CN105988025A - 具有照度调整机制的多单元测试探针卡及其照度调整方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种多单元测试探针卡及其照度调整方法，所述探针卡用于同时测试多个光电元件，且包含一电路板、多个遮光片及多个探针。所述电路板具有供测试光线通过的多个透光孔，各透光孔的位置能分别与各光电元件对应。各遮光片能更换地分别设置于所述测试光线通过各所述透光孔的光学路径上，且各所述遮光片具有一基底及一设于基底的图案，所述基底的透光率高于图案的透光率，至少二所述遮光片的透光率相异。各所述探针分别电性连接所述电路板，用于点触各所述光学元件。由此，本发明的探针卡可利用成本较低、较容易且快速达到的方式调整受测物的光照程度。
Description
技术领域
本发明与用于多单元测试(Multi-DUT testing)的探针卡有关，特别是指一种具有照度调整机制的多单元测试探针卡，以及其照度调整方法。
背景技术
习知应用于测试诸如CIS(CMOS image sensor)等影像感测元件或者其他光电元件的探针卡，设有一可供光线通过的透光孔，所述透光孔内可(但不限于)设有一镜头。当所述探针卡在对一受测物(device under test；简称DUT)进行点测时，光线直接经所述透光孔或所述镜头(若透光孔中还装设有镜头)而照射于所述受测物，以使所述受测物在光照之下可进行光电性能的测量。而用于测量光电元件的多单元测试(Multi-DUT testing)探针卡，为同时对多个受测物进行点测，且具有分别对应这些受测物的多个透光孔，以使各受测物同时在光照之下进行测量。
然而，在对光电元件进行多单元测试时，通常使用单一光源照射这些受测物，各受测物因其与所述光源的距离相异而会受到不同程度的光照，如此一来，各个受测物是在不同光照条件下进行测量，因此其测量结果并不准确。虽然可使用面光源照射这些受测物，以减少各受测物的光照条件差异，但市面上许多面光源的光线仍不够均匀，少数可达到足够的光线均匀度的面光源又过于昂贵。其次，若透光孔中装设有镜头时，各个镜头的制作公差也会造成镜头之间透光程度有所差异。此外，虽然可利用各透光孔内所设置的镜头的光圈，或者可在各透光孔外设置与透光孔位置对应的光圈，以通过调整各个光圈而分别控制各透光孔的进光量，但光圈只要小幅度调整就会大幅改变进光量，因此控制上较为困难。
发明内容
针对上述问题，本发明的主要目的在于提供一种具有照度调整机制的多单元测试探针卡及其照度调整方法，其利用成本较低、较容易且快速达到的方式调整受测物的光照程度。
为达到上述目的，本发明所提供的一种具有照度调整机制的多单元测试探针卡，用于同时测试多个光电元件；其特征在于所述具有照度调整机制的多单元测试探针卡包含有：一电路板，具有多个透光孔，用于供测试光线通过，且各所述透光孔的位置能分别与各所述光电元件对应；多个遮光片，能更换地分别设置于所述测试光线通过各所述透光孔的光学路径上，各所述遮光片具有一基底以及一设于所述基底的图案，所述基底的透光率高于所述图案的透光率，且至少二所述遮光片的透光率为相异；多个探针，分别电性连接所述电路板，用于点触各所述光学元件。
上述本发明的技术方案中，各所述遮光片分别设置于所述电路板。
各所述遮光片直接设于所述电路板上，分别对应地位于各所述透光孔的外部、或各所述遮光片通过一治具间接设于所述电路板上，分别对应地位于各所述透光孔的外部、或各所述遮光片通过一治具间接设于所述电路板上，其中所述治具为透明或半透明材质所制成。由此，所述治具可以不设置透光孔，而直接将各遮光片固定在所述治具上。
所述治具具有多个容置槽，各所述遮光片分别设于各所述容置槽内；或所述治具具有多个透光孔，所述治具的透光孔位置分别与所述电路板的透光孔对应。以供光线经由所述治具的透光孔及所述遮光片进入所述电路板的透光孔。
所述治具包含有一顶板及一底板，各所述遮光片夹置于所述顶板与所述底板之间。如此一来，各遮光片不需通过黏贴或其他较难更换的固定方式，即可稳固地设于所述治具。
所述顶板具有多个穿孔，所述底板具有多个容置槽以及分别设于各所述容置槽内的多个穿孔，各所述遮光片分别设于各所述容置槽内，所述顶板的穿孔位置分别与所述底板的穿孔对应并分别与所述电路板的透光孔对应。由此，各容置槽可将各遮光片定位，且所述顶板的穿孔与所述底板的穿孔可构成如前述的透光孔。
所述电路板的透光孔分别设置一镜头；或所述电路板的各所述透光孔分别设置一镜头，且各所述遮光片分别设置于各所述镜头中。以使光线经由各镜头照射于各受测的光电元件。
各所述遮光片的透光率大于等于90％且小于100％，以避免遮蔽过多光线；或各所述遮光片的图案为规律性地分布于所述基底，如此可使各遮光片有均匀的透光率，进而使电路板在同一透光孔内有均匀的进光量；或各所述遮光片的基底为一种光学扩散膜片，使光线可以均匀地通过。
所述多单元测试探针卡还包含有多个光学扩散膜片，分别设置于所述测试光线通过各所述透光孔的光学路径上；其中各所述遮光片位于各所述光学扩散膜片与各所述探针之间。
还包含有多个光学扩散膜片，分别设置于所述测试光线通过各所述透光孔的光学路径上，且位于各所述遮光片与各所述探针之间。
采用上述技术方案，当其中一光电元件的照度需要调整时，只要依据所述光电元件所需的照度调整量更换或叠加甚至移除其对应的透光孔上的遮光片即可。如此一来，不需使用昂贵的面光源、镜头或者面光源加上镜头，即可使各光电元件在实质上相同的光照条件下进行测量，而且，本发明通过更换、移除或叠加遮光片以调整照度的方式不但成本低，更可相当容易地小幅度调整各透光孔的进光量，进而快速达到所需的光照条件。
为达到上述目的，本发明还提供一种多单元测试探针卡，用于同时测试多个光电元件并用于装载至少一遮光片以调整待测物的照度；其特征在于所述多单元测试探针卡包含有：一电路板，具有多个透光孔，用于供测试光线通过，且各所述透光孔的位置能分别与各所述光电元件对应；一治具，设于所述电路板上，所述治具具有多个容置槽以及分别设于各所述容置槽内的多个穿孔，所述治具的穿孔位置分别与所述电路板的透光孔对应，所述治具的至少一所述容置槽能用于容置所述至少一遮光片；多个探针，分别电性连接所述电路板，用于点触各所述光学元件。
其中，所述遮光片具有一基底以及一设于所述基底的图案，所述基底的透光率高于所述图案的透光率或所述遮光片的透光率大于等于90％且小于100％。
所述治具包含有一顶板及一底板，用于将所述至少一遮光片夹置于所述顶板与所述底板之间。
为达到上述目的，本发明另提供一种多单元测试探针卡的照度调整方法，所述多单元测试探针卡包含有一电路板以及多个探针，各所述探针电性连接于所述电路板，用于同时点触多个光电元件，所述电路板具有多个透光孔，各所述透光孔的位置能分别与各所述光电元件对应；所述多单元测试探针卡的照度调整方法，使测试光线通过各所述透光孔，并将至少一遮光片设置于所述测试光线通过至少一所述透光孔的光学路径上；其中所述遮光片具有一基底以及一设于所述基底的图案，所述基底的透光率高于所述图案的透光率。
其中，所述遮光片的透光率大于等于90％且小于100％；或将多个所述遮光片分别设置于所述测试光线通过各所述透光孔的光学路径上，且至少二所述遮光片的透光率相异。
还包含有针对设置于所述测试光线通过至少一所述透光孔的光学路径上的所述至少一遮光片，进行更换所述至少一遮光片、移除所述至少一遮光片或叠加另一遮光片的步骤。
还包含有针对设置于所述测试光线通过至少一所述透光孔的光学路径上的所述至少一遮光片，进行更换成至少一遮光效果不均匀的遮光片或叠加至少一遮光效果不均匀的遮光片的步骤。
附图说明
图1是本发明一第一较佳实施例所提供的具有照度调整机制的多单元测试探针卡的顶视示意图；
图2是一剖视示意图，显示本发明第一较佳实施例所提供的具有照度调整机制的多单元测试探针卡的一电路板及多个遮光片；
图3是图2的局部放大图，但更显示出所述多单元测试探针卡的二探针，以及受所述二探针点触的一光电元件；
图4A是一剖视示意图，显示电路板的透光孔内更设置一镜头；
图4B是一剖视示意图，显示电路板的透光孔内更设置一镜头且遮光片定位于电路板顶面的容置槽中；
图4C类同图4A，显示镜头内更设置有一光学扩散膜片；
图4D是一剖视示意图，显示电路板的透光孔内更设置一镜头且遮光片定位于所述镜头中；
图5是本发明第一较佳实施例所提供的具有照度调整机制的多单元测试探针卡的一遮光片的顶视示意图；
图6至图8类同于图5，但图5至图8中的遮光片具有不同的图案；
图9是一剖视示意图，显示本发明一第二较佳实施例所提供的具有照度调整机制的多单元测试探针卡的一电路板、一治具及多个遮光片；
图10是本发明第二较佳实施例所提供的具有照度调整机制的多单元测试探针卡的顶视示意图；
图11类同于图10，但未显示出所述治具的一顶板及二螺丝；
图12A至图12E类同于图3，但设置不同的遮光片。
具体实施方式
现举以下实施例并结合附图对本发明的结构及功效进行详细说明。
申请人首先在此说明，在以下将要介绍的实施例以及图式中，相同的参考号码，表示相同或类似的元件或其结构特征。其次，当述及一元件设置于另一元件上时，代表前述元件为直接设置在另一元件上，或者前述元件为间接地设置在另一元件上，即，二元件之间还设置有一个或多个其他元件。而述及一元件“直接”设置于另一元件上时，代表二元件之间并没有设置任何其他元件。
请先参阅图1至图3所示，本发明一第一较佳实施例所提供的具有照度调整机制的多单元测试探针卡10包含有一电路板20、多个遮光片30，以及多个探针40。
电路板20具有一顶面21、一底面22，以及多个贯穿顶面21及底面22的透光孔24，各遮光片30能更换地设于电路板20的顶面21且分别设置于各透光孔24上，各探针40设置于电路板20的底面22。
多单元测试探针卡10用于同时测试多个光电元件50，且特别适用于一次同时测试3乘3个或以上的光电元件。各光电元件50可(但不限于)为一影像感测元件，例如CIS(CMOS image sensor)。当探针卡10对各光电元件50进行点测时，电路板20的透光孔24分别位于各光电元件50上方，即，各透光孔24的位置分别与各光电元件50对应。各透光孔24用于供一位于顶面21上方的测试光源(图中未示)的光线通过，即，测试光线以如图2中所示的光学路径OP通过各个透光孔24，使得位于底面22下方的各光电元件50同时受到光线照射。本发明的图式中仅在图3及图12A～图12E显示出其中一光电元件50以及用于点触光电元件50的二探针40，事实上，每一透光孔24下方都设有探针40，各探针40可以是一般电性连接于电路板20底面22的悬臂式探针，或者顶端延伸至电路板20顶面21而与电路板20顶面21电性连接的N型探针，由于各探针40及其设置于电路板20的方式与本发明的技术特征较不相关，且为此技术领域具有通常知识者熟知，容申请人在此不详加叙述。如图4A所示，电路板20的透光孔24可(但不限于)分别设置一镜头60，以使光线经由各镜头60而照射于各光电元件50。
各遮光片30具有一基底32，以及一设于基底32的图案(pattern)34。基底32可为聚酯材质制成的透明光学膜片，或者具有特定功能的光学膜片，例如，基底32本身可以利用目前一般市售的光学扩散膜片制成，使通过的光线能更为均匀地照射在待测的光电元件50上；图案34则可利用不透光的材质，通过印刷或其他业界惯用的方法而成形于基底32表面。然而，基底32不限制为完全透明，且图案34也不限制为完全不透光，只要基底32的透光率高于图案34的透光率即可。
遮光片30的图案34可由多个特定尺寸大小、形状及排列分布的元素(element)所构成，例如，图案34可为规律地分布于基底32的多个圆点(如图5所示)所构成，各圆点可具有相同或不同的直径；其次，图案34也可为规律地分布于基底32(即等距离地分布)的多条直线(如图6所示)或垂直交叉的多条直线与横线(如图7所示)所构成。事实上，构成遮光片30的图案34的元素并无限制，例如也可以是如图8中所示的各种形态。图案34的各个元素为规律地分布于基底32，使遮光片30有均匀的透光率，使得电路板20在同一透光孔24内有均匀的进光量，进而使光电元件50受到均匀的光照，但图案34的各个元素并不以规律地分布于基底32为限。而具有不同元素形状或元素排列密度的图案34的遮光片30，具有不同的透光率，利用基底32本身的透光率、图案本身的透光率以及图案中各个元素的形状、大小与配置，可以将遮光片30的整体透光率控制在所需的范围内，实际上，为避免遮蔽过多光线，各个遮光片30的透光率最好是介于90％至100％之间。
多单元测试探针卡10上的遮光片30不完全具有相同的透光率，即，至少二遮光片30的透光率为相异。举例而言，当光源的位置对应于探针卡10中央时，探针卡10的中央区域设置透光率较低的遮光片30，而探针卡10的外围区域则设置透光率较高的遮光片30，甚至针对某些透光孔24(例如图1左侧中间所示的二个透光孔24)不设置遮光片30，使各透光孔24的进光量实质上相等，进而使各透光孔24下方的光电元件50受到实质上相等的照度。
更明确地说，本发明的多单元测试探针卡的照度调整方法，可先在所述测试光线通过各透光孔24的光学路径OP上分别设置一遮光片30，再针对需要调整进光量的透光孔24而更换、叠加或移除其对应的遮光片30，进而将各透光孔24的进光量调整到实质上相等。如前所述，各遮光片30不限制为具有规律分布的图案34，因此，图12A至图12E以设置图案34未规律分布的遮光片30A～30E为例，以便说明。当其中一透光孔24对应遮光率1％(即透光率99％)的遮光片30A(如图12A所示，具有较小面积的图案34的遮光片30A)但若其进光量比其他透光孔24大时，可直接将遮光片30A更换为遮光率2％(即透光率98％)的遮光片30B(如图12B所示，具有图案34面积比遮光片30A的图案34面积为大的遮光片30B)或遮光率3％(即透光率97％)的遮光片30C(如图12C所示，具有图案34面积比遮光片30B的图案34面积为大的遮光片30C)；或者，也可在原先设置的遮光率1％的遮光片30A上再叠加一片或二片遮光位置不同的遮光片30D、30E(如图12D及图12E所示)，以将透光孔24的进光量缩减到所需求的程度。
换言之，当其中一光电元件50的照度需要调整时，只要依据其所需的照度调整量更换或叠加、甚至移除其对应的透光孔24上的遮光片30即可。如此一来，不需使用昂贵的面光源，或使用需特别订制、具有低公差但价格昂贵的镜头，即可使各光电元件50在实质上相同的光照条件下进行测量，而且，本发明通过更换、叠加或移除遮光片30以调整照度的方式不但成本低，更可相当容易地小幅度调整各透光孔24的进光量，进而快速达到所需的光照条件。
此外，当通过某单一透光孔24的测试光线本身各部位不均匀时，也可针对单一透光孔24而更换或堆叠其对应的遮光片30，使得通过透光孔24的测试光线本身各个部位都具有均匀的亮度。在调整通过单一透光孔24的测试光线均匀度时，可采用图案34非规律性地分布于基底32的遮光片(例如遮光片30A～30E)，以利用遮光效果不均匀的遮光片将通过透光孔24而分布不均匀的测试光线调整成均匀的状态。此处所谓“遮光效果不均匀的遮光片”是指遮光片对应透光孔24各部位(例如中央部位与周边部位)的各个部位具有不同的遮光率。举例而言，当通过单一透光孔24的测试光线的中央照度较大时，可将原先设置的遮光片更换为只在中央有图案的遮光片(例如遮光片30A～30C)，或者在原先设置的遮光片上再叠加只在中央有图案的遮光片。
在前述的实施例中，各遮光片30为能更换地直接设于电路板20上，例如可利用黏固性较低的黏胶将各遮光片30稍微黏贴于电路板20上而定位，以将各遮光片30暂时定位并可方便更换。然而，各遮光片30的设置位置及固定方式并不限于前述方式，只要是能使各遮光片30可更换地分别设置于所述测试光线通过各透光孔24的光学路径OP上的各种方式都可使用，同样都可达到调整照度的效果。例如，各遮光片30可通过诸如螺丝此类的固定件而可更换地直接设于电路板20上。又如，如图4B所示，各遮光片30为直接定位在凹陷于电路板20顶面21上的容置槽212中。或者，如图4D所示，各遮光片为直接设置在镜头60中，而非固定在电路板20。或者，各遮光片30也可通过一治具而间接设于电路板20上，例如下述的实施例所提供的。
如图9至图11所示，本发明一第二较佳实施例所提供的多单元测试探针卡70类同于前述的多单元测试探针卡10，但还包含有一治具80。治具80包含有一顶板82及一底板84，顶板82与底板84通过二螺丝86相互固定并固定于电路板20，各遮光片30夹置于顶板82与底板84之间，以稳固地设置于各透光孔24上方。
详而言之，顶板82具有多个穿孔822，底板84具有多个容置槽842，以及分别设于各容置槽842内的多个穿孔844，各容置槽842的形状实质上与各遮光片30对应，例如本实施例的遮光片30及容置槽842均呈矩形且尺寸大约相等，各遮光片30分别设于各容置槽842内，且顶板82的穿孔822位置分别与底板84的穿孔844对应并分别与电路板20的透光孔24对应，如此一来，各遮光片30上方及下方的穿孔822、844共同构成一透光孔88，供光线经由治具80的透光孔88及各遮光片30进入电路板20的透光孔24。前述具有顶板82及底板84的治具80可利用不透明的塑料制成。然而，用于将遮光片30间接定位于电路板20的治具80，并不以前述结构及材质为限，例如，所用的治具可以是一利用半透明或透明的材料(例如透明压克力)制成且具有多个容置槽的单一构件，如此一来，治具不需开设透光孔，且遮光片可分别定位在各个容置槽中，并通过治具间接地定位在电路板20上。
通过治具80将各遮光片30间接设于电路板20，不但可相当方便、精准且稳固地将各遮光片30定位于各透光孔24上，而且，只要移除顶板82(如图11所示)，即可快速地更换任一遮光片30。或者，可将治具80连同各遮光片30一起自电路板20上取下，并在遮光片30更换完成后再一起安装回电路板20上。甚至，使用者可设定多种可能适用的遮光片模块，并准备多个治具80且将各遮光片模块分别事先安装于各治具80，如此一来，在检测光照是否均匀时，可相当快速地将不同的遮光片模块更换到电路板20上，以便快速达到所需的均匀光照条件。
再者，为了达到更均匀的照度，如图4C所示，各个镜头中60更可设置一光学扩散膜片90，使通过各个透光孔24之后的光，能够更均匀地照射于待测物上。前述光学扩散膜片90的种类并无特别限定，可使用一般市售的光学扩散膜片。其次，在图4C中，光学扩散膜片90位于遮光片30的下方，即光学扩散膜片90是位于遮光片30与探针40(图中未示)之间，然而，各光学扩散膜片90的设置位置及固定方式，并不在此限，只要各光学扩散膜片90，分别设置于所述测试光线通过各透光孔24的光学路径OP上即可，例如，各个光学扩散膜片90可以分别设置于各个遮光片30的上方，即，此时各个遮光片30分别位于各个光学扩散膜片90与各探针40之间。此外，为了调整遮光效果，针对单一透光孔24，也可将二个或以上相互层叠的遮光片30，设置在通过单一透光孔24的光学路径OP上。同样地，为了调整遮光效果，二个或以上的遮光片30也可以层叠的方式设置在各个光学扩散膜片90的上方。
最后，必须再次说明，本发明在前述实施例中所揭示的构成元件，仅为举例说明，并非用来限制本案的专利保护范围，其他等效元件的替代或变化，也应被本案的专利保护范围所涵盖。
Claims (18)
1.一种具有照度调整机制的多单元测试探针卡，用于同时测试多个光电元件；其特征在于所述具有照度调整机制的多单元测试探针卡包含有：
一电路板，具有多个透光孔，用于供测试光线通过，且各所述透光孔的位置能分别与各所述光电元件对应；
多个遮光片，能更换地分别设置于所述测试光线通过各所述透光孔的光学路径上，各所述遮光片具有一基底以及一设于所述基底的图案，所述基底的透光率高于所述图案的透光率，且至少二所述遮光片的透光率为相异；
多个探针，分别电性连接所述电路板，用于点触各所述光学元件。
2.如权利要求1所述的具有照度调整机制的多单元测试探针卡，其特征在于：各所述遮光片分别设置于所述电路板。
3.如权利要求2所述的具有照度调整机制的多单元测试探针卡，其特征在于：各所述遮光片直接设于所述电路板上，分别对应地位于各所述透光孔的外部、或各所述遮光片通过一治具间接设于所述电路板上，分别对应地位于各所述透光孔的外部、或各所述遮光片通过一治具间接设于所述电路板上，其中所述治具为透明或半透明材质所制成。
4.如权利要求3所述的具有照度调整机制的多单元测试探针卡，其特征在于：所述治具具有多个容置槽，各所述遮光片分别设于各所述容置槽内；或所述治具具有多个透光孔，所述治具的透光孔位置分别与所述电路板的透光孔对应。
5.如权利要求3所述的具有照度调整机制的多单元测试探针卡，其特征在于：所述治具包含有一顶板及一底板，各所述遮光片夹置于所述顶板与所述底板之间。
6.如权利要求5所述的具有照度调整机制的多单元测试探针卡，其特征在于：所述顶板具有多个穿孔，所述底板具有多个容置槽以及分别设于各所述容置槽内的多个穿孔，各所述遮光片分别设于各所述容置槽内，所述顶板的穿孔位置分别与所述底板的穿孔对应并分别与所述电路板的透光孔对应。
7.如权利要求1所述的具有照度调整机制的多单元测试探针卡，其特征在于：所述电路板的透光孔分别设置一镜头；或所述电路板的各所述透光孔分别设置一镜头，且各所述遮光片分别设置于各所述镜头中。
8.如权利要求1所述的具有照度调整机制的多单元测试探针卡，其特征在于：各所述遮光片的透光率大于等于90％且小于100％、或各所述遮光片的图案为规律性地分布于所述基底、或各所述遮光片的基底为一种光学扩散膜片。
9.如权利要求1所述的具有照度调整机制的多单元测试探针卡，其特征在于：还包含有多个光学扩散膜片，分别设置于所述测试光线通过各所述透光孔的光学路径上；其中各所述遮光片位于各所述光学扩散膜片与各所述探针之间。
10.如权利要求1所述的具有照度调整机制的多单元测试探针卡，其特征在于：还包含有多个光学扩散膜片，分别设置于所述测试光线通过各所述透光孔的光学路径上，且位于各所述遮光片与各所述探针之间。
11.一种多单元测试探针卡，用于同时测试多个光电元件并用于装载至少一遮光片以调整待测物的照度；其特征在于所述多单元测试探针卡包含有：
一电路板，具有多个透光孔，用于供测试光线通过，且各所述透光孔的位置能分别与各所述光电元件对应；
一治具，设于所述电路板上，所述治具具有多个容置槽以及分别设于各所述容置槽内的多个穿孔，所述治具的穿孔位置分别与所述电路板的透光孔对应，所述治具的至少一所述容置槽能用于容置所述至少一遮光片；
多个探针，分别电性连接所述电路板，用于点触各所述光学元件。
12.如权利要求11所述的多单元测试探针卡，其特征在于：所述遮光片具有一基底以及一设于所述基底的图案，所述基底的透光率高于所述图案的透光率或所述遮光片的透光率大于等于90％且小于100％。
13.如权利要求11所述的多单元测试探针卡，其特征在于：所述治具包含有一顶板及一底板，用于将所述至少一遮光片夹置于所述顶板与所述底板之间。
14.一种多单元测试探针卡的照度调整方法，所述多单元测试探针卡包含有一电路板以及多个探针，各所述探针电性连接于所述电路板，用于同时点触多个光电元件，所述电路板具有多个透光孔，各所述透光孔的位置能分别与各所述光电元件对应；
所述多单元测试探针卡的照度调整方法，使测试光线通过各所述透光孔，并将至少一遮光片设置于所述测试光线通过至少一所述透光孔的光学路径上；
其中所述遮光片具有一基底以及一设于所述基底的图案，所述基底的透光率高于所述图案的透光率。
15.如权利要求14所述的多单元测试探针卡的照度调整方法，其特征在于：所述遮光片的透光率大于等于90％且小于100％；或将多个所述遮光片分别设置于所述测试光线通过各所述透光孔的光学路径上，且至少二所述遮光片的透光率相异。
16.如权利要求14所述的多单元测试探针卡的照度调整方法，其特征在于：还包含有针对设置于所述测试光线通过至少一所述透光孔的光学路径上的所述至少一遮光片，进行更换所述至少一遮光片、移除所述至少一遮光片或叠加另一遮光片的步骤。
17.如权利要求16所述的多单元测试探针卡的照度调整方法，其特征在于：还包含有针对设置于所述测试光线通过至少一所述透光孔的光学路径上的所述至少一遮光片，进行更换成至少一遮光效果不均匀的遮光片或叠加至少一遮光效果不均匀的遮光片的步骤。
18.如权利要求14所述的多单元测试探针卡的照度调整方法，其特征在于：还包含有针对设置于所述测试光线通过至少一所述透光孔的光学路径上的所述至少一遮光片，进行更换成至少一遮光效果不均匀的遮光片或叠加至少一遮光效果不均匀的遮光片的步骤。
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Application publication date: 20161005 |
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| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |