体2的弧形外表面为上电极1,主腔体2的平板外表面为下电极3;主腔体2的形状为弧状体结构,由弧形筒体和平板封接而成;弧形筒体为熔融石英,平板为对紫外线高透过率的合成石英;平板为透光结构,平板的外表面设置有下电极3。
以半圆形的主腔体2为例,进行具体实施方式详细说明。主腔体2采用规格φ35mm,壁厚2mm的熔融石英管切割而成,这样一根长150mm石英管即可切割成两个主腔组件;平板则采用长度为150mm,宽度为35mm,厚度为2mm的合成石英。通常情况下,合成石英单价为熔融石英的10倍,所以对于不需要透光的面都采用了熔融石英。
主腔体2的封接采用灯工熔制工艺,将切好的半圆柱体置于平板上用氢氧焰加热至熔融状态,并用小石英棒辅之以使封接空间被填满。
完成封接后,制作内反射膜7,先将主腔体2进行热封接,热封接完成后对主腔体2进行退火,主腔体2保留两个尾管,以利于内反射膜7浆体的灌注。
内反射膜7浆体则用二氧化硅、粘结剂、分散剂组成,二氧化硅选择纯度为99.99%,粒度小于3μm的颗粒;内反射膜7浆料通过注入流平法涂覆于曲面的内表面,经过1000~1200℃的高温烧结,使纳米二氧化硅固化于石英内壁形成厚度大于5μm的反射层。
在完成内反射膜7的涂覆后,需要对主腔体2进行抽真空处理,并在压强降为1Pa以下后,再充入高纯度的氙气(纯度>99.995%);氙气作为放电气体充入到主腔体2内部,在常温下充入20-80KPa的高压气体并进行尾管封离,确保封离球达到3mm以下并其内不允许有气泡。
在上电极1和下电极3印刷前需要进行外表面清洗,采用丝网印刷或转印方式将电极浆料无缝涂覆于石英管的外壁上;金属电极材料采用耐紫外线及臭氧能力强的材料,如Al,Ag,Ni,Mg等,形成0.2mm宽度的网格线条,出光面积与反射面积保持在4∶1的比率;然后在700~900℃度高温条件下进行固化,为保护电极可以电极表面再进行保护层的涂覆;电极固化完成后,引出电极并进行测试。
以上所述,仅是本发明的较佳实施方式,并非对本发明做任何限制,凡是根据本发明实质对以上实施方式所作的任何修改、变更以及等效变化,均仍属于本发明技术的保护范围之内。
Claims (1)
1.一种窄波紫外光源放电灯,包括上电极、主腔体、下电极、上电极引线、下电极引线、交流电源,其特征在于主腔体的弧形外表面为上电极,主腔体的平板外表面为下电极;主腔体形状为弧状体结构,由弧形筒体和平板封接而成;
所述弧形筒体为熔融石英,平板为合成石英;平板为透光结构,平板的外表面设置有下电极,下电极不覆盖平板外表面的全部面积,下电极的涂覆面积为平板外表面全部面积的0.5倍以下;
所述主腔体的一端通过上电极引线和下电极引线与交流电源相连,主腔体两端设置有排气孔,排气孔与排气管相连;主腔体中充入惰性气体作为放电介质,放电介质在交流电源的高频高压激励下放电发光;
所述主腔体的内表面非出光面上涂覆有内反射膜,所述内反射膜由二氧化硅、粘结剂、分散剂组成并固化;内反射膜表面设置有保护膜,该保护膜由氟化镁组成,以溶胶状态涂覆于内反射膜表面并固化成致密薄膜;所述主腔体的外表面设置有上电极。
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