CN105823761B - 一种滤波系统 - Google Patents

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Abstract

一种滤波系统,包括光线收集端子,收集多波长复合光谱的光线;第一透镜组,具有负屈光度,至少包括具有正屈光度的第一透镜和具有负屈光度的第二透镜;衍射光栅;第二透镜组,具有正屈光度和非球面表面,第二透镜组至少包括一复合透镜;滤波元件,滤波元件至少包括两个具有反射功能的表面,入射光线中的所需波长的光线经过滤波元件后,被光线分离端子所接收提取,其余波长的光线被引导出滤波元件且不进入相应的光线分离端子形成干扰。

Description

一种滤波系统
技术领域
本发明属于光学器件领域,尤其是实现多光谱的分离。
背景技术
传统的滤波系统通常采用滤波镜和反射镜进行滤波分束,效果不好。同时,现有技术中为保证好的波段分离效果,需要采用大量的光学元件,导致成本提高,多个光学元件也对组装制造提出更高的要求。需要注意的是,分离过程中的干扰光线也会对测试结果产生影响,以往的技术中没有提出将待滤除光线引导出采集光路,彻底去除干扰光线的解决方案。
本发明提出的滤波系统能够克服现有技术中的上述问题。
发明内容
本发明的滤波系统,包括光线收集端子,收集多波长复合光谱的光线;第一透镜组,具有负屈光度,至少包括具有正屈光度的第一透镜和具有负屈光度的第二透镜;衍射光栅;第二透镜组,具有正屈光度和非球面表面,第二透镜组至少包括一复合透镜;滤波元件,滤波元件至少包括两个具有反射功能的表面,入射光线中的所需波长的光线经过滤波元件后,被光线分离端子所接收提取,其余波长的光线被引导出滤波元件且不进入相应的光线分离端子形成干扰。
本发明的有益效果:本发明提出的激光诱导击穿光谱分析仪能够克服现有技术中滤波效果不佳、波段分离不清的技术问题。
附图说明
图1为第一实施方式的滤波系统。
图2为第二实施方式的滤波元件。
图3为第三实施方式的滤波系统。
具体实施方式
图1为滤波系统,包括:具有负屈光度的第一透镜组1,第一透镜组1至少包括具有正屈光度的第一透镜L11和具有负屈光度的第二透镜L12;光线收集端子收集的多波长复合光谱光线通过第一透镜组1形成整体的光束整形,其中,具有正屈光度的第一透镜L11将光束整体收拢,再经由具有负屈光度的第二透镜L12整形扩散。光线经第二透镜L12到达衍射光栅2,衍射光栅2对不同波长的光线具有不同的衍射角度,不同波长的光线因此被分散开。由于衍射现象将带来色差等缺陷,造成聚焦及光斑形状缺陷等问题,本发明中在衍射光栅后方优选设计消除色差缺陷的第二透镜组,第二透镜组至少包括一复合透镜3。复合透镜至少具有一面为非球面,由此还能够进一步良好地修正外区像差,与不具有非球面的情况相比,即使光线经过透镜弯折很大,也能够良好的修正歪曲像差,从而能够利用较少的光学透镜实现系统的简化。复合透镜3将不同波长的光线以分散的角度全部引导至后方的滤波元件4。复合透镜3,优选由一凹透镜与一凸透镜组合形成的具有正光焦度的复合透镜。
滤波元件4为棱柱形,优选为三角柱,第一面为入射/出射面,第二面部分覆盖有反射镜面7,第三面附有可控制角度的阵镜6。从复合透镜3射出的光线以相同波长为一束入射至滤波元件4。入射光线进入滤波元件4后,经第二面的反射镜面7反射至第三面,此时,阵镜6被控制以一定角度接收所需波长如λ1的光束,并将所需波长光束反射出第一面,被射出的波长为λ1的光束经过光学系统,被与光线收集端子相间隔开的光线分离端子所接收提取。为最大程度地避免滤光元件4中待滤除波长如λ2、λ3的光束被反射进入所需波长的光线分离端子,可调整阵镜的角度,将待滤除波长的光束被反射后在第一面形成全内反射,并从第二面未形成反射镜面的部分射出滤光元件;可选择地,调整第三面的阵镜的角度,使待滤除波长的光束被第三面的阵镜反射后直接从第二面未形成反射镜面的部分射出滤光元件,或者通过控制阵镜的角度,令待滤除波长的光束从第三面直接射出。从而,干扰光线被最大程度的引导出去。优选形成至少一个光线分离端子,对应收集不同波长的光线,入射/出射面上优选附加有滤光器5或涂覆有滤光膜,以滤除不需要的干扰光。
在另一实施方式中,如图2所示,第二面的反射镜面替换为附有可控制角度的阵镜8,从复合透镜3射出的光线以相同波长为一束入射至滤波元件4,入射光线进入滤波元件4后,经第二面的阵镜8反射至第三面,此时,第三面的阵镜6被控制以一定角度接收所需波长如λ1的光束,并将所需波长光束反射出第一面,被射出的波长为λ1的光束经过光学系统,被与光线收集端子相间隔开的光线分离端子所接收提取。为最大程度地避免滤光元件中待滤除波长如λ2、λ3的光束被反射进入所需波长的光线分离端子,第二面和第三面的阵镜的角度被分别控制并相互配合,将待滤除波长的光束被第三面阵镜6反射后在第一面形成全内反射,并从第二面射出滤光元件;可选择地,调整第三面的阵镜的角度,使待滤除波长的光束被第三面的阵镜反射后直接从第二面射出滤光元件,或者通过控制第三面阵镜6的角度,令待滤除波长的光束从第三面直接射出。从而,干扰光线被最大程度的引导出去。优选形成至少一个光线分离端子,对应收集不同波长的光线,入射面上优选附加有滤光器5或涂覆有滤光膜,以滤除不需要的干扰光。
滤波元件4还可以为具有五个以上表面的棱柱体,如图3所示,至少包括入射面、第一出射面、第二出射面以及两个具有反射功能的表面,入射光线中的所需波长的光线经过滤波元件后,被与第一出射面相邻的光线分离端子所接收,其余波长的光线从不同于第一出射面的表面从滤波元件出射,不进入相应的光线分离端子形成干扰。滤波元件至少包括以下表面:第一面41为入射面,第二面42附有可控制角度的阵镜6,第三面43为第二出射面,第四面44部分覆盖有反射镜面7,第五面45为第一出射面。从复合透镜3射出的光线以相同波长为一束入射至滤波元件4。入射光线进入滤波元件4后,经第四面44的反射镜面7反射至第二面42,第二面42的阵镜6被控制以一定角度接收光线,并将所需波长的光线反射出第一出射面41,所需波长的光线被与第一出射面41相邻的光线分离端子所接收,被进一步引导至光电检测器。为最大程度地避免滤光元件4中待滤除波长如λ2、λ3的光束被反射进入所需波长的光线分离端子,可调整阵镜6的角度,使其余波长的光束被反射后从第二出射面43或第四面44未覆盖有反射镜面的部分射出滤波元件,或其余波长的光束直接从第二面42射出滤波元件。从而,干扰光线被最大程度的引导出去。优选形成至少一个光线分离端子,对应收集不同波长的光线,入射面上优选附加有滤光器5或涂覆有滤光膜,以滤除不需要的干扰光。
其中,所述第一透镜组1中第一透镜L11物侧面到第二透镜L12的像侧面的距离D1,与滤波系统总长度L比值优选为0.15<D1/L<0.3,如果小于该下限会使滤波系统过大,如果超过该上限值,会造成光线入射到滤波元件入射面的入射角度过小,影响调制范围。同时,所述第一透镜组1的焦距︱F1︱与复合透镜3的焦距︱F2︱的比值,满足:0.65<︱F1︱/︱F2︱<0.72,在该范围内可获得更加良好的入射分布。
以上所述仅为本发明较佳实施例,并非用于限定本发明的实施范围,凡依照本发明专利范围所做出的同等变化与修饰,皆落入本发明专利涵盖的范围。

Claims (9)

1.一种滤波系统,包括光线收集端子,收集多波长复合光谱的光线;第一透镜组;衍射光栅;滤波元件,入射光线中的所需波长的光线经过滤波元件后,被光线分离端子所接收提取,其余波长的光线被引导出滤波元件且不进入相应的光线分离端子形成干扰;其特征在于:所述第一透镜组具有负屈光度,至少包括具有正屈光度的第一透镜和具有负屈光度的第二透镜;所述滤波元件至少包括两个具有反射功能的表面;还包括第二透镜组,具有正屈光度和非球面表面,第二透镜组至少包括一复合透镜。
2.根据权利要求1所述的滤波系统,滤波元件为三棱柱,至少包括以下表面:第一面为入射/出射面,第二面部分覆盖有反射镜面,第三面附有可控制角度的阵镜,入射光线进入滤波元件后,经第二面的反射镜面反射至第三面,第三面的阵镜被控制以一定角度接收光线,并将所需波长的光线反射出第一面,所需波长的光线被与光线收集端子相间隔开的光线分离端子所接收。
3.根据权利要求2所述的滤波系统,入射光线进入滤波元件后,经第二面的反射镜面反射至第三面,调整第三面的阵镜的角度,使其余波长的光束被反射后在第一面形成全内反射,并从第二面未形成反射镜面的部分射出滤波元件;或者入射光线进入滤波元件后,经第二面的反射镜面反射至第三面,调整第三面的阵镜的角度,使其余波长的光束被第三面的阵镜反射后直接从第二面未形成反射镜面的部分射出滤光元件,或使其余波长的光束直接从第三面射出滤波元件。
4.根据权利要求1所述的滤波系统,滤波元件为三棱柱,至少包括以下表面:第一面为入射/出射面,第二面附有可控制角度的阵镜,第三面附有可控制角度的阵镜,光线经第一面进入滤波元件内部,经第二面的阵镜反射至第三面,第三面的阵镜被控制以一定角度接收光线,并将所需波长的光线反射出第一面,所需波长的光线被与光线收集端子相间隔开的光线分离端子所接收。
5.根据权利要求4所述的滤波系统,入射光线进入滤波元件后,经第二面的阵镜反射至第三面,调整第三面的阵镜的角度,使其余波长的光束被第三面的阵镜反射后在第一面形成全内反射,并从第二面射出滤波元件;或者入射光线进入滤波元件后,经第二面的阵镜反射至第三面,调整第三面的阵镜的角度,使其余波长的光线从第二面和/或第三面射出滤波元件。
6.根据权利要求1所述的滤波系统,滤波元件为具有五个以上表面的棱柱体,至少包括入射面、第一出射面、第二出射面以及两个具有反射功能的表面,入射光线中的所需波长的光线经过滤波元件后,被与第一出射面相邻的光线分离端子所接收,其余波长的光线从不同于第一出射面的表面从滤波元件出射,不进入相应的光线分离端子形成干扰,滤波元件至少包括以下表面:第一面为入射面,第二面附有可控制角度的阵镜,第三面为第二出射面,第四面覆盖有反射镜面,第五面为第一出射面。
7.根据权利要求6所述的滤波系统,入射光线经第一面进入滤波元件后,经第四面的反射镜面反射至第二面,第二面的阵镜被控制以一定角度接收光线,并将所需波长的光线反射出第五面,所需波长的光线被与第五面相邻的光线分离端子所接收。
8.根据权利要求7所述的滤波系统,入射光线进入滤波元件后,经第四面的反射镜面反射至第二面,调整第二面的阵镜的角度,使其余波长的光束被反射后从第三面或第四面未覆盖有反射镜面的部分射出滤波元件,或者其余波长的光束直接从第二面射出滤波元件。
9.根据权利要求1所述的滤波系统,光线分离端子为多个,对应收集所需的不同波长的光线。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102495466A (zh) * 2011-12-06 2012-06-13 上海光擎光传感技术有限公司 多通道光学快速可调谐滤波器
CN102608708A (zh) * 2012-03-05 2012-07-25 华中科技大学 一种波长可调的光学滤波器
CN103713360A (zh) * 2013-12-25 2014-04-09 华中科技大学 一种带通型可调谐光滤波器阵列
CN203535312U (zh) * 2013-09-24 2014-04-09 昂纳信息技术(深圳)有限公司 光栅型光可调谐滤波器
CN103837936A (zh) * 2014-03-13 2014-06-04 上海理工大学 一种带宽和中心波长可调的光学带通和陷波滤波器

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008151830A (ja) * 2006-12-14 2008-07-03 Sun Tec Kk 波長可変フィルタ
JP2011179979A (ja) * 2010-03-01 2011-09-15 Furukawa Electric Co Ltd:The ダブルパスモノクロメータ、波長選択光スイッチ、および光チャンネルモニタ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102495466A (zh) * 2011-12-06 2012-06-13 上海光擎光传感技术有限公司 多通道光学快速可调谐滤波器
CN102608708A (zh) * 2012-03-05 2012-07-25 华中科技大学 一种波长可调的光学滤波器
CN203535312U (zh) * 2013-09-24 2014-04-09 昂纳信息技术(深圳)有限公司 光栅型光可调谐滤波器
CN103713360A (zh) * 2013-12-25 2014-04-09 华中科技大学 一种带通型可调谐光滤波器阵列
CN103837936A (zh) * 2014-03-13 2014-06-04 上海理工大学 一种带宽和中心波长可调的光学带通和陷波滤波器

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